DE3040916A1

DE3040916A1 - Piezo-ansteuerungseinrichtung fuer thyristoren, triacs und mos-leistungsschalter

Info

Publication number: DE3040916A1
Application number: DE19803040916
Authority: DE
Inventors: Peter Dipl.-Phys. 8000 München Kleinschmidt
Original assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Current assignee: Siemens AG; Siemens Corp
Priority date: 1980-10-30
Filing date: 1980-10-30
Publication date: 1982-05-13
Also published as: DE3040916C2

Description

Piezo-Ansteuerungseinrichtung für Thyristoren, Triacs
und NOS-Leistungsschalter.
zusatz zu Patent . ... ... ( P 30 35 503.4) Jie vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Piezo-Ansteuerungseinrichtung, wie sie im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegeben ist.
In den älteren Patentanmeldungen P 30 35 503.4 (VPA 80 P 7138 DE), P (VPA 80 P 7186 DE) sind Ansteuerungseinrichtungen für Thyristoren, Triacs und für Halbleiter-MOS-Leistungsschalter beschrieben, in denen ein Piezo-Eoppter als ein wesentliches Element vorhanden ist. Dieser Piezo-Koppler ist ein Keramikelement mit einem Eingangselektrodenpaar und einem Ausgangselektrodenpa a r. Das Eingangselektrodenpaar ist mit einer Eingangsesektronik verbunden, von der ein Ansteuersignal geliefert wird. Der Piezo-Koppler überträgt dieses Ansteuersignal unter strikter Einhaltung galranischer Trennung auf den Steuer-Anschluß bzw. die Steuerelektrode des NOS-Leistungsschalters, Thyristors oder Triacs.
Die Übertragung des Steuerimpulses mit Hilfe des Oiezo-Kopplers ist derart, daß eine direkte Ansteuerung dieser nachfolgenden Schalterelemente möglich ist. Dazu ist das auf die Eingangselektroden des Piezo-Kopplers gelangende Steuersignal ein Wechselstromsignal mit einer Frequenz f, die abgestimmt ist auf diejenige Resonanzfrequenz des Piezo-Kopplers, die sich aus der flächen- bestimmenden Längenabmessung des Plättchens des Piezo-Kopplers für einen Schwingungsmode nach dem Prinzip der Radialschwingung ergibt. Das Vorhandensein einer flächenbestimmenden Längenabmessung, die auch frequenzbestimmend ist, beruht darauf, daß das Plättchen eine Form mit einer mehr als zweizähligen Drehsymmetrieachse hat, z.B. eine Kreisscheibe, eine Scheibe mit quadratischer Fläche oder auch sechskantiger Fläche und dergleichen ist.
Das Wechselstromsignal ist in der Eingangselektronik der Ansteuerungseinrichtung zu erzeugen. Es muß eine gewisse Mindestleistung haben, um nach Ubertragung durch den Piezo-Koppler den nachgeschalteten Leistungsschalter, Thyristor oder Triac zuverlässig schalten zu können.
Dabei wird gemäß der technischen Lehre des Hauptpatents von der Eigenschaft-Gebrauch gemacht, daß ein in Resonanz erregtes piezoelektrisches Element seiner mechanischen Schwinggdte entsprechend eine Signaldberhöhung bewirkt.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, Maßnahmen anzugeben, mit deren Hilfe eine stets ausreichende tibereinstimmung von Anregungsfrequenz der Ansteuereinrichtung und Eigenresonanzfrequenz des Piezo-Eopplers, und zwar ohne größeren Aufwand zu treiben, gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird für eine Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach dem Oberbegriff erfindungsgemäß mit den Merkmalen des Kennzeichens des Patentanspruchs 1 gelöst.
Die der vorliegenden Erfindung entsprechende Verbesserung und weitere Ausgestaltung der Erfindung nach dem Hauptpatent beruht auf der Überlegung, daß durch Aus- nutzung des Rückkopplungseffekt 5 eine Vereinfachung der Eingangselektronik erreichbar ist.
Mit der Wechselspannungs-Ansteuerung nach dem Hauptpatent der vorliegenden Erfindung ist allerdings dann ein Nachteil verbunden, wenn tz.B. aus Preisgrunden) nur geringere Tcleransforderungen für Frequenzgenauigkeit und Frequenzkonstanz erfüllt werden können. Für eine weitreichende und mengenmäßig große Anwendung derartiger Piezo-Koppler müssen diese preisgünstig sein, was Zugeständnisse bezüglich Frequenzkonstanz und Frequenzgenauigkeit erfordert. Die damit verbundenen Probleme lassen sich abernadh dem zur vorliegenden Erfindung zunutze gemachten Prinzip lösen, selbsterregten Schwingbetrieb des Piezo-Kopplers vorzusehen. Es ist dazu eine wie erfindungsgemäß vorgesehene speziell dimensionierte, geformte und an ausgewähltem Ort der Oberfläche des Plättchens angebrachte weitere Elektrode als Ruckkopplungselektrode vorgesehen. Wichtig ist es nämlich, und zwar mit einfachsten Mitteln, zu verhindern, daß ein falscher Schwingungsmode des Piezo-Kopplers angeregt wird oder gar während des Betriebs ein Wechsel des Schwingungsmode eintritt. Die weitere Elektrode Stwie im Kennzeichen des Patentanspruchs 1 angegeben streifenförmig und im Bereich einer gnotenlinie einer möglichen störenden Oberschwingung angeordnet. Für diese soweit beschriebenen Maßnahmen der vorliegenden Erfindung genügt es nun, daß die Eingangselektronik lediglich noch einen oder mehrere C-MOS-Inverter und zusätzlich einen in seinem Wert unkritischen Festwiderstand hat. An einem Eingang des Inverters läßt sich dessen Verstärkung derart steuern, daß in einem Zustand minimalerVerstärkung kwtne Erzeugung einer Resonanzschwingung im Piezo-Koppler auftritt und im anderen Zustand eine wie angegebene Verstärkung vorliegt, die zuverlässiges Anachwingen und Weiterschwingen in der geforderten Resonanz gewährleistet.
Weitere Erläuterungen der Erfindung gehen aus der nec' folgenden, anhand der Figuren gegebenen Beschreibung hervor.
Fig.1 zeigt eine Prinzipschaltbild zur orliegenden Erfindung.
Fig.2 zeigt eine Ausführungsform eines bei der Erfindung zu verwendenden Piezo-Kopplers mit Hinweisen auf alternative Ausgestaltungen.
Fig.3 zeigt prinzipielle Formen des Plättchens des Piezo-Kopplers.
Fig1 zeigt ein Schaltbild, das die Eingangselektronik 609, den für die vorliegende Erfindung speziell äusgestalteten Piezo-Koppler 601 und den teistungsscha»lter 610 mit dem im zu steuernden Stromkreis liegenden Lastwiderstand 611 umfaßt. Die Schaltung der Fig.1 enthält in der Eingangselektronik 609 zwei alternative Ausgestaltungen mit dem Widerstand R oder dem Widerstand R.
Der Piezo-Koppler 601 hat wie bei de Erfindung des Hauptpatents einen plättchenförmigen Körper aus piezoelektrischem Material, vorzugsweise Piezokeramik wie Bleizirkonat-Titanat oder dergleichen. Das Eingangselektrodenpaar des Piezo-Kopplers 601 wird durch die Eingangselektrode 13 und iSre Gegenelektrode 13' gaç bildet. Das Ausgangselektrodenpaar besteht (wieder) aus der Elektrode 14 und der ihr zugehörigen begenw elektrode 14'. nie Ausgangselektrode 14 ist mit der Steuerelektrode 5 des elektronischen Schalters 610 verbunden. Ein bestimmungs gemäßes Ausgangssignal, das am Ausgangselektrodenpaar 14, 14' und damit iwischen den AnschlUssen r und t - und zwar unabhängig vom Massepotential - auftritt, schaltet den Schalter 610 und bewirkt Durchgang zwischen den Anschlüssen r und t des Schalters 610, so daß bei anliegender Spannung U der ZU schaltende Strom durch den Lastwiderstend 611 fließt.
Wie bereits im Zusammenhang mit dem Hauptpetent aus führlich beschrieben, bedarf es für riie Erzeugung eines Ausgangssignals am Ausgangselektrodenpaar 14, 14' eines angepaßten Eingangssignals am Eingangselektrodenpaar 13, 13' des Piezo-Kopplers 610. Es ist dies auch hier ein Wechselstrom-Eingangssignal mit einer Frequenz f, die gleich der Resonanzfrequenz des Plättchens des Piezo Kopplers 610 ist, wobei es sich dabei um eine derartige Eigen-Resonanzfrequenz des Plättchens handelt, die durch die flächenbestimmende Längenabmessung desselben gegeben ist und eine Schwingung nach dem Prinzip der Radialschwingung des Plättchens ist. Der Begriff 'Radialschwingung' bedingt damit nicht unbedingt ein kreisrundes Plättchen des Piezo-Kopplers 610, sondern es kann dies auch ein Plättchen in quadratischer Form, regelmäßiger Sechseckform und dergleichen sein, wie dies schon im Hauptpatent ausführlich beschrieben ist.
Das Eingangssignal an dem Eingangselektrodenpaar 13, 13' wird bei der vorliegenden Erfindung von einem Verstärker 681 geliefert, z.B. einem C-NOS-Inverter - CD 4011 (der an sich aus vier integrierten Invertern besteht, die vorteilhafterweise einander parallelgeschaltet verwendet werden. Mit 691 ist der Steuereingang der Eingangselektronik 609, d.h. des Interverters 681, bezeichnet, an dem - wie bereits oben erwärmt - der jeweilige Verstärkungsgrad des Inverters 681 zwischen zwei möglichen Zuständen verändert werden kann.
Mit 513 und 513' sind die Elektroden eines Elektrodenpaares bezeichnet, das sich zusätzlich zu den bereits erwähnten Elektroden auf den beiden gegenüberliegenden Oberflächen des Piezo-Kopplers 610 - wie in der Fig.1 angedeutet - befindet. Wie dies im Zusammenhang mit der speziellen Beschreibung von Ausiührungsformen des Piezo-Kopplers 610 noch näher erläutert wird, tritt am Rückkopplungs-Elektrodenpaar 613 ein Wechselstromsignal auf, das seinen Urs-rung in einer mechanischen Schwingung des piezoelektrischen Plfittchens des Piezo-Kopplers 601 hat, wobei diese mechanische Schwingung durch das Anliegen eines Wechselstromsignals am Eingangselektrodenpaar 13, 13' helTvorgerufen ist. Wie dies für eine Rückkopplungsschaltung üblich und wohlbekannt ist, entsteht ein solcher rückgekoppelter Schwingungsaufbau dann, wenn in dem gebildeten Rü.ckkopplungskreis eine ausreichende Verstärkung vorliegt, wie sie bei der Eingangselektronik 609 mit dem Verstärker 681 gegeben ist. Die alternativ zu verwendenden Widerstände R und K mit der jeweiligen Bemessung R C bzw sorgen dafür, daß in der Rückkopplungsschaltung der Eingangselektronik 609 die für Rückkopplung bei Verwendung des Piezo-Koppl<'rs 601 notwendige jeweilige Phasendrehung vorliegt, unl zwar für die Fälle, daß der Verstärkungselement keine 'hasendrehung hat oder das Verstärker 681 - wie hi r der Inverter 681 1800 Phasendrehung aufweist. In dieser Beziehungen sind die Größe v das Verstärkungsmai3, der Wert C die Kapazität des Eingangselektrodenpaares 13, 13' und der Wert CR die Kapazität des Rückkopplungs-Elektrodenpaares 613, 613' sowie W die Winkelgeschwindigkeit der Resonanzschwingung.
Fig.2 zeigt in den eidt a Daistellungen 2a und 2b die beiden Oberflächenseitei ein und desselben Piezo-Eopplers 601. Die beiden Darstellungen sind so zu verstehen, als wäre das Plättchen des Piezo-Kopplers 601 in seiner Mittelebene eufgespalten und als wären die beiden Hälften so aufgeklappt, daß die beiden in der Darstellung der Fig.2 benachbarten Kanten α ein und dieselbe Seitenkante des Plättchens des Piezo-Kopplers 601 sind. Die Fig.2 zeigt also spiegelsymmetrisch die beiden Ansichten der beiden einander gegenüberliegenden Oberflächen des Plättchens.
Mit 13 ist in Fig. 2a wieder die eine Elektrode des Eingangselektrodenpaares 13, 3' bezeichnet. Die der Elektrode 13 auf der gegenüberliegenden Seitemindestens gleich große, gegenüberliegende Gegenelektrode 13 ist in der Fig.2b zu sehen. Die eine Elektrode des Ausgangselektrodenpaares ist in Fig.2a wieder mit 14 bezeichnet. Die ihr gegenüberliegende Gegenelektrode ist in Fig. mit 14' bezeichnet. Es sei hier der Hinweis vorweggenommen, daß die Elektroden 13 und 13' bei der hier dargestellten Ausgestaltung nicht deckungsgleich sind.
Die weitere, streifenförmige, ouch als RUckkopplungselektrode bezeichnete Elektrode 613 ist in Fig.2a ein Anteil eines Kreisringes mit einem Anschlußstreifen 613*.
Mit dem gestrichelt wiedergegebenen Kreisbogen 622 ist auf die Schwingungsknotenlinie der ersten Oberwelle der radialen Schwingung des hier quadratischen Plättchens601 mit den Seitenlängen a hingewiesen. Wie ersichtlich, erstreckt sich der Streifen der weiteren Elektrode 613 über Flächenanteile des Piezo-Kopplers 601, die im Bereich dieser Schwingungsknotenlinie 622 liegen. Ledlglich der Anteil 613 * liegt erheblich außerhalb der Schwingungsknotenlinie 622. Die weitere Elektrode 613 kann den vollen Kreisring im Bereich entlang der Schwingungsknotenlinie 622 einnehmen. Um jedoch eine Vereinfachung bezüglich einer Verbindung des zentraler Bereiches de. Plättchens mit dem übrigen Anteil der Elektrode 13 zu haben, wird bevorzugt - wie dargestellt - nur ein Anteil des vollen möglichen Kreisringes für die weitere Elektrode 613 genutzt.
Wie durch einen Vergleich der beiden Darstellungen 2a und 2b ersichtlich, liegt im Bereich der Streifenförmigen, einen Kreisbogenanteil bildenden Elektrode 613 der Vorderseite (Fig.2a) ern Flächenanteil der Gegenelektroce 13' gegenüber. Dies entspricht elektrisch einer galvanischen Verbindung der in Fig.1 angedeuteten Gegenelektroden 13 r und 6/3'. Es ist dies eine Vereinfachung, mit der zuverlässig Deckung zwischen Kreisring der weiteren Elektrode 613 und Gegenelektrode 613' (als Anteil der Elektrode 13') erreicht ist.
Mit 622 ist auch in Fig.2b derselbe Kreis der Schwingungsknotenlinie der ersten Oberwelle angedeutet. Für die Grundschwingung der Radialschwingung des Plättchens des Piezo-Kopplers 601 liegt .Im Bereich der Kreislinie 622 erhebliche mechanische Wechselspannung der Grundschwingung vor, so daß zwischen der Elektrode 613 und der Gegenelektrode 1D' ein erheblich starkes REckkopplungssignal abgenommen werden kann. Für das Eingangselektrodenpaar ist im übrigen von der Fläche der Elektrode 13' nur derjenige Flächenanteil als Gegenelektrode wirksam, der deckungsJleich mit der Elektrode 13 der Fig. 2a ist. Nur dieser Flächenanteil bildet die EapazitEt C'.
Die Fig.2 zeigt noch eine weitere Besonderheit gemäß einer erfindungsgemäßen Ausgestaltung, die darin be- steht, daß der Anschlußstreifen 613* der weiteren Elektrode 613 keine Gegenelektrode auf der in der Fig.2b wiedergegebenen Rückseite des Piezo-Kopplers 601 hat, d.h. der mit U kenntlich gemachte Flächenanteil wei.st in Fig.2b keine Elektrodenbelegung auf. Somit kann im Bereich des Anschlußstreifens 613* kein Beitrag zum Rückkopplungssignal der weiteren Elektrode 613 auftreten. Der Vorteil dieser Mcßnshme liegt darin, daß ansonsten in dem gedachten Falle - die Schwingung des Piezo-Eopplers 601 springt in den Schwingungsmode der ersten Oberwelle um - noch ein Restsignal aL einem Anteil eines Elektrodenpaares 613*, auftreten könnte.
Im Falle der Oberischwingung würde nämlich im Bereich des Kreisbogens 613 dieser Rückkopplungselektrode praktisch keinerlei Signal piezoelektrisch erzeugt werden können, nämlich weil dort für diese Oberschwingung ein Schwingungsknoten vorliegt.
Zwischen der weiteren Elektrode 613 mit ihrem Anteil 613* und der Ausgangselektrode 14 auf der einen Seite des Plättchens (Fig. 2a) und gegebenenfalls auch zwischen den Gegenelektroden 13' und 14' und der anderen Seite des Plättchens (Fig. 2b) ist der jeweils für die galvanische Trennung erforderliche Abstand einzuhalten.
Mit 633 und 633' sind die Anschlußfahnen der Elektroden des Eingangselektrodenpaares 13, 13' bezeichnet. Entsprechende Anschlußfahnen für das Ausgangselektrodenpaar sind mit 634 und 634 bezeichnet. Mit 635 ist auf die Anschlußfahne der weiteren Elektrode 613 hingewiesen, und die bereits erwähnte Anschlußfahne 633 ist bei der hier åargestellten speziellen Ausführungsform der zur Anschlußfahne 635 zugehörige zweite Anschluß.
Die Fig.3 zeigt in einer prinzipellen Darstellung, welche Formen für ein Plättchen eines erfindungsgemäßen Piezo-Kopplers 601, nämlich in einer Form mit einer mehr als zweizähligen Drehsymmetrieachse, in Frage kommen. In der Darstellung der Fig.3 sind Elektroden, Anschlußfahnen und dergleichen der Übersichtlichkeit halber weggelassen. Die Abmessung a weist auf die frequenzbestimmende Größe eines wie gestrichelt angegebenen quadratischen Plättchens hin. Der-Größe a entspricht der Durchmesser der mit ausgezogener Linie dargestellten Kreisscheibe. Die Abmessung a als frequenzbestimmende Größe gilt wenigstens weitgehend angenähert auch für das strichpunktiert wiedergegebene Sechseck. Die beiden in der Fig.3 eingetragenen, sich kreuzenden Doppelpfeile weisen auf die Schwingungsform des Radialschwingungsmode der Grundwelle dieses Plättchens hin, und zwar für alle drei angegebenen Umfangsformen.
3 Figuren 9 Patentansprüche Leerseite

Claims

PatentansprEche: 1. Piezo-Ansteuerungseinrichtung für Thyristoren, Triacs und MOS-Leistungsschalter mit galvanischer Entkopplung von Eingangselektronik und Thyristor, Triac bzw. Leistungsschalter; mit einem Piezo-Koppler in Form eines weniger als 0,3 mm dicken Plättchens aus piezokeramischem Material, auf dessen einer Oberfläche wenigstens zwei Elektroden und auf dessen gegenüberliegender Oberfläche wenigstens zwei weitere Gegenelektroden angeordnet sind, wobei Jeweils eine Elektrode und ihre gegenüberliegende Gegenelektrode ein Elektrodenpaar bilden, wobei ein Elektrodenpaar als Eingangselektrodenpaar mit der Eingangselektronik verbunden ist und daß eine Elektrode eines Ausgangselektrodenpaares mit der Steuerelektrode eines Thyristors, Triacs oder MOS-Leistungsschalters verbunden ist, wobei die Elektroden des Eingangselektrodenpaares einen für die galvanische Entkopplung ausreichenden elektrischen Isolationswiderstand von den Elektroden des Ausgangselektrodenpaares haben, und wobei mit der jeweiligen Elektrode verbundene Anschluß-Zuleitungen an dem Plättchen angebracht sind, wobei von der Eingangselektronik ein Wechselstromsignal an das Eingangselektrodenpaar gegeben wird, und wobei die Frequenz f dieses Wechselstromsignals und eine durch die flächenbestimmende Längenabmessung gegebene Resonanzfrequenz des Plättchens auf einen Wert zwischen 20 kHz und 500 kHz für einen Schwingungsmode nach dem Prinzip der Radialschwingung aufeinander abgestimmt sind, nach Hauptpatent (P 30 35 503.4) g e k e n n z e i c h n e t dadurch, daß auf der einen Oberfläche des Plättchens des Piezo-Kopplers (601) noch eine weitere, im we.3entlichen streifenförmige Elektrode (615) mit einer Gegenelektrode (6135) auf der gegenüberliegenden Oberfläche des Plättchens vorgesehen ist; daß sich diese weitere Elektrode (613) weitgehend in einem Bereich des Plättchens befindet, in dem die Schwingungsknotenlinie (622) der mechanischen Spannung des zum bestimmungsgemäßen Schwingungsmoduls nächsthöheren Radialschwingungsmode vorliegt; daß das an das Eingangselektrodenpaar (13, 13') gelangende Wechselstromsignal ein solches Signal ist, das vom Signal dieser weiteren Elektrode (613) und ihrer Gegenelektrode (613') abeleitet ist; und daß die Eingangselektronik (609) einen Verstärker (681) mit einer- Spannungsverstärkung >1 und mit einer Strocaverstärkung >n enthält, wobei n das VerhältIxis wischen dem Maß der Oberfläche des wirksamen Anteils des Eingangselektrodenpaares (13, 13') und dem Maß der wirksamen Elektrodenfläche (613) der weiteren Elektrode ist, und wobei die Verstärkl-lag (v) an einem Eingang (691) des Verstärkers (681) steue: bar ist und die Eingangselektronik (609) insgesamt eine Phasendrehung von 900 zwischen dem Signal am Eingangselektrodenpaar (13, 13') und dem an der weiteren Elektrode (613) hat.
2. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach Anspruch 1, g ek e n n z e i c h n e t dadurch, daß die Gegenelektrode (613') der weiteren Elektrode ein zusätzlicher, integraler Anteil der Gegenelektrode (13) des Eingangselektro denpaares (13, 13') ist.
3. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach Anspruch 1 oder 2, g e k e n n z e i c h n e t dadurch, daß su demjenigen Anteil der weiteren Elektrode (613), der im wesentlichen außerhalb des Bereichs der Schwingungsknotenlinie (622) der Oberwelle liegt, die Gegenelektrode (613') auf der gegenüberliegenden Oberfläche des Plättchens wenigstens weitgehend weggelassen ist.
4. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach Anspruch 1, 2 oder 3, g e k e n n z e i c h n e t dadurch, daß diese weitere Elektrode 613) ;iuf der Oberfläche des Plättchens in einem Bereich vorgesehen ist, der zwischen den auf dieser Oberfläche befindlichen Elektroden (13, 14) von Eingangselektrodenpaar und Ausgangselektrodenpaar liegt, wobei diese weitere Elektrode (613) den erforderlichen Isolationsabstand zur auf dieser Oberfläche benachbarten Elektrode (14) des Ausgangselektrodenpaares (14, 14') hat.
5. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, g e k e n n z e i c h n e t dadurch, daß das Plättchen des Piezo-Kopplers (601) quadratische Umfangsform mit der frequenzbestimmenden Seitenlänge (a) hat.
6. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, g e k e n n z e i c h n e t dadurch, daß die weitere Elektrode (613) die Form wenigstens eines Anteils eines, bezogen auf das Plättchen, axialen Kreisringes hat, dessen mittlerer Durchmesser etwa 1/2 mal so groß wie die frequenzbestimmende Abmessung (a) des Plättchens ist.
7. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, g e k e n n z e i c h n,e t dadurch, daß die zusätzliche Phasendrehung durch einen vorhazdenen Widerstand erzeugt ist, dessen Widerstandswert R kleiner g ist, der mit seinem einen Anschluß mit der weiteren Elektrode (613) und mit seinem anderen Anschluß mit der dieser weiteren Elektrode (613) zugehörigen Gegenelektrode (613') verbunden ist, wobei der Verstärker keine Phasendrehung hat.
8. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, g e k e n n z e i c h n e t dadurch, daß für die zusätzliche Phasendrehung der Verstärker eine Phasendrehung von 1800 hat und ein Widerstand mit einem Widerstandswert von §fifi ist, und dessen einer Anschluß mit dem Ausgang des Verstärkers und dessen anderer Anschluß mit der weiteren Elektrode verbunden ist, wobei v die Spannungsverstärkung des mit dem Piezo-Koppler belasteten Verstärkers ist.
9. Piezo-Ansteuerungseinrichtung nach Anspruch 8, g ek e n n z e i c h n e t aadurch, daß der Verstärker wenigstens ein C-MOS-Gatter ist.