EP2745015A2 - Wälzkolbenpumpe - Google Patents

Wälzkolbenpumpe

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EP2745015A2
EP2745015A2 EP12745685.3A EP12745685A EP2745015A2 EP 2745015 A2 EP2745015 A2 EP 2745015A2 EP 12745685 A EP12745685 A EP 12745685A EP 2745015 A2 EP2745015 A2 EP 2745015A2
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EP
European Patent Office
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roots pump
pump according
stage
rotary
pumping
Prior art date
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Application number
EP12745685.3A
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English (en)
French (fr)
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EP2745015B1 (de
Inventor
Peter Birch
Thomas Dreifert
Robert JENTKINS
Clive Tunna
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Leybold GmbH
Original Assignee
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
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Filing date
Publication date
Application filed by Oerlikon Leybold Vacuum GmbH filed Critical Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Publication of EP2745015A2 publication Critical patent/EP2745015A2/de
Application granted granted Critical
Publication of EP2745015B1 publication Critical patent/EP2745015B1/de
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/082—Details specially related to intermeshing engagement type pumps
    • F04C18/086—Carter
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
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    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
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    • F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
    • F04C25/02—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids for producing high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
    • F04C23/003—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle having complementary function

Definitions

  • the invention relates to a Roots pump.
  • Roots pumps usually have bidentate, arranged in a pump chamber rotary piston.
  • the two rotary pistons are driven in opposite directions so that gas is drawn in through the individual resulting chambers through a main inlet and is expelled again via a main outlet.
  • the main inlet and the main outlet in this case run in the radial direction and are arranged opposite one another.
  • multidentate, in particular three or four teeth having rotary pistons are known.
  • a substantially radial pumping of the gas takes place from a radially arranged main inlet to a radially arranged main outlet.
  • Roots pumps For each level, such Roots have a pair of rotary pistons.
  • the gas to be pumped is conveyed from an outlet of a pumping stage to the inlet of an adjacent pumping stage. This is done via connection channels.
  • the connecting channels can, as described, for example, in US 2010/0158728, be arranged in the housing of the Roots pump, wherein the connecting channels surrounding the pump chambers, in which the rotary pistons are arranged, are arranged radially outside the pump chambers.
  • Roots pumps have the disadvantage that the design of the channels in the housing is technically complex. Furthermore, the housing must be designed to be bulky for receiving the connecting channels. This not only leads to large external dimensions of the Roots pump but in particular to high costs. The high costs are in addition to the complex manufacturing process caused by the large use of metals.
  • the object of the invention is to provide a Roots pump, which has a technically simple construction, wherein furthermore the required installation space and the costs should preferably be reduced.
  • the Roots pump according to the invention has a plurality of each a pump stage forming, multidentate rotary piston pairs.
  • two rotary pistons are provided with more than two teeth per pump stage, wherein it is preferred that the rotary pistons have at least four, in particular at least six teeth.
  • the two rotors of a pump stage rotate in opposite directions to transport the gas.
  • each rotary piston pair one of the two rotary pistons is arranged on a common shaft, so that the Roots pump has two shafts running parallel to each other, each shaft per pump stage carries one of the two rotary pistons.
  • the two shafts can be connected to each other via gears, so that only one of the two shafts must be driven.
  • Adjacent pump stages are connected to each other via connection channels.
  • adjacent pump stages can each have one or more several connection channels are connected to each other.
  • the connecting channels are arranged in intermediate walls which separate adjacent pumping stages from one another. The intermediate walls are thus provided between the piston chambers of adjacent pumping stages.
  • the inventive arrangement of the connecting channels in the intermediate walls, the outer dimensions of the Roots pump according to the invention over the prior art can be significantly reduced. This has the advantage that a cost reduction can be achieved due to the lower material usage.
  • the connection channels provided in intermediate walls can be produced more cost-effectively, since it is possible to form the connection channels by straight, in particular circular-cylindrical channels or bores.
  • Roots pumps also have the advantage that a weight reduction and a reduction in the number of parts can be achieved. Since Roots pumps can be constructed as dry running pumps without oil lubrication, Roots pumps also have the advantage that the maintenance requirements are lower.
  • Another advantage of the inventive arrangement of the connecting channels in partitions is that due to the shortness of the connecting channels lower pressure losses occur.
  • the channel inlet and / or channel outlet opening of at least one connecting channel is thus not radially, with respect to a piston chamber, but arranged axially. The sweeping of the opening takes place not via a radially formed end face but over a side wall of a rotary piston.
  • connection channels are arranged in the pump stages from each other separating partitions. Only a main inlet and / or a main outlet is not arranged in partitions.
  • the main inlet and / or the main outlet may be arranged axially or radially.
  • the main inlet is preferably arranged radially opposite the main outlet. If, for example, an intake of gas takes place through a main inlet arranged on an upper side of the pump, in a preferred embodiment the discharge of the gas takes place on the radially opposite underside of the pump.
  • the main inlet is axially offset relative to the main outlet, since the individual pumping stages are arranged axially one behind the other starting from the main inlet to the main outlet.
  • the transport of the gas from the first to the second stage takes place through a connecting channel, which is arranged centrally at a rotation angle of approximately 90 ° of the rotary pistons.
  • This connecting channel can extend axially, so that the gas enters a central chamber of the adjacent rotary piston.
  • the gas then continues in the direction of the outlet side promoted and passes from this area through a particular obliquely or diagonally disposed in the intermediate wall channel back into an inlet-side chamber of the next pumping stage.
  • multiple axially extending channels can be arranged between adjacent pump stages.
  • the provision of axial channels has the particular advantage that the production of the channels is technically simple. This may be axial, in particular circular cylindrical bores.
  • partitions in which such connection channels are arranged are preferably thicker in the axial direction than partitions in which axial connection channels are provided. This makes it possible to design even the oblique connecting channels straight without curvature.
  • connection channels In order to keep the power consumption of the pump as low as possible, the connection channels have the largest possible cross-section. It is possible to provide for cross-sectional enlargement also a plurality of substantially parallel channels. In particular, in the obliquely running in the intermediate walls channels is also to be considered that they are designed as short as possible.
  • the rotary pistons preferably have axially different widths, wherein the width of the rotary pistons decreases in particular stepwise in the pumping direction. As a result, the individual chambers formed between the teeth of the rotary pistons are reduced in volume.
  • the two intermeshing rotary pistons have the same diameter and the same shape.
  • rotary piston with different diameters and provide different numbers of teeth the rotary pistons then have different rotational speeds.
  • intermeshing rotary pistons may also have different tooth shapes.
  • Roots pump in particular equalization of the load peaks on the rotor rotation and also a homogenization of the compression heat is achieved.
  • FIG. 1 is a schematic view of a dreizähnigen pressure piston pair of a first pumping stage
  • FIG. 2 is a schematic view of a dreizähnigen pressure piston pair of a second adjacent pumping stage
  • FIG. 3 is a schematic view of a six-toothed rotary piston pair of a first stage
  • FIG. 4 is a schematic view of a six-tooth rotary pair of rotors of a second stage
  • FIG. 5 is a schematic view of a hexadentate rotary piston pair of a third stage.
  • FIG. Fig. 6 is a schematic sectional view of a six-stage
  • Roots pump which corresponds to FIGS. 3 - 5 schematically illustrated, six-toothed rotary pistons, and
  • Fig. 7 is a schematic plan view of an alternative embodiment of a rotary piston pair.
  • the in Figs. 1 and 2 tridentate rotary pistons 10 shown schematically are arranged in a pumping chamber 12 in a first pumping stage (FIG. 1).
  • the two rotary pistons 10 are each rotatably mounted via a shaft, not shown, and are rotated in opposite directions in the direction of arrows 14 and 16 respectively.
  • Gas is supplied to a chamber 20 via a main inlet 18.
  • the gas is trapped in the chamber 20, which is closed by the curved portion 22 of an outer wall.
  • the chamber 20 is opened according to the designated in this position with 24 chamber.
  • the chamber 24 encloses the entire lower portion of the two rotary pistons, so that the areas 24, 26, 28 have the same pressure level. As a result, a pressing out of the gas originally in the chamber 20 by an axial, d .h. parallel to the rotary shafts of the rotary piston extending connecting channel 30th
  • next pumping stage (FIG. 2), which is arranged axially behind the first pumping stage (FIG. 1), for example, gas enters through the connecting channel 30 into a chamber 36 which has the same pressure level with the regions 38, 40 .
  • Rotary piston is a self-contained chamber formed in conjunction with the curved wall 42, so that the gas enclosed therein in the direction of a main outlet 44 is promoted.
  • the same delivery principle is carried out by the right in Fig. 2 rotary piston, with gas entering through the connecting channel 34 into the chamber 40, as soon as the right piston 10 is further rotated in the direction of the arrow.
  • the gas then trapped in a chamber 46 is also transported in the direction of the main outlet 44.
  • the gas must be conveyed from the outlet 44, designated as the main outlet in FIG. 2, back upwards in the direction of a main inlet. This is done according to the invention by not shown diagonally or obliquely in an intermediate wall channels in this embodiment.
  • FIGS. 3-5 six-toothed rotary piston pairs 48, 49 are shown together with the connecting channels relevant in a first stage (FIG. 3), a second stage (FIG. 4) and a third stage (FIG. 5).
  • a first stage FIG. 3
  • a second stage FIG. 4
  • a third stage FIG. 5
  • six-stage Roots pump Fig. 6
  • the illustration of Fig. 3 corresponds to a first stage 50
  • the illustration in Fig. 4 of a second stage 52 the representation in Fig. 5 of a third stage 54.
  • the fourth stage 56 corresponds to Essentially again the first stage (FIG. 3), the inlet, however, not taking place radially but via an obliquely or diagonally extending connecting channel 57.
  • the fifth stage 58 corresponds to the second stage 52 or FIG.
  • the individual rotary pistons 48 whose width decreases in the axial direction or in the pumping direction 64, are supported by a common shaft 66. Accordingly, the rotary pistons 49 are supported by a common shaft 68.
  • the two shafts 66, 68 are rotatably mounted in an upper housing half 70 and a lower housing half 72 and can not shown Gears be connected to each other, so that only one of the two shafts 66, 68 must be driven by a motor.
  • intermediate walls 74, 76, 78, 80, 82 are provided between adjacent pumping stages.
  • at least one connecting channel 84, 86, 88, 90, 57 is arranged in each intermediate wall.
  • connection channels are possible, which, at least partially in an outdoor area, as known from the prior art, are arranged.
  • the suction of the gas takes place through the main inlet 51.
  • this can also be formed axially as inlet 53 (FIG.
  • an inclined inlet or a combination of different inlets is possible, with only a supply of gas into the chamber 55 (FIG. 3) having to take place through the inlet.
  • the conveying of the gas from the first pumping stage 50 into the second pumping stage 52 is effected by an axial, d .h. Parallel to the shafts 66, 68 extending connecting channel 84.
  • the connecting channel 84 is disposed in the intermediate wall 74.
  • the gas is in this case according to the principle described with reference to FIGS. 1 and 2 via an intermediate chamber 57 in a connected to the connecting channels 84 chamber 59 promoted.
  • the gas is then conveyed on (FIG. 4) and flows out of the second pumping stage 52 into the third pumping stage 54 through an also axially extending connecting channel 86.
  • the connecting channel 86 is arranged in the intermediate wall 76.
  • a diagonally or obliquely extending channel 77 is provided in the opposite to the other intermediate walls 74, 76, 80, 82 in the axial direction thicker formed intermediate wall 78.
  • the conveying of the gas from the fourth pumping stage 56 into the fifth pumping stage 58 takes place through a channel 88 running axially in the intermediate wall 80.
  • the conveying takes place again through an axial channel 90 which is provided in the intermediate wall 82. Since the sixth pumping stage 60 in the exemplary embodiment shown is the last pumping stage, it is connected to the essentially radial main outlet 62.
  • rotary piston and rotary piston can be provided with different diameters and in particular different numbers of teeth.
  • a combination of rotary piston is possible, which have different tooth shapes. An example of this is shown in plan view in FIG.
  • a left rotary piston 92 has teeth which cooperate with five separately formed teeth of a right rotary piston 94 together.

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Abstract

Eine Wälzkolbenpumpe weist mehrere, jeweils eine Pumpstufe (50, 52, 54, 56, 58, 60) ausbildende mehrzähnige Drehkolbenpaare (10, 48, 49) auf. Benachbarte Pumpstufen (50, 52, 54, 56, 58, 60) sind über Verbindungskanäle (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90) miteinander verbunden. Zur Verringerung der Herstellungskosten ist es erfindungsgemäß vorgesehen, die Verbindungskanäle (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90) in benachbarte Pumpstufen (50, 52, 54, 56, 58, 60) voneinander trennenden Zwischenwänden (74, 76, 78, 80, 82) anzuordnen.

Description

Wälzkolbenpumpe
Die Erfindung betrifft eine Wälzkolbenpumpe.
Wälzkolbenpumpen weisen üblicherweise zweizähnige, in einem Pumpraum angeordnete Drehkolben auf. Die beiden Drehkolben werden gegenläufig angetrieben, so dass durch die einzelnen entstehenden Kammern Gas durch einen Haupteinlass angesaugt und über einen Hauptauslass wieder ausgestoßen wird . Der Haupteinlass sowie der Hauptauslass verlaufen hierbei in radialer Richtung und sind einander gegenüberliegend angeordnet. Ferner sind auch mehrzähnige, insbesondere drei oder vier Zähne aufweisende Drehkolben bekannt. Auch hier erfolgt ein im Wesentlichen radiales Pumpen des Gases von einem radial angeordneten Haupteinlass zu einem radial angeordneten Hauptauslass.
Zur Erzielung geringer Drücke sind ferner mehrstufige Wälzkolbenpumpen bekannt. Je Stufe weisen derartige Wälzkolbenpumpen ein Drehkolbenpaar auf. Hierbei wird das zu pumpende Gas von einem Auslass einer Pumpstufe zum Einlass einer benachbarten Pumpstufe gefördert. Dies erfolgt über Verbindungskanäle. Die Verbindungskanäle können, wie beispielsweise in US 2010/0158728 beschrieben, im Gehäuse der Wälzkolbenpumpe angeordnet sein, wobei die Verbindungskanäle, die die Pumpräume, in denen die Drehkolben angeordnet sind, umgeben bzw. radial außerhalb der Pumpräume angeordnet sind . Dies ist erforderlich, um Gas von einem beispielsweise im unteren Bereich der Wälzkolbenpumpe angeordneten Auslass einer Pumpstufe zu einem im gegenüberliegenden, beispielsweise oberen Bereich einer Wälzkolbenpumpe angeordneten Einlass der benachbarten Pumpstufe zu fördern. Derartige Wälzkolbenpumpen weisen den Nachteil auf, dass die Ausgestaltung der Kanäle im Gehäuse technisch komplex ist. Ferner muss das Gehäuse zur Aufnahme der Verbindungskanäle großvolumig ausgebildet sein. Dies führt nicht nur zu großen Außenabmessungen der Wälzkolbenpumpe sondern insbesondere auch zu hohen Kosten. Die hohen Kosten sind neben dem aufwändigen Fertigungsprozess auch durch den großen Metalleinsatz hervorgerufen.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Wälzkolbenpumpe zu schaffen, die einen technisch einfachen Aufbau aufweist, wobei ferner der erforderliche Bauraum sowie die Kosten vorzugsweise reduziert werden sollen.
Die Lösung der Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch die Merkmale des Anspruchs 1.
Die erfindungsgemäße Wälzkolbenpumpe weist mehrere jeweils eine Pumpstufe ausbildende, mehrzähnige Drehkolbenpaare auf. Hierbei sind je Pumpstufe zwei Drehkolben mit mehr als zwei Zähnen vorgesehen, wobei es bevorzugt ist, dass die Drehkolben mindestens vier, insbesondere mindestens sechs Zähne aufweisen. Die beiden Drehkolben einer Pumpstufe rotieren zum Transport des Gases gegenläufig . Vorzugsweise ist je Drehkolbenpaar einer der beiden Drehkolben auf einer gemeinsamen Welle angeordnet, so dass die Wälzkolbenpumpe zwei parallel zueinander verlaufende Wellen aufweist, wobei jede Welle je Pumpstufe einen der beiden Drehkolben trägt. Die beiden Wellen können über Zahnräder miteinander verbunden sein, so dass nur eine der beiden Wellen angetrieben sein muss.
Benachbarte Pumpstufen sind über Verbindungskanäle miteinander verbunden. Hierbei können benachbarte Pumpstufen jeweils über einen oder mehrere Verbindungskanäle miteinander verbunden sein. Erfindungsgemäß sind die Verbindungskanäle in Zwischenwänden angeordnet, die benachbarte Pumpstufen voneinander trennen. Die Zwischenwände sind somit zwischen den Kolbenräumen benachbarter Pumpstufen vorgesehen. Durch das erfindungsgemäße Anordnen der Verbindungskanäle in den Zwischenwänden können die Außenabmessungen der erfindungsgemäßen Wälzkolbenpumpe gegenüber dem Stand der Technik erheblich reduziert werden. Dies hat den Vorteil, dass aufgrund des geringeren Materialeinsatzes eine Kostenreduzierung erzielt werden kann. Des Weiteren können die in Zwischenwänden vorgesehenen Verbindungskanäle kostengünstiger hergestellt werden, da es möglich ist, die Verbindungskanäle durch gerade, insbesondere kreiszylindrische Kanäle bzw. Bohrungen auszubilden. Eine technisch schwierige Herstellung von radial außerhalb der Kolbenräume vorgesehenen gekrümmten Verbindungskanälen ist somit erfindungsgemäß nicht erforderlich. Die erfindungsgemäß sehr kompakt aufgebaute Wälzkolbenpumpe weist ferner den Vorteil auf, dass eine Gewichtsreduzierung sowie eine Reduzierung der Teileanzahl erzielt werden kann. Da Wälzkolbenpumpen als trockenlaufende Pumpen ohne Ölschmierung aufgebaut sein können, weisen Wälzkolbenpumpen ferner den Vorteil auf, dass die Wartungsanforderungen geringer sind.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Anordnung der Verbindungskanäle in Zwischenwänden besteht darin, dass aufgrund der Kürze der Verbindungskanäle geringere Druckverluste auftreten.
Vorzugsweise ist zumindest ein Teil der Verbindungskanäle mit den Kolbenräumen, in denen die Drehkolbenpaare angeordnet sind, derart verbunden, dass eine Kanaleintrittsöffnung und/ oder eine Kanalaustrittsöffnung von einer Seitenwand eines Drehkolbens im Betrieb überstrichen wird . Die Kanaleintritts- und/ oder Kanalaustrittsöffnung zumindest eines Verbindungskanals ist somit nicht radial, bezogen auf einen Kolbenraum, sondern axial angeordnet. Das Überstreichen der Öffnung erfolgt nicht über eine radial ausgebildete Stirnseite sondern über eine Seitenwand eines Drehkolbens.
Um einen möglichst kompakten und somit kostengünstigen Aufbau der erfindungsgemäßen Wälzkolbenpumpe zu ermöglichen, sind vorzugsweise sämtliche Verbindungskanäle in die Pumpstufen voneinander trennenden Zwischenwänden angeordnet. Lediglich ein Haupteinlass und/ oder ein Hauptauslass ist nicht in Zwischenwänden angeordnet. Der Haupteinlass und/ oder der Hauptauslass können axial oder radial angeordnet sein. Der Haupteinlass ist dem Hauptauslass vorzugsweise radial gegenüberliegend angeordnet. Erfolgt beispielsweise ein Ansaugen von Gas durch einen an einer Oberseite der Pumpe angeordneten Haupteinlass erfolgt somit in bevorzugter Ausführungsform das Ausstoßen des Gases an der radial gegenüberliegenden Unterseite der Pumpe. Selbstverständlich ist der Haupteinlass gegenüber dem Hauptauslass axial versetzt, da die einzelnen Pumpstufen axial hintereinander, ausgehend vom Haupteinlass zum Hauptauslass, angeordnet sind .
Insbesondere bei Drehkolben mit drei oder mehr Zähnen ist es möglich, axial in den Zwischenwänden verlaufende Verbindungskanäle vorzusehen. Dies ist dadurch realisierbar, dass eine zwischen zwei benachbarten Zähnen angeordnete Kammer das Gas nicht erst nach einer Drehung der Drehkolben um ca. 180°, sondern bereits bei einem geringeren Drehwinkel ausstößt. Bei einer derartig bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Wälzkolbenpumpe muss das Gas zwischen zwei Stufen somit nicht von einer haupteinlassseitigen Kammer bis zu einer hauptauslassseitigen Kammer transportiert werden . Beispielsweise erfolgt bei dreizähnigen Drehkolben das Ansaugen des Gases durch einen Haupteinlass an einer Oberseite der Pumpe. Der Transport des Gases von der ersten zur zweiten Stufe erfolgt durch einen Verbindungskanal, der mittig bei einem Drehwinkel von ca. 90° der Drehkolben angeordnet ist. Dieser Verbindungskanal kann axial verlaufen, so dass das Gas in eine mittige Kammer der benachbarten Drehkolben eintritt. In dieser Pumpstufe wird das Gas sodann weiter in Richtung der Auslassseite gefördert und gelangt von diesem Bereich durch einen insbesondere schräg bzw. diagonal in der Zwischenwand angeordneten Kanal wieder in eine einlassseitige Kammer der nächsten Pumpstufe. Insbesondere bei Drehkolben mit mehr als drei Zähnen können zwischen benachbarten Pumpstufen mehrfach axial verlaufende Kanäle angeordnet sein. Das Vorsehen axialer Kanäle hat insbesondere den Vorteil, dass die Herstellung der Kanäle technisch einfach ist. Es kann sich hierbei um axiale, insbesondere auch kreiszylindrische Bohrungen handeln.
Um auch die schräg bzw. diagonal in den Zwischenwänden verlaufenden Verbindungskanäle technisch einfach ausgestalten zu können, sind Zwischenwände, in denen derartige Verbindungskanäle angeordnet sind, vorzugsweise in axiale Richtung dicker als Zwischenwände, in denen axiale Verbindungskanäle vorgesehen sind . Hierdurch ist es möglich, auch die schräg verlaufenden Verbindungskanäle gerade ohne Krümmung auszugestalten.
Um die Leistungsaufnahme der Pumpe möglichst gering zu halten, weisen die Verbindungskanäle einen möglichst großen Querschnitt auf. Es ist möglich, zur Querschnittsvergrößerung auch mehrere, im Wesentlichen parallel zueinander verlaufende Kanäle vorzusehen. Insbesondere bei den schräg in den Zwischenwänden verlaufenden Kanälen ist ferner zu berücksichtigen, dass diese möglichst kurz ausgestaltet sind.
Zur Erhöhung der Kompression weisen die Drehkolben vorzugsweise axial unterschiedliche Breiten auf, wobei die Breite der Drehkolben insbesondere stufenweise in Pumprichtung abnimmt. Hierdurch werden die einzelnen zwischen den Zähnen der Drehkolben ausgebildeten Kammern im Volumen verringert.
In bevorzugter Ausführungsform weisen die beiden miteinander kämmenden Drehkolben denselben Durchmesser und dieselbe Form auf. Es ist jedoch auch möglich, Drehkolben mit unterschiedlichem Durchmesser und unterschiedlicher Zähnezahl vorzusehen, wobei die Drehkolben sodann unterschiedliche Rotationsgeschwindigkeiten aufweisen. Ebenso können miteinander kämmende Drehkolben auch unterschiedliche Zahnformen aufweisen.
Durch die erfindungsgemäße Ausgestaltung der Wälzkolbenpumpe ist insbesondere eine Vergleichmäßigung der Belastungsspitzen über der Rotordrehung und auch eine Vergleichmäßigung der Verdichtungswärme erzielt.
Nachfolgend wird die Erfindung anhand bevorzugter Ausführungsformen unter Bezugnahme auf die anliegenden Zeichnungen näher erläutert.
Es zeigen :
Fig. 1 eine schematische Ansicht eines dreizähnigen Druckkolbenpaars einer ersten Pumpstufe,
Fig. 2 eine schematische Ansicht eines dreizähnigen Druckkolbenpaars einer zweiten benachbarten Pumpstufe,
Fig. 3 eine schematische Ansicht eines sechszähnigen Drehkolbenpaars einer ersten Stufe,
Fig. 4 eine schematische Ansicht eines sechszähnigen Drehkolbenpaars einer zweiten Stufe,
Fig . 5 eine schematische Ansicht eines sechszähnigen Drehkolbenpaars einer dritten Stufe, Fig. 6 eine schematische Schnittansicht einer sechsstufigen
Wälzkolbenpumpe, die entsprechend den Fig . 3 - 5 schematisch dargestellte, sechszähnige Drehkolben aufweist, und
Fig. 7 eine schematische Draufsicht einer alternativen Ausführungsform eines Drehkolbenpaares.
Die in den Fig . 1 und 2 schematisch dargestellten dreizähnigen Drehkolben 10 sind in einer ersten Pumpstufe (Fig. 1) in einem Pumpraum 12 angeordnet. Die beiden Drehkolben 10 sind jeweils über eine nicht dargestellte Welle drehbar gelagert und werden gegenläufig in Richtung der Pfeile 14 bzw. 16 gedreht. Über einen Haupteinlass 18 wird Gas einer Kammer 20 zugeführt. Durch Rotation des in Fig . 1 linken Drehkolbens erfolgt ein Einschließen des Gases in der Kammer 20, die durch den gekrümmten Bereich 22 einer Außenwand abgeschlossen ist. Beim Weiterdrehen des in Fig. 1 linken Drehkolbens in Richtung des Pfeils 14 wird die Kammer 20 entsprechend der in dieser Stellung mit 24 bezeichneten Kammer geöffnet. Die Kammer 24 umschließt den gesamten unteren Bereich der beiden Drehkolben, so dass die Bereiche 24, 26, 28 das gleiche Druckniveau aufweisen. Hierdurch erfolgt ein Herausdrücken des ursprünglich in der Kammer 20 befindlichen Gases durch einen axial, d .h. parallel zu den Drehwellen der Drehkolben verlaufenden Verbindungskanal 30.
Entsprechend wird durch den in Fig . 1 rechten Drehkolben Gas in einer Kammer 32 eingeschlossen, durch Drehen des Drehkolbens 10 in Richtung des Pfeils 16 in Fig . 1 nach unten bewegt und sodann durch den gestrichelt dargestellten, ebenfalls axial verlaufenden Verbindungskanal 34 ausgestoßen.
Bei der nächsten Pumpstufe (Fig . 2), die bezogen auf die erste Pumpstufe (Fig . 1) beispielsweise axial hinter dieser angeordnet ist, tritt Gas durch den Verbindungskanal 30 in eine Kammer 36 ein, die mit den Bereichen 38, 40 dasselbe Druckniveau aufweist. Durch Weiterdrehen des in Fig. 2 linken Drehkolbens wird eine in sich geschlossene Kammer in Verbindung mit der gekrümmten Wand 42 ausgebildet, so dass das hierin eingeschlossene Gas in Richtung eines Hauptauslasses 44 gefördert wird . Das gleiche Förderprinzip erfolgt durch den in Fig. 2 rechten Drehkolben, wobei Gas durch den Verbindungskanal 34 in die Kammer 40 eintritt, sobald der rechte Kolben 10 in Richtung des Pfeils weitergedreht wird . Das sodann in einer Kammer 46 eingeschlossene Gas wird ebenfalls in Richtung des Hauptauslasses 44 transportiert.
Zur Ausbildung einer dritten Stufe muss das Gas vom in Fig. 2 als Hauptauslass bezeichneten Auslass 44 wieder nach oben in Richtung eines Haupteinlasses gefördert werden. Dies erfolgt erfindungsgemäß durch in dieser Ausführungsform nicht dargestellte diagonal bzw. schräg in einer Zwischenwand verlaufende Kanäle.
In den Fig. 3 - 5 sind sechszähnige Drehkolbenpaare 48, 49 zusammen mit den in einer ersten Stufe (Fig . 3), einer zweiten Stufe (Fig . 4) und einer dritten Stufe (Fig . 5) relevanten Verbindungskanälen dargestellt. Bei einer beispielsweise sechsstufigen Wälzkolbenpumpe (Fig. 6) entspricht die Darstellung von Fig. 3 einer ersten Stufe 50, die Darstellung in Fig. 4 einer zweiten Stufe 52 und die Darstellung in Fig. 5 einer dritten Stufe 54. Die vierte Stufe 56 entspricht im Wesentlichen wieder der ersten Stufe (Fig. 3), wobei der Einlass allerdings nicht radial sondern über einen schräg bzw. diagonal verlaufenden Verbindungskanal 57 erfolgt. Die fünfte Stufe 58 entspricht der zweiten Stufe 52 bzw. Fig. 4 und die sechste Stufe 60 entspricht der dritten Stufe 54 bzw. der in Fig . 5 dargestellten Stufe, wobei der Auslass hierbei durch einen Hauptauslass 62 in radialer Richtung erfolgt. Die einzelnen Drehkolben 48, deren Breite sich in axiale Richtung bzw. in Pumprichtung 64 verringert, sind von einer gemeinsamen Welle 66 getragen. Entsprechend sind die Drehkolben 49 von einer gemeinsamen Welle 68 getragen . Die beiden Wellen 66, 68 sind in einer oberen Gehäusehälfte 70 bzw. einer unteren Gehäusehälfte 72 drehbar gelagert und können über nicht dargestellte Zahnräder miteinander verbunden sein, so dass nur eine der beiden Wellen 66, 68 von einem Motor angetrieben werden muss.
Zwischen benachbarten Pumpstufen sind Zwischenwände 74, 76, 78, 80, 82 vorgesehen. Im dargestellten Ausführungsbeispiel ist in jeder Zwischenwand zumindest ein Verbindungskanal 84, 86, 88, 90, 57 angeordnet. Ferner sind zusätzlich auch Verbindungskanäle möglich, die, zumindest teilweise in einem Außenbereich, wie aus dem Stand der Technik bekannt, angeordnet sind . Im dargestellten Ausführungsbeispiel erfolgt das Ansaugen des Gases durch den Haupteinlass 51. Anstelle eines radial angeordneten Haupteinlasses 51 kann dieser auch axial als Einlass 53 (Fig. 3) ausgebildet sein. Selbstverständlich ist auch ein schräg verlaufender Einlass oder auch eine Kombination unterschiedlicher Einlässe möglich, wobei durch den Einlass lediglich eine Zufuhr von Gas in die Kammer 55 (Fig . 3) erfolgen muss.
Anschließend erfolgt das Fördern des Gases von der ersten Pumpstufe 50 in die zweite Pumpstufe 52 durch einen axial, d .h. parallel zu den Wellen 66, 68 verlaufenden Verbindungskanal 84. Der Verbindungskanal 84 ist in der Zwischenwand 74 angeordnet. Das Gas wird hierbei entsprechend des anhand den Fig. 1 und 2 beschriebenen Prinzips über eine Zwischenkammer 57 in eine mit den Verbindungskanälen 84 verbundene Kammer 59 gefördert.
Das Gas wird sodann weitergefördert (Fig. 4) und strömt aus der zweiten Pumpstufe 52 in die dritte Pumpstufe 54 durch einen ebenfalls axial verlaufenden Verbindungskanal 86. Der Verbindungskanal 86 ist in der Zwischenwand 76 angeordnet.
Bei einem Weiterfördern des Gases (Fig . 5) ist es sodann erforderlich, das Gas von der Hauptauslassseite in Richtung der Haupteinlassseite zu fördern. Hierzu ist in der gegenüber den anderen Zwischenwänden 74, 76, 80, 82 in axialer Richtung dicker ausgebildeten Zwischenwand 78 ein diagonal bzw. schräg verlaufender Kanal 77 vorgesehen. Das Fördern des Gases von der vierten Pumpstufe 56 in die fünfte Pumpstufe 58 erfolgt durch einen axial in der Zwischenwand 80 verlaufenden Kanal 88. In die nächste Pumpstufe 60 erfolgt das Fördern wiederum durch einen axialen Kanal 90, der in der Zwischenwand 82 vorgesehen ist. Da es sich bei der sechsten Pumpstufe 60 im dargestellten Ausführungsbeispiel um die letzte Pumpstufe handelt, ist diese mit dem im Wesentlichen radial verlaufenden Hauptauslass 62 verbunden .
Da, wie insbesondere aus den Fig. 3 - 5 ersichtlich ist, nur ein Teil der Kammern zur Gasförderung genutzt wird, ist eine in geringen Toleranzen gehaltene Oberflächenbearbeitung der Kammern, in denen die Drehkolben angeordnet sind, nur im Bereich der aktiven, d .h. für die Förderung relevanten Kammern, erforderlich. Hierdurch können die Herstellungskosten weiter verringert werden.
Anstelle identisch ausgebildeter Drehkolben können auch Drehkolben mit unterschiedlichem Durchmesser und insbesondere unterschiedlicher Zähnezahl vorgesehen sein. Außerdem ist eine Kombination von Drehkolben möglich, die unterschiedliche Zahnformen aufweisen. Ein Beispiel hierfür ist in Draufsicht in Figur 7 gezeigt. Hierbei weist ein linker Drehkolben 92 Zähne auf, die mit fünf gesondert ausgebildeten Zähnen eines rechten Drehkolbens 94 zusammen wirken.

Claims

Patentansprüche
1. Wälzkolbenpumpe, mit mehreren, jeweils eine Pumpstufe (50, 52, 54, 56, 58) ausbildenden, mehrzähnigen Drehkolbenpaaren (10; 48, 49), und jeweils benachbarte Pumpstufen (52, 54, 56, 58, 60) miteinander verbindenden Verbindungskanälen (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90), d a d u r c h g e k e n n z e i c h n e t, dass die Verbindungskanäle (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90) in benachbarte Pumpstufen (50, 52, 54, 56, 58, 60) voneinander trennenden Zwischenwänden (74, 76, 78, 80, 82) angeordnet sind.
2. Wälzkolbenpumpe nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass eine Kanaleintrittsöffnung und/oder eine Kanalaustrittsöffnung zumindest eines Verbindungskanals (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90) von einer Seitenwand eines Drehkolbens (10, 48, 49) im Betrieb überstrichen wird .
3. Wälzkolbenpumpe nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass alle Verbindungskanäle (30, 34, 77, 84, 86, 88, 90) in Pumpstufen (50, 52, 54, 56, 58, 60) voneinander trennenden Zwischenwänden (74, 76, 78, 80, 82) angeordnet sind.
4. Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 3, dadurch gekennzeichnet, dass mindestens dreizähnige Drehkolben (10, 48, 49) vorgesehen sind und zumindest ein Teil der Verbindungskanäle (30, 34, 84, 86, 88, 90) axial verläuft.
5. Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 4, dadurch gekennzeichnet, dass ein Haupteinlass (51) einem Hauptauslass (62) radial gegenüberliegend angeordnet ist.
6. Wälzkolbenpumpe nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass ein eine Pumpstufe (54) mit einer benachbarten Pumpstufe (56) verbindender Verbindungskanal (77) schräg in der entsprechenden Zwischenwand (78) und im Wesentlichen quer zu der Ebene verläuft, die von den beiden Wellenachsen (66, 68) gebildet wird.
7. Wälzkolbenpumpe nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass Zwischenwände (78), die schräg verlaufende Verbindungskanäle (77) aufweisen, dicker ausgebildet sind als Zwischenwände (74, 76, 80, 82), die axial verlaufende Verbindungskanäle (84, 86, 88, 90) aufweisen.
8. Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 7, dadurch gekennzeichnet, dass je Drehkolbenpaar (10; 48, 49) jeweils einer der beiden Drehkolben (10; 48, 49) auf einer gemeinsamen Welle (66, 68) angeordnet sind.
9. Wälzkolbenpumpe nach einem der Ansprüche 1 - 8, dadurch gekennzeichnet, dass die axiale Breite der Drehkolben (10, 48, 49) einzelner Pumpstufen (50, 52, 54, 56, 58, 60) insbesondere in Pumprichtung (64) abnimmt.
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103334928B (zh) * 2013-06-09 2016-08-10 李锦上 节能摇摆活塞压缩机
DE202017001029U1 (de) 2017-02-17 2018-05-18 Leybold Gmbh Mehrstufige Wälzkolbenpumpe
DE102019103577A1 (de) * 2019-02-13 2020-08-13 Gebr. Becker Gmbh Drehkolbenpumpe
FR3117176B1 (fr) * 2020-12-04 2023-03-24 Pfeiffer Vacuum Pompe à vide
GB2608381A (en) * 2021-06-29 2023-01-04 Edwards Korea Ltd Stator assembly for a roots vacuum pump

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR660528A (fr) * 1928-09-17 1929-07-12 Cfcmug Compresseur roots multi-cellulaire pour hautes pressions
AT140808B (de) * 1933-06-07 1935-02-25 Franz Dr Ing Heinl Maschine mit umlaufenden Kolben.
GB2111126A (en) 1981-12-09 1983-06-29 British Oxygen Co Ltd Rotary positive-displacement fluid-machines
DE3312117A1 (de) * 1983-04-02 1984-10-04 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Zweiwellen-vakuumpumpe mit innerer verdichtung
GB8513684D0 (en) 1985-05-30 1985-07-03 Boc Group Plc Mechanical pumps
JPH0733834B2 (ja) * 1986-12-18 1995-04-12 株式会社宇野澤組鐵工所 ロータ内蔵ハウジングの外周温度が安定化された内部分流逆流冷却多段式の三葉式真空ポンプ
FR2642479B1 (fr) * 1989-02-02 1994-03-18 Alcatel Cit Pompe a vide du type roots, multietagee
FR2656658B1 (fr) * 1989-12-28 1993-01-29 Cit Alcatel Pompe a vide turbomoleculaire mixte, a deux arbres de rotation et a refoulement a la pression atmospherique.
DE4038704C2 (de) * 1990-12-05 1996-10-10 K Busch Gmbh Druck & Vakuum Dr Drehkolbenpumpe
JPH05302583A (ja) * 1992-04-24 1993-11-16 Nippon Carbureter Co Ltd ルーツ形空気機械
DE19629174A1 (de) * 1996-07-19 1998-01-22 Leybold Vakuum Gmbh Klauenvakuumpumpe
DE29906654U1 (de) * 1999-04-15 1999-07-15 Kaiser, Jürgen, 78234 Engen Drehkolbenkompressor
JP4747437B2 (ja) * 2001-05-08 2011-08-17 株式会社豊田自動織機 真空ポンプにおける油洩れ防止構造
TWI237093B (en) * 2003-10-23 2005-08-01 Ind Tech Res Inst Multi-staged vacuum pump
GB0515905D0 (en) 2005-08-02 2005-09-07 Boc Group Plc Vacuum pump
JP4767625B2 (ja) * 2005-08-24 2011-09-07 樫山工業株式会社 多段ルーツ式ポンプ
JP2009008596A (ja) 2007-06-29 2009-01-15 Toppan Printing Co Ltd 板状金属表面自動検査装置
JP5438279B2 (ja) * 2008-03-24 2014-03-12 アネスト岩田株式会社 多段真空ポンプ及びその運転方法
EP2180188B1 (de) * 2008-10-24 2016-09-07 Edwards Limited Verbesserungen bei und in Zusammenhang mit Drehkolbenpumpen
JP2010159740A (ja) * 2008-12-11 2010-07-22 Toyota Industries Corp 回転式真空ポンプ
CN101985938A (zh) * 2010-11-30 2011-03-16 东北大学 一种具有螺杆和罗茨转子的三轴复合干泵
CN102146919A (zh) * 2010-12-21 2011-08-10 周建强 双转子闭合压缩机

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
None *
See also references of WO2013023954A2 *

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Publication number Publication date
KR101905228B1 (ko) 2018-10-05
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