JP2003173582A - 光学記録再生媒体作製用原盤及びその製造方法とこれを用いた光学記録再生媒体作製用スタンパ基体、ならびに光学記録再生媒体作製用スタンパの製造方法及び光学記録再生媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 光学記録工程とメッキ工程との工程所要時間
のバランスの悪さを解消し、複数の情報パターンを有
し、極めて簡単に作製することができる光学記録再生媒
体作製用原盤を提供する。 【解決手段】 原盤用基板２上の感光層に、光学記録再
生媒体に記録する情報に対応する凹凸パターンが形成さ
れて成る光学記録再生媒体作製用原盤１０にあって、原
盤用基板２上の感光層に、複数の光学記録再生媒体の記
録情報に対応する凹凸パターンを形成して構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録に対応す
るパターンや、又は記録トラックに沿ったグルーブ等の
凹凸パターンが予め形成された光学記録再生媒体を製造
する際に用いる光学記録再生媒体作製用原盤及びその製
造方法とこれを用いた光学記録再生媒体作製用スタンパ
基体、ならびに光学記録再生媒体作製用スタンパの製造
方法及び光学記録再生媒体の製造方法に係わる。

【０００２】

【従来の技術】光学記録再生媒体として、円盤状に形成
されて成り、光学的に記録及び／又は再生が行われる光
ディスクが各種実用化されている。このような光ディス
クには、データに対応したエンボスピットがディスク基
板に予め形成されて成る再生専用光ディスクや、磁気光
学効果を利用してデータの記録を行う光磁気ディスク
や、記録膜の相変化を利用してデータの記録を行う相変
化型光ディスクなどがある。

【０００３】これら光ディスクのうち、光磁気ディスク
や相変化型光ディスクのように書き込みが可能な光ディ
スクでは、通常、記録トラックに沿ったグルーブがディ
スク基板に形成される。ここで、グルーブとは、主にト
ラッキングサーボを行えるようにするために、記録トラ
ックに沿って形成される、いわゆる案内溝であり、グル
ーブとグルーブの開口端間をランドと称す。

【０００４】このような凹凸パターンを有する光学記録
再生媒体の製造方法は、以下に示す方法が一般的に採ら
れている。先ず、光学記録再生媒体作製用原盤を製造す
る際には、通常、ガラス等より成る原盤用基板の上に、
フォトリソグラフィの適用によって、即ちフォトレジス
ト等の感光層を被着した後、所定の光学記録即ちいわゆ
るパターン露光、現像を行って、情報記録に対応するパ
ターンの凹凸が感光層表面に形成される方法が一般的で
ある。

【０００５】この光学記録の際には、ターンテーブル上
に原盤用基板を載置して、所定の回転数で回転させ、記
録用の光学系を例えば原盤用基板の半径方向に移動さ
せ、所定の記録領域に全面に光学記録がなされるように
している。

【０００６】そして、凹凸が形成された原盤用基板に対
し、Ｎｉメッキ等を施して、所定の凹凸パターンが形成
されたスタンパを転写形成する。原盤用基板から更にメ
ッキ等によってスタンパを得ることができる。

【０００７】光学記録再生媒体の基板は、このスタンパ
からポリカーボネート等の射出成形法、または２Ｐ（Ph
oto-Polymerization）法、即ち基板上に例えば紫外線硬
化樹脂を塗布し、この樹脂層にスタンパを押圧して目的
とする凹凸パターンを有する基板を形成する方法によっ
て得ることができる。

【０００８】従来、ＣＤ（Compact Disc）の追記型のい
わゆるＣＤ−Ｒや光磁気（ＭＯ；Magneto Optical ）デ
ィスクの書換え型のＭＤ（Mini Disc ）、ＤＶＤ（Digi
talVersatile Disc）の追記型のＤＶＤ−Ｒ、又はＤＶ
Ｄの書換え可能型のいわゆるＤＶＤ＋ＲＷ或いはＤＶＤ
−ＲＷ（いずれも光ディスクの登録商標）の各フォーマ
ットでは、グルーブに記録するグルーブ記録フォーマッ
トが提案されている。ＩＳＯ系の光磁気ディスクの各フ
ォーマットでは、ランドに記録するランド記録フォーマ
ットが提案されている。

【０００９】これらのディスクの直径は、ＭＤが６４ｍ
ｍ（φ６４）、ＣＤ−Ｒ、ＣＤ−ＲＷ、ＤＶＤ＋ＲＷ等
が１２０ｍｍ（φ１２０）であり、ＩＳＯ系の光磁気デ
ィスクの各フォーマットでは、３．５インチ径（直径８
９ｍｍ：φ８９）、５．２５インチ径（直径１３０ｍ
ｍ：φ１３０）等が提案されている。また近年、記録密
度の向上に伴い、ディスクの小型化が進んでおり、μ
（マイクロ）−Ｄｉｓｃのように直径５０ｍｍ（φ５
０）程度の小径ディスクフォーマットが提案されてい
る。

【００１０】例えばＭＤ（φ６４）作製用の原盤を上述
の製造方法により製造する場合は、図８にその一例を模
式的に示すように、原盤用基板２をターンテーブル１の
上に、その中心ｃ_g をターンテーブル１の中心に合わせ
て載置し、ターンテーブル１を例えば矢印Ｒで示すよう
に回転させて、原盤用基板２上の感光層（図示せず）に
レーザ照射等による光学記録を行う。５は記録領域を示
す。そしてこの光学記録の後、現像を行って感光層上に
所定の記録情報に対応する凹凸パターンを形成して光学
記録再生媒体作製用原盤を形成する。この光学記録再生
媒体作製用原盤から、電気メッキ法等によりスタンパを
転写形成して、最終的に得る光学記録再生媒体の形状に
沿って型抜きを行うことにより、光学記録再生媒体の基
板に対応する大きさのスタンパを得ることができる。図
８において、破線ｔは、この最終的に得る光学記録再生
媒体の大きさを模式的に示している。

【００１１】この場合、図８からわかるように、原盤用
基板１の大きさに対し、最終的に得る光学記録再生媒体
の大きさは小さく、現状では型抜き後の原盤用基板１の
外側部分は使用されていない。

【００１２】また、ＭＤの原盤用基板に対する光学記録
時間は２０分程度であり、スタンパを作製するための上
述のメッキ工程は、２−３時間程度であることから、工
程時間のバランスが悪く、生産性の低下を招く一因とな
っている。

【００１３】これに対し、上述のスタンパの製造工程に
おいて、光学記録再生媒体作製用原盤から１回の転写に
よりいわゆるマスタースタンパを形成し、このマスター
スタンパから、凹凸パターンが逆転したマザースタンパ
を転写形成し、更にこのマザースタンパから、マスター
スタンパと同様の凹凸パターンを有するサンスタンパを
転写形成するなどして、複数枚の基板作製用スタンパを
形成して生産効率を上げる方法が採られている。しかし
ながらこの場合においても、光学記録工程とメッキ工程
との所要時間のバランスの改善は行われていない。

【００１４】一方、先願特許（特開平７−２９２１９号
公開公報）においては、２Ｐ法によって１枚の原盤から
プラスチック基板等に原盤の情報パターンが形成された
レプリカ原盤を作製し、異なる情報パターンを有する複
数のレプリカ原盤をプラスチックなどの板の上に２次元
的に並べて固定し、この上にＮｉメッキを施して、１回
のメッキ工程により多数の情報パターンを有する１枚の
Ｎｉスタンパを作製し、このＮｉスタンパを射出成形装
置にかけて、１回の成形プロセスによる多数の情報パタ
ーンを有する基板を成形する方法が提案されている。

【００１５】この技術は、Ｎｉメッキ工程は複数の情報
パターンの原盤に対し１回とはなるが、複数枚のレプリ
カ原盤を２Ｐ法により作製する工程と、複数のレプリカ
原盤を２次元的に配置固定する工程とを有することか
ら、作製プロセスが煩雑となり、またレプリカ原盤を２
次元的に並べて平面性良く固定することが難しく、作業
性の低下を招いて結果的に生産性の向上をはかりにくい
などの問題がある。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】本発明においては、上
述したような、光学記録工程とメッキ工程との工程所要
時間のバランスの悪さを解消し、複数の情報パターンを
有する原盤を極めて簡単に作製することができる光学記
録再生媒体作製用原盤及びその製造方法、光学記録再生
媒体作製用スタンパ基体、ならびに光学記録再生媒体作
製用スタンパの製造方法及び光学記録再生媒体の製造方
法を提供することを目的とする。

【００１７】

【課題を解決するための手段】本発明は、原盤用基板上
の感光層に、光学記録再生媒体に記録する情報に対応す
る凹凸パターンが形成されて成る光学記録再生媒体作製
用原盤にあって、原盤用基板上の感光層に、複数の光学
記録再生媒体の記録情報に対応する凹凸パターンを形成
して構成する。

【００１８】また本発明は、上述の光学記録再生媒体作
製用原盤において、複数の光学記録再生媒体の記録情報
に対応する凹凸パターンを、異なる記録情報を有する光
学記録再生媒体に対応する凹凸パターンとして構成す
る。

【００１９】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体作
製用原盤において、原盤用基板の直径を、最終的に得る
光学記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上として構
成する。

【００２０】また更に本発明は、原盤用基板上の感光層
に、光学記録再生媒体に記録する情報に対応するパター
ンの光学記録を行う光学記録再生媒体作製用原盤の製造
方法にあって、原盤用基板の中心と、この原盤用基板を
載置するターンテーブルの回転中心とをずらした状態
で、原盤用基板をターンテーブルに固定して、原盤用基
板上の感光層に対し、光学記録を行う毎にターンテーブ
ルを回転させて、前回の光学記録部と重複しないように
複数回の光学記録を行い、１の原盤用基板上に、２以上
の光学記録再生媒体の記録情報に対応する凹凸パターン
を形成する。

【００２１】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体作
製用原盤の製造方法において、複数回の光学記録を行う
毎に、異なる記録情報に対応する光学記録を行う。また
更に本発明は、上述の各光学記録再生媒体作製用原盤の
製造方法において、原盤用基板の直径を、最終的に得る
光学記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上とする。

【００２２】また本発明は、原盤用基板上の感光層に、
光学記録再生媒体に記録する情報に対応する光学記録及
び現像を行って形成された光学記録再生媒体作製用原盤
から、少なくとも１回以上転写して形成される光学記録
再生媒体作製用スタンパ基体であって、この光学記録再
生媒体作製用スタンパ基体は、複数の光学記録再生媒体
の記録情報に対応する複数の凹凸パターンが形成された
スタンパ部を有する構成とする。

【００２３】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体作
製用スタンパ基体において、スタンパ部に、それぞれ異
なる記録情報を有する光学記録再生媒体に対応する凹凸
パターンを形成して構成する。また更に本発明は、上述
の各光学記録再生媒体作製用スタンパ基体において、そ
の直径を、最終的に得る光学記録再生媒体の直径の少な
くとも２倍以上として構成する。

【００２４】また本発明は、原盤用基板上の感光層に、
光学記録再生媒体に記録する情報に対応する光学記録及
び現像を行って光学記録再生媒体作製用原盤を作製し、
この光学記録再生媒体作製用原盤から光学記録再生媒体
作製用スタンパを製造する光学記録再生媒体作製用スタ
ンパの製造方法にあって、原盤用基板の中心と、この原
盤用基板を載置するターンテーブルの回転中心とをずら
した状態で、原盤用基板をターンテーブルに固定して、
原盤用基板上の感光層に対し、光学記録を行う毎にター
ンテーブルを回転させて、前回の光学記録部と重複しな
いように複数回の光学記録を行った後現像して光学記録
再生媒体作製用原盤を形成し、この光学記録再生媒体作
製用原盤から光学記録再生媒体作製用スタンパ基体を少
なくとも１回以上転写して形成し、この光学記録再生媒
体作製用スタンパ基体の、複数回の光学記録により形成
された複数の光学記録再生媒体の記録情報に対応する凹
凸パターンを有するスタンパ部の周囲を、最終的に得る
光学記録再生媒体の大きさに基づいて型抜きを行って、
１の光学記録再生媒体作製用スタンパ基体から２以上の
光学記録再生媒体作製用スタンパを製造する。

【００２５】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体作
製用スタンパの製造方法において、原盤用基板に対し複
数回の光学記録を行う毎に、異なる記録情報に対応する
光学記録を行い、異なる記録情報に対応する複数のスタ
ンパ部を１の光学記録再生媒体作製用スタンパ基体に形
成する。また更に本発明は、上述の各光学記録再生媒体
作製用スタンパの製造方法において、原盤用基板及び光
学記録再生媒体作製用スタンパ基体の直径を、最終的に
得る光学記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上とす
る。

【００２６】また本発明は、原盤用基板上の感光層に、
光学記録再生媒体に記録する情報に対応する光学記録及
び現像を行って光学記録再生媒体作製用原盤を作製し、
この光学記録再生媒体作製用原盤から光学記録再生媒体
作製用スタンパを形成して、光学記録再生媒体作製用ス
タンパもしくはこの光学記録再生媒体作製用スタンパか
ら１回以上転写形成したスタンパから光学記録再生媒体
の基板を転写形成する光学記録再生媒体の製造方法にあ
って、原盤用基板の中心と、この原盤用基板を載置する
ターンテーブルの回転中心とをずらした状態で、原盤用
基板をターンテーブルに固定して、原盤用基板上の感光
層に対する光学記録を行う毎にターンテーブルを回転さ
せて、前回の光学記録部と重複しないように複数回の光
学記録を行った後現像して光学記録再生媒体作製用原盤
を形成し、この光学記録再生媒体作製用原盤から光学記
録再生媒体作製用スタンパ部を少なくとも１回以上転写
して形成し、この光学記録再生媒体作製用スタンパ基体
の、複数回の光学記録により形成された複数の光学記録
再生媒体の記録情報に対応する凹凸パターンを有するス
タンパ部の周囲を、最終的に得る光学記録再生媒体の大
きさに基づいて型抜きを行って、１の光学記録再生媒体
作製用スタンパ基体から２以上の光学記録再生媒体作製
用スタンパを形成して、各光学記録再生媒体作製用スタ
ンパもしくはこれら各光学記録再生媒体作製用スタンパ
から１回以上転写して形成したスタンパから、光学記録
再生媒体の基板を形成する。

【００２７】更に本発明は、上述の光学記録再生媒体の
製造方法において、複数回の光学記録を行う毎に、異な
る記録情報に対応する光学記録を行い、異なる記録情報
を有する複数の光学記録再生媒体に対応する凹凸パター
ンをを光学記録再生媒体作製用原盤に形成する。

【００２８】また更に本発明は、上述のの各光学記録再
生媒体の製造方法において、原盤用基板及び光学記録再
生媒体作製用スタンパ基体の直径を、最終的に得る光学
記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上とする。

【００２９】上述したように、本発明においては、原盤
用基板を載置するターンテーブルの中心と原盤用基板の
中心とをずらした状態で配置し、光学記録の際の回転中
心を原盤用基板の中心とずらしたいわば偏心させた状態
で光学記録を行うことによって、１の原盤用基板に対
し、複数の情報パターンに対応する光学記録を重複する
ことなく行うことができる。

【００３０】従って、原盤用基板の大きさに対し比較的
小径の光学記録再生媒体を得ようとする場合において
も、原盤用基板の無効部分を低減化することができる。
これにより、コストの低減化をはかることができる。

【００３１】更に、例えばＭＤの製造工程においては２
０分程度で終了する光学記録工程を、１の原盤用基板に
対し複数回行うようにすることで光学記録工程の時間を
延長させ、光学記録後には、型抜きされた複数枚の光学
記録再生媒体作製用原盤から、１回のメッキ工程におい
て複数枚の光学記録再生媒体作製用スタンパを製造する
ことが可能となる。従って、光学記録工程とメッキ工程
との所要時間のバランスの悪さを解消し、生産性の格段
な向上をはかることができる。

【００３２】しかも本発明は、原盤用基板の中心位置を
ターンテーブルの中心位置からずらして載置する、とい
うきわめて簡単な方法を採ることから、光学記録装置の
改造を行う必要がなく、従来と同様の設備による製造が
可能である。更に、光学記録再生媒体作製用スタンパの
表面の平面性も簡単に良好に保持することができ、作業
性の低下を招くことなく、確実に生産性及び歩留りの向
上をはかることができる。

【００３３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を、図
面を参照して詳細に説明するが、本発明は以下の各例に
限定されることなく、その他種々の変形変更が可能であ
ることはいうまでもない。

【００３４】本発明による光学記録再生媒体作成用原盤
の一例の模式的な平面構成を図１に示す。図１におい
て、１０はガラス円盤等より成る原盤用基板上に感光層
が被着されて成る光学記録再生媒体作製用原盤である。
この光学記録再生媒体作製用原盤１０の感光層には、複
数の光学記録再生媒体の記録情報に対応する凹凸パター
ンが形成されて成る。この例においては、４つの光学記
録再生媒体の記録情報を形成した例を示し、５ａ〜５ｄ
はこれらの凹凸パターンが形成された記録領域を示す。

【００３５】そして、これら複数の光学記録再生媒体の
記録情報に対応する凹凸パターンは、異なる記録情報を
有する光学記録再生媒体に対応する凹凸パターンとする
こともできる。またこの例においては、原盤用基板の直
径を、最終的に得る光学記録再生媒体の直径の２倍以上
とした例を示す。例えば現状のＭＤの直径は８４ｍｍで
あるが、この原盤用基板は、例えば直径２２０ｍｍとさ
れる。

【００３６】このような本発明構成の光学記録再生媒体
作製用原盤の製造方法の一例を以下説明する。図２Ａは
その一工程の模式的な平面構成を示し、図２Ｂにその断
面構成を示す。１は光学記録を行う光学記録装置のター
ンテーブルを示し、この上に、感光層（図示せず）が被
着された原盤用基板２を、その中心ｃ_g と、ターンテー
ブル１の回転中心ｃ_T とを、後述する所定間隔だけずら
した状態で載置する。

【００３７】原盤用基板２は、例えばリング状の固定治
具３を原盤用基板２の周縁部に嵌合させ、４本の固定ビ
ズ４（ネジ）により固定される。破線ｇは、固定治具３
の下の原盤用基板２の外周縁を示す。

【００３８】ここで、固定ビズ４を配置した原盤用基板
２の位置にそれぞれａ、ｂ、ｃ及びｄとマーク付けを行
う。この例では、各位置を四方に均等に配置し、即ち時
計の文字盤の１２時、３時、６時及び９時の位置に対応
するように配置する。

【００３９】ＭＤを製造する場合に適用すると、最終的
に得る光学記録再生媒体の直径は約８４ｍｍである。原
盤用基板２の直径φ_g は例えば２２０ｍｍであり、ター
ンテーブル１の直径φ_T は例えば３６０ｍｍである。

【００４０】図示の例では、原盤用基板２の中心ｃ
_g を、ターンテーブル１の回転中心ｃ_Tとを位置ａの方
向に６０ｍｍずらして配置する。そして位置ａにおい
て、原盤用基板２の外周縁部がターンテーブル１の外周
縁部（位置Ａとする）から１０ｍｍ内側に配置されるよ
うにする。このとき、ターンテーブルの回転中心ｃ
_T と、位置ｃにおける原盤用基板２の外周縁部との距離
は５０ｍｍとなる。

【００４１】そして、１回目の光学記録を、ターンテー
ブルを所定の速度で回転させて行う。図２Ａにおいて、
矢印Ｒはターンテーブル１の回転方向を示す。図２Ａに
おいて斜線を付して示す記録領域５ａは、１回目の光学
記録を行う領域を示し、回転中心ｃ_T からの距離が１
４．５ｍｍ〜３１ｍｍの範囲において、原盤用基板２の
上の感光層（図示せず）に対して光学記録による記録が
なされる。破線ｔは、最終的に得る光学記録再生媒体の
大きさを模式的に示したものである。

【００４２】この１回目の光学記録が終了した後に、原
盤用基板２の位置を回転移動させる。この例において
は、一旦固定治具３をはずした後、図３に示すように、
原盤用基板２を、その中心ｃ_g のターンテーブル１上の
位置を固定した状態で例えば図２の紙面において時計回
りの方向に９０°回転させ、位置ｄにおける外周縁部が
ターンテーブル１の外周縁部（位置Ａ）に近接するよう
に、図２において説明した１回目の光学記録時と同様の
間隔（１０ｍｍ）をもって配置し、図示しないが再び固
定治具及び固定ビズによってターンテーブル１上に固定
配置する。

【００４３】このような状態で、再びターンテーブルを
所定の回転速度で矢印Ｒで示すように回転させて光学記
録を行う。５ｂは２回目の記録領域を示す。記録領域５
ｂの中心位置は、ターンテーブル１の回転中心ｃ_T と重
なっている。この記録領域５ｂの中心と原盤用基板２の
中心ｃ_g との間隔は、１回目の光学記録時と同様に６０
ｍｍとする。

【００４４】次に、同様に固定治具をはずした後、図４
に示すように、原盤用基板２を再び９０°回転させ、位
置ｃにおける外周縁部がターンテーブル１の外周縁部
（位置Ａ）に１０ｍｍの間隔をもって近接するように配
置し、図示しないが再び固定治具及び固定ビズによって
ターンテーブル１上に固定配置する。その後ターンテー
ブル１を所定の回転速度で矢印Ｒで示すように回転さ
せ、３回目の光学記録を行う。５ｃは３回目の記録領域
を示す。記録領域５ｃの中心位置は、ターンテーブル１
の回転中心ｃ_T と重なっており、この記録領域５ｃの中
心位置と原盤用基板２の中心ｃ_g との間隔を同様に６０
ｍｍとする。

【００４５】最後に、固定治具をはずした後、図５に示
すように、原盤用基板２を更に９０°回転させ、位置ｂ
における外周縁部がターンテーブル１の外周縁部（位置
Ａ）に１０ｍｍの間隔をもって近接するように配置し、
再び固定治具及び固定ビズ（図示せず）によってターン
テーブル１上に固定配置する。そしてターンテーブル１
を所定の回転速度で矢印Ｒで示すように回転させ、４回
目の光学記録を行う。５ｄは４回目の記録領域で、その
中心位置はターンテーブル１の回転中心ｃ_T と重なって
おり、原盤用基板２の中心ｃ_g との間隔を同様に６０ｍ
ｍとする。このようにして、前回の光学記録部と重複し
ないように複数回の光学記録を行うことができる。

【００４６】そしてこの後、光学記録再生媒体作製用原
盤を現像機のターンテーブルに載置して、感光層上に現
像液を滴下して、感光層を現像処理することによって、
１の原盤用基板上に、２以上、この場合図１において説
明したように、４枚の光学記録再生媒体の情報記録に対
応する記録領域を有する光学記録再生媒体作製用原盤を
製造することができる。

【００４７】その後、４つの記録領域を含む感光層上
に、無電界メッキ法により例えばニッケル皮膜からなる
導電化膜を被着し、導電化膜が形成された光学記録再生
媒体作製用原盤を電鋳装置に取り付け、電気メッキ法に
より導電化膜上に３００±５μｍ程度の厚さの例えばＮ
ｉメッキ層を形成する。続いてＮｉメッキ層を、光学記
録再生媒体作製用原盤からカッター等により剥離し、信
号形成面に付着する感光層をアセトン等によって洗浄す
ることによって、図６に示すように、複数の光学記録再
生媒体の記録情報に対応する複数の凹凸パターンが重複
することなく形成されたスタンパ部６ａ〜６ｄを有して
成る光学記録再生媒体作製用スタンパ基体１１を得るこ
とができる。

【００４８】次に、上述の光学記録を行う光学記録装置
の一例を、その構成を示す図７と共に説明する。図７に
おいて、２０はレーザ等の光源を示す。光学記録用の光
源としては、特に限定されるものではなく、適宜選択し
て用いることができるが、この例においては、ＨｅＣｄ
レーザ（波長λ＝４４２ｎｍ）の記録用レーザ光を発振
するレーザ源を用いた。

【００４９】光源２０から出射されたレーザ光は、変調
光学系ＯＭに導かれる。変調光学系ＯＭにおいて、レー
ザ光ＬＢをレンズＬ１で集光し、その焦点面上にＡＯＭ
（Acousto-Optic Modulator;音響光学変調素子）より構
成されるＡＯ変調器２１を配置する。ＡＯ変調器２１の
音響光学素子は酸化テルル（ＴｅＯ₂ ）を用いた。

【００５０】このＡＯ変調器２１には、記録情報に対応
する信号がドライバ２２から入力され、この信号に基づ
いてレーザ光の強度が強度変調される。この信号は、ピ
ットを形成する場合はＥＦＭ変調信号であり、グルーブ
を形成する場合は一定のＤＣ信号である。レーザ光は、
ＡＯ変調器２１の回折格子により回折され、その回折光
のうち１次回折光のみがスリットを透過するようになさ
れる。

【００５１】強度変調を受けた１次回折光は、レンズＬ
２によって集光された後、ミラーＭ１により反射されて
進行方向が９０°曲げられた上で、移動光学テーブル４
０に水平に且つ光軸に沿って導入される。

【００５２】レーザ光ＬＢによってグルーブを形成し、
かつこのグルーブをウォブルグルーブとする場合は、移
動光学テーブル４０上の偏向光学系ＯＤにおいて光学偏
向が施された上で、ミラーＭ２によって反射されて再び
進行方向が９０°曲げられて、偏光ビームスプリッタＰ
ＢＳに入射する。

【００５３】そして、偏光ビームスプリッタＰＢＳによ
って再度９０°進行方向が曲げられたレーザ光ＬＢＨＡ
拡大レンズＬ３によって所定のビーム径とされた上でミ
ラーＭ３によって反射されて対物レンズ５４へと導か
れ、この対物レンズ５４によって、原盤用基板２の上の
感光層１２に集光される。原盤用基板２は、図示しない
が回転駆動手段により矢印ｅで示すように回転される。
一点鎖線ｆは、基板２の中心軸を示す。

【００５４】記録用のレーザ光ＬＢは、移動光学テーブ
ル４０によって平行移動される。これにより、レーザ光
の照射軌跡に応じた凹凸パターンに対応する潜像が、感
光層１２の全面にわたって形成されることとなる。

【００５５】ここで、偏向光学系ＯＤは、ウェッジプリ
ズム４７、音響光学偏向器（ＡＯＤ：Acousto Optical
Deflector)４８、ウェッジプリズム４９により構成され
る。レーザ光ＬＢ₂ は、ウェッジプリズム４７を介して
音響光学偏向器４８に入射し、この音響光学偏向器４８
によって、所望する情報パターンに対応するように光学
偏向が施される。

【００５６】この音響光学偏向器４８に使用される音響
光学素子としては、例えば、酸化テルル（ＴｅＯ₂ ）か
ら成る音響光学素子が好適である。そして、音響光学偏
向器４８によって光学偏向が施されたレーザ光ＬＢは、
ウェッジプリズム４９を介して偏向光学系ＯＤから出射
される。

【００５７】尚、ウェッジプリズム４７、４９は、音響
光学偏向器４８の音響光学素子の格子面に対してブラッ
グ条件を満たすようにレーザ光ＬＢが入射すると共に、
音響光学偏向器４８によってレーザ光ＬＢに対して光学
偏向を施しても、ビームの水平高さが変わらないように
する機能を持つ。換言すれば、これらウェッジプリズム
４７、４９と音響光学偏向器４８は、音響光学偏向器４
８の音響光学素子の格子面がレーザ光ＬＢに対してブラ
ッグ条件を満たし、且つ偏向光学系ＯＤから出射された
ときのレーザ光の水平高さが変わらないように配置され
る。

【００５８】また、音響光学偏向器４８には、この音響
光学偏向器４８を駆動するための駆動用ドライバ５０が
取り付けられており、この駆動用ドライバ５０には、電
圧制御発振器（ＶＣＯ：Voltage Controlled Oscillato
r)５１からの高周波信号が、正弦波で変調され供給され
る。そして、感光層のレーザ照射の際には、所望する情
報パターンに応じた信号が電圧制御発振器５１から駆動
用ドライバ５０に入力され、この信号に応じて駆動用ド
ライバ５０によって音響光学偏向器４８が駆動され、こ
れにより、レーザ光ＬＢに対して所望のウォブリングに
対応した光学偏向が施される。

【００５９】具体的には、例えば、周波数１９４．１ｋ
Ｈｚにてグルーブをウォブリングさせることにより、グ
ルーブにアドレス情報を付加するような場合には、例え
ば中心周波数が２２４ＭＨｚの高周波信号を周波数１９
４．１ｋＨｚの制御信号にて正弦波信号を電圧制御発振
器５１から駆動用ドライバ５０に供給する。

【００６０】そして、この信号に応じて、駆動用ドライ
バ５０によって音響光学偏向器４８を駆動し、この音響
光学偏向器４８の音響光学素子のブラッグ角を変化さ
せ、これにより、周波数１９４．１ｋＨｚのウォブリン
グに対応するように、レーザ光に対して光学偏向を施
す。これにより、感光層上に集光されるレーザ光のスポ
ット位置が、周波数１９４．１ｋＨｚ、振幅±９ｎｍに
て、原盤用基板２の半径方向に振動するように光学偏向
を行った。

【００６１】ここで、偏光ビームスプリッタＰＢＳは、
Ｓ偏光を反射し、Ｐ偏光を透過するようになされ、光学
偏向されたレーザ光ＬＢはＳ偏光であり、ＰＢＳにおい
て反射するようになされる。

【００６２】以下の実施例においては、対物レンズの開
口数ＮＡを０．９とした。また、変調光学系ＯＭの光学
レンズとしては、集光レンズＬ１の焦点距離を８０ｍ
ｍ、コリメートレンズＬ２の焦点距離を１００ｍｍと
し、また移動光学テーブル４０の拡大レンズＬ３の焦点
距離を９０ｍｍとした。

【００６３】上述の構成による光学記録装置における露
光条件は、ピットはレーザパワー０．５０ｍＪ／ｍと
し、ウォブルグルーブははレーザパワー１．３０ｍＪ／
ｍ程度であり、線速度１．２０ｍ／ｓ、トラックピッチ
１．６０μｍとして、原盤用基板２上の感光層１２に光
学記録を行った。

【００６４】またこの例においては、上述の図２〜図５
において説明した各記録領域５ａ〜５ｄに対し、異なる
記録情報に対応する光学記録をそれぞれ行って、１の原
盤用基板２上に、例えば４種の異なる情報を有するＭＤ
に対応する光学記録をそれぞれ行った。

【００６５】そして、上述したように、原盤用基板２を
ターンテーブル１からはずして現像機のターンテーブル
に載置し、感光層の上に現像液を滴下して現像処理を行
う。これにより、現像用基板２の上に４種のＭＤの情報
パターンに基づく凹凸パターンが形成される。このよう
にして、４種類のＭＤの情報パターンがオーバーラップ
することなく凹凸パターンが形成された光学記録再生媒
体作製用原盤を得ることができる。

【００６６】この後、上述の図６において説明したよう
に、無電界メッキ法及び電気メッキ法によって、光学記
録再生媒体作製用スタンパ基体を作製し、このスタンパ
の最終的に得る光学記録再生媒体に大きさに基づいて、
図６において破線ｔで示すように所定の外周のいわゆる
トリミング即ち型抜きを行い、同時に所定の内周のトリ
ミングも行う。この場合ＭＤに対応する直径φ＝８４ｍ
ｍの光学記録再生媒体作製用スタンパを型抜き等によっ
て作製する。

【００６７】このようにして形成されたスタンパをそれ
ぞれ、記録領域５ａ〜５ｄに対応させてスタンパＡ、
Ｂ、Ｃ及びＤとし、それぞれポリカーボネートより成る
透明樹脂を用いて射出成形によって、光学記録再生媒体
の基板Ａ、Ｂ、Ｃ及びＤを厚さをそれぞれ１．２ｍｍと
して作製し、記録領域に形成された情報記録に対応する
凹凸パターンを基板に転写形成する。

【００６８】そしてこれら基板Ａ〜Ｄの上に、凹凸パタ
ーン上に、ＳｉＮ等より成る誘電体膜、ＴｂＦｅＣｏ等
より成る記録層、ＳｉＮ等より成る誘電体膜、Ａｌ反射
膜を順次スパッタリングにより成膜し、更に紫外線硬化
樹脂等より成る保護膜を被着形成して、ディスクＡ、
Ｂ、Ｃ及びＤを作製した。

【００６９】上記ディスクＡ、Ｂ、Ｃ及びＤの評価作業
を、波長７８０ｎｍ、開口数ＮＡ＝０．４５の光学系を
備えたＭＤ評価機を用いて評価した。線速度は１．２０
ｍ／ｓ、再生パワーは１．０ｍＷ、記録パワーは４．０
ｍＷであった。

【００７０】評価の結果、ディスクＡ、Ｂ、Ｃ及びＤ共
に、ＭＤフォーマットにおける規格を満たし、良好な記
録再生特性を得ることができた。

【００７１】上述したように、本発明によれば、光学記
録装置のターンテーブル上に、光学記録再生媒体作製用
の原盤用基板を偏心させて固定して光学記録を行うこと
によって、簡単に光学記録再生媒体作製用原盤に複数の
光学記録再生媒体の記録情報に対応する記録領域を形成
することができ、この光学記録再生媒体作製用原盤から
１回のメッキ工程によって、複数枚、上述の例では４
枚、４種類のＭＤに対応する光学記録再生媒体作製用ス
タンパ基体を形成することができ、このスタンパ基体か
ら型抜き等によって４つのスタンパを得ることができる
ことから、スタンパの製造工程においてこの場合４倍の
効率の向上をはかることができる。

【００７２】またこのとき、光学記録工程は１つの記録
領域に対して２０分程度であり、４回の光学記録では８
０分程度となり、スタンパのメッキ工程は２〜３時間程
度であるため、プロセスの所要時間のバランスを改善す
ることができる。

【００７３】以上、本発明の実施例を説明したが、上述
の実施例は本発明の技術的思想に基づいて様々に変形、
変更が可能である。例えば光学記録再生媒体作製用原盤
に６又は８の記録領域を設けることができ、更に適用す
る光学記録再生媒体は上述の光磁気記録膜を用いるＭＤ
の他、ＣＤやＣＤ−Ｒ、更に小型の高記録密度化された
光学記録再生媒体等に適用し得ることはいうまでもな
い。

【００７４】

【発明の効果】上述したように、本発明によれば、比較
的長い工程時間を要するメッキ工程において複数のスタ
ンパを形成することができ、通常のスタンパと同等の記
録再生特性を有する光学記録再生媒体を従来に比し短時
間で製造することができた。これにより、スタンパの製
造工程における生産効率を数倍以上とすることができ、
更に、比較的工程時間の短い光学記録工程と、メッキ工
程ととの所要時間のバランスの改善をはかることもでき
て、生産性の格段な向上をはかることができる。

【００７５】また、光学記録再生媒体作製用原盤を製造
する過程において、従来は無効分とされていた原盤用基
板材料を低減化することができ、更には光学記録設備の
変更を要しないことから、確実にコストの低減化をはか
ることができる。

【００７６】更に、光学記録再生媒体作製用スタンパの
表面の平面性も簡単に良好に保持することができ、作業
性の低下を招くことなく、確実に生産性及び歩留りの向
上をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】Ａは光学記録再生媒体作製用原盤の一例の平面
構成を示す説明図である。Ｂは光学記録再生媒体作製用
原盤の一例の断面構成を示す説明図である。

【図２】光学記録再生媒体作製用原盤の製造方法の一製
造工程の説明図である。

【図３】光学記録再生媒体作製用原盤の製造方法の一製
造工程の説明図である。

【図４】光学記録再生媒体作製用原盤の製造方法の一製
造工程の説明図である。

【図５】光学記録再生媒体作製用原盤の製造方法の一製
造工程の説明図である。

【図６】光学記録再生媒体作製用スタンパ基体の一例の
平面構成を示す説明図である。

【図７】光学記録装置の一例の構成図である。

【図８】従来の光学記録再生媒体作製用原盤の一例の平
面構成を示す説明図である。

【符号の説明】

１ ターンテーブル、２ 原盤用基板、３ 固定治具、
４ 固定ビズ、５ 記録領域、５ａ 記録領域、５ｂ
記録領域、５ｃ 記録領域、５ｄ 記録領域、６ａ ス
タンパ部、６ｂ スタンパ部、６ｃ スタンパ部、６ｄ
スタンパ部、１０ 光学記録再生媒体作製用原盤、１
１ 光学記録再生媒体作製用スタンパ基体、１２ 感光
層、１３ 光学記録再生媒体作製用スタンパ基体、２０
光源、２１ 音響光学変調器、２２ ドライバ、４０
移動光学テーブル、４７ ウェッジプリズム、４８
音響光学偏向器、４９ ウェッジプリズム、５０ 駆動
用ドライバ、５１ 電圧制御発振器、５４ 対物レンズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石森 拓 東京都品川区北品川６丁目７番35号 ソニ ー株式会社内 Ｆターム(参考） 5D121 BB01 BB21 BB40 CB08 GG24 JJ01 JJ02

Claims (15)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 原盤用基板上の感光層に、光学記録再生
   媒体に記録する情報に対応する凹凸パターンが形成され
   て成る光学記録再生媒体作製用原盤にあって、 上記原盤用基板上の上記感光層に、複数の光学記録再生
   媒体の記録情報に対応する凹凸パターンが形成されて成
   ることを特徴とする光学記録再生媒体作製用原盤。
2. 【請求項２】 上記複数の光学記録再生媒体の記録情報
   に対応する凹凸パターンが、異なる記録情報を有する光
   学記録再生媒体に対応する凹凸パターンとされて成るこ
   とを特徴とする上記請求項１に記載の光学記録再生媒体
   作製用原盤。
3. 【請求項３】 上記原盤用基板の直径が、最終的に得る
   上記光学記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上とさ
   れて成ることを特徴とする上記請求項１に記載の光学記
   録再生媒体作製用原盤。
4. 【請求項４】 原盤用基板上の感光層に、光学記録再生
   媒体に記録する情報に対応するパターンの光学記録を行
   う光学記録再生媒体作製用原盤の製造方法にあって、 上記原盤用基板の中心と、該原盤用基板を載置するター
   ンテーブルの回転中心とをずらした状態で、上記原盤用
   基板を上記ターンテーブルに固定して、 上記原盤用基板上の上記感光層に対し、光学記録を行う
   毎に上記ターンテーブルを回転させて、前回の光学記録
   部と重複しないように複数回の光学記録を行い、 １の原盤用基板上に、２以上の光学記録再生媒体の記録
   情報に対応する凹凸パターンを形成することを特徴とす
   る光学記録再生媒体作製用原盤の製造方法。
5. 【請求項５】 上記複数回の光学記録を行う毎に、異な
   る記録情報に対応する光学記録を行うことを特徴とする
   上記請求項４に記載の光学記録再生媒体作製用原盤の製
   造方法。
6. 【請求項６】 上記原盤用基板の直径を、最終的に得る
   上記光学記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上とす
   ることを特徴とする上記請求項４に記載の光学記録再生
   媒体作製用原盤の製造方法。
7. 【請求項７】 原盤用基板上の感光層に、光学記録再生
   媒体に記録する情報に対応する光学記録及び現像を行っ
   て形成された光学記録再生媒体作製用原盤から、少なく
   とも１回以上転写して形成される光学記録再生媒体作製
   用スタンパ基体であって、 上記光学記録再生媒体作製用スタンパ基体は、複数の上
   記光学記録再生媒体の記録情報に対応する複数の凹凸パ
   ターンが形成されたスタンパ部を有して成ることを特徴
   とする光学記録再生媒体作製用スタンパ基体。
8. 【請求項８】 上記スタンパ部には、それぞれ異なる記
   録情報を有する光学記録再生媒体に対応する凹凸パター
   ンが形成されて成ることを特徴とする上記請求項７に記
   載の光学記録再生媒体作製用スタンパ基体。
9. 【請求項９】 上記光学記録再生媒体作製用スタンパ基
   体の直径が、最終的に得る上記光学記録再生媒体の直径
   の少なくとも２倍以上とされて成ることを特徴とする上
   記請求項７に記載の光学記録再生媒体作製用スタンパ基
   体。
10. 【請求項１０】 原盤用基板上の感光層に、光学記録再
    生媒体に記録する情報に対応する光学記録及び現像を行
    って光学記録再生媒体作製用原盤を作製し、該光学記録
    再生媒体作製用原盤から光学記録再生媒体作製用スタン
    パを製造する光学記録再生媒体作製用スタンパの製造方
    法にあって、 上記原盤用基板の中心と、該原盤用基板を載置するター
    ンテーブルの回転中心とをずらした状態で、上記原盤用
    基板を上記ターンテーブルに固定して、 上記原盤用基板上の上記感光層に対し、光学記録を行う
    毎に上記ターンテーブルを回転させて、前回の光学記録
    部と重複しないように複数回の光学記録を行った後現像
    して光学記録再生媒体作製用原盤を形成し、 上記光学記録再生媒体作製用原盤から光学記録再生媒体
    作製用スタンパ基体を少なくとも１回以上転写して形成
    し、 上記光学記録再生媒体作製用スタンパ基体の、上記複数
    回の光学記録により形成された複数の光学記録再生媒体
    の記録情報に対応する凹凸パターンを有するスタンパ部
    の周囲を、最終的に得る光学記録再生媒体の大きさに基
    づいて型抜きを行って、１の光学記録再生媒体作製用ス
    タンパ基体から２以上の光学記録再生媒体作製用スタン
    パを製造することを特徴とする光学記録再生媒体作製用
    スタンパの製造方法。
11. 【請求項１１】 上記原盤用基板に対し複数回の光学記
    録を行う毎に、異なる記録情報に対応する光学記録を行
    い、異なる記録情報に対応する複数のスタンパ部を１の
    光学記録再生媒体作製用スタンパ基体に形成することを
    特徴とする上記請求項１０に記載の光学記録再生媒体作
    製用スタンパの製造方法。
12. 【請求項１２】 上記原盤用基板及び上記光学記録再生
    媒体作製用スタンパ基体の直径を、最終的に得る上記光
    学記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上とすること
    を特徴とする上記請求項１０に記載の光学記録再生媒体
    作製用スタンパの製造方法。
13. 【請求項１３】 原盤用基板上の感光層に、光学記録再
    生媒体に記録する情報に対応する光学記録及び現像を行
    って光学記録再生媒体作製用原盤を作製し、該光学記録
    再生媒体作製用原盤から光学記録再生媒体作製用スタン
    パを形成して、該光学記録再生媒体作製用スタンパもし
    くは該光学記録再生媒体作製用スタンパから１回以上転
    写形成したスタンパから光学記録再生媒体の基板を転写
    形成する光学記録再生媒体の製造方法にあって、 上記原盤用基板の中心と、該原盤用基板を載置するター
    ンテーブルの回転中心とをずらした状態で、上記原盤用
    基板を上記ターンテーブルに固定して、 上記原盤用基板上の上記感光層に対する光学記録を行う
    毎に上記ターンテーブルを回転させて、前回の光学記録
    部と重複しないように複数回の光学記録を行った後現像
    して光学記録再生媒体作製用原盤を形成し、 上記光学記録再生媒体作製用原盤から光学記録再生媒体
    作製用スタンパ基体を少なくとも１回以上転写して形成
    した後、 上記複数回の光学記録により形成された複数の光学記録
    再生媒体の記録情報に対応する凹凸パターンを有するス
    タンパ部の周囲を、最終的に得る光学記録再生媒体の大
    きさに基づいて型抜きを行い、１の光学記録再生媒体作
    製用スタンパ基体から２以上の光学記録再生媒体作製用
    スタンパを形成して、 上記各光学記録再生媒体作製用スタンパもしくは上記各
    光学記録再生媒体作製用スタンパから１回以上転写して
    形成したスタンパから、光学記録再生媒体の基板を形成
    することを特徴とする光学記録再生媒体の製造方法。
14. 【請求項１４】 上記複数回の光学記録を行う毎に、異
    なる記録情報に対応する光学記録を行い、異なる記録情
    報を有する複数の光学記録再生媒体に対応する凹凸パタ
    ーンをを上記光学記録再生媒体作製用原盤に形成するこ
    とを特徴とする上記請求項１３に記載の光学記録再生媒
    体の製造方法。
15. 【請求項１５】 上記原盤用基板及び上記光学記録再生
    媒体作製用スタンパ基体の直径を、最終的に得る上記光
    学記録再生媒体の直径の少なくとも２倍以上とすること
    を特徴とする上記請求項１３に記載の光学記録再生媒体
    の製造方法。