DE69708363T2

DE69708363T2 - Magnetischer Positionsgeber

Info

Publication number: DE69708363T2
Application number: DE1997608363
Authority: DE
Inventors: Sebastien Adenot; Albert Foggia; Jerome Piaton; Jean-Paul Yonnet
Original assignee: Sagem SA
Current assignee: Sagem SA
Priority date: 1996-03-29
Filing date: 1997-03-26
Publication date: 2002-08-22
Anticipated expiration: 2017-03-27
Also published as: FR2746912A1; EP0798541A1; EP0798541B1; DE69708363D1; FR2746912B1

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft bei magnetischen Positionssensoren, insbesondere, aber nicht ausschließlich bei magnetischen Winkelpositionssensoren vorgenommene Weiterentwicklungen.
Es sind zahlreiche Arten von magnetischen Positionssensoren, insbesondere Winkelpositionssensoren, bekannt, die jedoch nicht oder nicht ganz den zahlreichen Praxisanforderungen genügen, was die Betriebswinkelamplitude, die Zuverlässigkeit und die Eignung angeht, miniaturisiert zu werden, um ihre Anbringung in einer dichtgedrängten Umgebung zuzulassen. Außerdem sind bei manchen Sensorarten auf Grund ihrer Aufbauten die Rotoren axialen Kräften ausgesetzt, die den Einsatz von axialen Anschlägen benötigen, die platzraubend sind und die die Fertigungskosten steigern. Um Befestigungsorgane und Platz einzusparen, ja sogar um die Betriebssicherheit im Verlauf der Benutzung zu steigern kommt es zur Zeit schließlich häufig vor, daß die Benutzer wünschen, sich die Sensoren als nicht montierte Teile zu beschaffen, so daß diese von ihnen selbst in die Trägeraufbauten integriert werden können und vermieden wird, daß die ganz fertiggestellten Sensoren in den genannten Trägeraufbauten angebracht werden müssen.
Aus dem Dokument EP-A-0 325 787 ist ein linearer magnetischer Positionssensor bekannt, der umfaßt:
- einen ruhenden Anker, der wenigstens zwei Polschuhe enthält, die einerseits einen Hauptluftspalt und andererseits zwei Nebenluftspalte bestimmen, von denen jeweils einer zwischen sich jeweils gegenüberstehenden Enden der Polschuhe liegt,
- einen beweglichen Anker, der wenigstens einen Permanentmagneten zur entsprechend dem Hauptluftspalt gerichteten Magnetisierung enthält, wobei der bewegliche Anker dazu geeignet ist, sich im Hauptluftspalt zu verschieben, und
- mindestens einen Magnetinduktionsdetektor, der in wenigstens einem der Nebenluftspalte angeordnet ist.
Die Erfindung hat im wesentlichen als Aufgabe, einen magnetischen Linear- oder Winkelpositionssensor vorzuschlagen, der bei jeder nur möglichen Messung die vorher erwähnten Nachteile vermeidet und der außerdem eine erhöhte Zuverlässigkeit auf Grund einer besseren Linearität der Anderungskurve der Induktion als Funktion der Position des beweglichen Ankers in bezug auf den ruhenden Anker und auch auf Grund einer größeren Unempfindlichkeit gegenüber Umgebungstemperaturschwankungen aufweist.
Hierzu schlägt die Erfindung einen magnetischen Positionssensor vor, der umfaßt
- einen ruhenden Anker, der wenigstens zwei Polschuhe enthält, die einerseits einen Hauptluftspalt und andererseits zwei Nebenluftspalte bestimmen, von denen jeweils einer zwischen sich jeweils gegenüberstehenden Enden der Polschuhe liegt,
- einen beweglichen Anker, der wenigstens einen Permanentmagneten zur entsprechend dem Hauptluftspalt gerichteten Magnetisierung enthält, wobei der bewegliche Anker dazu geeignet ist, sich im Hauptluftspalt zu verschieben, und
- mindestens einen Magnetinduktionsdetektor, der in wenigstens einem der Nebenluftspalte angeordnet ist, und der gemäß der Erfindung dadurch gekennzeichnet ist, daß der eine der Polschuhe aus einem ersten Polschuh und aus einem zweiten Polschuh gebildet ist, die auf einer Seite des Hauptluftspaltes liegen, wogegen der andere der Polschuhe oder ein dritter Polschuh auf der anderen Seite des Hauptluftspaltes gegenüberstehend zu dem ersten und zweiten Polschuh liegt,
und daß die beiden Nebenluftspalte zwischen den jeweils gegenüberstehenden Enden des ersten Polschuhs und des dritten Polschuhs einerseits bzw. des zweiten Polschuhs und des dritten Polschuhs andererseits gebildet sind.
Auf Grund dieser Anordnung erzeugt die Aufteilung des Flusses des Magneten zwischen den Polschuhen im Hauptluftspalt in den Nebenluftspalten zwei magnetische Induktionen, die sich in im wesentlichen linearer Weise mit der Position des Magneten des beweglichen Ankers ändern und deren Summe im wesentlichen konstant und ungleich null bleibt. Sieht man in bevorzugter Weise insbesondere zwei Detektoren vor, von denen jeweils einer in einem der beiden Nebenluftspalte angeordnet ist, dann ist es leicht, eine differentielle Messung zu bewerkstelligen, ausgehend von zwei an den beiden Nebenluftspalten aufgenommenen Werten B&sub1; und B&sub2;, und die Größe (B&sub1; - B&sub2;)/(B&sub1; + B&sub2;) zu ermitteln: eine solche relative differentielle Messung bleibt gegenüber Änderungen der Magnetisierungspegel, insbesondere in Abhängigkeit von der Temperatur, unempfindlich, und verleiht dem Sensor eine bessere Zuverlässigkeit.
Eine bevorzugte Anwendung (obwohl nicht ausschließlich) der Anordnungen entsprechend der Erfindung bezieht sich auf einen Winkelpositionssensor über eine maximale mechanische Winkelamplitude von etwa 180º (± 90º beiderseits einer mittleren Position), wobei der Winkelpositionssensor entsprechend den vorstehenden Angaben ausgebildet und dadurch gekennzeichnet ist, daß er umfaßt:
- einen Stator, der die drei Polschuhe umfaßt, die den Hauptluftspalt, der kreisförmig ist, und die Nebenluftspalte bestimmen, und
- einen Rotor, der wenigstens den Magneten zur entsprechend dem kreisförmigen Hauptluftspalt gerichteten Magnetisierung enthält.
Bei einer ersten bevorzugten Ausführungsform umfaßt der Stator zwei halbkreisförmige erste Polschuhe, von dem zwei sich frontal gegenüberstehende Enden mit dem dritten Polschuh, der so ausgebildet ist, daß er sich gegenüberliegend zu den beiden Enden der ersten Polschuhe erstreckt, die Nebenluftspalte bestimmen; vorteilhaft ist der dritte Polschuh dann kreisförmig, vorzugsweise ringförmig, die beiden ersten Polschuhe sind als Paar kreisförmig, vorzugsweise ringförmig, und liegen koaxial und parallel zum dritten Polschuh und der Magnet des Rotors ist axial magnetisch und zwischen den Polschuhen angeordnet, die sich axial gegenüberstehen. Es wird also insbesondere Nutzen aus der Einfachheit der Ausführung einer axialen Magnetisierung des den Permanentmagneten des Rotors bildenden Teiles und damit aus den geringeren Fertigungskosten des Sensors gezogen. Es kann dann vorgesehen werden, daß sich die Flächen der beiden ersten Polschuhe und die gegenüberstehende Fläche des dritten Polschuhs, die zusammen die Nebenluftspalte bestimmen, radial erstrecken und die Nebenluftspalte axial sind, oder genauso gut als Variante, daß sich die beiden ersten Polflächen und die gegenüberstehende Fläche des dritten Polschuhs, die zusammen die Nebenluftspalte bestimmen, axial erstrecken und die Nebenluftspalte radial sind; die Nebenluftspalte sind dann durch sich gegenüberstehende Flächen von radial hervorstehenden Klötzen bestimmt, von denen jeder zu jeweils einem der drei Statorteile gehört und außerhalb der vom Magneten des Rotors verfolgten Bahn liegt.
Bei einer zweiten möglichen Ausführungsform weisen die beiden ersten Polschuhe die Form von Halbringen auf, der dritte Polschuh hat die Form eines koaxialen Mittelkernes zu den beiden Halbringen und weist wenigstens einen radialen Vorsprung auf, der sich gegenüberstehend zu wenigstens einem Zwischenraum erstreckt, der zwischen den sich gegenüberliegenden Enden der ersten Polschuhe gebildet ist, und der Permanentmagnet des Rotors ist radial magnetisch und zwischen dem Mittelkern und dem äußeren Ring angeordnet, die sich radial gegenüberstehen.
Obwohl es schwieriger und also kostenaufwendiger ist, das den Permanentmagneten des Rotars bildende Teil radial zu magnetisieren, kann eine solche Auslegung bei spezifischen Anwendungen ihren Einsatz finden. Es kann dann vorgesehen werden, daß der radiale Vorsprung des dritten Statorteils axial in bezug auf zwei erste Statorteile versetzt ist und die Kante derselben überdeckt, wobei die Nebenluftspalte axial sind, oder ebensogut, daß sich der radiale Vorsprung des dritten Statorteils gegenüberstehend zu den beiden ersten Statorteilen erstreckt, wobei die Nebenluftspalte radial sind.
Die Erfindung läßt sich durch Lesen der folgenden detaillierten Beschreibung einiger Ausführungsformen besser verstehen, die in nicht einschränkender Weise nur beispielshalber angegeben sind. In dieser Beschreibung bezieht man sich auf beigefügte Zeichnungen, in denen:
- Fig. 1 eine sehr schematische Ansicht ist, welche die grundsätzliche Gestaltung eines Sensors nach der Erfindung darstellt;
- Fig. 2 eine Graphik ist, welche die Änderungen der Flüsse im Sensor der Fig. 1 zeigt;
- Fig. 3 eine perspektivische, schematische Ansicht einer Ausführungsform eines Linearpositionssensors ist, der entsprechend der Erfindung eingerichtet ist; und
- die Fig. 4 bis 6 perspektivische, schematische Ansichten dreier Ausführungsformen (diejenige der Fig. 4 wird bevorzugt) eines Winkelpositionssensors sind, die entsprechend der Erfindung eingerichtet sind.
Unter Bezugnahme zunächst auf die Fig. 1 umfaßt der in seiner Anordnung durch das zahlenmäßige Bezugszeichen 1 bezeichnete Positionssensor einen ruhenden Anker 2, der wenigstens drei Polschuhe 4 (obere Polschuhe in der Zeichnung) und 5 (unterer Polschuh in der Zeichnung) enthält, die so angeordnet sind, daß sie bestimmen:
- einerseits einen Hauptluftspalt 6 in der Weise, daß zwei Polschuhe 4a und 4b auf einer gleichen Seite des Hauptluftspaltes 6 liegen und daß wenigstens der dritte Polschuh 5 (der seinerseits bei manchen Ausführungsformen aus zwei Teilen 5a und 5b gebildet werden kann) auf der anderen Seite des Hauptluftspaltes 6 liegt;
- und andererseits zwei Nebenluftspalte 7 und 8, die zwischen dem ersten und dritten Polschuh 4a und 5 (oder 5a) bzw. dem zweiten und dritten Polschuh 4b und 5 (oder 5b) liegen.
Im Hauptluftspalt befindet sich ein beweglicher Anker 9, der wenigstens einen Permanentmagneten mit entsprechend dem Hauptluftspalt (Pfeil 10) gerichteter Magnetisierung enthält oder daraus gebildet wird, wobei der bewegliche Anker 9 fähig ist, sich im Luftspalt 6 quer zur Magnetisierungsrichtung (Doppelpfeil 11) zu verschieben, wobei die Verschiebung durch ein äußeres Organ (nicht dargestellt) hervorgerufen wird, an das der bewegliche Anker direkt oder indirekt angekuppelt ist und dessen Verschiebungsposition und/oder -amplitude ermittelt werden sollen.
Schließlich ist wenigstens ein Magnetinduktionsdetektor (z. B. eine Hall-Sonde) in einem Nebenluftspalt 7 oder 8 angeordnet, um dort die Induktion B&sub1; bzw. B&sub2; zu messen. Vorzugsweise werden zwei Detektoren 12 und 13 vorgesehen, die im Luftspalt 7 bzw. 8 für eine gleichzeitige Messung von B&sub1; und B&sub2; angeordnet sind.
In Abhängigkeit von der Position des Magneten in bezug auf die beiden Polschuhe 4a und 4b teilen sich die Feldlinien in zu dieser Position korrelativer Weise auf diese beiden Polschuhe 4a und 4b auf; die beiden in den zwei Luftspalten 7 und 8 gemessenen Induktionen B1?? und B2 sind also für die Position des Magneten kennzeichnend und ändern sich in zueinander inversen Richtungen; wenn der Magnet in der in bezug auf die beiden Polschuhe 4a und 4b mittigen Position ist, sind die beiden Induktionen B1 und B2 im wesentlichen gleich. Fig. 2 stellt die jeweiligen Änderungen der Induktionen B&sub1; und B&sub2; (als Ordinaten) in Abhängigkeit von der Verschiebung des Magneten (als Abszissen) dar.
Es ist festzustellen, daß sich die beiden Induktionen B&sub1; und B&sub2; in im wesentlichen linearer Weise mit der Position des Magneten ändern und daß ihre Summe im wesentlichen konstant und ungleich null bleibt, wie aus der Graphik der Fig. 2 ersichtlich ist. Eine mit zwei Detektoren ausgerüstete Anordnung eignet sich besonders gut zu differentiellen Messungen für die Ermittlung der Größen B&sub1; - B&sub2; und B&sub1; + B&sub2;. Es ist dann möglich, die Größe (B&sub1; - B&sub2;) / (B&sub1; + B&sub2;), also den relativen Meßwert, zu ermitteln, der gegenüber Änderungen des Magnetisierungspegels, insbesondere in Abhängigkeit von der Temperatur, unempfindlich ist: es ergibt sich daraus eine genauere Ermittlung der Position des Magneten und des zugeordneten Ankers 9 und damit des Organs, an das dieser angekuppelt ist.
Die Grundanordnung, die gerade beschrieben worden ist, kann zu verschiedenen Ausführungsformen Anlaß geben.
Fig. 3 stellt sehr schematisch einen Sensor 1' für lineare Verschiebung dar. Unter Beibehaltung der gleichen zahlenmäßigen Bezugszeichen zum Bezeichnen der Elemente, die mit denjenigen der Fig. 1 identisch sind, erstrecken sich die Polschuhe 4a und 4b geradlinig in gegenseitiger Verlängerung, während sich der einzelne Schuh 5 geradlinig gegenüberliegend zu den Schuhen 4a und 4b und mit Abstand zu diesen erstreckt, um den geraden Hauptluftspalt 6 zu bilden. Der bewegliche Anker 9, der in Form eines geraden Blockes ausgeführt ist, ist im Luftspalt 6 zwischen den Schuhen 4a, 4b und 5 angeordnet und ist linear beweglich (Doppelpfeil 11). Jeder Polschuh 4a, 4b und 5 enthält einen seitlichen Vorsprung, der in der Fig. 3 durch die Bezugszeichen 4a1 bzw. 4b1 bzw. 51 bezeichnet ist, wobei diese Vorsprunge in der Weise geformt sind, daß die beiden Vorsprunge 4a1 und 4b1 jeweils Seite an Seite mit einer Flache angeordnet sind, die der einzigen entsprechenden Flache des Vorsprungs 51 mit Abstand gegenüberliegt, damit die beiden Nebenluftspalte 7 bzw. 8 gebildet werden.
Selbstverständlich sind weitere Anordnungen möglich, wobei der gleiche Grundaufbau und die gleiche Betriebsweise beibehalten werden.
In den Fig. 4 bis 6 sind drei Ausführungsbeispiele eines Drehbewegungssensors 1"&sub1; bzw. 1"&sub2; bzw. 1"&sub3; dargestellt.
Bei der bevorzugten Ausführungsform der Fig. 4 sind die Polschuhe 4a und 4b alle beide kreisförmig und vorzugsweise sind sie zur Vermeidung magnetischer Verluste in Form zweier nicht aneinanderstoßender Halbringe angeordnet; der Polschuh 5 ist kreisförmig und er ist vorzugsweise, auch zur Vermeidung magnetischer Verluste, in der Form eines vollständigen Ringes ausgebildet. Im Hauptluftspalt 6, der durch die sich axial gegenüberstehenden Flachen dieser Polschuhe gebildet wird, ist der bewegliche Anker 9 in Form eines Halbkreises (Ausdehnung von etwa 180º) angeordnet. Der den Anker 9 bildende oder darin enthaltene Magnet hat also einen axial gerichteten Magnetismus (Pfeil 10), d. h. parallel zur gemeinsamen Achse der Ringe, die durch den Polschuh 5 bzw. die Polschuhe 4a, 4b gebildet werden. In gleicher Weise wie für den Sensor 1' der Fig. 3 bestimmen jeweilige äußere Vorsprünge der Polschuhe die Nebenluftspalte 7 und 8, die sich dann axial erstrecken (die Induktionsdetektoren sind nicht dargestellt).
Beim so ausgebildeten Sensor 1"&sub1; ist der Anker 9 zirkular beweglich (Doppelpfeil 11), wobei die weiter oben angegebene Betriebsweise beibehalten wird. Der besondere Nutzen dieses Sensors beruht in der axialen Magnetisierungsrichtung des Magneten, die bei lohnenden wirtschaftlichen Bedingungen erlangt werden kann, was zu einem Sensor mit einem Selbstkostenpreis führt, der sehr niedrig und mit den Forderungen nach einer Fertigung in sehr großer Serie und sehr weiter Verbreitung vereinbar sein kann.
Selbstverständlich ist es möglich, eine andersartige Anordnung der Vorsprünge 4a&sub1; und 4b&sub1; vorzusehen, um Nebenspalte 7 und 8 radialer Ausdehnung zu bilden.
Die Fig. 5 und 6 zeigen zwei Ausführungsformen von Sensoren mit Drehbewegung, bei denen der Magnet radial magnetisiert ist. Obwohl solche Magnete schwieriger zu fertigen und demnach kostenaufwendiger als Magnete mit axialer Magnetisierung sind, können sich derartige Sensoren indessen für spezifische Anwendungen als interessant erweisen.
Im Sensor 1"&sub2; der Fig. 5 haben die beiden Polschuhe 4a und 4b die angenäherte Form zweier Halbkreise und sind als offener Ring vereinigt, ohne gegeneinander zu stoßen, während der Polschuh 5 ein Mittelkern ist, so daß der Hauptluftspalt 6 durch die radial den Schuhen 4a, 4b und 5 gegenüberstehenden Flächen bestimmt wird. Wie weiter oben angegeben ist, ist der bewegliche Anker 9 halbkreisförmig und der Magnet, den er enthält oder der ihn bildet, ist radial magnetisiert und die Bewegung des Ankers ist zirkular (Doppelpfeil 11). Der Polschuh 5 in Form des Mittelkerns enthält einen radialen Vorsprung 52, der axial in bezug auf die Polschuhe 4a, 4b versetzt ist und der sich bis gegenüberstehend zur Seitenkante derselben erstreckt. Dieser Vorsprung 52 ist so geformt, daß er die beiden Polschuhe 4a und 4b überdeckt (im dargestellten Beispiel ist der Vorsprung 5&sub2; kreissektorförmig), und er bestimmt mit den Schuhen 4a und 4b die beiden Nebenluftspalte 7 und 8, die sich dann axial erstrecken.
Fig. 6 zeigt einen Sensor 1"&sub3;, der eine Ausführungsvariante der Anordnung der Fig. 5 ist. Gemäß dieser Variante sind die Polschuhe 4a und 4b mit jeweiligen Vorsprüngen 4a&sub2; bzw. 4b&sub2; versehen, die radial nach innen in der gleichen Höhe wie der Vorsprung 52 vorstehen. Die sich gegenüberliegenden Flächen der Vorsprünge 4a&sub2;, 4b&sub2; und 5&sub2; bestimmen die beiden Nebenluftspalte 7 und 8, die hier radiale Ausdehnung haben.
Auf Grund der Anordnungen entsprechend der Erfindung ist man in der Lage, Magnet-Winkelpositionssensoren zu schaffen, die es ermöglichen, eine lineare Positionsdetektion über eine vollständige Amplitude von 180º (± 90º beiderseits einer mittleren Referenzposition, die durch die mittige Position des beweglichen Ankers in bezug auf die beiden Polschuhe 4a und 4b dargestellt wird) zu bewerkstelligen, und differentielle Messungen zulassen, die zu präzisen und gegenüber Temperaturänderungen unempfindlichen Messungen führen.
Selbstverständlich können Sensoren, die zum Arbeiten über unterschiedliche Amplituden geeignet sind, realisiert werden, indem die Anzahl der Magnete oder ihre Geometrie (insbesondere der Öffnungswinkel) verändert wird.
Selbstredend und wie sich schon aus dem Vorhergehenden ergibt, beschränkt sich die Erfindung keineswegs auf diejenigen ihrer Anwendungs- und Ausführungsarten, die ganz besonders in Betracht gezogen worden sind; sie umfaßt im Gegenteil alle Varianten. Insbesondere ist festzustellen, daß in der vorhergehenden Beschreibung der Anker 9 als beweglich gekennzeichnet ist, wogegen der Anker 2 als ruhend bezeichnet ist, da es sich dort um den gebräuchlichsten Ausführungsfall der Erfindung handelt. Es ist jedoch klar, daß nur die Relativbewegung des Ankers 9 und des Ankers 2 eine Rolle spielt und daß es für bestimmte Anwendungen möglich ist, es so einzurichten, daß es der Anker 2 ist, der beweglich und mit einem Organ, dessen Position man zu detektieren wünscht, fest verbunden ist, wogegen der Anker 9 ruhend ist.

Claims

1. Magnetischer Positionssensor (1, 1', 1"), der umfaßt:

- einen ruhenden Anker (2), der wenigstens zwei Polschuhe (4; 5) enthält, die einerseits einen Hauptluftspalt (6) und andererseits zwei Nebenluftspalte (7, 8) bestimmen, von denen jeweils einer zwischen sich jeweils gegenüberstehenden Enden der Polschuhe (4; 5) liegt,

- einen beweglichen Anker (9), der wenigstens einen Permanentmagneten zur entsprechend dem Hauptluftspalt (6) gerichteten Magnetisierung enthält, wobei der bewegliche Anker (9) dazu geeignet ist, sich im Hauptluftspalt (6) zu verschieben, und

- mindestens einen Magnetinduktionsdetektor (12, 13), der in wenigstens einem der Nebenluftspalte (7, 8) angeordnet ist,

dadurch gekennzeichnet, daß der eine (4) der Polschuhe aus einem ersten Polschuh (4a) und aus einem zweiten Polschuh (4b) gebildet ist, die auf einer Seite des Hauptluftspaltes (6) liegen, wogegen der andere (5) der Polschuhe oder ein dritter Polschuh (5) auf der anderen Seite des Hauptluftspaltes (6) gegenüberstehend zu dem ersten und zweiten Polschuh (4a, 4b) liegt,

und daß die beiden Nebenluftspalte (7, 8) zwischen den jeweils gegenüberstehenden Enden des ersten Polschuhs (4a) und des dritten Polschuhs (5) einerseits bzw. des zweiten Polschuhs (4b) und des dritten Polschuhs (5) andererseits gebildet sind.

2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß er zwei Magnetinduktionsdetektoren (12, 13) umfaßt, von denen jeweils einer in einem der beiden Nebenluftspalte (7, 8) angeordnet ist.

3. Sensor (1") nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß er Winkelpositionen über eine maximale mechanische Winkelamplitude von etwa 180º, d. h. ± 90º beiderseits einer mittleren Position, erfaßt und daß er umfaßt:

- einen Stator (2), der die drei Polschuhe (4a, 4b; 5) umfaßt, die den Hauptluftspalt (6), der kreisförmig ist, und die Nebenluftspalte (7, 8) bestimmen, und

- einen Rotor (9), der wenigstens den Magneten zur entsprechend dem kreisförmigen Hauptluftspalt (6) gerichteten Magnetisierung enthält.

4. Sensor nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Stator (2) zwei halbkreisförmige erste Polschuhe (4a, 4b) umfaßt, von dem zwei sich frontal gegenüberstehende Enden mit dem dritten Polschuh (5), der so ausgebildet ist, daß er sich gegenüberliegend zu den beiden Enden der ersten Polschuhe erstreckt, die Nebenluftspalte (7, 8) bestimmen.

5. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der dritte Polschuh (5) kreisförmig ist, daß die beiden ersten Polschuhe (4a, 4b) als Paar kreisförmig sind und koaxial und parallel zum dritten Polschuh liegen und daß der Magnet des Rotors (9) axial magnetisch ist und zwischen den Polschuhen angeordnet ist, die sich axial gegenüberstehen.

6. Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden ersten Polschuhe als Paar die Form eines Ringes aufweisen.

7. Sensor nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß der dritte Polschuh ringförmig ist.

8. Sensor nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Flächen der beiden ersten Polschuhe (4a, 4b) und die gegenüberstehende Fläche des dritten Polschuhs (5), die zusammen die Nebenluftspalte bestimmen, radial erstrecken und die Nebenluftspalte (7, 8) axial sind.

9. Sensor nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Flächen der beiden ersten Polschuhe (4a, 4b) und die gegenüberstehende Fläche des dritten Polschuhs (5), die zusammen die Nebenluftspalte bestimmen, axial erstrecken und die Nebenluftspalte radial sind.

10. Sensor nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Nebenluftspalte (7, 8) durch sich gegenüberstehende Flächen von radial hervorstehenden Klötzen (4a&sub1;, 4b&sub1;; 5&sub1;) bestimmt sind, von denen jeder zu jeweils einem der drei Statorteile (4a, 4b; 5) gehört und außerhalb der vom Magneten des Rotors verfolgten Bahn liegt.

11. Sensor nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden ersten Polschuhe (4a, 4b) die Form von Halbringen aufweisen, daß der dritte Polschuh die Form eines koaxialen Mittelkernes (5) zu den beiden Halbringen hat und wenigstens einen radialen Vorsprung (52) aufweist, der sich gegenüberstehend zu wenigstens einem Zwischenraum erstreckt, der zwischen den sich gegenüberliegenden Enden der ersten Polschuhe gebildet ist, und daß der Permanentmagnet des Rotors (9) radial magnetisch und zwischen dem Mittelkern (5) und dem äußeren Ring (4a, 4b) angeordnet ist, die sich radial gegenüberstehen.

12. Sensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der radiale Vorsprung (52) des dritten Statorteils (5) axial in bezug auf zwei erste Statorteile (4a, 4b) versetzt ist und die Kante derselben überdeckt, wobei die Nebenluftspalte (7, 8) axial sind.

13. Sensor nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß sich der radiale Vorsprung (52) des dritten Statorteils (5) gegenüberstehend zu den beiden ersten Statorteilen (4a, 4b) erstreckt, wobei die Nebenluftspalte radial sind.