DE10297364T5 - Kontinuierlich versiegelte Festkörper-Reinraum-Beleuchtungsvorrichtung - Google Patents
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Abstract
Beleuchtungsvorrichtung
(10) für
eine Reinraumdecke, welche aus einer Vielzahl von Rahmenteilen ausgebildet
ist, welche in einer H-Trägeranordnung
angeordnet sind, gekennzeichnet durch:
(a) ein versiegeltes Modul (58), welches eine Größe und eine Form zum entfernbaren, austauschbaren Eingriff in die Deckenrahmenteile aufweist, wobei das Modul eine abwärts gerichtete lichtemittierende Öffnung (36) aufweist;
(b) einen Kühlkörper (22), welcher innerhalb des Moduls und von einer internen Wand des Moduls beabstandet befestigt ist, um einen Kabelkanal (24) zwischen dem Kühlkörper (22) und der internen Wand zu definieren;
(c) eine Vielzahl von lichtemittierenden Dioden (26), welche innerhalb des Moduls auf dem Kühlkörper (22) montiert sind, wobei jede der lichtemittierenden Dioden (26) eine Linse (28) zum Richten des durch die eine der lichtemittierenden Dioden (26) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36) in den Reinraum aufweist; und
(d) eine Energieversorgung zum Zuführen eines Ansteuerstroms für die lichtemittierenden Dioden (26).
(a) ein versiegeltes Modul (58), welches eine Größe und eine Form zum entfernbaren, austauschbaren Eingriff in die Deckenrahmenteile aufweist, wobei das Modul eine abwärts gerichtete lichtemittierende Öffnung (36) aufweist;
(b) einen Kühlkörper (22), welcher innerhalb des Moduls und von einer internen Wand des Moduls beabstandet befestigt ist, um einen Kabelkanal (24) zwischen dem Kühlkörper (22) und der internen Wand zu definieren;
(c) eine Vielzahl von lichtemittierenden Dioden (26), welche innerhalb des Moduls auf dem Kühlkörper (22) montiert sind, wobei jede der lichtemittierenden Dioden (26) eine Linse (28) zum Richten des durch die eine der lichtemittierenden Dioden (26) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36) in den Reinraum aufweist; und
(d) eine Energieversorgung zum Zuführen eines Ansteuerstroms für die lichtemittierenden Dioden (26).
Description
- Technisches Gebiet
- Die Erfindung betrifft die Beleuchtung von Reinräumen unter Verwendung von Festkörpervorrichtungen, wie beispielsweise lichtemittierende Dioden (LED), welche innerhalb eines kontinuierlich versiegelten Gehäuses vorgesehen sind.
- Hintergrund
- Ein „Reinraum" ist ein begrenzter Bereich mit einer sorgfältig gesteuerten Umgebung und einem hochrestriktiven Zugang, bei dem die Luft und alle Oberflächen extrem sauber gehalten werden. Reinräume werden verwendet, um hochempfindliche Maschinen zu betreiben, um empfindliche Geräte, wie beispielweise Chips mit integrierten Schaltungen, zusammen zu bauen, und um andere heikle Operationen durchzuführen, welche durch kleinste Mengen von Staub, Feuchtigkeit oder anderen Fremdstoffen gefährdet werden können. Reinräume werden entwickelt, um verschiedene „Klassen" von Sauberkeit zu erhalten, welche für bestimmte Anwendungen geeignet sind. Die „Klasse" des Reinraumes definiert die maximale Anzahl von Partikeln mit einer Größe von 0,3 mm oder größer, welche innerhalb eines Kubikfußes von Raum irgendwo in dem Reinraum vorhanden sein können. Ein „Klasse 1" Reinraum darf beispielsweise lediglich ein einziges derartiges Partikel pro Kubikfuß von Raum aufweisen.
- Die Beleuchtung eines Reinraumes beinhaltet eine Anzahl von Herausforderungen. Beispielsweise müssen Beleuchtungsarmaturen bzw. Beleuchtungsvorrichtungen für einen Klasse 1 Reinraum innerhalb der belüfteten Deckenstruktur des Reinraumes vertieft angeordnet bzw. eingelassen sein, ohne irgendwelche Vorsprünge auszubilden, welche Partikel fangen können. Derartige Aussparungen bzw. Vertiefungen dürfen nicht die in der Decke eingebaute Belüftungsanlage bzw. Ventilationsanlage behindern, welche den laminaren Deckel-zu-Fußboden Luftstrom aufrecht erhält, welcher benötigt wird, um sicherzustellen, dass alle Partikel sofort zu den Reinraum-Bodenöffnungen getragen werden, um aus dem Reinraum entfernt zu werden. Aufgrund des Vorhandenseins der Belüftungsanlage ist verhältnismäßig wenig Raum an der Reinraumdecke vorhanden, wo Beleuchtungsvorrichtungen vertieft angebracht werden können, ohne die Belüftungsanlage zu stören.
- Herkömmlicherweise werden Reinräume durch vertieft angebrachte, einen kleinen Durchmesser aufweisende fluoreszierende Röhren beleuchtet, welche in dem wie auch immer gearteten Platz angebracht werden, der in der Decke nach der Installation der Belüftungsanlage verbleibt. Es sind verschiedene Nachteile dieser Herangehensweise vorhanden. Beispielsweise brennen die fluoreszierenden Röhren durch und müssen ersetzt werden. Da die meisten Reinräume 24 Stunden am Tag, sieben Tage die Woche, betrieben werden, und da ein Austauschen der fluoreszierenden Röhren die Reinraum-Operationsumgebung stört bzw. beeinträchtigt, werden ausgebrannte Röhren herkömmlicherweise dort belassen, bis der Reinraum für eine jährliche Wiederausstattung der Lampen heruntergefahren wird, bei dem alle fluoreszierenden Röhren ausgetauscht werden, unabhängig davon, ob sie durchgebrannt sind oder nicht. Abgesehen von dem kostenintensiven Herunterfahren des Reinraumes ist der jährliche Austausch der Lampen zeitintensiv und somit an sich teuer.
- Die Erfindung adressiert die vorstehend angeführten Nachteile mittels Festkörper-Lichtvorrichtungen, welche eine signifikant längere Lebensdauer aufweisen als fluoreszierende Röhren und ferner keine zerbrechlichen Glasteile aufweisen, welche eine signifikante Kontaminationsbedrohung des Reinraumes darstellen. Festkörper-Lichtvorrichtungen können einfacher als fluoreszierende Röhren konfiguriert werden, um ultraviolettfreies Licht zu produzieren. Ein derartiges Licht ist wünschenswert in Reinräumen, welche zur Lithographie von integrierten Schaltungen verwendet werden.
- Zusammenfassung der Erfindung
- Die vorliegende Erfindung sieht eine Beleuchtungsarmatur bzw. eine Beleuchtungsvorrichtung für die Reinraumdecke vor, welche als ein versiegeltes Gehäuse mit abwärts gerichteten lichtemittierenden Öffnung ausgebildet ist. Ein Kühlkörper, welcher innerhalb und beabstandet von dem Gehäuse angeordnet ist, definiert einen Kabelkanal innerhalb des Gehäuses. Eine Vielzahl von LED sind auf dem Kühlkörper montiert. Ein Reflektor mit einem hohen Brechungsindex (refractive index) (Polycarbonat), welcher mit jeder LED gekoppelt ist, richtet effektiv das Licht der LED durch die Öffnung in den Reinraum. Die LED und/oder die Reflektoren können anti-reflektierend beschichtet werden, um die Effizienz der Lichttransmission zu erhöhen. Ein Gemisch zum Anpassen des Brechindex wird zwischen jedem LED-Reflektorpaar angebracht, um die Effizienz der Lichttransmission weiter zu erhöhen. Ein spektral selektives Filtermaterial kann eine ultraviolette Beleuchtung des Reinraumes verhindern, welche für Lithographieprozesse verwendet werden, welche durch ultraviolette Strahlung beeinträchtigt werden können. Eine holographische Diffusionslinse und/oder ein variabler Durchlassfilter kann verwendet werden, um das Licht der LED durch die Öffnung gleichmäßig zu verteilen. Die Befestigung kann eine Größe und eine Form derart aufweisen, dass sie einen Schnapphaken-Eingriff (snap-fit) mit der Reinraumdecke einer H-Träger-Bauart aufweist.
- Kurzbeschreibung der Zeichnungen
-
1 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für die Decke eines Reinraumes mit einer Festkörper-Lichtvorrichtung gemäß der Erfindung. -
2 zeigt einen vergrößerten Ausschnitt eines Querschnittes eines Abschnittes von der Beleuchtungsvorrichtung von1 , welche schematisch den Effekt einer anit-reflektierenden Beschichtung auf dem Lichtausgabereflektor zeigt. -
3 ist ähnlich wie1 und zeigt ein Gemisch zum Anpassen des Brechungsindex zwischen der Festkörper-Lichtvorrichtung und dem Lichtausgabereflektor. -
4A und4B zeigen schematisch den Effekt der Kopplung eines Gemisches zum Anpassen des Brechungsindex zwischen der Festkörper-Beleuchtungsvorrichtung und dem Lichtausgabereflektor. -
5 zeigt eine grafische Veranschaulichung des Effektes des Ausbildens des Lichtausgabereflektors mit einem spektral selektiven Filtermaterial. -
6 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für die Decke eines Reinraumes mit einer holographischen Diffusionslinse gemäß der Erfindung. -
7 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke mit einer Festkörper-Lichtvorrichtung mit einem variablen Durchlassfilter. -
8 zeigt einen Ausschnitt einer schematischen Querschnitts-Seitenansicht von der Beleuchtungsvorrichtung gemäß1 mit dem in7 gezeigten variablen Durchlassfilter. -
9 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke mit einem austauschbaren Festkörper-Lichtmodul gemäß der Erfindung. -
10 zeigt einen Querschnitt einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke gemäß der Erfindung mit einer unterbrechungsfreien Energieversorgung bzw. Stromversorgung und einem In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter in Form eines Blockdiagramms. -
11 zeigt einen Ausschnitt einer schematischen Seitenansicht einer Beleuchtungsvorrichtung für eine Reinraumdecke mit einer Vielzahl von Festkörper-Lichtvorrichtungen gemäß der Erfindung. -
12A –12F zeigen grafisch den Effekt der Lichtausgaberegelung gemäß der Erfindung, wobei der untere und obere Graph in jeder Figur jeweils den Lichtstrom (Φ) und die Leistung (P) als Funktion der Zeit (t) darstellen. - Beschreibung
- In der nachfolgenden Beschreibung sind spezifische Details dargestellt, um ein genaueres Verständnis der Erfindung vorzusehen. Die Erfindung kann jedoch ohne diese Einzelheiten ausgeführt werden. In anderen Fällen werden wohlbekannte Elemente nicht gezeigt oder detailliert beschrieben, um die Klarheit und Verständlichkeit der Erfindung nicht zu beeinträchtigen. Somit ist die Beschreibung und die Zeichnung als der Veranschaulichung dienend und nicht restriktiv anzusehen.
-
1 zeigt eine Beleuchtungsarmatur bzw. Beleuchtungsvorrichtung10 für eine Reinraumdecke mit einem einheitlichen „H-Träger" Gehäuse, welches aus vertikalen Rahmenteilen12 ,14 aus extrudiertem Aluminium ausgebildet ist; ein horizontales Rahmenteil16 , einen Hänger18 und eine Hängerschiene20 . Derartige H-Trägeraufbauten werden üblicherweise in Reinraumdecken verwendet, wodurch ein Nachrüsten der Beleuchtungsarmatur10 in Reinraumdecken der N-Trägerbauart vereinfacht wird und eine Integration von einer Beleuchtungsarmatur10 in Reinraumdecken einer neuen H-Trägerbauart während ihrer anfänglichen Konstruktion erleichtert wird. - Ein Kühlkörper
22 aus extrudiertem Aluminium wird innerhalb der Beleuchtungsarmatur bzw. Beleuchtungsvorrichtung10 befestigt, um sich entlang der gesamten Länge zwischen den vertikalen Rahmenteilen12 ,14 und unterhalb des horizontalen Rahmenteiles16 zu erstrecken, wodurch ein Kabelkanal24 zwischen dem horizontalen Rahmenteil16 und dem Kühlkörper22 definiert wird. Eine wichtige Betriebsanforderung für Reinräume ist, dass die gesamte Luft in dem Reinraum kontinuierlich durch Filter in der Reinraumdecke umgewälzt werden muss. Insbesondere ein typischer Reinraum der Klasse1 weist drei Böden auf: (1 ) einen oberen „semi-sauberen" begehbaren Plenumraum mit einem Boden mit hocheffizienten Partikelluft-(HEPA)-Filtern, (2 ) einen mittleren Boden mit einem Reinraumbereich der Klasse1 und (3 ) einen tieferen Boden mit einem Luftzirkulationsbereich, von dem aus Luft wieder in den oberen Plenumraum umgewälzt wird. Die H-Trägerstruktur ist zwischen dem Plenum und den Reinraumbereichen und zwischen den HEPA-Filtern angeordnet. Die H-Trägerstruktur muss kontinuierlich versiegelt werden, um eine luftdichte Versiegelung zwischen dem Plenum und dem Reinraumbereichen vorzusehen. Um dies zu erleichtern, muss die Armatur bzw. die Vorrichtung10 selbst „ein kontinuierlich versiegeltes Gehäuse" darstellen. Es wird keine spezielle Versiegelung zwischen dem Kühlkörper22 und dem Gehäuseabschnitt der Armatur10 benötigt, obwohl dies hilfreich sein kann, um eine adhäsive Abdichtung für den Temperaturtransfer zwischen dem Kühlkörper22 und dem Gehäuse anzubringen. - Eine Vielzahl von Festkörper-Lichtvorrichtungen
26 (von denen lediglich eine in1 erscheint, aber eine Vielzahl davon ist in11 gezeigt) sind unter Verwendung eines adhäsiven Gemisches zum Temperaturtransfer und/oder mechanisch mit der Unterseite des Kühlkörpers22 verbunden, wobei die Lichtausgabelinse28 jeder Vorrichtung26 abwärts ausgerichtet ist. Ein nach unten ausgerichteter typischerweise parabolischer Lichtreflektor30 ist oberhalb jeder Linse28 fixiert und wird mechanisch zwischen den Stützflansch32 ,34 gehalten, welche jeweils an den unteren Enden der Rahmenteile12 ,14 ausgebildet sind. Jeder Reflektor30 weist eine flache untere Fläche36 auf, welche sich zwischen den tiefsten Ecken der Flansche32 ,34 erstreckt und durch eine Silikondichtung oder durch eine Dichtung aus einem anderen Gummi (nicht gezeigt) zwischen den tiefsten Ecken der Flansche32 ,34 abgedichtet wird, wodurch die Armatur10 eine lückenlose untere Oberfläche aufweist, welche in der Reinraumdecke bündig angeordnet wird, wenn die Armatur10 mittels des Hängers18 und der Schiene20 montiert wird. Die unteren Flächen36 bilden zusammen eine nach unten ausgerichtete lichtemittierende Öffnung der Beleuchtungsarmatur10 gemäß11 . - Die Energieversorgungs- bzw. die Stromversorgungs- und/oder Steuerleitungen (nachstehend gemäß
10 beschrieben) erstrecken sich durch den Kabelkanal24 und durch den Kühlkörper22 zwischen einer Gleichspannungs-Energieversorgung (nachstehend beschrieben) und jeder der Vorrichtungen26 . Beispielsweise können Öffnungen durch den Kühlkörper22 an voneinander beabstandeten Intervallen entsprechend den Abständen der Vorrichtungen26 entlang der Unterseite des Kühlkörpers22 gebohrt werden. Nachdem die Leitungen bzw. Drähte durch die Öffnungen verlaufen, werden die Öffnungen durch Silikon versiegelt. Die Vorrichtungen26 können LUXEONTM hochintensitätslichtemittierende Dioden (LED) der Hochstromausgabevorrichtungsbauart darstellen, welche von Lumileds Lighting B.V., Eindhoven, Niederlande, erhältlich sind. - Die Linsen
28 und die Reflektoren30 sehen eine effizientere Kopplung der Lichtausgabe durch die LED26 mittels der unteren Oberfläche36 und in den Reinraum hinein verglichen mit Reinraum-Beleuchtungssystemen der fluoreszierenden Röhrenbauart gemäß dem Stand der Technik aufgrund der LED inhärenten geringen Ausmaßen und der Lichtführungseigenschaften vor. Im Gegensatz dazu ist es schwierig, eine Lichtausgabe von relativ großen diffusen Lichtquellen wie beispielsweise fluoreszierenden Röhren effizient zu koppeln. Die Schwierigkeit wird bewirkt durch die höhere „Nutzungskoeffizienz"(CU)Eigenschaft der direktionalen Lichtquellen zum Beleuchten eines Raumes. Direktionales Licht ist besser zum Beleuchten der Funktionsbereiche geeignet, ohne Licht durch unerwünschte Reflektionen an der Wand oder der Decke zu „verschwenden". Die Linsen28 und die Reflektoren30 verbessern die Direktionalität des von der Beleuchtungsvorrichtung10 ausgegebenen Lichtes. - Der Kühlkörper
22 muss in der Lage sein, die durch die LED26 erzeugte Wärme effektiv abzuleiten, wobei jede der LED eine sehr kompakte Lichtquelle (ungefähr ein Quadratmillimeter) und eine noch kleinere wärmerzeugende elektrische Anschlussstelle aufweist. Vorzugsweise weist der Kühlkörper22 die minimale Masse von thermisch leitfähigem Material auf, welche benötigt wird, um die durch die LED26 erzeugte Wärme so schnell wie möglich abzuleiten. Es ist vergleichsweise wenig Platz innerhalb der Vorrichtung10 , um den Kühlkörper22 aufzunehmen, aber es ist vorzuziehen, jegliche Vorsprünge des Kühlkörpers22 außerhalb der Armatur10 zu vermeiden, um eine potentielle Beeinträchtigung mit der an der Decke montierten Belüftungsanlage zu minimieren. Eine Montieren des Kühlkörpers22 wie vorstehend beschrieben, um einen Kabelkanal24 vorzusehen, ermöglicht eine effektive Wärmeableitung und vermeidet Vorsprünge der benötigten Verkabelung außerhalb der Armatur10 , wodurch wiederum eine potentielle Beeinträchtigung mit der Belüftungsanlage minimiert wird und wodurch die Aufgabe des Vorsehens der Armatur10 als ein kontinuierlich versiegeltes Gehäuse erreicht wird. - Die Lichttransmissionseffizienz der Vorrichtung
10 kann durch ein Abscheiden einer dünnen Schicht einer antireflektierenden Beschichtung38 (2 ) auf der äußeren (d. h. unteren gemäß2 ) Oberfläche des Reflektors30 der unteren Fläche36 und/oder zwischen der LED26 und dem unmittelbar benachbarten Bereich des Reflektors30 durch chemical vapour deposition CVD oder physical vapour deposition PVD erfolgen. Wie bekannt interferieren derartige Beschichtungen optisch mit auf die beschichtete Oberfläche einfallenden Lichtstrahlen, wodurch die Menge an Fresnel-Grenzflächen reflektierten Lichts minimiert wird. Dies ist schematisch in2 gezeigt, dabei zeigt die linke Seite eine ungewünschte Reflektion der einfallenden Strahlung42 bei Abwesenheit der antireflektiven Beschichtung38 und die rechte Seite zeigt die Anwendung der antireflektiven Beschichtung38 , welche es ermöglicht, dass einfallende Strahlung44 durch die untere Fläche36 des Reflektors30 ohne eine substantielle Reflektion an der Grenzfläche passiert. - Der Reflektor
30 ist vorzugsweise aus einem Material mit einer hohen Brechzahl bzw. Brechungsindex wie beispielsweise Polycarbonat mit einem Brechungsindex n von ungefähr 1,6 ausgebildet. Gemäß dem Gesetz von Snell ist es möglich, die Dicke des Reflektors30 zu verringern, ohne die lichtreflektierenden Eigenschaften des Reflektors zu reduzieren, wodurch der innerhalb der Armatur10 zur Verfügung stehende begrenzte Raum erhalten wird und es ermöglicht wird, die Ausmaße des Kühlkörpers22 zu vergrößern, welcher innerhalb der Armatur10 aufgenommen werden kann. - Die Lichttransmissionseffizienz der Armatur bzw. der Vorrichtung
10 kann ferner durch Vorsehen einer Mischung bzw. eines Gemisches46 zum Anpassen des Brechungsindexes (3 ), wie beispielsweise ein nicht ausgehärtetes Silikonelastomer (wie beispielsweise Katalog Nr. OCA5170 erhältlich von H.W. Sands Corp., Jupiter, FL) zwischen der Linse28 und dem benachbarten Bereich des Reflektors30 beispielsweise durch eine flüssige Injektion verbessert werden. Derartige Gemische sind insbesondere hilfreich, wenn der Reflektor30 aus einem vorstehend angeführten Material mit einem hohen Brechungsindex ausgebildet ist, da derartige Materialien durch signifikante Fresnel-Oberflächenreflektionen gekennzeichnet sind, welche vorzugsweise zu minimieren sind. Die Fresnel-Reflektion R zwischen einem gegebenen Material und der benachbarten Luft wird somit gegeben durch: wobei i den Winkel darstellt, mit dem Licht auf das Material trifft, r stellt den Refraktionswinkel gemäß dem Gesetz von Snell: r = sin–1(sin(i/n2)) und n2 stellt den Brechungsindex des Materials dar. - Ein effektives Gemisch zum Anpassen des Brechungsindexes ist eines, dessen Brechungsindex dem geometrischen Mittel der Brechungsindizes der beiden Materialien entspricht, zwischen denen das Gemisch platziert wird.
4A zeigt schematisch die Situation, bei der kein Gemisch zum Anpassen des Indexes zwischen der Linse28 (n∼2) und dem Reflektor30 (n∼1,6) angeordnet ist, wobei ein Luft-(n∼1)spalt48 dazwischen freigelassen wird. Somit erfolgt eine unerwünschte Reflektion der einfallenden Strahlung50 an dem Polymer: die Luftgrenzfläche zwischen der Linse28 und dem Spalt50 und erfährt wiederum eine unerwünschte Reaktion an der Luft: die Polymerschnittstelle zwischen dem Spalt48 und dem Reflektor30 .4B zeigt die Situation, bei der eine Mischung46 zum Anpassen des Indexes mit einem Brechungsindex von (n∼ √2x1,6 ∼1,79, d.h. die Quadratwurzel aus dem Produkt der Brechungsindizes der Linse28 und dem Reflektor30 ) wird zwischen der Linse28 und dem Reflektor30 ohne einen Luftspalt dazwischen angeordnet. Dies bewirkt eine Reduktion der unerwünschten Fresnel-Reflektionen, wobei der gewünschte Reduzierungseffekt erhöht wird, wenn die Differenz des Brechungsindexes der zwei Materialien, zwischen denen die Mischung platziert wird, erhöht wird. - Die Lichttransmissionseffizienz der Armatur
10 kann ferner durch Ausbilden des Reflektors30 und/oder seiner unteren Fläche36 mit einem spektral selektiven Filtermaterial wie beispielsweise GAM dunkel gefärbtem Polyesterfarbfilter (deep dyed) (erhältlich von GAM Products, Inc., Hollywood, CA) verbessert werden, um eine Transmission von ausgewählten Lichtwellenlängen in den Reinraum zu verhindern. Eine derartige Formation kann durch Injektion von Farbe (dye) während des Pressvorganges (moulding process) erfolgen, welcher zum Ausbilden des Reflektors30 verwendet wird, oder durch ein Hinzufügen eines Farbfilterfilmes. Alternativ dazu kann ein spektral selektives Dünnfilm-Filtermaterial auf den Reflektor30 und/oder seiner unteren Fläche36 unter der Verwendung von chemical vapour deposition CVD aufgetragen werden. Die spektrale Selektivität ist insbesondere wichtig, wenn der Reinraum zur lithographischen Produktion von integrierten Schaltungs-Chips verwendet wird, da bestimmte Lichtwellenlängen mit dem hochpräzisen Lithographieprozess interferieren. Üblicherweise sind Lichtwellenlängen um 400 nm (blau) bis und einschließlich ultraviolett und kleineren Wellenlängenbereichen in Reinräumen verboten, welche für derartige Lithographien verwendet werden.5 zeigt eine grafische Darstellung des Effektes einer derartigen spektralen Filtration. Die durchgezogene Linie stellt eine typische Lichtausgabekennlinie der Apparatur10 ohne die vorstehend angeführte spektrale Filtration dar. Die gestrichelte Kurve stellt eine typische Lichtausgabekennlinie der Apparatur10 mit einer vorstehend angeführten spektralen Filtration dar, um Lichtwellenlängen von kleiner als 400 nm zu entfernen. - Die Armatur
10 verteilt Licht vorzugsweise gleichförmig in den von der Armatur10 ausgeleuchteten Reinraumbereich. Im Fall von einigen kleinen LED mit einer hohen direktionalen Lichtausgabeeigenschaft und/oder in dem Fall von einigen Reinraumkonfigurationen kann es notwendig sein, eine holographische Diffusionslinse52 zwischen den Flanschen32 ,34 gemäß6 vorzusehen, um die gewünschte gleichförmige Beleuchtung zu erhalten. (In diesem Kontext bedeutet „holographisch", dass die Linse52 von einem holographisch aufgezeichneten Master repliziert wurde.) Beispiele von geeigneten holographischen Diffusionslinsen stellen strukturierte Oberflächen von prismatischen Filmen wie beispielsweise Light Shaping Diffuser® Filme von Physical Optics Corporation, Torrance, CA oder komplexere prismatische Strukturen ähnlich den Fresnel-Linsen wie beispielsweise kundenspezifisch hergestellte spritzgegossene Filme (injection molded films), welche dazu in der Lage sind, das Licht der LED kosteneffektiv über einen relativ großen Bereich auf eine nicht-direktionale Art und Weise auszubreiten. - Dieser gewünschte Effekt der gleichmäßigen Lichtausgabe kann ebenfalls erhalten oder verbessert werden, wenn ein variabler Transmissionsfilter
54 wie inUS 4,937,716 auf der unteren Fläche36 auf dem Reflektor30 gemäß7 vorgesehen wird. Wie in dem 716 Patent erläutert, minimieren variable Transmissionsfilter54 dunkle und/oder helle Punkte, welche ansonsten an verschiedenen Bereichen auf der unteren Fläche36 aufgrund der hohen direktionalen Punktquelleneigenschaft des LED26 wahrgenommen werden würden. Gemäß8 wird Licht, welches ansonsten transmittiert werden würde und als ein heller Bereich wahrgenommen werden würde, wie durch 56 angezeigt reflektiert (oder gedämpft) und kann nach nachfolgenden Reflektionen innerhalb der Armatur10 durch einen anderen Bereich57 des variablen Transmissionsfilters54 emittiert werden, welcher ansonsten als ein dunkler Bereich wahrgenommen werden würde, wodurch die Effizienz der Armatur10 durch Erhalten der durch die LED26 ausgegebenen Lichtes verbessert und wodurch eine gleichförmigere Beleuchtung des Reinraumes erzielt wird. - Wenn die Beleuchtungsarmatur
10 nachträglich in eine vorhandene Reinraumdecke der H-Trägerbauart eingebaut werden soll, ist es vorteilhaft, abnehmbare bzw. entfernbare, austauschbare Lichtmodule58 gemäß9 zu verwenden. In einer vorhandenen Reinraumdecke der H-Trägerbauart sind vertikale Rahmenteile12 ,14 , horizontale Rahmenteile16 , Hänger18 und Hängerschienen22 bereits vorhanden. Jedes Modul58 kann als ein vorab versiegelter, dünnwandiger länglicher Behälter mit einem Kühlkörper22 , einem Kabelkanal24 und einer Vielzahl von Festkörperbeleuchtungs-LED mit den dazugehörigen Linsen28 und Reflektoren30 zusammen mit anit-reflektierenden Beschichtungen, einem Gemisch zum Anpassen des Brechungsindexes, holographische Diffusionsfilter und/oder variable Transmissionsfilter wie vorstehend beschrieben ausgebildet sein. Seitenwände60 ,62 des Moduls58 können flexibel für eine abnehmbare Schnapphakenbefestigung bzw. Schnapphakeneingriff des Moduls58 mit den Flanschen32 ,34 hergestellt werden. Wenn alternativ dazu die H-Träger-Deckenstruktur aus einem magnetischen Material ausgebildet ist, können Module58 abnehmbar magnetisch zwischen vertikalen Rahmenteilen12 ,14 durch Ausbilden der Seitenwände des Moduls58 aus einem magnetisierten Material gehalten werden. Wenn die H-Träger-Dachstruktur aus einem nicht-magnetischen Material ausgebildet ist, kann ein ferromagnetisches Material mechanisch an bestimmten Abschnitten der Deckenstruktur befestigt werden, um das Modul58 magnetisch wie vorstehend angeführt zu halten. Als eine weitere Alternative kann das Modul58 abnehmbar anhaftend zwischen den vertikalen Rahmenteilen12 ,14 gehalten werden. Neben der Vereinfachung eines schnellen Nachrüstens der Beleuchtungsarmaturen in einer Reinraumdecke, erleichtern die Module58 einen einfachen und schnellen Austausch defekter Module, selbst wenn der Reinraum betrieben wird, da keine Gefahr vorhanden ist, dass das Glas von fluoreszierenden Röhren bricht oder Phosphor in die Reinraumumgebung abgegeben wird. - Gemäß
10 kann eine unterbrechungsfreie Energieversorgung (UPS)64 entfernt von den Beleuchtungsarmaturen bzw. Beleuchtungsvorrichtungen10 oder Modulen58 angeordnet werden und/oder ein In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter66 kann in der Nähe jeder Beleuchtungsarmatur10 oder jedes Moduls58 angeordnet werden, um die elektrische Energie zu den LED26 effizient zu verteilen. UPS64 erlaubt es, dass der Reinraum im Falle eines Energieausfalles beleuchtet bleibt. Es ist normalerweise ausreichend, lediglich einige der Beleuchtungsarmaturen oder Module58 zu beleuchten, um eine geeignete Reinraum-Notfallbeleuchtung aufrecht zu erhalten, so dass UPS64 lediglich mit einer ausgewählten Anzahl von Belichtungsarmaturen10 oder Modulen58 elektrisch verbunden sein muss. - LED
26 operieren meist effizient als Niederspannungs-Gleichstromvorrichtungen. Eine Niederspannungs-Gleichspannung wird aufgrund der Widerstandsverluste nicht effizient durch herkömmliche Decken-Beleuchtungsvorrichtungen-Stromleiter68 übertragen. Wenn einer der In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter66 in der Nähe jeder Beleuchtungsarmatur10 oder jedes Moduls58 angeordnet ist, kann die Gleichspannung effizient durch herkömmliche Energieleiter bzw. Stromleiter68 an die Konverter66 bei höheren Gleichspannungspegeln übertragen werden, welche geringere Verluste aufweisen. Die Konverter66 wandeln das Energie- bzw. Stromsignal in den Spannungspegel der Niederspannungs-Gleichspannung um, welche durch die LED26 benötigt werden, wodurch eine effiziente Verteilung der elektrischen Energie zu den Beleuchtungsarmaturen10 oder Module58 erreicht wird. - Durch vorsichtiges Regeln der den LED
26 über die Zeit zugeführten Energie bzw. Leistung können adäquate Reinraum-Lichtpegel über einen längeren Zeitraum erhalten werden. Obwohl LED26 extrem lange Lebensdauern (typischerweise größer als 100.000 Stunden) aufweisen, degenerieren ihre Lichtausgabecharakteristika über die Zeit, wenn sie durch ein konstantes Stromsignal angetrieben werden. Die „brauchbare" Lebensdauer von LED26 (d. h. die Zeit, während der die Lichtausgabe der LED26 adäquat für Reinraum-Beleuchtungszwecke ist) kann durch Regeln der den LED26 zugeführten Energie bzw. Leistung erweitert werden, so dass ihre Lichtausgabeintensität nicht unter einen vorgeschriebenen minimalen Pegel fällt. Dies kann durch Installieren von geeigneten Lichtsensoren (nicht gezeigt) in dem Reinraum und durch Regeln des den LED26 zugeführten Treiberstromes als Funktion des (beispielsweise in einer inversen Proportion zu) Ausgangssignals des Lichtsensors oder durch eine manuelle Variation der den LED26 zugeführten Energie um vorab ausgewählte Beträge zu vorab ausgewählten Zeiten oder mittels eines geeigneten programmierbaren elektronischen Controller (nicht gezeigt) erreicht werden, welcher mit den Beleuchtungsarmaturen10 oder den Modulen58 gekoppelt ist. Eine derartige Regelung des den LED26 zugeführten Treiberstromes kann die gesamte Lebensdauer der LED26 reduzieren, wenn die LED26 überansprucht werden, während sie sich dem Ende ihrer „brauchbaren" Lebensdauer nähern, aber die gesamte brauchbare Lebensdauer wird wie vorstehend angeführt erweitert und ist in den12A –12F gezeigt. - Die
12A ,12B zeigen die Situation, bei der ein Ansteuersignal mit konstanter Leistung (durchgezogene Linie in12B ) an die LED26 angelegt wird, so dass der von den LED26 ausgegebene Lichtstrom bzw. Lichtfluss (Φ) sich mit der Zeit verringert (12A ). Die horizontal gestrichelte Linie in12A stellt die minimal akzeptable Lichtflussausgabe der LED26 dar. Die horizontale gestrichelte Linie in12B repräsentiert die maximale Eingangsenergiebemessung der LED26 .12B zeigt ein konstantes Energiesteuersignal, welches der LED26 zugeführt wird, welche geringfügig kleiner als die maximale Eingangsenergiebemessung der LED26 ist. Wie in12A gezeigt, verringert sich der durch die LED26 ausgegebene Lichtfluss bzw. Lichtstrom (Φ) bis zu einem Zeitpunkt t0, welcher den Zeitpunkt darstellt, wo die LED26 ausgetauscht werden muss, da sie nicht länger die minimal akzeptable Lichtflussausgabe produziert. - Die
12C ,12D zeigen eine verbesserte Situation, bei der das an die LED26 angelegte Energiesteuersignal (durchgezogene Linien in12D ) zu periodischen Intervallen erhöht wird, um entsprechende Erhöhungen in dem von den LED26 ausgegebenen Lichtstrom (Φ) zu produzieren (12C ). Die horizontalen gestrichelten Linien in den12C ,12D stellen wiederum jeweils die minimale akzeptable Lichtflussausgabe der LED26 und die maximale Eingabeenergiebemessung der LED26 dar. Wie in12C gezeigt, wird der durch die LED26 ausgegebene Lichtstrom (Φ) periodisch wie vorstehend angeführt bis zu einer Zeit t1>t0 erhöht, welche die Zeit darstellt, zu der die LED26 ausgetauscht werden müssen, weil sie nicht länger die minimale akzeptable Lichtflussausgabe produzieren können. - Die
12E ,12F zeigen eine weitere Verbesserung, bei der das Energiesteuersignal (durchgezogene Linie in12F ), welches an den LED26 angelegt wird, kontinuierlich über die Zeit erhöht wird, um den durch die LED26 ausgegebenen Lichtstrom (Φ) bei einem konstanten Pegel aufrecht zu erhalten (12E ). Die horizontale gestrichelte Linie in12E ,12F stellt die minimale akzeptable Lichtflussausgabe der LED26 und die maximale Eingabeenergieauslegung der LED26 dar. Wie in12E gezeigt, bleibt der von den LED26 ausgegebene Lichtstrom (Φ) bis zu einer Zeit t2 >t1>t0 konstant, welche die Zeit darstellt, bei der die LED26 ausgetauscht werden müssen, weil sie nicht länger die minimale akzeptable Lichtstromausgabe produzieren können. - Wie dem Fachmann im Lichte der obigen Offenbarung ersichtlich, sind viele Veränderungen und Modifikationen beim Ausführen dieser Erfindung möglich, ohne dabei ihren Rahmen zu verlassen. Demgemäß ist der Schutzbereich der Erfindung gemäß den nachfolgenden Ansprüchen ausgelegt.
- Zusammenfassung
- Eine Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) für eine Reinraumdecke wird als ein versiegeltes Gehäuse (12 ,14 ,16 ,18 ,20 ) mit einer abwärts gerichteten lichtemittierenden Öffnung (36 ) vorgesehen. Ein Kühlkörper (22 ) ist innerhalb des Gehäuses und von dem Gehäuse beabstandet befestigt und definiert einen Kabelkanal (24 ). LEDs (26 ) sind auf dem Kühlkörper (22 ) montiert. Ein Reflektor (30 ) mit einem hohen Brechungsindex ist mit jeder LED gekoppelt, um Licht effizient in den Reinraum zu richten. Eine anti-reflektive Beschichtung (38 ) auf den LEDs und/oder den Reflektoren verbessert die Transmissionseffizienz. Ein Gemisch (46 ) zum Anpassen des Brechungsindexes wird zwischen jedem LED-Reflektorpaar vorgesehen, um die Effizienz weiter zu verbessern. Ein spektral-selektives Filtermaterial verhindert eine ultraviolette Bestrahlung der Reinräume, welche für Prozesse verwendet werden, welche durch ultraviolette Strahlungen beeinträchtigt werden können. Eine holographische Diffusionslinse (52 ) und/oder ein variabler Durchlassfilter (54 ) kann zum gleichmäßigen Verteilen des Lichts der LEDs vorgesehen werden. Die Beleuchtungsvorrichtung kann in ihrer Größe und Form für einen Schnapphakeneingriff in einer Reinraumdecke der H-Trägerbauart ausgestaltet sein.
(1 )
Claims (29)
- Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) für eine Reinraumdecke, welche aus einer Vielzahl von Rahmenteilen ausgebildet ist, welche in einer H-Trägeranordnung angeordnet sind, gekennzeichnet durch: (a) ein versiegeltes Modul (58 ), welches eine Größe und eine Form zum entfernbaren, austauschbaren Eingriff in die Deckenrahmenteile aufweist, wobei das Modul eine abwärts gerichtete lichtemittierende Öffnung (36 ) aufweist; (b) einen Kühlkörper (22 ), welcher innerhalb des Moduls und von einer internen Wand des Moduls beabstandet befestigt ist, um einen Kabelkanal (24 ) zwischen dem Kühlkörper (22 ) und der internen Wand zu definieren; (c) eine Vielzahl von lichtemittierenden Dioden (26 ), welche innerhalb des Moduls auf dem Kühlkörper (22 ) montiert sind, wobei jede der lichtemittierenden Dioden (26 ) eine Linse (28 ) zum Richten des durch die eine der lichtemittierenden Dioden (26 ) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36 ) in den Reinraum aufweist; und (d) eine Energieversorgung zum Zuführen eines Ansteuerstroms für die lichtemittierenden Dioden (26 ). - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei jede der lichtemittierenden Dioden (26 ) ferner einen Reflektor (30 ) zum Richten des durch die eine der lichtemittierenden Dioden (26 ) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36 ) in den Reinraum aufweist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, ferner mit einer antireflektiven Beschichtung (38 ) auf jeder der Linsen (28 ). - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 2, ferner mit einer antireflektiven Beschichtung (38 ) auf jedem der Reflektoren (30 ). - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 2, wobei die Reflektoren (30 ) aus einem Material mit einem hohen Brechungsindex ausgebildet sind. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 5, wobei das Material mit dem hohen Brechungsindex Polycarbonat ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 2, ferner mit einem Gemisch (46 ) zum Anpassen des Brechungsindexes, welches für jede der Linsen (28 ) und einen benachbarten der Reflektoren (30 ) zwischen einer der Linsen (28 ) und dem benachbarten Reflektor (30 ) angeordnet ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 7, wobei das Gemisch (46 ) zum Anpassen des Brechungsindex ein Elastomer ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 2, wobei die Reflektoren (30 ) aus einem spektral selektiven Filtermaterial ausgebildet sind. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 9, wobei das spektral selektive Filtermaterial ein tiefgefärbtes Polyester ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 9, wobei das spektral selektive Filtermaterial ein spektral selektives Dünnschicht-Filtermaterial darstellt. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, ferner mit einer holographischen Diffusionslinse (52 ) zur gleichmäßigen Verteilung des durch die lichtemittierenden Dioden (26 ) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36 ). - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 12, wobei die holographische Diffusionslinse (52 ) ferner einen prismatischen Film mit strukturierter Oberfläche aufweist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, ferner mit einem variablen Durchlassfilter (54 ) zum gleichmäßigen Verteilen des durch die lichtemittierenden Dioden (26 ) emittierten Lichtes durch die Öffnung (36 ). - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei das Modul entfernbar magnetisch an den Deckenrahmenteilen anbringbar ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei das Modul entfernbar adhäsiv an den Deckenrahmenteilen anbringbar ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei die Energieversorgung ferner eine unterbrechungsfreie Energieversorgung (64 ) aufweist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei die Energieversorgung ferner einen In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter (66 ) aufweist, welcher zwischen einer Hochspannungs-Gleichspannungsenergieversorgung und der Vorrichtung (10 ) gekoppelt ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 17, wobei die Energieversorgung ferner einen In-Line Gleichspannungs-Gleichspannungskonverter (66 ) aufweist, welcher zwischen der unterbrechungsfreien Energieversorgung (64 ) und der Vorrichtung (10 ) gekoppelt ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 17, wobei die unterbrechungsfreie Energieversorgung (64 ) entfernt von der Vorrichtung (10 ) lokalisiert ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 19, wobei die unterbrechungsfreie Energieversorgung (64 ) entfernt von der Vorrichtung (10 ) lokalisiert ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 18, wobei der Gleichspannungs-Gleichspannungs-In-Line-Konverter (66 ) in der Nähe der Vorrichtung (10 ) lokalisiert ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 19, wobei der Gleichspannungs-Gleichspannungs-In-Line-Konverter (66 ) in der Nähe der Vorrichtung (10 ) angeordnet ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 21, wobei der Gleichspannungs-Gleichspannungs-In-Line-Konverter (66 ) in der Nähe der Vorrichtung (10 ) angeordnet ist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, wobei die Energieversorgung ferner einen Regulator zum Regeln des Ansteuerstromes als Funktion der Zeit aufweist. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 25, ferner mit einem Lichtsensor, welcher in dem Reinraum angeordnet ist und elektrisch mit dem Regulator verbunden ist, wobei der Lichtsensor ein Ausgangssignal produziert, welches die Lichtintensität in der Nähe des Lichtsensors darstellt, und wobei der Regulator ferner den Ansteuerstrom als Funktion des Ausgangssignals steuert. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 25, ferner mit einem Lichtsensor, welcher in dem Reinraum angeordnet ist und elektrisch mit dem Regulator verbunden ist, wobei der Lichtsensor ein Ausgangssignal mit einem Betrag produziert, welcher die Lichtintensität in der Nähe des Lichtsensors darstellt, und wobei der Regulator den Ansteuerstrom in inverser Proportion zu dem Betrag des Ausgangssignals reguliert. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, ferner mit einem programmierbaren Controller, welcher elektrisch zwischen der Energieversorgung und den lichtemittierenden Dioden verbunden ist, wobei der programmierbare Controller den Ansteuerstrom als Funktion der Zeit programmtechnisch regelt. - Beleuchtungsvorrichtung (
10 ) nach Anspruch 1, ferner mit einem programmierbaren Controller, welcher elektrisch zwischen der Energieversorgung und den lichtemittierenden Dioden verbunden ist, wobei der programmierbare Controller den Ansteuerstrom programmtechnisch als Funktion der Zeit regelt, um eine im Wesentlichen konstante Lichtstromausgabe der lichtemittierenden Dioden aufrecht zu erhalten.
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