DE10297364T5 - Kontinuierlich versiegelte Festkörper-Reinraum-Beleuchtungsvorrichtung - Google Patents

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Abstract

Beleuchtungsvorrichtung (10) für eine Reinraumdecke, welche aus einer Vielzahl von Rahmenteilen ausgebildet ist, welche in einer H-Trägeranordnung angeordnet sind, gekennzeichnet durch:
(a) ein versiegeltes Modul (58), welches eine Größe und eine Form zum entfernbaren, austauschbaren Eingriff in die Deckenrahmenteile aufweist, wobei das Modul eine abwärts gerichtete lichtemittierende Öffnung (36) aufweist;
(b) einen Kühlkörper (22), welcher innerhalb des Moduls und von einer internen Wand des Moduls beabstandet befestigt ist, um einen Kabelkanal (24) zwischen dem Kühlkörper (22) und der internen Wand zu definieren;
(c) eine Vielzahl von lichtemittierenden Dioden (26), welche innerhalb des Moduls auf dem Kühlkörper (22) montiert sind, wobei jede der lichtemittierenden Dioden (26) eine Linse (28) zum Richten des durch die eine der lichtemittierenden Dioden (26) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36) in den Reinraum aufweist; und
(d) eine Energieversorgung zum Zuführen eines Ansteuerstroms für die lichtemittierenden Dioden (26).

Description

  • Technisches Gebiet
  • Die Erfindung betrifft die Beleuchtung von Reinräumen unter Verwendung von Festkörpervorrichtungen, wie beispielsweise lichtemittierende Dioden (LED), welche innerhalb eines kontinuierlich versiegelten Gehäuses vorgesehen sind.
  • Hintergrund
  • Ein „Reinraum" ist ein begrenzter Bereich mit einer sorgfältig gesteuerten Umgebung und einem hochrestriktiven Zugang, bei dem die Luft und alle Oberflächen extrem sauber gehalten werden. Reinräume werden verwendet, um hochempfindliche Maschinen zu betreiben, um empfindliche Geräte, wie beispielweise Chips mit integrierten Schaltungen, zusammen zu bauen, und um andere heikle Operationen durchzuführen, welche durch kleinste Mengen von Staub, Feuchtigkeit oder anderen Fremdstoffen gefährdet werden können. Reinräume werden entwickelt, um verschiedene „Klassen" von Sauberkeit zu erhalten, welche für bestimmte Anwendungen geeignet sind. Die „Klasse" des Reinraumes definiert die maximale Anzahl von Partikeln mit einer Größe von 0,3 mm oder größer, welche innerhalb eines Kubikfußes von Raum irgendwo in dem Reinraum vorhanden sein können. Ein „Klasse 1" Reinraum darf beispielsweise lediglich ein einziges derartiges Partikel pro Kubikfuß von Raum aufweisen.
  • Die Beleuchtung eines Reinraumes beinhaltet eine Anzahl von Herausforderungen. Beispielsweise müssen Beleuchtungsarmaturen bzw. Beleuchtungsvorrichtungen für einen Klasse 1 Reinraum innerhalb der belüfteten Deckenstruktur des Reinraumes vertieft angeordnet bzw. eingelassen sein, ohne irgendwelche Vorsprünge auszubilden, welche Partikel fangen können. Derartige Aussparungen bzw. Vertiefungen dürfen nicht die in der Decke eingebaute Belüftungsanlage bzw. Ventilationsanlage behindern, welche den laminaren Deckel-zu-Fußboden Luftstrom aufrecht erhält, welcher benötigt wird, um sicherzustellen, dass alle Partikel sofort zu den Reinraum-Bodenöffnungen getragen werden, um aus dem Reinraum entfernt zu werden. Aufgrund des Vorhandenseins der Belüftungsanlage ist verhältnismäßig wenig Raum an der Reinraumdecke vorhanden, wo Beleuchtungsvorrichtungen vertieft angebracht werden können, ohne die Belüftungsanlage zu stören.
  • Herkömmlicherweise werden Reinräume durch vertieft angebrachte, einen kleinen Durchmesser aufweisende fluoreszierende Röhren beleuchtet, welche in dem wie auch immer gearteten Platz angebracht werden, der in der Decke nach der Installation der Belüftungsanlage verbleibt. Es sind verschiedene Nachteile dieser Herangehensweise vorhanden. Beispielsweise brennen die fluoreszierenden Röhren durch und müssen ersetzt werden. Da die meisten Reinräume 24 Stunden am Tag, sieben Tage die Woche, betrieben werden, und da ein Austauschen der fluoreszierenden Röhren die Reinraum-Operationsumgebung stört bzw. beeinträchtigt, werden ausgebrannte Röhren herkömmlicherweise dort belassen, bis der Reinraum für eine jährliche Wiederausstattung der Lampen heruntergefahren wird, bei dem alle fluoreszierenden Röhren ausgetauscht werden, unabhängig davon, ob sie durchgebrannt sind oder nicht. Abgesehen von dem kostenintensiven Herunterfahren des Reinraumes ist der jährliche Austausch der Lampen zeitintensiv und somit an sich teuer.
  • Die Erfindung adressiert die vorstehend angeführten Nachteile mittels Festkörper-Lichtvorrichtungen, welche eine signifikant längere Lebensdauer aufweisen als fluoreszierende Röhren und ferner keine zerbrechlichen Glasteile aufweisen, welche eine signifikante Kontaminationsbedrohung des Reinraumes darstellen. Festkörper-Lichtvorrichtungen können einfacher als fluoreszierende Röhren konfiguriert werden, um ultraviolettfreies Licht zu produzieren. Ein derartiges Licht ist wünschenswert in Reinräumen, welche zur Lithographie von integrierten Schaltungen verwendet werden.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung sieht eine Beleuchtungsarmatur bzw. eine Beleuchtungsvorrichtung für die Reinraumdecke vor, welche als ein versiegeltes Gehäuse mit abwärts gerichteten lichtemittierenden Öffnung ausgebildet ist. Ein Kühlkörper, welcher innerhalb und beabstandet von dem Gehäuse angeordnet ist, definiert einen Kabelkanal innerhalb des Gehäuses. Eine Vielzahl von LED sind auf dem Kühlkörper montiert. Ein Reflektor mit einem hohen Brechungsindex (refractive index) (Polycarbonat), welcher mit jeder LED gekoppelt ist, richtet effektiv das Licht der LED durch die Öffnung in den Reinraum. Die LED und/oder die Reflektoren können anti-reflektierend beschichtet werden, um die Effizienz der Lichttransmission zu erhöhen. Ein Gemisch zum Anpassen des Brechindex wird zwischen jedem LED-Reflektorpaar angebracht, um die Effizienz der Lichttransmission weiter zu erhöhen. Ein spektral selektives Filtermaterial kann eine ultraviolette Beleuchtung des Reinraumes verhindern, welche für Lithographieprozesse verwendet werden, welche durch ultraviolette Strahlung beeinträchtigt werden können. Eine holographische Diffusionslinse und/oder ein variabler Durchlassfilter kann verwendet werden, um das Licht der LED durch die Öffnung gleichmäßig zu verteilen. Die Befestigung kann eine Größe und eine Form derart aufweisen, dass sie einen Schnapphaken-Eingriff (snap-fit) mit der Reinraumdecke einer H-Träger-Bauart aufweist.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für die Decke eines Reinraumes mit einer Festkörper-Lichtvorrichtung gemäß der Erfindung.
  • 2 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt eines Querschnittes eines Abschnittes von der Beleuchtungsvorrichtung von 1, welche schematisch den Effekt einer anit-reflektierenden Beschichtung auf dem Lichtausgabereflektor zeigt.
  • 3 ist ähnlich wie 1 und zeigt ein Gemisch zum Anpassen des Brechungsindex zwischen der Festkörper-Lichtvorrichtung und dem Lichtausgabereflektor.
  • 4A und 4B zeigen schematisch den Effekt der Kopplung eines Gemisches zum Anpassen des Brechungsindex zwischen der Festkörper-Beleuchtungsvorrichtung und dem Lichtausgabereflektor.
  • 5 zeigt eine grafische Veranschaulichung des Effektes des Ausbildens des Lichtausgabereflektors mit einem spektral selektiven Filtermaterial.
  • 6 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für die Decke eines Reinraumes mit einer holographischen Diffusionslinse gemäß der Erfindung.
  • 7 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke mit einer Festkörper-Lichtvorrichtung mit einem variablen Durchlassfilter.
  • 8 zeigt einen Ausschnitt einer schematischen Querschnitts-Seitenansicht von der Beleuchtungsvorrichtung gemäß 1 mit dem in 7 gezeigten variablen Durchlassfilter.
  • 9 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke mit einem austauschbaren Festkörper-Lichtmodul gemäß der Erfindung.
  • 10 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke gemäß der Erfindung mit einer unterbrechungsfreien Energieversorgung bzw. Stromversorgung und einem In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter in Form eines Blockdiagramms.
  • 11 zeigt einen Ausschnitt einer schematischen Seitenansicht einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke mit einer Vielzahl von Festkörper-Lichtvorrichtungen gemäß der Erfindung.
  • 12A12F zeigen grafisch den Effekt der Lichtausgaberegelung gemäß der Erfindung, wobei der untere und obere Graph in jeder Figur jeweils den Lichtstrom (Φ) und die Leistung (P) als Funktion der Zeit (t) darstellen.
  • Beschreibung
  • In der nachfolgenden Beschreibung sind spezifische Details dargestellt, um ein genaueres Verständnis der Erfindung vorzusehen. Die Erfindung kann jedoch ohne diese Einzelheiten ausgeführt werden. In anderen Fällen werden wohlbekannte Elemente nicht gezeigt oder detailliert beschrieben, um die Klarheit und Verständlichkeit der Erfindung nicht zu beeinträchtigen. Somit ist die Beschreibung und die Zeichnung als der Veranschaulichung dienend und nicht restriktiv anzusehen.
  • 1 zeigt eine Beleuchtungsarmatur bzw. Beleuchtungsvorrichtung 10 für eine Reinraumdecke mit einem einheitlichen „H-Träger" Gehäuse, welches aus vertikalen Rahmenteilen 12, 14 aus extrudiertem Aluminium ausgebildet ist; ein horizontales Rahmenteil 16, einen Hänger 18 und eine Hängerschiene 20. Derartige H-Trägeraufbauten werden üblicherweise in Reinraumdecken verwendet, wodurch ein Nachrüsten der Beleuchtungsarmatur 10 in Reinraumdecken der N-Trägerbauart vereinfacht wird und eine Integration von einer Beleuchtungsarmatur 10 in Reinraumdecken einer neuen H-Trägerbauart während ihrer anfänglichen Konstruktion erleichtert wird.
  • Ein Kühlkörper 22 aus extrudiertem Aluminium wird innerhalb der Beleuchtungsarmatur bzw. Beleuchtungsvorrichtung 10 befestigt, um sich entlang der gesamten Länge zwischen den vertikalen Rahmenteilen 12, 14 und unterhalb des horizontalen Rahmenteiles 16 zu erstrecken, wodurch ein Kabelkanal 24 zwischen dem horizontalen Rahmenteil 16 und dem Kühlkörper 22 definiert wird. Eine wichtige Betriebsanforderung für Reinräume ist, dass die gesamte Luft in dem Reinraum kontinuierlich durch Filter in der Reinraumdecke umgewälzt werden muss. Insbesondere ein typischer Reinraum der Klasse 1 weist drei Böden auf: (1) einen oberen „semi-sauberen" begehbaren Plenumraum mit einem Boden mit hocheffizienten Partikelluft-(HEPA)-Filtern, (2) einen mittleren Boden mit einem Reinraumbereich der Klasse 1 und (3) einen tieferen Boden mit einem Luftzirkulationsbereich, von dem aus Luft wieder in den oberen Plenumraum umgewälzt wird. Die H-Trägerstruktur ist zwischen dem Plenum und den Reinraumbereichen und zwischen den HEPA-Filtern angeordnet. Die H-Trägerstruktur muss kontinuierlich versiegelt werden, um eine luftdichte Versiegelung zwischen dem Plenum und dem Reinraumbereichen vorzusehen. Um dies zu erleichtern, muss die Armatur bzw. die Vorrichtung 10 selbst „ein kontinuierlich versiegeltes Gehäuse" darstellen. Es wird keine spezielle Versiegelung zwischen dem Kühlkörper 22 und dem Gehäuseabschnitt der Armatur 10 benötigt, obwohl dies hilfreich sein kann, um eine adhäsive Abdichtung für den Temperaturtransfer zwischen dem Kühlkörper 22 und dem Gehäuse anzubringen.
  • Eine Vielzahl von Festkörper-Lichtvorrichtungen 26 (von denen lediglich eine in 1 erscheint, aber eine Vielzahl davon ist in 11 gezeigt) sind unter Verwendung eines adhäsiven Gemisches zum Temperaturtransfer und/oder mechanisch mit der Unterseite des Kühlkörpers 22 verbunden, wobei die Lichtausgabelinse 28 jeder Vorrichtung 26 abwärts ausgerichtet ist. Ein nach unten ausgerichteter typischerweise parabolischer Lichtreflektor 30 ist oberhalb jeder Linse 28 fixiert und wird mechanisch zwischen den Stützflansch 32, 34 gehalten, welche jeweils an den unteren Enden der Rahmenteile 12, 14 ausgebildet sind. Jeder Reflektor 30 weist eine flache untere Fläche 36 auf, welche sich zwischen den tiefsten Ecken der Flansche 32, 34 erstreckt und durch eine Silikondichtung oder durch eine Dichtung aus einem anderen Gummi (nicht gezeigt) zwischen den tiefsten Ecken der Flansche 32, 34 abgedichtet wird, wodurch die Armatur 10 eine lückenlose untere Oberfläche aufweist, welche in der Reinraumdecke bündig angeordnet wird, wenn die Armatur 10 mittels des Hängers 18 und der Schiene 20 montiert wird. Die unteren Flächen 36 bilden zusammen eine nach unten ausgerichtete lichtemittierende Öffnung der Beleuchtungsarmatur 10 gemäß 11.
  • Die Energieversorgungs- bzw. die Stromversorgungs- und/oder Steuerleitungen (nachstehend gemäß 10 beschrieben) erstrecken sich durch den Kabelkanal 24 und durch den Kühlkörper 22 zwischen einer Gleichspannungs-Energieversorgung (nachstehend beschrieben) und jeder der Vorrichtungen 26. Beispielsweise können Öffnungen durch den Kühlkörper 22 an voneinander beabstandeten Intervallen entsprechend den Abständen der Vorrichtungen 26 entlang der Unterseite des Kühlkörpers 22 gebohrt werden. Nachdem die Leitungen bzw. Drähte durch die Öffnungen verlaufen, werden die Öffnungen durch Silikon versiegelt. Die Vorrichtungen 26 können LUXEONTM hochintensitätslichtemittierende Dioden (LED) der Hochstromausgabevorrichtungsbauart darstellen, welche von Lumileds Lighting B.V., Eindhoven, Niederlande, erhältlich sind.
  • Die Linsen 28 und die Reflektoren 30 sehen eine effizientere Kopplung der Lichtausgabe durch die LED 26 mittels der unteren Oberfläche 36 und in den Reinraum hinein verglichen mit Reinraum-Beleuchtungssystemen der fluoreszierenden Röhrenbauart gemäß dem Stand der Technik aufgrund der LED inhärenten geringen Ausmaßen und der Lichtführungseigenschaften vor. Im Gegensatz dazu ist es schwierig, eine Lichtausgabe von relativ großen diffusen Lichtquellen wie beispielsweise fluoreszierenden Röhren effizient zu koppeln. Die Schwierigkeit wird bewirkt durch die höhere „Nutzungskoeffizienz"(CU)Eigenschaft der direktionalen Lichtquellen zum Beleuchten eines Raumes. Direktionales Licht ist besser zum Beleuchten der Funktionsbereiche geeignet, ohne Licht durch unerwünschte Reflektionen an der Wand oder der Decke zu „verschwenden". Die Linsen 28 und die Reflektoren 30 verbessern die Direktionalität des von der Beleuchtungsvorrichtung 10 ausgegebenen Lichtes.
  • Der Kühlkörper 22 muss in der Lage sein, die durch die LED 26 erzeugte Wärme effektiv abzuleiten, wobei jede der LED eine sehr kompakte Lichtquelle (ungefähr ein Quadratmillimeter) und eine noch kleinere wärmerzeugende elektrische Anschlussstelle aufweist. Vorzugsweise weist der Kühlkörper 22 die minimale Masse von thermisch leitfähigem Material auf, welche benötigt wird, um die durch die LED 26 erzeugte Wärme so schnell wie möglich abzuleiten. Es ist vergleichsweise wenig Platz innerhalb der Vorrichtung 10, um den Kühlkörper 22 aufzunehmen, aber es ist vorzuziehen, jegliche Vorsprünge des Kühlkörpers 22 außerhalb der Armatur 10 zu vermeiden, um eine potentielle Beeinträchtigung mit der an der Decke montierten Belüftungsanlage zu minimieren. Eine Montieren des Kühlkörpers 22 wie vorstehend beschrieben, um einen Kabelkanal 24 vorzusehen, ermöglicht eine effektive Wärmeableitung und vermeidet Vorsprünge der benötigten Verkabelung außerhalb der Armatur 10, wodurch wiederum eine potentielle Beeinträchtigung mit der Belüftungsanlage minimiert wird und wodurch die Aufgabe des Vorsehens der Armatur 10 als ein kontinuierlich versiegeltes Gehäuse erreicht wird.
  • Die Lichttransmissionseffizienz der Vorrichtung 10 kann durch ein Abscheiden einer dünnen Schicht einer antireflektierenden Beschichtung 38 (2) auf der äußeren (d. h. unteren gemäß 2) Oberfläche des Reflektors 30 der unteren Fläche 36 und/oder zwischen der LED 26 und dem unmittelbar benachbarten Bereich des Reflektors 30 durch chemical vapour deposition CVD oder physical vapour deposition PVD erfolgen. Wie bekannt interferieren derartige Beschichtungen optisch mit auf die beschichtete Oberfläche einfallenden Lichtstrahlen, wodurch die Menge an Fresnel-Grenzflächen reflektierten Lichts minimiert wird. Dies ist schematisch in 2 gezeigt, dabei zeigt die linke Seite eine ungewünschte Reflektion der einfallenden Strahlung 42 bei Abwesenheit der antireflektiven Beschichtung 38 und die rechte Seite zeigt die Anwendung der antireflektiven Beschichtung 38, welche es ermöglicht, dass einfallende Strahlung 44 durch die untere Fläche 36 des Reflektors 30 ohne eine substantielle Reflektion an der Grenzfläche passiert.
  • Der Reflektor 30 ist vorzugsweise aus einem Material mit einer hohen Brechzahl bzw. Brechungsindex wie beispielsweise Polycarbonat mit einem Brechungsindex n von ungefähr 1,6 ausgebildet. Gemäß dem Gesetz von Snell ist es möglich, die Dicke des Reflektors 30 zu verringern, ohne die lichtreflektierenden Eigenschaften des Reflektors zu reduzieren, wodurch der innerhalb der Armatur 10 zur Verfügung stehende begrenzte Raum erhalten wird und es ermöglicht wird, die Ausmaße des Kühlkörpers 22 zu vergrößern, welcher innerhalb der Armatur 10 aufgenommen werden kann.
  • Die Lichttransmissionseffizienz der Armatur bzw. der Vorrichtung 10 kann ferner durch Vorsehen einer Mischung bzw. eines Gemisches 46 zum Anpassen des Brechungsindexes (3), wie beispielsweise ein nicht ausgehärtetes Silikonelastomer (wie beispielsweise Katalog Nr. OCA5170 erhältlich von H.W. Sands Corp., Jupiter, FL) zwischen der Linse 28 und dem benachbarten Bereich des Reflektors 30 beispielsweise durch eine flüssige Injektion verbessert werden. Derartige Gemische sind insbesondere hilfreich, wenn der Reflektor 30 aus einem vorstehend angeführten Material mit einem hohen Brechungsindex ausgebildet ist, da derartige Materialien durch signifikante Fresnel-Oberflächenreflektionen gekennzeichnet sind, welche vorzugsweise zu minimieren sind. Die Fresnel-Reflektion R zwischen einem gegebenen Material und der benachbarten Luft wird somit gegeben durch:
    Figure 00090001
    wobei i den Winkel darstellt, mit dem Licht auf das Material trifft, r stellt den Refraktionswinkel gemäß dem Gesetz von Snell: r = sin–1(sin(i/n2)) und n2 stellt den Brechungsindex des Materials dar.
  • Ein effektives Gemisch zum Anpassen des Brechungsindexes ist eines, dessen Brechungsindex dem geometrischen Mittel der Brechungsindizes der beiden Materialien entspricht, zwischen denen das Gemisch platziert wird. 4A zeigt schematisch die Situation, bei der kein Gemisch zum Anpassen des Indexes zwischen der Linse 28 (n∼2) und dem Reflektor 30 (n∼1,6) angeordnet ist, wobei ein Luft-(n∼1)spalt 48 dazwischen freigelassen wird. Somit erfolgt eine unerwünschte Reflektion der einfallenden Strahlung 50 an dem Polymer: die Luftgrenzfläche zwischen der Linse 28 und dem Spalt 50 und erfährt wiederum eine unerwünschte Reaktion an der Luft: die Polymerschnittstelle zwischen dem Spalt 48 und dem Reflektor 30. 4B zeigt die Situation, bei der eine Mischung 46 zum Anpassen des Indexes mit einem Brechungsindex von (n∼ √2x1,6∼1,79, d.h. die Quadratwurzel aus dem Produkt der Brechungsindizes der Linse 28 und dem Reflektor 30) wird zwischen der Linse 28 und dem Reflektor 30 ohne einen Luftspalt dazwischen angeordnet. Dies bewirkt eine Reduktion der unerwünschten Fresnel-Reflektionen, wobei der gewünschte Reduzierungseffekt erhöht wird, wenn die Differenz des Brechungsindexes der zwei Materialien, zwischen denen die Mischung platziert wird, erhöht wird.
  • Die Lichttransmissionseffizienz der Armatur 10 kann ferner durch Ausbilden des Reflektors 30 und/oder seiner unteren Fläche 36 mit einem spektral selektiven Filtermaterial wie beispielsweise GAM dunkel gefärbtem Polyesterfarbfilter (deep dyed) (erhältlich von GAM Products, Inc., Hollywood, CA) verbessert werden, um eine Transmission von ausgewählten Lichtwellenlängen in den Reinraum zu verhindern. Eine derartige Formation kann durch Injektion von Farbe (dye) während des Pressvorganges (moulding process) erfolgen, welcher zum Ausbilden des Reflektors 30 verwendet wird, oder durch ein Hinzufügen eines Farbfilterfilmes. Alternativ dazu kann ein spektral selektives Dünnfilm-Filtermaterial auf den Reflektor 30 und/oder seiner unteren Fläche 36 unter der Verwendung von chemical vapour deposition CVD aufgetragen werden. Die spektrale Selektivität ist insbesondere wichtig, wenn der Reinraum zur lithographischen Produktion von integrierten Schaltungs-Chips verwendet wird, da bestimmte Lichtwellenlängen mit dem hochpräzisen Lithographieprozess interferieren. Üblicherweise sind Lichtwellenlängen um 400 nm (blau) bis und einschließlich ultraviolett und kleineren Wellenlängenbereichen in Reinräumen verboten, welche für derartige Lithographien verwendet werden. 5 zeigt eine grafische Darstellung des Effektes einer derartigen spektralen Filtration. Die durchgezogene Linie stellt eine typische Lichtausgabekennlinie der Apparatur 10 ohne die vorstehend angeführte spektrale Filtration dar. Die gestrichelte Kurve stellt eine typische Lichtausgabekennlinie der Apparatur 10 mit einer vorstehend angeführten spektralen Filtration dar, um Lichtwellenlängen von kleiner als 400 nm zu entfernen.
  • Die Armatur 10 verteilt Licht vorzugsweise gleichförmig in den von der Armatur 10 ausgeleuchteten Reinraumbereich. Im Fall von einigen kleinen LED mit einer hohen direktionalen Lichtausgabeeigenschaft und/oder in dem Fall von einigen Reinraumkonfigurationen kann es notwendig sein, eine holographische Diffusionslinse 52 zwischen den Flanschen 32, 34 gemäß 6 vorzusehen, um die gewünschte gleichförmige Beleuchtung zu erhalten. (In diesem Kontext bedeutet „holographisch", dass die Linse 52 von einem holographisch aufgezeichneten Master repliziert wurde.) Beispiele von geeigneten holographischen Diffusionslinsen stellen strukturierte Oberflächen von prismatischen Filmen wie beispielsweise Light Shaping Diffuser® Filme von Physical Optics Corporation, Torrance, CA oder komplexere prismatische Strukturen ähnlich den Fresnel-Linsen wie beispielsweise kundenspezifisch hergestellte spritzgegossene Filme (injection molded films), welche dazu in der Lage sind, das Licht der LED kosteneffektiv über einen relativ großen Bereich auf eine nicht-direktionale Art und Weise auszubreiten.
  • Dieser gewünschte Effekt der gleichmäßigen Lichtausgabe kann ebenfalls erhalten oder verbessert werden, wenn ein variabler Transmissionsfilter 54 wie in US 4,937,716 auf der unteren Fläche 36 auf dem Reflektor 30 gemäß 7 vorgesehen wird. Wie in dem 716 Patent erläutert, minimieren variable Transmissionsfilter 54 dunkle und/oder helle Punkte, welche ansonsten an verschiedenen Bereichen auf der unteren Fläche 36 aufgrund der hohen direktionalen Punktquelleneigenschaft des LED 26 wahrgenommen werden würden. Gemäß 8 wird Licht, welches ansonsten transmittiert werden würde und als ein heller Bereich wahrgenommen werden würde, wie durch 56 angezeigt reflektiert (oder gedämpft) und kann nach nachfolgenden Reflektionen innerhalb der Armatur 10 durch einen anderen Bereich 57 des variablen Transmissionsfilters 54 emittiert werden, welcher ansonsten als ein dunkler Bereich wahrgenommen werden würde, wodurch die Effizienz der Armatur 10 durch Erhalten der durch die LED 26 ausgegebenen Lichtes verbessert und wodurch eine gleichförmigere Beleuchtung des Reinraumes erzielt wird.
  • Wenn die Beleuchtungsarmatur 10 nachträglich in eine vorhandene Reinraumdecke der H-Trägerbauart eingebaut werden soll, ist es vorteilhaft, abnehmbare bzw. entfernbare, austauschbare Lichtmodule 58 gemäß 9 zu verwenden. In einer vorhandenen Reinraumdecke der H-Trägerbauart sind vertikale Rahmenteile 12, 14, horizontale Rahmenteile 16, Hänger 18 und Hängerschienen 22 bereits vorhanden. Jedes Modul 58 kann als ein vorab versiegelter, dünnwandiger länglicher Behälter mit einem Kühlkörper 22, einem Kabelkanal 24 und einer Vielzahl von Festkörperbeleuchtungs-LED mit den dazugehörigen Linsen 28 und Reflektoren 30 zusammen mit anit-reflektierenden Beschichtungen, einem Gemisch zum Anpassen des Brechungsindexes, holographische Diffusionsfilter und/oder variable Transmissionsfilter wie vorstehend beschrieben ausgebildet sein. Seitenwände 60, 62 des Moduls 58 können flexibel für eine abnehmbare Schnapphakenbefestigung bzw. Schnapphakeneingriff des Moduls 58 mit den Flanschen 32, 34 hergestellt werden. Wenn alternativ dazu die H-Träger-Deckenstruktur aus einem magnetischen Material ausgebildet ist, können Module 58 abnehmbar magnetisch zwischen vertikalen Rahmenteilen 12, 14 durch Ausbilden der Seitenwände des Moduls 58 aus einem magnetisierten Material gehalten werden. Wenn die H-Träger-Dachstruktur aus einem nicht-magnetischen Material ausgebildet ist, kann ein ferromagnetisches Material mechanisch an bestimmten Abschnitten der Deckenstruktur befestigt werden, um das Modul 58 magnetisch wie vorstehend angeführt zu halten. Als eine weitere Alternative kann das Modul 58 abnehmbar anhaftend zwischen den vertikalen Rahmenteilen 12, 14 gehalten werden. Neben der Vereinfachung eines schnellen Nachrüstens der Beleuchtungsarmaturen in einer Reinraumdecke, erleichtern die Module 58 einen einfachen und schnellen Austausch defekter Module, selbst wenn der Reinraum betrieben wird, da keine Gefahr vorhanden ist, dass das Glas von fluoreszierenden Röhren bricht oder Phosphor in die Reinraumumgebung abgegeben wird.
  • Gemäß 10 kann eine unterbrechungsfreie Energieversorgung (UPS) 64 entfernt von den Beleuchtungsarmaturen bzw. Beleuchtungsvorrichtungen 10 oder Modulen 58 angeordnet werden und/oder ein In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter 66 kann in der Nähe jeder Beleuchtungsarmatur 10 oder jedes Moduls 58 angeordnet werden, um die elektrische Energie zu den LED 26 effizient zu verteilen. UPS 64 erlaubt es, dass der Reinraum im Falle eines Energieausfalles beleuchtet bleibt. Es ist normalerweise ausreichend, lediglich einige der Beleuchtungsarmaturen oder Module 58 zu beleuchten, um eine geeignete Reinraum-Notfallbeleuchtung aufrecht zu erhalten, so dass UPS 64 lediglich mit einer ausgewählten Anzahl von Belichtungsarmaturen 10 oder Modulen 58 elektrisch verbunden sein muss.
  • LED 26 operieren meist effizient als Niederspannungs-Gleichstromvorrichtungen. Eine Niederspannungs-Gleichspannung wird aufgrund der Widerstandsverluste nicht effizient durch herkömmliche Decken-Beleuchtungsvorrichtungen-Stromleiter 68 übertragen. Wenn einer der In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter 66 in der Nähe jeder Beleuchtungsarmatur 10 oder jedes Moduls 58 angeordnet ist, kann die Gleichspannung effizient durch herkömmliche Energieleiter bzw. Stromleiter 68 an die Konverter 66 bei höheren Gleichspannungspegeln übertragen werden, welche geringere Verluste aufweisen. Die Konverter 66 wandeln das Energie- bzw. Stromsignal in den Spannungspegel der Niederspannungs-Gleichspannung um, welche durch die LED 26 benötigt werden, wodurch eine effiziente Verteilung der elektrischen Energie zu den Beleuchtungsarmaturen 10 oder Module 58 erreicht wird.
  • Durch vorsichtiges Regeln der den LED 26 über die Zeit zugeführten Energie bzw. Leistung können adäquate Reinraum-Lichtpegel über einen längeren Zeitraum erhalten werden. Obwohl LED 26 extrem lange Lebensdauern (typischerweise größer als 100.000 Stunden) aufweisen, degenerieren ihre Lichtausgabecharakteristika über die Zeit, wenn sie durch ein konstantes Stromsignal angetrieben werden. Die „brauchbare" Lebensdauer von LED 26 (d. h. die Zeit, während der die Lichtausgabe der LED 26 adäquat für Reinraum-Beleuchtungszwecke ist) kann durch Regeln der den LED 26 zugeführten Energie bzw. Leistung erweitert werden, so dass ihre Lichtausgabeintensität nicht unter einen vorgeschriebenen minimalen Pegel fällt. Dies kann durch Installieren von geeigneten Lichtsensoren (nicht gezeigt) in dem Reinraum und durch Regeln des den LED 26 zugeführten Treiberstromes als Funktion des (beispielsweise in einer inversen Proportion zu) Ausgangssignals des Lichtsensors oder durch eine manuelle Variation der den LED 26 zugeführten Energie um vorab ausgewählte Beträge zu vorab ausgewählten Zeiten oder mittels eines geeigneten programmierbaren elektronischen Controller (nicht gezeigt) erreicht werden, welcher mit den Beleuchtungsarmaturen 10 oder den Modulen 58 gekoppelt ist. Eine derartige Regelung des den LED 26 zugeführten Treiberstromes kann die gesamte Lebensdauer der LED 26 reduzieren, wenn die LED 26 überansprucht werden, während sie sich dem Ende ihrer „brauchbaren" Lebensdauer nähern, aber die gesamte brauchbare Lebensdauer wird wie vorstehend angeführt erweitert und ist in den 12A12F gezeigt.
  • Die 12A, 12B zeigen die Situation, bei der ein Ansteuersignal mit konstanter Leistung (durchgezogene Linie in 12B) an die LED 26 angelegt wird, so dass der von den LED 26 ausgegebene Lichtstrom bzw. Lichtfluss (Φ) sich mit der Zeit verringert (12A). Die horizontal gestrichelte Linie in 12A stellt die minimal akzeptable Lichtflussausgabe der LED 26 dar. Die horizontale gestrichelte Linie in 12B repräsentiert die maximale Eingangsenergiebemessung der LED 26. 12B zeigt ein konstantes Energiesteuersignal, welches der LED 26 zugeführt wird, welche geringfügig kleiner als die maximale Eingangsenergiebemessung der LED 26 ist. Wie in 12A gezeigt, verringert sich der durch die LED 26 ausgegebene Lichtfluss bzw. Lichtstrom (Φ) bis zu einem Zeitpunkt t0, welcher den Zeitpunkt darstellt, wo die LED 26 ausgetauscht werden muss, da sie nicht länger die minimal akzeptable Lichtflussausgabe produziert.
  • Die 12C, 12D zeigen eine verbesserte Situation, bei der das an die LED 26 angelegte Energiesteuersignal (durchgezogene Linien in 12D) zu periodischen Intervallen erhöht wird, um entsprechende Erhöhungen in dem von den LED 26 ausgegebenen Lichtstrom (Φ) zu produzieren (12C). Die horizontalen gestrichelten Linien in den 12C, 12D stellen wiederum jeweils die minimale akzeptable Lichtflussausgabe der LED 26 und die maximale Eingabeenergiebemessung der LED 26 dar. Wie in 12C gezeigt, wird der durch die LED 26 ausgegebene Lichtstrom (Φ) periodisch wie vorstehend angeführt bis zu einer Zeit t1>t0 erhöht, welche die Zeit darstellt, zu der die LED 26 ausgetauscht werden müssen, weil sie nicht länger die minimale akzeptable Lichtflussausgabe produzieren können.
  • Die 12E, 12F zeigen eine weitere Verbesserung, bei der das Energiesteuersignal (durchgezogene Linie in 12F), welches an den LED 26 angelegt wird, kontinuierlich über die Zeit erhöht wird, um den durch die LED 26 ausgegebenen Lichtstrom (Φ) bei einem konstanten Pegel aufrecht zu erhalten (12E). Die horizontale gestrichelte Linie in 12E, 12F stellt die minimale akzeptable Lichtflussausgabe der LED 26 und die maximale Eingabeenergieauslegung der LED 26 dar. Wie in 12E gezeigt, bleibt der von den LED 26 ausgegebene Lichtstrom (Φ) bis zu einer Zeit t2 >t1>t0 konstant, welche die Zeit darstellt, bei der die LED 26 ausgetauscht werden müssen, weil sie nicht länger die minimale akzeptable Lichtstromausgabe produzieren können.
  • Wie dem Fachmann im Lichte der obigen Offenbarung ersichtlich, sind viele Veränderungen und Modifikationen beim Ausführen dieser Erfindung möglich, ohne dabei ihren Rahmen zu verlassen. Demgemäß ist der Schutzbereich der Erfindung gemäß den nachfolgenden Ansprüchen ausgelegt.
  • Zusammenfassung
  • Eine Beleuchtungsvorrichtung (10) für eine Reinraumdecke wird als ein versiegeltes Gehäuse (12, 14, 16, 18, 20) mit einer abwärts gerichteten lichtemittierenden Öffnung (36) vorgesehen. Ein Kühlkörper (22) ist innerhalb des Gehäuses und von dem Gehäuse beabstandet befestigt und definiert einen Kabelkanal (24). LEDs (26) sind auf dem Kühlkörper (22) montiert. Ein Reflektor (30) mit einem hohen Brechungsindex ist mit jeder LED gekoppelt, um Licht effizient in den Reinraum zu richten. Eine anti-reflektive Beschichtung (38) auf den LEDs und/oder den Reflektoren verbessert die Transmissionseffizienz. Ein Gemisch (46) zum Anpassen des Brechungsindexes wird zwischen jedem LED-Reflektorpaar vorgesehen, um die Effizienz weiter zu verbessern. Ein spektral-selektives Filtermaterial verhindert eine ultraviolette Bestrahlung der Reinräume, welche für Prozesse verwendet werden, welche durch ultraviolette Strahlungen beeinträchtigt werden können. Eine holographische Diffusionslinse (52) und/oder ein variabler Durchlassfilter (54) kann zum gleichmäßigen Verteilen des Lichts der LEDs vorgesehen werden. Die Beleuchtungsvorrichtung kann in ihrer Größe und Form für einen Schnapphakeneingriff in einer Reinraumdecke der H-Trägerbauart ausgestaltet sein.
    (1)

Claims (29)

  1. Beleuchtungsvorrichtung (10) für eine Reinraumdecke, welche aus einer Vielzahl von Rahmenteilen ausgebildet ist, welche in einer H-Trägeranordnung angeordnet sind, gekennzeichnet durch: (a) ein versiegeltes Modul (58), welches eine Größe und eine Form zum entfernbaren, austauschbaren Eingriff in die Deckenrahmenteile aufweist, wobei das Modul eine abwärts gerichtete lichtemittierende Öffnung (36) aufweist; (b) einen Kühlkörper (22), welcher innerhalb des Moduls und von einer internen Wand des Moduls beabstandet befestigt ist, um einen Kabelkanal (24) zwischen dem Kühlkörper (22) und der internen Wand zu definieren; (c) eine Vielzahl von lichtemittierenden Dioden (26), welche innerhalb des Moduls auf dem Kühlkörper (22) montiert sind, wobei jede der lichtemittierenden Dioden (26) eine Linse (28) zum Richten des durch die eine der lichtemittierenden Dioden (26) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36) in den Reinraum aufweist; und (d) eine Energieversorgung zum Zuführen eines Ansteuerstroms für die lichtemittierenden Dioden (26).
  2. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei jede der lichtemittierenden Dioden (26) ferner einen Reflektor (30) zum Richten des durch die eine der lichtemittierenden Dioden (26) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36) in den Reinraum aufweist.
  3. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, ferner mit einer antireflektiven Beschichtung (38) auf jeder der Linsen (28).
  4. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 2, ferner mit einer antireflektiven Beschichtung (38) auf jedem der Reflektoren (30).
  5. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 2, wobei die Reflektoren (30) aus einem Material mit einem hohen Brechungsindex ausgebildet sind.
  6. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 5, wobei das Material mit dem hohen Brechungsindex Polycarbonat ist.
  7. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 2, ferner mit einem Gemisch (46) zum Anpassen des Brechungsindexes, welches für jede der Linsen (28) und einen benachbarten der Reflektoren (30) zwischen einer der Linsen (28) und dem benachbarten Reflektor (30) angeordnet ist.
  8. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 7, wobei das Gemisch (46) zum Anpassen des Brechungsindex ein Elastomer ist.
  9. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 2, wobei die Reflektoren (30) aus einem spektral selektiven Filtermaterial ausgebildet sind.
  10. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 9, wobei das spektral selektive Filtermaterial ein tiefgefärbtes Polyester ist.
  11. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 9, wobei das spektral selektive Filtermaterial ein spektral selektives Dünnschicht-Filtermaterial darstellt.
  12. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, ferner mit einer holographischen Diffusionslinse (52) zur gleichmäßigen Verteilung des durch die lichtemittierenden Dioden (26) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36).
  13. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 12, wobei die holographische Diffusionslinse (52) ferner einen prismatischen Film mit strukturierter Oberfläche aufweist.
  14. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, ferner mit einem variablen Durchlassfilter (54) zum gleichmäßigen Verteilen des durch die lichtemittierenden Dioden (26) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36).
  15. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei das Modul entfernbar magnetisch an den Deckenrahmenteilen anbringbar ist.
  16. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei das Modul entfernbar adhäsiv an den Deckenrahmenteilen anbringbar ist.
  17. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Energieversorgung ferner eine unterbrechungsfreie Energieversorgung (64) aufweist.
  18. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Energieversorgung ferner einen In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter (66) aufweist, welcher zwischen einer Hochspannungs-Gleichspannungsenergieversorgung und der Vorrichtung (10) gekoppelt ist.
  19. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 17, wobei die Energieversorgung ferner einen In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter (66) aufweist, welcher zwischen der unterbrechungsfreien Energieversorgung (64) und der Vorrichtung (10) gekoppelt ist.
  20. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 17, wobei die unterbrechungsfreie Energieversorgung (64) entfernt von der Vorrichtung (10) lokalisiert ist.
  21. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 19, wobei die unterbrechungsfreie Energieversorgung (64) entfernt von der Vorrichtung (10) lokalisiert ist.
  22. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 18, wobei der Gleichspannungs-Gleichspannungs-In-Line-Konverter (66) in der Nähe der Vorrichtung (10) lokalisiert ist.
  23. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 19, wobei der Gleichspannungs-Gleichspannungs-In-Line-Konverter (66) in der Nähe der Vorrichtung (10) angeordnet ist.
  24. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 21, wobei der Gleichspannungs-Gleichspannungs-In-Line-Konverter (66) in der Nähe der Vorrichtung (10) angeordnet ist.
  25. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, wobei die Energieversorgung ferner einen Regulator zum Regeln des Ansteuerstromes als Funktion der Zeit aufweist.
  26. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 25, ferner mit einem Lichtsensor, welcher in dem Reinraum angeordnet ist und elektrisch mit dem Regulator verbunden ist, wobei der Lichtsensor ein Ausgangssignal produziert, welches die Lichtintensität in der Nähe des Lichtsensors darstellt, und wobei der Regulator ferner den Ansteuerstrom als Funktion des Ausgangssignals steuert.
  27. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 25, ferner mit einem Lichtsensor, welcher in dem Reinraum angeordnet ist und elektrisch mit dem Regulator verbunden ist, wobei der Lichtsensor ein Ausgangssignal mit einem Betrag produziert, welcher die Lichtintensität in der Nähe des Lichtsensors darstellt, und wobei der Regulator den Ansteuerstrom in inverser Proportion zu dem Betrag des Ausgangssignals reguliert.
  28. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, ferner mit einem programmierbaren Controller, welcher elektrisch zwischen der Energieversorgung und den lichtemittierenden Dioden verbunden ist, wobei der programmierbare Controller den Ansteuerstrom als Funktion der Zeit programmtechnisch regelt.
  29. Beleuchtungsvorrichtung (10) nach Anspruch 1, ferner mit einem programmierbaren Controller, welcher elektrisch zwischen der Energieversorgung und den lichtemittierenden Dioden verbunden ist, wobei der programmierbare Controller den Ansteuerstrom programmtechnisch als Funktion der Zeit regelt, um eine im Wesentlichen konstante Lichtstromausgabe der lichtemittierenden Dioden aufrecht zu erhalten.
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