BR0314774A - Dispositivo de medição interferométrico - Google Patents

Abstract

"DISPOSITIVO DE MEDIçãO INTERFEROMéTRICO". A presente invenção refere-se a um dispositivo de medição interferométrico para o registro da forma, da rugosidade ou da distância da superfície de um objeto de medição (8), com um interferómetro de modulação (2), ao qual é conduzida, de uma fonte de radiação (1), uma irradiação de coerência curta, e que apresenta um primeiro divisor de radiação (2.3) para a divisão da irradiação fornecida em um primeiro raio parcial (2.1), conduzido através de um primeiro braço, e em um segundo raio parcial (2.1<39>), conduzido através de um segundo braço, dos quais um é deslocado em relação ao outro, por meio de um dispositivo de modulação (2.2, 2.2<39>), em sua fase de luz ou freq³ência de luz, e percorre um trajeto de retardamento (2.9<39>), e os quais, logo em seguida, são reunidos em um outro divisor de radiação (2.10) do interferómetro de modulação (2), com uma sonda de medição (3) espacialmente separada do interferómetro de modulação (2) e acoplada ou podendo ser acoplada com este, através de uma disposição de fibra ótica (6), em cuja sonda os raios parciais reunidos são distribuídos, através de uma unidade de fibra ótica da sonda (3.1, 3.2) com uma superfície de saída (3.4) inclinada do lado do objeto, em um raio de medição conduzido à superfície e um raio de referência, e em cuja sonda o raio de medição (r~ 1~, (t)) refletido na superfície e o raio de referência (r~ 2~ (t)) refletido em um plano de referência são sobrepostos, e com um dispositivo de recepção (4) e uma unidade de avaliação (5) para a transformação da irradiação conduzida a ele em sinais elétricos, e para a avaliação dos sinais com base em uma diferença de fases. Uma medição exata da superfície é favorecida pelo fato de que, o ângulo de inclinação (<sym>) da superfície de saída (3.4) em relação à normal do eixo da sonda óptica (3.5) é de, pelo menos, 46<198> (Figura 4).