JP2003188230A - 無人搬送車 - Google Patents
無人搬送車Info
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- JP2003188230A JP2003188230A JP2001387557A JP2001387557A JP2003188230A JP 2003188230 A JP2003188230 A JP 2003188230A JP 2001387557 A JP2001387557 A JP 2001387557A JP 2001387557 A JP2001387557 A JP 2001387557A JP 2003188230 A JP2003188230 A JP 2003188230A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来の、無人搬送車に装備されるバッファカ
セットにおいては、ウエハを押圧する押圧手段がシリン
ダにより押圧されているが、バッファカセットに収容さ
れるウエハの枚数が少ないときには、各ウエハにかかる
押圧手段からの押圧力が大きすぎて、該ウエハが破損す
る恐れがあった。 【解決手段】 移載機３と、バッファカセット５と、該
バッファカセット５に収容されるウエハＷｂ・Ｗｓを押
圧する押圧手段６とを備える無人搬送車１であって、該
押圧手段６に、ウエハＷｂ・Ｗｓに対する押圧力を制限
するストッパ３２を設けた。
セットにおいては、ウエハを押圧する押圧手段がシリン
ダにより押圧されているが、バッファカセットに収容さ
れるウエハの枚数が少ないときには、各ウエハにかかる
押圧手段からの押圧力が大きすぎて、該ウエハが破損す
る恐れがあった。 【解決手段】 移載機３と、バッファカセット５と、該
バッファカセット５に収容されるウエハＷｂ・Ｗｓを押
圧する押圧手段６とを備える無人搬送車１であって、該
押圧手段６に、ウエハＷｂ・Ｗｓに対する押圧力を制限
するストッパ３２を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バッファカセット
に収容したウエハ等の板状物を目的位置まで搬送する無
人搬送車における、ウエハ飛び出し防止用の押圧手段の
構成に関する。
に収容したウエハ等の板状物を目的位置まで搬送する無
人搬送車における、ウエハ飛び出し防止用の押圧手段の
構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体デバイス製造用に用いられるシリ
コン単結晶等からなるウエハ等を搬送する場合、複数枚
のウエハが一定間隔を設けた積層状態で収容されたバッ
ファカセットを、無人搬送車（Automated Guided Vehic
le）により所定の目的地まで搬送するように構成した搬
送システムが検討されている。該バッファカセットは無
人搬送車に装備されており、ウエハを出し入れ可能な開
口部を有している。また、該無人搬送車には、バッファ
カセットの開口部近傍に、バッファカセットに収容した
ウエハが搬送途中に振動等で飛び出すことを防止するた
めの、押圧手段が設けられている。
コン単結晶等からなるウエハ等を搬送する場合、複数枚
のウエハが一定間隔を設けた積層状態で収容されたバッ
ファカセットを、無人搬送車（Automated Guided Vehic
le）により所定の目的地まで搬送するように構成した搬
送システムが検討されている。該バッファカセットは無
人搬送車に装備されており、ウエハを出し入れ可能な開
口部を有している。また、該無人搬送車には、バッファ
カセットの開口部近傍に、バッファカセットに収容した
ウエハが搬送途中に振動等で飛び出すことを防止するた
めの、押圧手段が設けられている。
【０００３】例えば、図８に示すバッファカセット１０
１は、下部に１２インチサイズのウエハＷｂを複数収容
可能な下部カセット１１１が設けられ、上部に８インチ
サイズのウエハＷｓを複数収容可能な上部カセット１１
２が設けられている。該バッファカセット１０１は、そ
の一側面が開口して開口部１０１ａが形成されており、
該開口部１０１ａの外側近傍には押圧手段１０２が配設
されている。押圧手段１０２は、バッファカセット１０
１の載置面１５０から上方へ延出している基部１０２ａ
と、該基部１０２ａに固設され、該基部１０２ａから上
方へ延設される押圧部１０２ｂとで構成されている。押
圧部１０２ｂは、図９に示すように、ウエハＷｂ・Ｗｓ
を押圧するための弾性部材１２２を支持部材１２１によ
り支持して構成されており、上下方向におけるウエハＷ
ｂ・Ｗｓの収容範囲よりも若干広い範囲をカバーできる
長さを有している。そして、該押圧部１０２ｂをバッフ
ァカセット１０１側へ押圧して、弾性部材１２２を開口
部１０１ａから突出しているウエハＷｂ・Ｗｓに圧接さ
せることで、該ウエハＷｂ・Ｗｓが上下部カセット１１
１・１１２内で動いたり、外部へ飛び出したりすること
を防止している。
１は、下部に１２インチサイズのウエハＷｂを複数収容
可能な下部カセット１１１が設けられ、上部に８インチ
サイズのウエハＷｓを複数収容可能な上部カセット１１
２が設けられている。該バッファカセット１０１は、そ
の一側面が開口して開口部１０１ａが形成されており、
該開口部１０１ａの外側近傍には押圧手段１０２が配設
されている。押圧手段１０２は、バッファカセット１０
１の載置面１５０から上方へ延出している基部１０２ａ
と、該基部１０２ａに固設され、該基部１０２ａから上
方へ延設される押圧部１０２ｂとで構成されている。押
圧部１０２ｂは、図９に示すように、ウエハＷｂ・Ｗｓ
を押圧するための弾性部材１２２を支持部材１２１によ
り支持して構成されており、上下方向におけるウエハＷ
ｂ・Ｗｓの収容範囲よりも若干広い範囲をカバーできる
長さを有している。そして、該押圧部１０２ｂをバッフ
ァカセット１０１側へ押圧して、弾性部材１２２を開口
部１０１ａから突出しているウエハＷｂ・Ｗｓに圧接さ
せることで、該ウエハＷｂ・Ｗｓが上下部カセット１１
１・１１２内で動いたり、外部へ飛び出したりすること
を防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述のバッファカセッ
ト１０１においては、押圧手段１０２はシリンダ１３１
により押圧されているが、該シリンダ１３１の押圧力
は、上下部カセット１１１・１１２にウエハＷｂ・Ｗｓ
がフルに収容された状態で、該ウエハＷｂ・Ｗｓが動か
ないような強さで押圧手段１０２を押圧するように設定
されているため、上下部カセット１１１・１１２に収容
されるウエハＷｂ・Ｗｓの枚数が少ないときには、各ウ
エハＷｂ・Ｗｓにかかる押圧手段１０２からの押圧力が
大きすぎて、該ウエハＷｂ・Ｗｓが破損する恐れがあっ
た。また、追加の課題として、バッファカセット１０１
への上下部カセット１１１・１１２の取付位置誤差等に
より、上部カセット１１２に収容されるウエハＷｓと下
部カセット１１１に収容されるウエハＷｂとの、開口部
１０１ａからの突出寸法が異なる場合があり、例えば、
図８に示すようにウエハＷｓの突出寸法がウエハＷｂの
突出寸法が小さかった場合には、該ウエハＷｓと押圧部
１０２ｂとの間に間隙ｄができて、ウエハＷｓを押さえ
ることができなくなってしまうという問題があった。
ト１０１においては、押圧手段１０２はシリンダ１３１
により押圧されているが、該シリンダ１３１の押圧力
は、上下部カセット１１１・１１２にウエハＷｂ・Ｗｓ
がフルに収容された状態で、該ウエハＷｂ・Ｗｓが動か
ないような強さで押圧手段１０２を押圧するように設定
されているため、上下部カセット１１１・１１２に収容
されるウエハＷｂ・Ｗｓの枚数が少ないときには、各ウ
エハＷｂ・Ｗｓにかかる押圧手段１０２からの押圧力が
大きすぎて、該ウエハＷｂ・Ｗｓが破損する恐れがあっ
た。また、追加の課題として、バッファカセット１０１
への上下部カセット１１１・１１２の取付位置誤差等に
より、上部カセット１１２に収容されるウエハＷｓと下
部カセット１１１に収容されるウエハＷｂとの、開口部
１０１ａからの突出寸法が異なる場合があり、例えば、
図８に示すようにウエハＷｓの突出寸法がウエハＷｂの
突出寸法が小さかった場合には、該ウエハＷｓと押圧部
１０２ｂとの間に間隙ｄができて、ウエハＷｓを押さえ
ることができなくなってしまうという問題があった。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上のような
課題を解決すべく、次のような手段を用いるものであ
る。即ち、請求項１の発明においては、移載機と、バッ
ファカセットと、該バッファカセットに収容される板状
物を押圧する押圧手段とを備える無人搬送車であって、
該押圧手段に、板状物に対する押圧力を制限するストッ
パを設けた。
課題を解決すべく、次のような手段を用いるものであ
る。即ち、請求項１の発明においては、移載機と、バッ
ファカセットと、該バッファカセットに収容される板状
物を押圧する押圧手段とを備える無人搬送車であって、
該押圧手段に、板状物に対する押圧力を制限するストッ
パを設けた。
【０００６】また、請求項２の発明においては、前記押
圧手段は、板状物に圧接する押圧部材を具備し、該押圧
部材は、長手方向の略中央部を支点として揺動可能であ
る。
圧手段は、板状物に圧接する押圧部材を具備し、該押圧
部材は、長手方向の略中央部を支点として揺動可能であ
る。
【０００７】さらに、請求項３の発明においては、前記
押圧手段に、弾性変形可能な部材により構成され、押圧
部材の自重による揺動を抑える、揺動ストッパを設け
た。
押圧手段に、弾性変形可能な部材により構成され、押圧
部材の自重による揺動を抑える、揺動ストッパを設け
た。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を、添付の図
面より説明する。図１は本発明にかかる無人搬送車を示
す側面図、図２は無人搬送車に装備されるバッファカセ
ットを示す側面図、図３は同じくバッファカセットを示
す平面図、図４は押圧手段を示す図２におけるＡ−Ａ断
面図、図５は押圧手段の揺動可能な状態を示す側面図、
図６は押圧手段を示す図２におけるＢ−Ｂ断面図、図７
は揺動ストッパが無かった場合の押圧部材の姿勢を示す
側面図、図８は従来のバッファカセットを示す側面図、
図９は従来の押圧手段を示す平面図である。
面より説明する。図１は本発明にかかる無人搬送車を示
す側面図、図２は無人搬送車に装備されるバッファカセ
ットを示す側面図、図３は同じくバッファカセットを示
す平面図、図４は押圧手段を示す図２におけるＡ−Ａ断
面図、図５は押圧手段の揺動可能な状態を示す側面図、
図６は押圧手段を示す図２におけるＢ−Ｂ断面図、図７
は揺動ストッパが無かった場合の押圧部材の姿勢を示す
側面図、図８は従来のバッファカセットを示す側面図、
図９は従来の押圧手段を示す平面図である。
【０００９】まず、本発明の無人搬送車の構成について
簡単に説明する。図１に示す無人搬送車１は、車輪９・
９・・・により走行可能とされる本体２の上部に、シリ
コン単結晶等からなるウエハＷｂ・Ｗｓを複数枚収容可
能なバッファカセット５、該ウエハＷｂ・Ｗｓの押圧手
段６、ウエハＷｂ・Ｗｓを移載する移載装置３、及びウ
エハＷｂ・Ｗｓの方向や位置等の姿勢を揃える姿勢合わ
せ装置４を配設して構成されている。そして、該無人搬
送車１は、バッファカセット５内に収容したウエハＷｂ
・Ｗｓを所定の目的地まで搬送し、枚葉式移載装置に構
成される移載装置３により、該ウエハＷｂ・Ｗｓを、目
的地に配設される処理装置やストッカへ一枚ずつ移載可
能としている。
簡単に説明する。図１に示す無人搬送車１は、車輪９・
９・・・により走行可能とされる本体２の上部に、シリ
コン単結晶等からなるウエハＷｂ・Ｗｓを複数枚収容可
能なバッファカセット５、該ウエハＷｂ・Ｗｓの押圧手
段６、ウエハＷｂ・Ｗｓを移載する移載装置３、及びウ
エハＷｂ・Ｗｓの方向や位置等の姿勢を揃える姿勢合わ
せ装置４を配設して構成されている。そして、該無人搬
送車１は、バッファカセット５内に収容したウエハＷｂ
・Ｗｓを所定の目的地まで搬送し、枚葉式移載装置に構
成される移載装置３により、該ウエハＷｂ・Ｗｓを、目
的地に配設される処理装置やストッカへ一枚ずつ移載可
能としている。
【００１０】次に、無人搬送車１に備えられるバッファ
カセット５及び押圧手段６の構成について説明する。図
２乃至図４に示すように、バッファカセット５の下部に
は下部カセット１１が装着され、上部には上部カセット
１２が装着されている。下部カセット１１と上部カセッ
ト１２とは、それぞれ異なるサイズのウエハを収容可能
としており、例えば、下部カセット１１には１２インチ
サイズのウエハＷｂが収容可能で、上部カセット１２に
は８インチサイズのウエハＷｓが収容可能となってい
る。また、下部カセット１１及び上部カセット１２は、
複数枚のウエハＷｂ・Ｗｓを所定の間隔を設けた積層状
態で複数枚収容可能としている。
カセット５及び押圧手段６の構成について説明する。図
２乃至図４に示すように、バッファカセット５の下部に
は下部カセット１１が装着され、上部には上部カセット
１２が装着されている。下部カセット１１と上部カセッ
ト１２とは、それぞれ異なるサイズのウエハを収容可能
としており、例えば、下部カセット１１には１２インチ
サイズのウエハＷｂが収容可能で、上部カセット１２に
は８インチサイズのウエハＷｓが収容可能となってい
る。また、下部カセット１１及び上部カセット１２は、
複数枚のウエハＷｂ・Ｗｓを所定の間隔を設けた積層状
態で複数枚収容可能としている。
【００１１】バッファカセット５は、その一側面が開口
して開口部５ａが形成されており、該開口部５ａの外側
（図２における左側）近傍には、押圧手段６が配設され
ている。押圧手段６は、バッファカセット５の載置面２
ａから上方へ延出する支柱２１と、該支柱２１に支持さ
れる押圧部材２２とで構成されている。
して開口部５ａが形成されており、該開口部５ａの外側
（図２における左側）近傍には、押圧手段６が配設され
ている。押圧手段６は、バッファカセット５の載置面２
ａから上方へ延出する支柱２１と、該支柱２１に支持さ
れる押圧部材２２とで構成されている。
【００１２】押圧部材２２は上下に長い長尺形状に形成
され、その上下略中央部を、支柱２１に固設される支持
部材２３により揺動自在に支持されている。また、押圧
部材２２は、エラストマー等にて構成されウエハＷｂ・
Ｗｓを押圧するための弾性部材２２ｂと、該弾性部材２
２ｂを保持する保持部材２２ａとで構成されている。弾
性部材２２ｂは、上下方向におけるウエハＷｂ・Ｗｓの
収容範囲よりも広い範囲をカバーできるだけの長さを有
しており、下部カセット１１及び上部カセット１２に満
載されたウエハＷｂ・Ｗｓの全てを押圧することができ
る。
され、その上下略中央部を、支柱２１に固設される支持
部材２３により揺動自在に支持されている。また、押圧
部材２２は、エラストマー等にて構成されウエハＷｂ・
Ｗｓを押圧するための弾性部材２２ｂと、該弾性部材２
２ｂを保持する保持部材２２ａとで構成されている。弾
性部材２２ｂは、上下方向におけるウエハＷｂ・Ｗｓの
収容範囲よりも広い範囲をカバーできるだけの長さを有
しており、下部カセット１１及び上部カセット１２に満
載されたウエハＷｂ・Ｗｓの全てを押圧することができ
る。
【００１３】押圧部材２２によるウエハＷｂ・Ｗｓの押
圧状態及び押圧状態の解除の切り換えは、支柱２１の下
端部に設けられるシリンダ３１の伸縮動作により行わ
れ、例えば、該シリンダ３１を縮小して押圧部材２２を
バッファカセット５側へ移動させると押圧状態となり、
シリンダ３１を伸張して押圧部材２２を反バッファカセ
ット５側へ移動させると押圧状態が解除される。押圧部
材２２によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する場合は、弾性
部材２２ｂがウエハＷｂ・Ｗｓの端面に当接した状態か
ら、さらに所定の寸法だけ押圧部材２２をウエハＷｂ・
Ｗｓ側へ移動させて、該ウエハＷｂ・Ｗｓを弾性部材２
２ｂに食い込ませ、該弾性部材２２ｂの弾性力によりウ
エハＷｂ・Ｗｓを押圧するようにしている。
圧状態及び押圧状態の解除の切り換えは、支柱２１の下
端部に設けられるシリンダ３１の伸縮動作により行わ
れ、例えば、該シリンダ３１を縮小して押圧部材２２を
バッファカセット５側へ移動させると押圧状態となり、
シリンダ３１を伸張して押圧部材２２を反バッファカセ
ット５側へ移動させると押圧状態が解除される。押圧部
材２２によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する場合は、弾性
部材２２ｂがウエハＷｂ・Ｗｓの端面に当接した状態か
ら、さらに所定の寸法だけ押圧部材２２をウエハＷｂ・
Ｗｓ側へ移動させて、該ウエハＷｂ・Ｗｓを弾性部材２
２ｂに食い込ませ、該弾性部材２２ｂの弾性力によりウ
エハＷｂ・Ｗｓを押圧するようにしている。
【００１４】しかし、押圧部材２２のバッファカセット
５側への移動量が大きすぎると、ウエハＷｂ・Ｗｓへか
かる力が大きくなりすぎて、特に、収容される枚数が少
なかった場合にはウエハＷｂ・Ｗｓが割れる等、破損す
る恐れがある。そこで、シリンダ３１にシリンダストッ
パ３２を設けて、該シリンダ３１の伸縮量を規制してい
る。本例の場合は、シリンダストッパ３２によりシリン
ダ３１の縮小量を一定寸法に規制して、押圧部材２２の
ウエハＷｂ・Ｗｓへの食い込み量が所定寸法以上になら
ないようにしている。これにより、ウエハＷｂ・Ｗｓに
過大な力がかかることがなくなり、該ウエハＷｂ・Ｗｓ
が破損することを防止できる。
５側への移動量が大きすぎると、ウエハＷｂ・Ｗｓへか
かる力が大きくなりすぎて、特に、収容される枚数が少
なかった場合にはウエハＷｂ・Ｗｓが割れる等、破損す
る恐れがある。そこで、シリンダ３１にシリンダストッ
パ３２を設けて、該シリンダ３１の伸縮量を規制してい
る。本例の場合は、シリンダストッパ３２によりシリン
ダ３１の縮小量を一定寸法に規制して、押圧部材２２の
ウエハＷｂ・Ｗｓへの食い込み量が所定寸法以上になら
ないようにしている。これにより、ウエハＷｂ・Ｗｓに
過大な力がかかることがなくなり、該ウエハＷｂ・Ｗｓ
が破損することを防止できる。
【００１５】このように構成される押圧手段６は、ガイ
ド板８に形成されるＬ字形状のガイド孔８ａに沿って移
動可能であり、バッファカセット５に収容されるウエハ
Ｗｂ・Ｗｓを移載装置３により移載する場合等、ウエハ
Ｗｂ・Ｗｓを押圧しない場合には、バッファカセット５
の一側方の待機位置Ｔに位置しており、ウエハＷｂ・Ｗ
ｓを搬送するために無人搬送車１が移動する場合等に
は、押圧位置Ｐへ移動してウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する
ように構成されている。
ド板８に形成されるＬ字形状のガイド孔８ａに沿って移
動可能であり、バッファカセット５に収容されるウエハ
Ｗｂ・Ｗｓを移載装置３により移載する場合等、ウエハ
Ｗｂ・Ｗｓを押圧しない場合には、バッファカセット５
の一側方の待機位置Ｔに位置しており、ウエハＷｂ・Ｗ
ｓを搬送するために無人搬送車１が移動する場合等に
は、押圧位置Ｐへ移動してウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する
ように構成されている。
【００１６】待機位置Ｔは、バッファカセット５の前後
方向（図２、図３における左右方向）位置においては、
押圧位置Ｐよりもバッファカセット５から離れて位置し
ている。そして、待機位置Ｔにある押圧手段６は、一旦
バッファカセット５の一側方にある待機位置Ｔから、左
右（図３における上下）中央部の押圧解除位置Ｋまで移
動した後、バッファカセット５側の押圧位置Ｐまで移動
してウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する、といったように、ガ
イド孔８ａにそってＬ字形に移動する。
方向（図２、図３における左右方向）位置においては、
押圧位置Ｐよりもバッファカセット５から離れて位置し
ている。そして、待機位置Ｔにある押圧手段６は、一旦
バッファカセット５の一側方にある待機位置Ｔから、左
右（図３における上下）中央部の押圧解除位置Ｋまで移
動した後、バッファカセット５側の押圧位置Ｐまで移動
してウエハＷｂ・Ｗｓを押圧する、といったように、ガ
イド孔８ａにそってＬ字形に移動する。
【００１７】そして、押圧手段６が左右中央部の押圧解
除位置Ｋにある押圧解除状態と、押圧位置Ｐにある押圧
状態との切り換えは、支柱２１の下端部に設けられるシ
リンダ３１の伸縮動作により行われ、該シリンダ３１を
縮小して押圧部材２２をバッファカセット５側へ移動さ
せると押圧状態となり、シリンダ３１を伸張して押圧部
材２２を反バッファカセット５側へ移動させると押圧状
態が解除される。押圧部材２２によりウエハＷｂ・Ｗｓ
を押圧する場合は、弾性部材２２ｂがウエハＷｂ・Ｗｓ
の端面に当接した状態から、さらに所定の寸法だけ押圧
部材２２をウエハＷｂ・Ｗｓ側へ移動させて、該ウエハ
Ｗｂ・Ｗｓを弾性部材２２ｂに食い込ませ、該弾性部材
２２ｂの弾性力によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するよう
にしている。
除位置Ｋにある押圧解除状態と、押圧位置Ｐにある押圧
状態との切り換えは、支柱２１の下端部に設けられるシ
リンダ３１の伸縮動作により行われ、該シリンダ３１を
縮小して押圧部材２２をバッファカセット５側へ移動さ
せると押圧状態となり、シリンダ３１を伸張して押圧部
材２２を反バッファカセット５側へ移動させると押圧状
態が解除される。押圧部材２２によりウエハＷｂ・Ｗｓ
を押圧する場合は、弾性部材２２ｂがウエハＷｂ・Ｗｓ
の端面に当接した状態から、さらに所定の寸法だけ押圧
部材２２をウエハＷｂ・Ｗｓ側へ移動させて、該ウエハ
Ｗｂ・Ｗｓを弾性部材２２ｂに食い込ませ、該弾性部材
２２ｂの弾性力によりウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するよう
にしている。
【００１８】このように、まず左右中央部まで移動して
からウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するように構成すること
で、押圧手段６を押圧位置Ｐからそのまま左右方向へ移
動させるように構成した場合のように、弾性部材２２ｂ
とウエハＷｂ・Ｗｓとが摺接して、該弾性部材２２ｂが
切れる等の破損を防止することができる。
からウエハＷｂ・Ｗｓを押圧するように構成すること
で、押圧手段６を押圧位置Ｐからそのまま左右方向へ移
動させるように構成した場合のように、弾性部材２２ｂ
とウエハＷｂ・Ｗｓとが摺接して、該弾性部材２２ｂが
切れる等の破損を防止することができる。
【００１９】また、図５、図６に示すように、押圧部材
２２は、支持部材２３により支持された部分を中心とし
て揺動自在であるが、その揺動範囲は、支持部材２３の
上方及び下方における支柱２１に固設される揺動ストッ
パ２５・２５により制限されている。支柱２１と押圧部
材２２との間に介装される揺動ストッパ２５・２５は、
前記弾性部材２２ｂと同様にエラストマ−等で構成され
ており、押圧部材２２に当接して、該押圧部材２２が自
由に揺動することを規制している。
２２は、支持部材２３により支持された部分を中心とし
て揺動自在であるが、その揺動範囲は、支持部材２３の
上方及び下方における支柱２１に固設される揺動ストッ
パ２５・２５により制限されている。支柱２１と押圧部
材２２との間に介装される揺動ストッパ２５・２５は、
前記弾性部材２２ｂと同様にエラストマ−等で構成され
ており、押圧部材２２に当接して、該押圧部材２２が自
由に揺動することを規制している。
【００２０】これにより、押圧部材２２に外部からの力
がかかっていないときには、該押圧部材２２は略垂直な
姿勢に保持されることとなる。そして、押圧部材２２に
おける、支持部材２３より上方又は下方の位置の揺動方
向に、揺動ストッパ２５の弾性力よりも大きな力がかか
った場合に、押圧部材２２が揺動するように構成されて
いる。
がかかっていないときには、該押圧部材２２は略垂直な
姿勢に保持されることとなる。そして、押圧部材２２に
おける、支持部材２３より上方又は下方の位置の揺動方
向に、揺動ストッパ２５の弾性力よりも大きな力がかか
った場合に、押圧部材２２が揺動するように構成されて
いる。
【００２１】ここで、例えば、揺動ストッパ２５・２５
が設けられていない場合を考えると、図７に示すよう
に、押圧部材２２は、前後方向における反バッファカセ
ット５側寄りを支持部材２３により支持されているの
で、自由に揺動することができるとなると、上部がバッ
ファカセット５に近づく方向へ自重で傾いてしまう。
が設けられていない場合を考えると、図７に示すよう
に、押圧部材２２は、前後方向における反バッファカセ
ット５側寄りを支持部材２３により支持されているの
で、自由に揺動することができるとなると、上部がバッ
ファカセット５に近づく方向へ自重で傾いてしまう。
【００２２】このように、押圧部材２２が傾いてしまう
と、バッファカセット５が下部カセット１１の下部に数
枚のウエハＷｂが収容されているだけの状態にあった場
合には、シリンダ３１が縮小して押圧部材２２がバッフ
ァカセット５側へ移動したとしても、該シリンダ３１の
縮小量がシリンダストッパ３２により規制されているた
め、ウエハＷｂと押圧部材２２の下部との間に隙間が生
じて、該ウエハＷｂを押圧することができなくなってし
まう。この場合、例えば、支持部材２３と、該支持部材
２３に回動可能に支持される押圧部材２２との間の隙間
を小さくして、両者間の摩擦力を大きくし、押圧部材２
２が自重で傾かないように構成することが考えられる。
しかし、このような構成では、押圧部材２２がウエハＷ
ｂ・Ｗｓに当接した際に、ウエハＷｂ・Ｗｓに強い力を
加えることなく押圧部材２２を傾かせることができるよ
うに、支持部材２３と押圧部材２２との間の摩擦力を調
整するのに時間がかかってしまう恐れがある。従って、
前述のように、揺動ストッパ２５・２５により、押圧部
材２２が自重で傾くことなく垂直な姿勢を保持するよう
にして、数枚のウエハＷｂしか収容されていない状態で
も、該ウエハＷｂを容易に、確実に押圧することができ
るようにしている。
と、バッファカセット５が下部カセット１１の下部に数
枚のウエハＷｂが収容されているだけの状態にあった場
合には、シリンダ３１が縮小して押圧部材２２がバッフ
ァカセット５側へ移動したとしても、該シリンダ３１の
縮小量がシリンダストッパ３２により規制されているた
め、ウエハＷｂと押圧部材２２の下部との間に隙間が生
じて、該ウエハＷｂを押圧することができなくなってし
まう。この場合、例えば、支持部材２３と、該支持部材
２３に回動可能に支持される押圧部材２２との間の隙間
を小さくして、両者間の摩擦力を大きくし、押圧部材２
２が自重で傾かないように構成することが考えられる。
しかし、このような構成では、押圧部材２２がウエハＷ
ｂ・Ｗｓに当接した際に、ウエハＷｂ・Ｗｓに強い力を
加えることなく押圧部材２２を傾かせることができるよ
うに、支持部材２３と押圧部材２２との間の摩擦力を調
整するのに時間がかかってしまう恐れがある。従って、
前述のように、揺動ストッパ２５・２５により、押圧部
材２２が自重で傾くことなく垂直な姿勢を保持するよう
にして、数枚のウエハＷｂしか収容されていない状態で
も、該ウエハＷｂを容易に、確実に押圧することができ
るようにしている。
【００２３】一方、図８に示した場合のように、下部カ
セット１１内に収容されるウエハＷｂのバッファカセッ
ト５からの突出量が、上部カセット１２内に収容される
ウエハＷｓのバッファカセット５からの突出量よりも大
きかった場合には、押圧部材２２がバッファカセット５
側へ移動して下部のウエハＷｂに当接した後に、さらに
バッファカセット５側へ移動すると、下方の揺動ストッ
パ２５が弾性変形して、押圧部材２２は上部がバッファ
カセット５側近づく方向へ揺動して、該押圧部材２２に
より上部のウエハＷｓもが押圧される。
セット１１内に収容されるウエハＷｂのバッファカセッ
ト５からの突出量が、上部カセット１２内に収容される
ウエハＷｓのバッファカセット５からの突出量よりも大
きかった場合には、押圧部材２２がバッファカセット５
側へ移動して下部のウエハＷｂに当接した後に、さらに
バッファカセット５側へ移動すると、下方の揺動ストッ
パ２５が弾性変形して、押圧部材２２は上部がバッファ
カセット５側近づく方向へ揺動して、該押圧部材２２に
より上部のウエハＷｓもが押圧される。
【００２４】このように、押圧部材２２を揺動可能に構
成しつつ、揺動ストッパ２５により、その揺動動作を規
制することで、バッファカセット５に収容されるウエハ
Ｗｂ・Ｗｓのバッファカセット５からの突出量が異なっ
ていた場合や、収容されるウエハＷｂ・Ｗｓが少量であ
った場合等においても、全てのウエハＷｂ・Ｗｓを確実
に押圧することが可能となる。
成しつつ、揺動ストッパ２５により、その揺動動作を規
制することで、バッファカセット５に収容されるウエハ
Ｗｂ・Ｗｓのバッファカセット５からの突出量が異なっ
ていた場合や、収容されるウエハＷｂ・Ｗｓが少量であ
った場合等においても、全てのウエハＷｂ・Ｗｓを確実
に押圧することが可能となる。
【００２５】尚、弾性部材２２ｂ内部には空洞２２ｃを
形成して、ウエハＷｂ・Ｗｓが同じ力で圧接した際の弾
性部材２２ｂの凹み度合いが、空洞２２ｃが形成されな
い場合よりも大きくなるようにしている。これにより、
ウエハＷｂ・Ｗｓをより深く弾性部材２２ｂに食い込ま
せることが可能となって、ウエハＷｂ・Ｗｓを押圧でき
る前後方向の範囲を大きくすることができ、ウエハＷｂ
・Ｗｓのバッファカセット５からの突出量の違いが大き
くても、確実に押圧することができるようになってい
る。
形成して、ウエハＷｂ・Ｗｓが同じ力で圧接した際の弾
性部材２２ｂの凹み度合いが、空洞２２ｃが形成されな
い場合よりも大きくなるようにしている。これにより、
ウエハＷｂ・Ｗｓをより深く弾性部材２２ｂに食い込ま
せることが可能となって、ウエハＷｂ・Ｗｓを押圧でき
る前後方向の範囲を大きくすることができ、ウエハＷｂ
・Ｗｓのバッファカセット５からの突出量の違いが大き
くても、確実に押圧することができるようになってい
る。
【００２６】
【発明の効果】本発明は以上の如く構成したので、次の
ような効果を奏するのである。即ち、請求項１記載の如
く、移載機と、バッファカセットと、該バッファカセッ
トに収容される板状物を押圧する押圧手段とを備える無
人搬送車であって、該押圧手段に、板状物に対する押圧
力を制限するストッパを設けたので、該ストッパによ
り、板状物へかかる押圧手段からの押圧力を制限するこ
とができ、該板状物が破損することを防止できる。
ような効果を奏するのである。即ち、請求項１記載の如
く、移載機と、バッファカセットと、該バッファカセッ
トに収容される板状物を押圧する押圧手段とを備える無
人搬送車であって、該押圧手段に、板状物に対する押圧
力を制限するストッパを設けたので、該ストッパによ
り、板状物へかかる押圧手段からの押圧力を制限するこ
とができ、該板状物が破損することを防止できる。
【００２７】さらに、請求項２記載の如く、前記押圧手
段は、板状物に圧接する押圧部材を具備し、該押圧部材
は、長手方向の略中央部を支点として揺動可能であるの
で、バッファカセットに収容される板状物の、該バッフ
ァカセットからの突出量が上部と下部とで異なっていた
場合でも、押圧部材が揺動することで、全ての板状部材
を確実に押圧することが可能となる。
段は、板状物に圧接する押圧部材を具備し、該押圧部材
は、長手方向の略中央部を支点として揺動可能であるの
で、バッファカセットに収容される板状物の、該バッフ
ァカセットからの突出量が上部と下部とで異なっていた
場合でも、押圧部材が揺動することで、全ての板状部材
を確実に押圧することが可能となる。
【００２８】さらに、請求項３記載の如く、前記押圧手
段に、弾性変形可能な部材により構成され、押圧部材の
自重による揺動を抑える、揺動ストッパを設けたので、
揺動可能に構成される押圧部材が、板状部材に当接する
までは揺動しなくなり、収容される板状物が少量であっ
た場合等でも、全ての板状物を確実に押圧することが可
能となる。
段に、弾性変形可能な部材により構成され、押圧部材の
自重による揺動を抑える、揺動ストッパを設けたので、
揺動可能に構成される押圧部材が、板状部材に当接する
までは揺動しなくなり、収容される板状物が少量であっ
た場合等でも、全ての板状物を確実に押圧することが可
能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明にかかる無人搬送車を示す側面図であ
る。
る。
【図２】無人搬送車に装備されるバッファカセットを示
す側面図である。
す側面図である。
【図３】同じくバッファカセットを示す平面図である。
【図４】押圧手段を示す図２におけるＡ−Ａ断面図であ
る。
る。
【図５】押圧手段の揺動可能な状態を示す側面図であ
る。
る。
【図６】押圧手段を示す図２におけるＢ−Ｂ断面図であ
る。
る。
【図７】揺動ストッパが無かった場合の押圧部材の姿勢
を示す側面図である。
を示す側面図である。
【図８】従来のバッファカセットを示す側面図である。
【図９】従来の押圧手段を示す平面図である。
１ 無人搬送車
５ バッファカセット
６ 押圧手段
１１ 下部カセット
１２ 上部カセット
２２ 押圧部材
２５ ようどうストッパ
３１ シリンダ
３２ ストッパ
Ｗｂ・Ｗｓ ウエハ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 村山 貴彦
京都市伏見区竹田向代町136番地 ムラタ
エンジニアリング株式会社内
Ｆターム(参考） 3F022 AA08 CC02 EE05 LL07 MM66
MM67
5F031 CA02 EA09 FA03 GA58 LA15
PA16 PA20 PA30
Claims (3)
- 【請求項１】 移載機と、バッファカセットと、該バッ
ファカセットに収容される板状物を押圧する押圧手段と
を備える無人搬送車であって、該押圧手段に、板状物に
対する押圧力を制限するストッパを設けたことを特徴と
する無人搬送車。 - 【請求項２】 前記押圧手段は、板状物に圧接する押圧
部材を具備し、該押圧部材は、長手方向の略中央部を支
点として揺動可能であることを特徴とする請求項１に記
載の無人搬送車。 - 【請求項３】 前記押圧手段に、弾性変形可能な部材に
より構成され、押圧部材の自重による揺動を抑える、揺
動ストッパを設けたことを特徴とする請求項２に記載の
無人搬送車。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001387557A JP4102063B2 (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | 無人搬送車 |
| KR1020037005896A KR100825363B1 (ko) | 2001-09-18 | 2002-09-05 | 무인반송차 |
| PCT/JP2002/009018 WO2003026002A1 (en) | 2001-09-18 | 2002-09-05 | Automatic guided vehicle |
| US10/416,168 US7153079B2 (en) | 2001-09-18 | 2002-09-05 | Automated guided vehicle |
| TW091120904A TW580477B (en) | 2001-09-18 | 2002-09-12 | Unmanned carriage truck |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001387557A JP4102063B2 (ja) | 2001-12-20 | 2001-12-20 | 無人搬送車 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003188230A true JP2003188230A (ja) | 2003-07-04 |
| JP4102063B2 JP4102063B2 (ja) | 2008-06-18 |
Family
ID=27596349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001387557A Expired - Fee Related JP4102063B2 (ja) | 2001-09-18 | 2001-12-20 | 無人搬送車 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4102063B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012064799A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6690479B2 (ja) * | 2016-09-09 | 2020-04-28 | 株式会社ダイフク | 容器収納設備 |
-
2001
- 2001-12-20 JP JP2001387557A patent/JP4102063B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012064799A (ja) * | 2010-09-16 | 2012-03-29 | Daifuku Co Ltd | 搬送装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4102063B2 (ja) | 2008-06-18 |
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