DE4440843A1 - Hand-Infrarotsonde - Google Patents
Hand-InfrarotsondeInfo
- Publication number
- DE4440843A1 DE4440843A1 DE4440843A DE4440843A DE4440843A1 DE 4440843 A1 DE4440843 A1 DE 4440843A1 DE 4440843 A DE4440843 A DE 4440843A DE 4440843 A DE4440843 A DE 4440843A DE 4440843 A1 DE4440843 A1 DE 4440843A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- probe
- sensor
- optics
- probe according
- detector arrangement
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0205—Mechanical elements; Supports for optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0265—Handheld, portable
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/0275—Control or determination of height or distance or angle information for sensors or receivers
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/06—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity
- G01J5/061—Arrangements for eliminating effects of disturbing radiation; Arrangements for compensating changes in sensitivity by controlling the temperature of the apparatus or parts thereof, e.g. using cooling means or thermostats
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/07—Arrangements for adjusting the solid angle of collected radiation, e.g. adjusting or orienting field of view, tracking position or encoding angular position
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0806—Focusing or collimating elements, e.g. lenses or concave mirrors
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0813—Planar mirrors; Parallel phase plates
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0818—Waveguides
- G01J5/0821—Optical fibres
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/084—Adjustable or slidable
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0859—Sighting arrangements, e.g. cameras
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
- H04N23/20—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only
- H04N23/23—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof for generating image signals from infrared radiation only from thermal infrared radiation
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N3/00—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
- H04N3/02—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by optical-mechanical means only
- H04N3/08—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by optical-mechanical means only having a moving reflector
- H04N3/09—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by optical-mechanical means only having a moving reflector for electromagnetic radiation in the invisible region, e.g. infrared
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/046—Materials; Selection of thermal materials
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/04—Casings
- G01J5/047—Mobile mounting; Scanning arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft allgemein bildgebende Infrarotsensoren
und speziell betrifft sie Hand-Infrarotsensoren.
Infrarotsensoren (IR-Sensoren) sind bekannt. Eingesetzt werden
sie für die Wärmebilderzeugung und häufig findet man sie in
Verbindung mit Bauelementen, die eine Nachtsichtmöglichkeit
benötigen. Es gibt zwei Haupttypen von IR-Sensoren, nämlich
lineare Arrays, die eine Abtastung erforderlich machen, um
ein Bild zu erzeugen, und zweidimensionale Arrays, häufig
auch als "staring" arrays bezeichnet.
IR-Sensoren arbeiten in extremer Kälte und befinden sich
daher typischerweise in einer Detektor-Dewar-Kühlanlage
(DDC-Anlage), gebildet durch ein Dewar-Gefäß, in welchem
sich ein Kaltfinger befindet. Im Inneren des Kaltfingers
befindet sich ein Kryostat, der mittels unter hohem Druck
stehenden Gases eine Joule-Thomson- oder andere kryogene
Kühlung bewirkt. Der IR-Detektor oder -Sensor ist am Ende
des Kaltfingers angeordnet.
Die IR-Sensoren und deren DDC-Einrichtungen sind entweder
stationär, oder sie befinden sich an ortsfesten Stellen
auf beweglichen Bühnen.
Ziel der vorliegenden Erfindung ist es, eine Handsonde
zum Erzeugen von Wärmebildern anzugeben. Bei dem Bild kann
es sich um das Bild eines Körpers handeln, der in einer
fixen Entfernung nahe bei dem Sensor angeordnet ist, oder
es kann sich um Objekte in einer Entfernung von dem Sensor
handeln. Die Sonde kann auch Teil eines Abbildungssystems
sein.
Bei einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung enthält die Sonde ein in der Hand tragbares Gehäuse,
eine Detektoranordnung innerhalb des Gehäuses und einen IR-
Sensor, der an dem Kaltfinger der Detektoranordnung gelagert
ist.
Gemäß einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung
enthält die Sonde zusätzlich ein optisches System (nachstehend
kurz: Optik) in bekannter Entfernung von dem Sensor, und ein
Distanzrohr, welches den Abstand zwischen dem Körper und der
Optik definiert. Das Distanzrohr gewährleistet, daß der Körper,
dessen Wärmebild gelesen werden soll, sich stets in der Objekt
ebene der Sonde befindet oder dieser zumindest sehr nahekommt.
Das Distanzrohr wird typischerweise aus einem Material ge
bildet, welches minimale wärmebedingte Deformation aufweist
und Streu-IR-Strahlung minimieren kann.
Gemäß einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Er
findung ist der IR-Sensor ein zweidimensionaler IR-Sensor.
Alternativ ist der IR-Sensor ein lineares Feld. In einer
weiteren alternativen Ausführungsform ist der IR-Sensor ein
lineares Feld und die Sonde enthält ein vorderseitiges optisches
System zum kollimieren von Licht aus einem Gesichtsfeld, und
einen Abtaster zum Abtasten des Gesichtsfeldes über dem
linearen Feld. Das optische System befindet sich zwischen
dem IR-Sensor und dem Abtaster.
Erfindungsgemäß sind dem Distanzrohr abnehmbare Endbefestigungen
zugeordnet. Eine Endbefestigung ermöglicht die Betrachtung
unter einem Winkel zu der Achse des Rohres. Eine andere End
befestigung ermöglicht das Betrachten von Objekten aus einer
Entfernung. Eine weitere Endbefestigung ermöglicht es, einen
Körper zu betrachten, der sich parallel zu einer optischen
Achse des Distanzrohres befindet. Die Befestigung kann einen
lösbaren Spiegel aufweisen.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung enthält die Detektoranordnung ein Kryostat mit
einem Rohr, durch welches unter Druck stehendes Gas strömt.
Eine Hochdruck-Speiseleitung, welche das unter Druck stehende
Gas zu dem Kryostat führt, ist spulenförmig ausgebildet,
so daß es flexibel bewegbar ist.
Darüberhinaus enthält gemäß einer bevorzugten Ausführungs
form der vorliegenden Erfindung die Sonde eine Bildschärfungs
einrichtung. Diese Einrichtung beinhaltet eine Vorrichtung zum
Bewegen der Optik, damit das Bild schärfer eingestellt wird,
und eine Verarbeitungseinrichtung zum Steuern der Bewegungs
einrichtung als Funktion des räumlichen Hochfrequenzanteils
eines empfangenen Bildes. Alternativ kann die Bildschärfung
manuell erfolgen.
Die Bewegungseinrichtung ist in einer Ausführungsform ein
Motor in Verbindung mit einem Ritzel, angebracht an einem
Gehäuse der Optik. In einer anderen Ausführungsform ist
die Bewegungseinrichtung der Optik ein Stator in Verbindung
mit einem Rotor, der an dem Gehäuse der Optik befestigt ist.
Schließlich wird ein IR-Sondensystem mit einer Hand-Sonde,
einem ortsfesten Detektor und einem optischen Faserkabel
geschaffen. Die Hand-Sonde nimmt eine Linie eines Bildes
auf, die ortsfeste Detektoranordnung detektiert die Bild
linie, und das optische Faserkabel verbindet die Sonde mit
der Detektoranordnung. Die Hand-Sonde wird im folgenden
näher beschrieben. Die Detektoranordnung hat den oben
beschriebenen Aufbau, mit der Ausnahme, daß der IR-Sensor
und ein Austrittsende des optischen Faserkabels sich in
der Bild- bzw. in der Objektebene der Optik der Hand-Sonde
befindet.
Im folgenden werden Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand
der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Sonden
systems, aufgebaut und betrieben gemäß
einer bevorzugten Ausführungsform der Er
findung,
Fig. 2A und 2B schematische Darstellungen eines Teils
des Systems nach Fig. 1, wobei zwei Aus
führungsformen eines Bildschärfungssystems
dargestellt sind;
Fig. 3A eine schematische Darstellung einer End
befestigung für die Sonde nach Fig. 1,
die es ermöglicht, daß die Sonde einen
Körper unter einem Winkel bezüglich der Hauptachse
der Sonde betrachtet,
Fig. 3B eine schematische Darstellung einer Endbefestigung
für die Sonde nach Fig. 1, die es der Sonde er
möglicht, Objekte in einer Entfernung von der Sonde
zu betrachten,
Fig. 4A eine schematische Darstellung eines alternativen
Sondensystems, aufgebaut und betrieben gemäß einer
zweiten Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 4B eine schematische Darstellung einer Hand-Sonde als
Teil des Sondensystems nach Fig. 4A,
Fig. 4C eine schematische Darstellung einer Detektoranordnung
als Teil des Sondensystems nach Fig. 4A, und
Fig. 5 eine schematische Darstellung einer Hand-Sonde für
Abtastbetrieb, aufgebaut und betrieben gemäß einer
dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Es wird nun auf Fig. 1, 2A, 2B, 3A und 3B Bezug genommen,
die das erfindungsgemäße Sondensystem veranschaulichen. Das
Sondensystem enthält typischerweise eine Sonde 10, eine
Hochdruckgasquelle 12, beispielsweise in Form eines Tanks oder
eines Kompressors, einen Videoprozessor 14 und einen Monitor
16. Die Sonde 10 liefert Wärmebilder eines Abschnittes 18
eines Körpers 20 an den Videoprozessor 14, welcher die
Bilder umsetzt in eine Darstellungsform, die auf dem Monitor
16 angezeigt werden kann.
Die Sonde 10 enthält typischerweise einen Handgriff 22, eine
Detektoranordnung 24 innerhalb des Handgriffs, einen zwei
dimensionalen IR-Sensor 26, eine Optik 28 in fester Ent
fernung von dem Sensor, und ein Distanzrohr 30, welches
den Abstand zwischen dem Körper 20 und dem optischen System
28 definiert.
Die Detektoranordnung 24 enthält typischerweise einen Kalt
finger 32, an dem der IR-Sensor 26 angeordnet ist, ein
Dewarsches Gefäß 34, welches den Kaltfinger 32 umgibt und
ein Fenster 36, und ein Kryostat 38, welches aus einer
Rohrschlange gebildet ist, durch die unter hohem Druck ste
hendes Gas strömt.
Eine geeignete Detektoranordnung 24, deren Dewar-Gefäß 34
klein genug ist, um in den Handgriff 22 zu passen, ist ein
Joule-Thomson-Minikühler. Um ihn in einer bekannten Lage im
Inneren der Sonde 10 zu halten, ist er typischerweise mit
dem Handgriff 22 verbunden. Der Handgriff 22 besitzt typischer
weise auch eine Entlüftung 23, durch die gekühltes Gas in
die Atmosphäre abgelassen wird.
Der Kryostat 38 ist innerhalb des Kaltfingers eng gewickelt,
um dadurch die maximale Kühlung zu erreichen. Der Kryostat
ist mit einer Speiseleitung 40 verbunden, die erfindungsgemäß
lose gewendelt ist, um Flexibilität zu erhalten, wenn der
Bediener die Sonde 10 hin- und herbewegt.
Der IR-Sensor 26 kann irgendein IR-Sensor sein, der sich
innerhalb der kleinen Detektoranordnung 24 unterbringen läßt.
Beispielsweise kann der IR-Sensor 26 das IHA 128-Chip sein,
weiches von der Firma Cincinnati Electronics Corporation of
Mason, Ohio, USA, hergestellt wird. Alternativ kann es sich
auch um das Chip und die Elektronik der IRC 160-Kamera
handeln, ebenfalls hergestellt von der Cincinnati Electronics
Corporation, wobei diese Teile dann den IR-Sensor 26 und
den Videoprozessor 14 bilden. Der Monitor 16 kann irgendein
geeigneter Fernsehmonitor sein.
Das Verbinden der Detektoranordnung 24 mit dem Handgriff 22
gewährleistet, daß die Lage des IR-Sensors innerhalb des
Handgriffs 22 fixiert ist, und außerdem fixiert es bezüglich
der Optik 28. Das Distanzrohr 30 stellt sicher, daß der
Körper 20 sich grundsätzlich in einer festen Entfernung
bezüglich der Optik 28 befindet. Die Lage des Körpers 20,
die der Optik 28 und die des IR-Sensors 26 sind derart
gewählt, daß der Körper 20 sich in der Objektebene und
der IR-Sensor sich in der Bildebene, und nicht in der
Brennebene, der Optik 28 befinden. Die Linien 42 beschreiben
den Strahlenbereich von dem Abschnitt 18 des Körpers 20
zu dem IR-Sensor 26. Ein Kälteschutz 44 ist typischerweise
an dem Kaltfinger 32 befestigt, um sicherzustellen, daß
nur die gewünschten Strahlen den IR-Sensor 26 erreichen.
Die Optik 28 kann auch aus irgendwelchen geeigneten optischen
Elementen bestehen, die den Bildabschnitt 18 auf den IR-
Sensor 26 abbilden. In den Fig. 1, 2A und 2B sind eine
Positiv-Linse 46 und eine Negativ-Linse 48 typischerweise
aus einem IR-durchlässigen Material wie Germanium, Silicium,
ZnS oder ZnSe hergestellt.
Das Distanzrohr 30 enthält typischerweise ein Rohr 41 und
eine Endbebestigung 43. Bei der Ausführungsform nach Fig.
1 handelt es sich bei der Endbefestigung schlicht um eine
Rohrverlängerung. Bei anderen Ausführungsformen, die im
Detail anhand der Fig. 3A und 3B beschrieben werden,
ändert die Endbefestigung die Lage des betrachteten Körpers.
Der Befestigungsmechanismus kann irgendein geeigneter Mecha
nismus sein. Dargestellt ist ein eingelassener Ring 45 am
Rohr 41 und entsprechende vorstehende Ringe 47 an dem
Vorsatz 43.
Sowohl das Rohr 41 als auch der endseitige Vorsatz 43 sind
typischerweise aus irgendeinem eine Reihe möglicher Materialien
gebildet, die minimale wärmebedingte Verformung aufweisen und
im Stande sind, Streu-IR-Strahlung von den Wänden des Rohrs
41 und des Vorsatzes 43 zu minimieren. Man sieht, daß eine
mögliche wärmebedingte Verformung die Länge des Distanzrohres
30 ändern kann und deshalb reduziert oder ganz beseitigt
werden muß. Möglich Stoffe für das Rohr 30 sind Kovar- oder
Invar-Stahl, Kunststoff und metallisierte Kunststoffe. Da
rüberhinaus ist das Distanzrohr 30 zur Atmosphäre hin offen,
so daß die Temperatur des abzubildenden Abschnittes 18
nicht beeinflußt wird durch den Kontakt mit dem Distanzrohr
30.
Die Bedienungsperson bewegt die Sonde 10 über den Körper 20,
und es werden kontinuierlich Bilder erzeugt, die auf dem
Monitor 16 dargestellt werden, und die kontinuierlich auf
einem Videoband aufgezeichnet werden können. Auf Wunsch wird
das Bild eines speziellen Bereichs des Körpers 20 gespeichert,
wozu die Bedienungsperson einen Vollbild-Aufnahmeknopf 50
betätigt, der beim Niederdrücken dem Monitor 16 signalisiert,
das gerade dargestellte Bild auf einem geeigneten Speicher
medium abzuspeichern.
Der Körper 20 kann ein Metallteil, eine elektronische Schal
tungsplatine, ein Maschinenelement, einen Teil des mensch
lichen Körpers oder irgendeine andere Fläche sein, von der
ein Wärmebild herzustellen ist. Handelt es sich um einen
menschlichen Körper, so besteht die Möglichkeit, daß die
Sonde 10 etwas in die Haut der Person eingedrückt wird, um
dadurch geringfügig die Lage der Objektebene bezüglich der
Optik 28 zu ändern. Deshalb besitzt die Optik 28 typischer
weise auch ein Bildscharfeinstellsystem.
Fig. 2A und 2B zeigen zwei alternative Bildschärfungs
systeme, die beide die Lage der Linsen 46 und 48 in Bezug
auf den IR-Sensor 26 und den Körper 20 ändern. Bei beiden
Systemen befinden sich die Linsen 46 und 48 im Inneren
eines Objektivgehäuses 52 mit Schraubgewinden 53, während
der Handgriff 22 mit einem dazu passenden Schraubgewinde
54 im Bereich des Objektivgehäuses 52 ausgestattet ist.
Schraubgewinde 54 können als Differentialanordnung ausgebildet
sein, um eine feinere Einstellung zu ermöglichen.
Bei dem System nach Fig. 2A dreht ein Motor 55 ein Ritzel
56, welches an dem Objektivgehäuse 52 angreift und bewirkt,
daß das Objektivgehäuse 52 sich dreht und sich entlang der x-
Achse verlagert. Eine vorgespannte Feder 57 hält das Objektiv
gehäuse 52 in einer ausgewählten Stellung.
Bei dem System nach Fig. 2B sind der Motor und das Ritzel
ersetzt durch ein Direktantriebssystem, gebildet durch eine
Statorwicklung 58 und einen aus Permanentmagneten gebildeten
Rotor 59. Die Einspeisung von Strom in den Stator 58 ver
anlaßt den Rotor 59 zum Drehen, mit der Folge, daß sich
das Objektivgehäuse 52 dreht und sich dabei in X-Richtung
verlagert.
Bei beiden Systemen werden die Befehle an die Bildschärfungs
systeme von einem Bildschärfungsprozessor 60 (Fig. 1) emp
fangen, welche die von dem IR-Sensor 26 erhaltenen Bilder ana
lysiert. Typischerweise führt der Prozessor 60 eine Hoch
raumfrequente Demodulation durch und signalisiert dem Bild
schärfungssystem, die Linsen 46 und 48 solange zu verlagern,
bis die Stellung mit der größten Schärfe erreicht ist, also
eine Stellung, bei der das erzeugte Bild die größte Anzahl
hochfrequenter Elemente enthält. Alternativ kann die Scharf
einstellung auch von Hand vorgenommen werden.
Man beachte, daß die in Fig. 1 dargestellte Sonde 10 die
Oberfläche eines Körpers 20 abtastet, wobei diese Fläche
grundsätzlich etwa senkrecht zu einer optischen Achse 66
der Sonde 10 verläuft. Für solche Flächen, die parallel zu
der Achse 66 verlaufen, beispielsweise die Fläche 68 in
Fig. 3A, läßt sich ein Vorsatz 70 verwenden. Der Vorsatz
70 (Fig. 3A) enthält typischerweise ein abnehmbares Gehäuse
72 mit einem darin angeordneten Spiegel 74, der bezüglich
der Achse 66 einen Winkel von 45° definiert. Der Spiegel
74 ist derart gelegen, daß der optische Weg von der Ober
fläche 68 zu dem optischen System 28 demjenigen von dem
Körper 20 zu dem optischen System 28 äquivalent ist.
Es können auch andere Vorsätze verwendet werden. Zum Beispiel
ermöglicht es der in Fig. 3B dargestellte Vorsatz 73, daß
die Sonde 10 Objekte aus einer Entfernung betrachtet. Der
Vorsatz 73 enthält typischerweise eine Positiv-Linse 74 und
eine Negativ-Linse 76.
Es wird nun Bezug genommen auf die Fig. 4A, 4B und 4C,
die eine alternative Ausführungsform der Erfindung für einen
linearen (eindimensionalen) IR-Sensor zeigen. Fig. 4A zeigt
das Sondensystem nach der alternativen Ausführungsform. Es
enthält eine Hand-Sonde 100, eine Detektoranordnung 102,
die aus der Sonde 100 herausgezogen ist, und einen Prozessor 104.
Fig. 4B zeigt im einzelnen die Elemente der Sonde 100
und Fig. 4C zeigt im einzelnen die Elemente der Detektor
anordnung 102.
Bei dem Sondensystem nach Fig. 4A ist die Hand-Sonde 100
beweglich, während die Detektoranordnung 102 und der Pro
zessor 104 ortsfest sind. Die Hand-Sonde 100 arbeitet so,
daß sie das Gesichtsfeld jeweils mit einer Zeile des Bildes
pro Zeiteinheit abtastet und jede Zeile der Detektoranord
nung 102 über optische Faserkabel 106 zuführt. Die Detektor
anordnung 102 setzt die Lichtstrahlen um in Datensignale
für jede Zeile des Gesichtsfeldes. Der Prozessor 104, der
typischerweise einen Videoprozessor 108 und einen Monitor
110, ähnlich dem Prozessor 14 und dem Monitor 16, aufweist,
bringt das erhaltene Bild zur Anzeige.
Wie am besten aus Fig. 4B ersichtlich ist, enthält die
Hand-Sonde 100 typischerweise ein Gehäuse 120 aus einem
Handgriff 122 und einem Rohrstück 124. An dem Rohrstück
124 ist irgendeines der Vorsatzteile 43, 70 und 72 befestig
bar, wie sie oben beschrieben wurden.
Die Hand-Sonde 100 enthält zusätzlich eine vorderseitige
Optik 150, einen Abtaster 152 und eine rückseitige Optik
154. Die vorderseitige Optik 150 empfängt das IR-Licht von
einer interessierenden Zone innerhalb der Objektebene 126
und kollimiert den Lichtstrahl. Der Abtaster 152, beispiels
weise ein Galvanometer-Abtaster, führt eine Abtastung über
das empfangene Licht durch und lenkt eine Zeile von dem
Licht auf die hintere Optik 154. Der Abtaster 152 tastet
die interessierende Zone dadurch ab, daß er um eine Achse
151 in Pfeilrichtung 153 verschwenkt wird.
Die rückseitige Optik 154 fokussiert das empfangene Licht
auf ein Eintrittsende 156 des optischen Faserkabels 106.
Die Innenfläche 158 des Handgriffs 122 ist typischerweise
mit einer schwach emittierenden Beschichtung überzogen,
welche sicherstellen soll, daß der größte Teil des IR-Lichtes
auf das Eintrittsende 156 gelangt.
Die Detektoranordnung 102 (Fig. 4C) enthält typischerweise
ein optisches Detektorsystem 160 und eine Detektoranordnung
162. Die Detektoranordnung 162 bewegt typischerweise eine
Joule-Thomson-Kühlung und enthält einen Kaltfinger 164,
an dem ein linearer IR-Sensor 166 gelagert ist, ein Dewar-
Gefäß 168, welches den Kaltfinger 164 umgibt und ein Fenster
170 aufweist, einen durch ein Kryostat 172 gebildeten Wärme
tauscher, eine Kälteabschirmung 176 (Fig. 4C) und eine
Entlüftung 177.
Der Kryostat 172 ist innerhalb des Kaltfingers eng gewendelt,
um dadurch maximale Kühlung zu erreichen. Der IR-Sensor 166
kann irgendein geeigneter linearer IR-Sensor sein, beispiels
weise aus der IHL-Serie der Firma Cincinnati Electronics
Corporation, deren Geräte mit dem ABC-A-Videoprozessor zusammen
arbeiten. Die anderen Elemente sind ähnlich den in Verbindung
mit den oben beschriebenen Ausführungsformen beschriebenen
Elementen.
Das optische Detektorsystem 160 arbeitet typischerweise so,
daß es von einem Austrittsende 180 des optischen Faserkabels
106 austretendes IR-Licht aufnimmt und dieses auf den IR-
Sensor 166 abbildet. Wie beim oben beschriebenen Ausführungs
beispiel befindet sich der IR-Sensor 166 in der Bildebene
anstatt in der Brennebene des optischen Detektorsystems 160.
Fig. 5 zeigt eine weitere alternative Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Sonde, die ebenfalls mit einem linearen
IR-Sensor arbeitet, bei der allerdings die Detektoranordnung
sich innerhalb des Sondengehäuses befindet.
Die mit 200 bezeichnete Sonde enthält die optischen Elemente
der Sonde 100 (Fig. 4B) und der Detektoranordnung 24 der
Sonde 10 (Fig. 1). Somit enthält die Sonde 200 eine vorder
seitige Optik 150, einen Abtaster 152 und eine rückseitige
Optik 154. Letztere fokussiert das kollimierte Licht auf die
Detektoranordnung 24, im Gegensatz zur vorhergehenden Aus
führungsform, bei der sie das kollimierte Licht auf das
Eintrittsende 156 der optischen Fasern kollimiert.
Die Sonde 200 besitzt typischerweise ein Gehäuse 202, welches
aus einem Handgriff 204 und einem Rohrstück 206 besteht. Das
Rohrstück 206 ist ähnlich dem Rohrstück 124. Der Handgriff
204 ist dem Handgriff 122 ähnlich, ist jedoch etwas länger
ausgebildet, damit er die Detektoranordnung 24 aufzunehmen
vermag.
Claims (27)
1. Hand-Infrarot-(IR-)Sonde zur Abbildung der Temperatur eines
Körpers, umfassend:
- - ein von Hand tragbares Gehäuse,
- - eine Detektoranordnung mit einem Kaltfinger, der inner halb des Gehäuses befestigt ist,
- - einen an einem kalten Ende des Kaltfingers befestigten IR-Sensor,
- - eine Optik, die sich in einer bekannten Entfernung von dem IR-Sensor befindet,
- - ein Distanzrohr vorbestimmter Länge zum Positionieren des Körpers an einer zumindest ungefähr bekannten Stelle bezüglich der Optik,
wobei der IR-Sensor und der Körper sich in der Bild- bzw.
Objektebene der Optik befinden.
2. Sonde nach Anspruch 1, umfassend
eine gewendelte Hochdruckgas-Zuführleitung, über die Hoch
druckgas der Detektoranordnung zuführbar ist.
3. Sonde nach Anspruch 1 oder 2,
bei der das Distanzrohr aus einem Material hergestellt
ist, welches minimale thermische Verformung aufweist und
im Stande ist, Streu-IR-Strahlung zu minimieren.
4. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 3,
bei der das Distanzrohr aus einem festen Rohr und einem
von dem festen Rohr abnebmbaren Aufsatzteil gebildet ist.
5. Sonde nach Anspruch 4,
mit einer optischen Achse, die parallel zu einer Achse
des Distanzrohres verläuft,
gekennzeichnet durch
ein Vorsatzteil zum Betrachten eines Körpers, der parallel
zu der optischen Achse angeordnet ist.
6. Sonde nach Anspruch 5,
bei der der Vorsatz einen abnehmbaren Spiegel aufweist.
7. Sonde nach Anspruch 4,
bei der das Vorsatzteil einen Vorsatz zum Betrachten von
Objekten aus der Entfernung aufweist.
8. Sonde nach einem der Ansprüche 1 bis 7,
bei der der IR-Sensor ein zweidimensionaler IR-Sensor ist.
9. Sonde nach Anspruch 1,
bei der der IR-Sensor ein eindimensionaler IR-Sensor ist,
wobei die Sonde zusätzlich eine vorderseitige Optik zum
Kollimieren von Licht aus dem Gesichtsfeld, einen Abtaster
zum Abtasten einer Zeile des Gesichtsfeldes auf den ein
dimensionalen IR-Sensor aufweist und wobei die Optik in
einer bekannten Entfernung von dem IR-Sensor zwischen dem
Abtaster und dem IR-Sensor angeordnet ist.
10. Sonde nach Anspruch 1,
umfassend ein Bildscharfeinstellsystem.
11. Sonde nach Anspruch 10,
bei der das Bildscharfeinstellsystem eine Einrichtung zum
Bewegen der Optik und eine Verarbeitungseinrichtung zum
Steuern der Bewegungseinrichtung auf der Grundlage des
räumlichen hochfrequenten Teils eines empfangenen Bildes
aufweist.
12. Sonde nach Anspruch 11,
bei der die Optik sich innerhalb eines Optikgehäuses
befindet, wobei die Bewegungseinrichtung einen Motor und
ein an dem Optikgehäuse angreifendes Ritzel aufweist.
13. Sonde nach Anspruch 11,
bei der die Optik sich innerhalb eines Optikgehäuses
befindet, wobei die Bewegungseinrichtung einen Stator
und einen Rotor aufweist, von denen der Rotor an dem
Optikgehäuse angebracht ist.
14. Hand-Infrarot-(IR-)Sonde zum Abbilden der Temperatur
eines Körpers, umfassend:
- - ein von Hand tragbares Gehäuse,
- - eine Detektoranordnung mit einem innerhalb des Gehäuses befestigten Kaltfinger, und
- - einen IR-Sensor, der an einem kalten Ende des Kaltfingers befestigt ist.
15. Sonde nach Anspruch 14,
gekennzeichnet durch
eine gewendelte Hochdruckgas-Versorgungsleitung, über die
der Detektoranordnung Hochdruckgas zugeführt wird.
16. Sonde nach Anspruch 14,
bei der der IR-Sensor ein zweidimensionaler Sensor ist.
17. Hand-Infrarot-(IR-)Sondensystem zum Abbilden der Temperatur
eines Körpers, umfassend:
- - eine von Hand gehaltene Sonde zum Aufnehmen einer Zeile eines Bildes,
- - eine stationäre Detektoranordnung zum Erfassen der Bildzeile,
- - ein optisches Faserkabel, welches die Sonde mit der Detektoranordnung verbindet, wobei die Sonde aufweist
- - eine Optik, und
- - ein Distanzrohr vorbestimmter Länge zum Positionieren des Körpers an einer zumindest in etwa bekannten Stelle bezüglich der Optik, wobei das Distanzrohr an demjenigen Ende offen ist, welches an dem Körper zur Anlage kommt.
18. System nach Anspruch 17,
bei dem die Detektoranordnung aufweist:
- - eine Detektoranordnung mit einem Kaltfinger,
- - einen linearen IR-Sensor, welcher an einem kalten Ende des Kaltfingers befestigt ist,
- - ein optisches System, welches in einem zumindest in etwa bekannten Abstand von dem IR-Sensor angeordnet ist,
wobei der IR-Sensor und ein Austrittsende des optischen
Faserkabels in der Bildebene bzw. der Objektebene der
Optik angeordnet sind.
19. System nach Anspruch 17,
bei dem die Hand-Sonde einen Abtaster zum Abtasten
einer interessierenden Zone und zur Lieferung einer
Zeile der interessierenden Zone aufweist.
20. Sonde nach Anspruch 17,
umfassend eine gewendelte Hochdruckgas-Versorgungsleitung,
die der Detektoranordnung Hochdruckgas zuführt.
21. Sonde nach Anspruch 17,
bei der das Distanzrohr aus einem Material hergestellt ist,
welches minimale thermische Verformung aufweist und dazu
dient, Streu-IR-Strahlung zu minimieren.
22. Sonde nach Anspruch 17,
bei der das Distanzrohr aus einem festen Rohrteil und einem
Vorsatzteil besteht, welches an dem festen Rohrteil lösbar
angebracht ist.
23. Sonde nach Anspruch 22,
bei der eine optische Achse parallel zu einer Achse des
Distanzrohres verläuft, umfassend ein Vorsatzteil zum
Betrachten des Körpers, der sich parallel zu der optischen
Achse befindet.
24. Sonde nach Anspruch 23,
bei der der Vorsatz einen abnehmbaren Spiegel aufweist.
25. Sonde nach Anspruch 23,
bei der das Vorsatzteil einen Vorsatz zum Betrachten
von Objekten aus der Ferne aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| IL10765993A IL107659A0 (en) | 1993-11-18 | 1993-11-18 | A hand-held infra red imaging probe |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE4440843A1 true DE4440843A1 (de) | 1995-05-24 |
Family
ID=11065474
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE4440843A Withdrawn DE4440843A1 (de) | 1993-11-18 | 1994-11-15 | Hand-Infrarotsonde |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5561294A (de) |
| DE (1) | DE4440843A1 (de) |
| FR (1) | FR2712706B1 (de) |
| GB (1) | GB2284122A (de) |
| IL (1) | IL107659A0 (de) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19549214A1 (de) * | 1995-12-30 | 1997-07-03 | Ego Elektro Blanc & Fischer | Temperatursensoreinheit |
| WO2005012859A1 (de) * | 2003-07-30 | 2005-02-10 | Optris Gmbh | Vorrichtung zur berührungslosen temperaturmessung |
| US8240912B2 (en) | 2008-08-15 | 2012-08-14 | Fluke Corporation | Multi-zone non-contact spot thermometer |
Families Citing this family (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10281864A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-23 | Nikon Corp | 熱型赤外線カメラ |
| US6232583B1 (en) * | 1999-08-20 | 2001-05-15 | Alcatel | Infrared high temperature measurement of optical fiber during draw |
| US6486473B2 (en) | 2000-03-02 | 2002-11-26 | Mine Safety Applicances Company | Thermal imaging camera |
| DE10049043A1 (de) * | 2000-10-04 | 2002-05-02 | Generis Gmbh | Verfahren zum Entpacken von in ungebundenem Partikelmaterial eingebetteten Formkörpern |
| DE10117875C1 (de) * | 2001-04-10 | 2003-01-30 | Generis Gmbh | Verfahren, Vorrichtung zum Auftragen von Fluiden sowie Verwendung einer solchen Vorrichtung |
| DE10222167A1 (de) * | 2002-05-20 | 2003-12-04 | Generis Gmbh | Vorrichtung zum Zuführen von Fluiden |
| DE10327272A1 (de) * | 2003-06-17 | 2005-03-03 | Generis Gmbh | Verfahren zum schichtweisen Aufbau von Modellen |
| US20070171502A1 (en) * | 2004-10-19 | 2007-07-26 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Beam deflector and scanning microscope |
| US7020238B1 (en) * | 2005-01-31 | 2006-03-28 | Oxford Instruments Analytical Oy | Adapter and analyzer device for performing X-ray fluorescence analysis on hot surfaces |
| US7767963B1 (en) | 2006-12-08 | 2010-08-03 | Draeger Safety, Inc. | Thermal imaging camera internal damping system |
| US9442019B2 (en) * | 2008-12-26 | 2016-09-13 | Fluke Corporation | Infrared imaging probe |
| CN101922971B (zh) * | 2010-05-06 | 2012-09-05 | 袁国炳 | 一种用于红外测温仪的光学系统和调焦结构 |
| US20120212805A1 (en) * | 2011-02-22 | 2012-08-23 | Tamron Co., Ltd. | Lens Unit for Infrared Camera and Infrared Camera Using the Same |
| US9500808B2 (en) * | 2012-05-09 | 2016-11-22 | The Boeing Company | Ruggedized photonic crystal sensor packaging |
| JP2017502529A (ja) * | 2013-11-11 | 2017-01-19 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドApplied Materials,Incorporated | 赤外線カメラを使用した低温rtp制御 |
| EP3130898A1 (de) * | 2015-08-12 | 2017-02-15 | Siemens Aktiengesellschaft | Pyrometersonde mit umlenkspiegel |
| US11079281B2 (en) * | 2019-01-17 | 2021-08-03 | Uvia Group Llc | Cold stage actuation of optical elements including an optical light shield and a lenslet array connected to a cold finger |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1601890A (en) * | 1978-05-31 | 1981-11-04 | Sira Institute | Apparatus and method for indicating stress in an object |
| JPS5627623A (en) * | 1979-08-13 | 1981-03-18 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Measurement of temperature distribution |
| US4773766A (en) * | 1984-09-04 | 1988-09-27 | Daido Tokushuko Kabushiki Kaisha | Method of measuring temperatures and portable recorder for storing temperature data |
| US4761556A (en) * | 1986-02-03 | 1988-08-02 | Ltv Aerospace & Defense Company | On board receiver |
| IL87640A (en) * | 1988-09-01 | 1991-12-12 | Israel Atomic Energy Comm | Infra-red sensing system |
| JP2699531B2 (ja) * | 1989-03-17 | 1998-01-19 | 株式会社島津製作所 | 遠赤外線測定器 |
| JPH02272409A (ja) * | 1989-04-13 | 1990-11-07 | Mitsubishi Electric Corp | 赤外線撮像装置の焦点調節方式 |
| US5065024A (en) * | 1990-02-07 | 1991-11-12 | Inframetrics, Inc. | Infrared imaging system with simultaneously variable field of view and resolution and fixed optical magnification |
| US5187939A (en) * | 1991-06-03 | 1993-02-23 | Hughes Aircraft Company | Rapid cooldown dewar |
| GB2260422B (en) * | 1991-10-09 | 1995-03-08 | Israel State | Foldable optical apparatus |
| US5220165A (en) * | 1992-06-03 | 1993-06-15 | Santa Barbara Research Center | Radiation detection system with a foil means for emitting radiant energy |
-
1993
- 1993-11-18 IL IL10765993A patent/IL107659A0/xx unknown
-
1994
- 1994-10-27 GB GB9421659A patent/GB2284122A/en not_active Withdrawn
- 1994-10-27 US US08/330,151 patent/US5561294A/en not_active Expired - Fee Related
- 1994-11-15 DE DE4440843A patent/DE4440843A1/de not_active Withdrawn
- 1994-11-16 FR FR9413705A patent/FR2712706B1/fr not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19549214A1 (de) * | 1995-12-30 | 1997-07-03 | Ego Elektro Blanc & Fischer | Temperatursensoreinheit |
| DE19549214C2 (de) * | 1995-12-30 | 1999-11-04 | Ego Elektro Geraetebau Gmbh | Temperatursensoreinheit |
| WO2005012859A1 (de) * | 2003-07-30 | 2005-02-10 | Optris Gmbh | Vorrichtung zur berührungslosen temperaturmessung |
| US7390124B2 (en) | 2003-07-30 | 2008-06-24 | Optris Gmbh | Device for contact-free measurement of temperature |
| US8240912B2 (en) | 2008-08-15 | 2012-08-14 | Fluke Corporation | Multi-zone non-contact spot thermometer |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5561294A (en) | 1996-10-01 |
| IL107659A0 (en) | 1994-07-31 |
| FR2712706B1 (fr) | 1996-09-13 |
| FR2712706A1 (fr) | 1995-05-24 |
| GB2284122A (en) | 1995-05-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE69611584T2 (de) | Wärmebildgerät | |
| US5561294A (en) | Hand-held infra red imaging probe | |
| EP0923752B1 (de) | Kompaktes video-mikroskop | |
| DE60305779T2 (de) | Mikroskop | |
| EP0538671B1 (de) | Suchkopf, insbesondere für zielsuchende Flugkörper | |
| DE3854620T2 (de) | Tunnel-abtastmikroskop. | |
| EP0882941B1 (de) | Infrarot-Suchkopf für zielsuchende Flugkörper | |
| DE69109852T2 (de) | Ausrichtungskontrollvorrichtung und ihre verwendung. | |
| DE2544975A1 (de) | Feuerleitsystem | |
| DE102004037296A1 (de) | Verfahren zum Fokussieren des Aufnahmeobjektivs einer Laufbild- oder Videokamera | |
| DE19510148A1 (de) | Symbollesevorrichtung mit Fixfokus-Suchstrahl | |
| EP1308748A1 (de) | Optischer Sensor mit einem Sensorstrahlengang und einem parallel zu der optischen Achse des Sensorstrahlenganges emittierenden Laserstrahler | |
| EP1515157A1 (de) | Optoelektronische Erfassungseinrichtung | |
| EP0105867B1 (de) | Einrichtung zur Erfassung der Position des Schrämkopfes einer Vortriebs- oder Gewinnungsmaschine | |
| EP2161533A1 (de) | Gegenstandserfassungssystem mit einem Bilderfassungssystem | |
| DE2713100A1 (de) | Automatische brennweiteneinstelleinrichtung | |
| DE602005000964T2 (de) | Rasterlichtmikroskop | |
| DE69213122T2 (de) | Schweisskopf zum Messen von mehreren Schweissparametern und Verfahren zu dessen Verwendung | |
| EP2131229A2 (de) | Vorrichtung mit einem optischen Erfassungssystem | |
| DE112004000126T5 (de) | Mikroskopvorrichtung | |
| DE60210807T2 (de) | Optisches Abbildungsverfahren | |
| DE102004041935B4 (de) | Vorrichtung zur Beobachtung eines Laserbearbeitungsprozesses, sowie Vorrichtung zur Regelung des Laserbearbeitungsprozesses | |
| DE3939877A1 (de) | Messanordnung zur beruehrungslosen bestimmung der dicke und/oder thermischen eigenschaften von folien und duennen oberflaechenbeschichtungen | |
| EP0594102A1 (de) | IR-Fernthermometer | |
| DE19813126B4 (de) | Filmabtaster mit Prisma zur Abtastung der Perforationslöcher |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |