EP4707607A1 - Pompe à vide - Google Patents

Pompe à vide

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EP4707607A1
EP4707607A1 EP25222564.4A EP25222564A EP4707607A1 EP 4707607 A1 EP4707607 A1 EP 4707607A1 EP 25222564 A EP25222564 A EP 25222564A EP 4707607 A1 EP4707607 A1 EP 4707607A1
Authority
EP
European Patent Office
Prior art keywords
pump
holweck
stator
vacuum pump
stator section
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
EP25222564.4A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Jan Hofmann
Martin Lohse
Heiko BRÜCK
Sebastian Südwasser
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Pfeiffer Vacuum Technology AG
Original Assignee
Pfeiffer Vacuum Technology AG
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Filing date
Publication date
Application filed by Pfeiffer Vacuum Technology AG filed Critical Pfeiffer Vacuum Technology AG
Priority to EP25222564.4A priority Critical patent/EP4707607A1/fr
Publication of EP4707607A1 publication Critical patent/EP4707607A1/fr
Pending legal-status Critical Current

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    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/044Holweck-type pumps
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04DNON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04D19/00Axial-flow pumps
    • F04D19/02Multi-stage pumps
    • F04D19/04Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
    • F04D19/042Turbomolecular vacuum pumps

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090035123A1 (en) * 2004-11-01 2009-02-05 Ian David Stones Vacuum pump
EP3845764B1 (fr) * 2021-03-31 2023-05-03 Pfeiffer Vacuum Technology AG Pompe à vide et système de pompe à vide
EP4644703A1 (fr) * 2025-08-27 2025-11-05 Pfeiffer Vacuum Technology AG Pompe turbomoléculaire

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