JP2002208367A - Ｘ線管 - Google Patents
Ｘ線管Info
- Publication number
- JP2002208367A JP2002208367A JP2001002460A JP2001002460A JP2002208367A JP 2002208367 A JP2002208367 A JP 2002208367A JP 2001002460 A JP2001002460 A JP 2001002460A JP 2001002460 A JP2001002460 A JP 2001002460A JP 2002208367 A JP2002208367 A JP 2002208367A
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- JP
- Japan
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- ray tube
- vacuum envelope
- anode target
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 出力窓の腐食を防止したＸ線管を提供するこ
と。 【解決手段】 Ｘ線を透過するＢｅ製の出力窓１２が一
部に設けられた真空外囲器１１と、この真空外囲器１１
内の出力窓１２と対向する位置に配置された陽極ターゲ
ット１５と、この陽極ターゲット１５に照射する電子を
発生する陰極フィラメント１８とを具備したＸ線管にお
いて、出力窓１２に保護膜１４を形成している。
と。 【解決手段】 Ｘ線を透過するＢｅ製の出力窓１２が一
部に設けられた真空外囲器１１と、この真空外囲器１１
内の出力窓１２と対向する位置に配置された陽極ターゲ
ット１５と、この陽極ターゲット１５に照射する電子を
発生する陰極フィラメント１８とを具備したＸ線管にお
いて、出力窓１２に保護膜１４を形成している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は材料の分析用など
に使用されるＸ線管に関する。
に使用されるＸ線管に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線管はＸ線を放出する電子管で、用途
に応じていろいろな種類のＸ線管が実用化されている。
その１つに、各種材料の成分分析や製品の組成分析など
に使用されるＸ線管がある。
に応じていろいろな種類のＸ線管が実用化されている。
その１つに、各種材料の成分分析や製品の組成分析など
に使用されるＸ線管がある。
【０００３】材料の分析などに使用される従来のＸ線管
は、たとえば外側部分が真空外囲器で構成されている。
そして、真空外囲器の一部たとえばその前面に、Ｘ線の
減衰が少ない材料たとえばＢｅで形成された出力窓が設
けられている。
は、たとえば外側部分が真空外囲器で構成されている。
そして、真空外囲器の一部たとえばその前面に、Ｘ線の
減衰が少ない材料たとえばＢｅで形成された出力窓が設
けられている。
【０００４】真空外囲器内には、出力窓と対向して陽極
ターゲットが配置されている。また、陽極ターゲットの
外側に収束電極が配置され、収束電極の外側に陰極フィ
ラメントが配置されている。
ターゲットが配置されている。また、陽極ターゲットの
外側に収束電極が配置され、収束電極の外側に陰極フィ
ラメントが配置されている。
【０００５】上記した構成において、陰極フィラメント
から発生した電子が収束電極で収束され、陽極ターゲッ
トに照射される。このとき、陽極ターゲットがＸ線を放
出し、放出されたＸ線が出力窓を通して外部に取り出さ
れる。
から発生した電子が収束電極で収束され、陽極ターゲッ
トに照射される。このとき、陽極ターゲットがＸ線を放
出し、放出されたＸ線が出力窓を通して外部に取り出さ
れる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】分析用のＸ線管は、い
ろいろな材料の元素分析や製品の組成分析などに使用さ
れる。たとえば塩素や酸、フッ素系物質の分析にも使用
される。これらの物質は出力窓を構成するＢｅに損傷を
与える性質がある。
ろいろな材料の元素分析や製品の組成分析などに使用さ
れる。たとえば塩素や酸、フッ素系物質の分析にも使用
される。これらの物質は出力窓を構成するＢｅに損傷を
与える性質がある。
【０００７】そのため、塩素や酸、フッ素系物質の分析
に繰り返し使用されると、出力窓が腐食し、真空外囲器
の真空気密を保てなくなり、Ｘ線管が使用できなくなる
場合がある。近年、分析精度を向上させるために出力窓
を薄くする傾向があり、出力窓の腐食が問題になってい
る。
に繰り返し使用されると、出力窓が腐食し、真空外囲器
の真空気密を保てなくなり、Ｘ線管が使用できなくなる
場合がある。近年、分析精度を向上させるために出力窓
を薄くする傾向があり、出力窓の腐食が問題になってい
る。
【０００８】本発明は、上記した欠点を解決し、出力窓
の腐食を防止したＸ線管を提供することを目的とする。
の腐食を防止したＸ線管を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は、Ｘ線を透過す
るＢｅ製の出力窓が一部に設けられた真空外囲器と、こ
の真空外囲器内の前記出力窓と対向する位置に配置され
た陽極ターゲットと、この陽極ターゲットに照射する電
子を発生する陰極フィラメントとを具備したＸ線管にお
いて、前記出力窓に軽元素の保護膜を形成したことを特
徴としている。
るＢｅ製の出力窓が一部に設けられた真空外囲器と、こ
の真空外囲器内の前記出力窓と対向する位置に配置され
た陽極ターゲットと、この陽極ターゲットに照射する電
子を発生する陰極フィラメントとを具備したＸ線管にお
いて、前記出力窓に軽元素の保護膜を形成したことを特
徴としている。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態について、分析
用に使用されるＸ線管を例にとり図１を参照して説明す
る。
用に使用されるＸ線管を例にとり図１を参照して説明す
る。
【００１１】符号１１は真空外囲器で、図１ではその一
部だけが示されている。真空外囲器１１は筒状部分１１
ａや円錐状に外径が徐々に小さくなる傾斜部分１１ｂ、
前面の平坦部分１１ｃなどから構成され、平坦部分１１
ｃに開口１１ｄが設けられている。開口１１ｄ部分には
Ｘ線を透過する出力窓１２が設けられている。
部だけが示されている。真空外囲器１１は筒状部分１１
ａや円錐状に外径が徐々に小さくなる傾斜部分１１ｂ、
前面の平坦部分１１ｃなどから構成され、平坦部分１１
ｃに開口１１ｄが設けられている。開口１１ｄ部分には
Ｘ線を透過する出力窓１２が設けられている。
【００１２】出力窓１２は、Ｘ線の減衰が少ない材料た
とえばＢｅで形成されている。その厚さは、Ｘ線の減衰
を少なくするために数１０μｍ〜数１００μｍと薄く形
成し、開口１１ｄ部分の周縁にろう材１３で接合されて
いる。
とえばＢｅで形成されている。その厚さは、Ｘ線の減衰
を少なくするために数１０μｍ〜数１００μｍと薄く形
成し、開口１１ｄ部分の周縁にろう材１３で接合されて
いる。
【００１３】また、出力窓１２のたとえば外側の表面に
保護膜１４が設けられている。保護膜１４は、元素番号
がＢｅに近い軽元素たとえば炭素またはホウ素で形成さ
れ、その厚さはたとえば数μｍ〜数１０μｍに形成され
ている。なお、保護膜１４は、たとえば部品の段階やＸ
線管を完成させた後に、出力窓１２の表面に蒸着などの
方法でコーティングし形成する。
保護膜１４が設けられている。保護膜１４は、元素番号
がＢｅに近い軽元素たとえば炭素またはホウ素で形成さ
れ、その厚さはたとえば数μｍ〜数１０μｍに形成され
ている。なお、保護膜１４は、たとえば部品の段階やＸ
線管を完成させた後に、出力窓１２の表面に蒸着などの
方法でコーティングし形成する。
【００１４】真空外囲器１１の内部に、出力窓１２と対
向して陽極ターゲット１５が配置され、陽極ターゲット
１５は支持体１６で支持されている。陽極ターゲット１
５の外側に収束電極１７が配置され、収束電極１７の外
側に陰極フィラメント１８が配置されている。陰極フィ
ラメント１８は、収束電極１７の外周部に固定された環
状の支持部材１９によって支持されている。
向して陽極ターゲット１５が配置され、陽極ターゲット
１５は支持体１６で支持されている。陽極ターゲット１
５の外側に収束電極１７が配置され、収束電極１７の外
側に陰極フィラメント１８が配置されている。陰極フィ
ラメント１８は、収束電極１７の外周部に固定された環
状の支持部材１９によって支持されている。
【００１５】陽極ターゲット１５を支持する支持体１６
の内部空間に、陽極部分を冷却する冷却水路２０が形成
されている。冷却水路２０内では、冷却媒体たとえば冷
却水は矢印Ｙで示すように、中央部分を図示下方に進
み、その外側を上方に進んで循環する。また、真空外囲
器１１の筒状部分１１ａに、真空外囲器１１を冷却する
冷却水路２１が設けられている。
の内部空間に、陽極部分を冷却する冷却水路２０が形成
されている。冷却水路２０内では、冷却媒体たとえば冷
却水は矢印Ｙで示すように、中央部分を図示下方に進
み、その外側を上方に進んで循環する。また、真空外囲
器１１の筒状部分１１ａに、真空外囲器１１を冷却する
冷却水路２１が設けられている。
【００１６】ここで、上記した構成の出力窓１２の近傍
を抜き出して拡大した構造を図２に示す。図２では、図
１に対応する部分に同じ符号を付し、重複する説明を省
略する。
を抜き出して拡大した構造を図２に示す。図２では、図
１に対応する部分に同じ符号を付し、重複する説明を省
略する。
【００１７】上記した構成によれば、出力窓のたとえば
その外側の表面に保護膜が形成されている。そのため、
塩素や酸、フッ素系物質の分析に使用しても、保護膜に
よって出力窓が保護され、出力窓の腐食が防止される。
その外側の表面に保護膜が形成されている。そのため、
塩素や酸、フッ素系物質の分析に使用しても、保護膜に
よって出力窓が保護され、出力窓の腐食が防止される。
【００１８】
【発明の効果】この発明によれば、出力窓の腐食を防止
できるＸ線管を実現できる。
できるＸ線管を実現できる。
【図１】本発明の実施形態を説明するための断面図であ
る。
る。
【図２】本発明の出力窓の近傍を抜き出した断面図であ
る
る
１１…真空外囲器 １２…出力窓 １３…ろう材 １４…保護膜 １５…陽極ターゲット １６…支持体 １７…収束電極 １８…陰極フィラメント １９…支持部材 ２０…冷却水路 ２１…冷却水路
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｘ線を透過するＢｅ製の出力窓が一部に
設けられた真空外囲器と、この真空外囲器内の前記出力
窓と対向する位置に配置された陽極ターゲットと、この
陽極ターゲットに照射する電子を発生する陰極フィラメ
ントとを具備したＸ線管において、前記出力窓に軽元素
の保護膜を形成したことを特徴とするＸ線管。 - 【請求項２】 軽元素は炭素またはホウ素である請求項
１記載のＸ線管。 - 【請求項３】 保護膜が出力窓の外側の表面に形成され
た請求項１記載のＸ線管。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001002460A JP2002208367A (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | Ｘ線管 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001002460A JP2002208367A (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | Ｘ線管 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002208367A true JP2002208367A (ja) | 2002-07-26 |
Family
ID=18870964
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001002460A Pending JP2002208367A (ja) | 2001-01-10 | 2001-01-10 | Ｘ線管 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002208367A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2020521303A (ja) * | 2017-05-19 | 2020-07-16 | イマジン サイエンティフィック，インコーポレイテッド | 単色ｘ線撮像システム及び方法 |
| US11744536B2 (en) | 2018-02-09 | 2023-09-05 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic x-ray imaging systems and methods |
| US11903754B2 (en) | 2009-04-16 | 2024-02-20 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic X-ray methods and apparatus |
| US12253480B2 (en) | 2014-06-24 | 2025-03-18 | Imagine Scientific, Inc. | Methods and apparatus for determining information regarding chemical composition using x-ray radiation |
-
2001
- 2001-01-10 JP JP2001002460A patent/JP2002208367A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11903754B2 (en) | 2009-04-16 | 2024-02-20 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic X-ray methods and apparatus |
| US12253480B2 (en) | 2014-06-24 | 2025-03-18 | Imagine Scientific, Inc. | Methods and apparatus for determining information regarding chemical composition using x-ray radiation |
| JP2020521303A (ja) * | 2017-05-19 | 2020-07-16 | イマジン サイエンティフィック，インコーポレイテッド | 単色ｘ線撮像システム及び方法 |
| JP7296368B2 (ja) | 2017-05-19 | 2023-06-22 | イマジン サイエンティフィック，インコーポレイテッド | 単色ｘ線撮像システム及び方法 |
| US11833369B2 (en) | 2017-05-19 | 2023-12-05 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic x-ray imaging systems and methods |
| US11744536B2 (en) | 2018-02-09 | 2023-09-05 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic x-ray imaging systems and methods |
| US12521076B2 (en) | 2018-02-09 | 2026-01-13 | Imagine Scientific, Inc. | Monochromatic x-ray imaging systems and methods |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061213 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20061219 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081006 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081014 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090303 |