JP2003247894A - 波長測定装置および波長測定方法 - Google Patents
波長測定装置および波長測定方法Info
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- JP2003247894A JP2003247894A JP2002048114A JP2002048114A JP2003247894A JP 2003247894 A JP2003247894 A JP 2003247894A JP 2002048114 A JP2002048114 A JP 2002048114A JP 2002048114 A JP2002048114 A JP 2002048114A JP 2003247894 A JP2003247894 A JP 2003247894A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 非常に安価で、短時間に測定すること。
【解決手段】 レーザダイオード（３１）から出射され
るレーザ光の発振波長を測定する波長測定装置（３０）
において、フォトダイオード（３２）はレーザダイオー
ドから出射されたレーザ光を受光する。電流計（３３）
は、フォトダイオードで流れる電流値を測定する。色フ
ィルタ（３４）は、レーザダイオードとフォトダイオー
ドとの間に出入り可能に配置される。処理装置（３８）
は、色フィルタが挿入される前に電流計で測定されるフ
ォトダイオードを流れる第１の電流値と、色フィルタが
挿入された後に電流計で測定されるフォトダイオードを
流れる第２の電流値との比より色フィルタの透過率を求
め、この求めた色フィルタの透過率よりレーザ光の発振
波長を決定する。
るレーザ光の発振波長を測定する波長測定装置（３０）
において、フォトダイオード（３２）はレーザダイオー
ドから出射されたレーザ光を受光する。電流計（３３）
は、フォトダイオードで流れる電流値を測定する。色フ
ィルタ（３４）は、レーザダイオードとフォトダイオー
ドとの間に出入り可能に配置される。処理装置（３８）
は、色フィルタが挿入される前に電流計で測定されるフ
ォトダイオードを流れる第１の電流値と、色フィルタが
挿入された後に電流計で測定されるフォトダイオードを
流れる第２の電流値との比より色フィルタの透過率を求
め、この求めた色フィルタの透過率よりレーザ光の発振
波長を決定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザダイオード
などの半導体レーザから出射されるレーザ光の発振波長
を測定する波長測定装置に関する。
などの半導体レーザから出射されるレーザ光の発振波長
を測定する波長測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来においては、一般的に、次に述べる
２つの方法を使用して、レーザダイオード（半導体レー
ザ）から出射されるレーザ光の発振波長の測定を行って
いる。
２つの方法を使用して、レーザダイオード（半導体レー
ザ）から出射されるレーザ光の発振波長の測定を行って
いる。
【０００３】先ず図１を参照して、第１の従来の波長測
定装置１０による波長測定方法について説明する。第１
の従来の波長測定装置１０では、分光器１３を用いてレ
ーザダイオード１１から出射されたレーザ光の発振波長
を測定している。
定装置１０による波長測定方法について説明する。第１
の従来の波長測定装置１０では、分光器１３を用いてレ
ーザダイオード１１から出射されたレーザ光の発振波長
を測定している。
【０００４】詳述すると、第１の従来の波長測定装置１
０は、凸レンズ１２と、分光器１３と、光電子増倍管１
４と、オシロスコープ１５とを有する。分光器１３は、
第１の反射鏡１３１と、第１の凹面鏡１３２と、回折格
子１３３と、第２の凹面鏡１３４と、第２の反射鏡１３
５と、スリット１３６とを有する。
０は、凸レンズ１２と、分光器１３と、光電子増倍管１
４と、オシロスコープ１５とを有する。分光器１３は、
第１の反射鏡１３１と、第１の凹面鏡１３２と、回折格
子１３３と、第２の凹面鏡１３４と、第２の反射鏡１３
５と、スリット１３６とを有する。
【０００５】次に、第１の従来の波長測定装置１０の測
定動作について説明する。先ず、レーザダイオード１１
から出射されたレーザ光は凸レンズ１２を介して分光器
１３へ入射される。この分光器１３へ入射されたレーザ
光（入射光）は、第１の反射鏡１３１および第１の凹面
鏡１３２で反射された後、回折格子１３３へ入射する。
この回折格子１３３に入射したレーザ光は、回折格子１
３３で分散された後、第２の凹面鏡１３４および第２の
反射鏡１３５で反射され、スリット１３６を介して光電
子増倍管１４で受光される。光電子増倍管１４は、この
受光したレーザ光を光電子倍増し、増幅した電気信号に
変換する。この変換された増幅した電気信号はオシロス
コープ１５に供給され、ここでスペクトル表示される。
この表示されたスペクトルにより、レーザダイオード１
１から出射されるレーザ光の発振波長を測定する。
定動作について説明する。先ず、レーザダイオード１１
から出射されたレーザ光は凸レンズ１２を介して分光器
１３へ入射される。この分光器１３へ入射されたレーザ
光（入射光）は、第１の反射鏡１３１および第１の凹面
鏡１３２で反射された後、回折格子１３３へ入射する。
この回折格子１３３に入射したレーザ光は、回折格子１
３３で分散された後、第２の凹面鏡１３４および第２の
反射鏡１３５で反射され、スリット１３６を介して光電
子増倍管１４で受光される。光電子増倍管１４は、この
受光したレーザ光を光電子倍増し、増幅した電気信号に
変換する。この変換された増幅した電気信号はオシロス
コープ１５に供給され、ここでスペクトル表示される。
この表示されたスペクトルにより、レーザダイオード１
１から出射されるレーザ光の発振波長を測定する。
【０００６】次に、図２および図３を参照して、第２の
従来の波長測定装置２０による波長測定方法について説
明する。第２の従来の波長測定装置２０では、マイケル
ソン干渉計２２を用いてレーザダイオード２１から出射
されたレーザ光の発振波長を測定している。
従来の波長測定装置２０による波長測定方法について説
明する。第２の従来の波長測定装置２０では、マイケル
ソン干渉計２２を用いてレーザダイオード２１から出射
されたレーザ光の発振波長を測定している。
【０００７】詳述すると、第２の従来の波長測定装置２
０は、マイケルソン干渉計２２と逆フーリエ変換器（図
示せず）とを有する。マイケルソン干渉計２２は、ビー
ムスプリッタ２２１と、固定ミラー２２２と、移動ミラ
ー２２３とを有する。固定ミラー２２２は、互いに直交
する２枚のミラー２２２−１、２２２−２から構成さ
れ、移動ミラー２２３も、互いに直交する２枚のミラー
２２３−１、２２３−２から構成される。
０は、マイケルソン干渉計２２と逆フーリエ変換器（図
示せず）とを有する。マイケルソン干渉計２２は、ビー
ムスプリッタ２２１と、固定ミラー２２２と、移動ミラ
ー２２３とを有する。固定ミラー２２２は、互いに直交
する２枚のミラー２２２−１、２２２−２から構成さ
れ、移動ミラー２２３も、互いに直交する２枚のミラー
２２３−１、２２３−２から構成される。
【０００８】次に、第１の従来の波長測定装置１０の測
定動作について説明する。先ず、レーザダイオード１１
から出射されたレーザ光はビームスプリッタ２２１にお
いて反射および透過される。ビームスプリッタ２２１で
反射されたレーザ光は、固定ミラー２２２の一方のミラ
ー２２２−１で反射された後、他方のミラー２２２−２
で反射され、ビームスプリッタ２２１を戻る。一方、ビ
ームスプリッタ２２１を透過したレーザ光は、移動ミラ
ー２２３の一方のミラー２２３−１で反射された後、他
方のミラー２２３−２で反射され、ビームスプリッタ２
２１に戻る。固定ミラー２２２からの反射光はビームス
プリッタ２２１を透過し、移動ミラー２２３からの反射
光はビームスプリッタ２２１で反射され、干渉光が得ら
れる。この干渉光から、図３に示されるような、インタ
ーフェログラムが得られる。図示しない逆フーリエ変換
器は、インターフェログラムを逆フーリエ変換すること
によりスペクトル表示を得る。これにより、レーザダイ
オード２１から出射されるレーザ光の発振波長を測定す
る。
定動作について説明する。先ず、レーザダイオード１１
から出射されたレーザ光はビームスプリッタ２２１にお
いて反射および透過される。ビームスプリッタ２２１で
反射されたレーザ光は、固定ミラー２２２の一方のミラ
ー２２２−１で反射された後、他方のミラー２２２−２
で反射され、ビームスプリッタ２２１を戻る。一方、ビ
ームスプリッタ２２１を透過したレーザ光は、移動ミラ
ー２２３の一方のミラー２２３−１で反射された後、他
方のミラー２２３−２で反射され、ビームスプリッタ２
２１に戻る。固定ミラー２２２からの反射光はビームス
プリッタ２２１を透過し、移動ミラー２２３からの反射
光はビームスプリッタ２２１で反射され、干渉光が得ら
れる。この干渉光から、図３に示されるような、インタ
ーフェログラムが得られる。図示しない逆フーリエ変換
器は、インターフェログラムを逆フーリエ変換すること
によりスペクトル表示を得る。これにより、レーザダイ
オード２１から出射されるレーザ光の発振波長を測定す
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た第１および第２の従来の波長測定装置１０および２０
は、構造（構成）が複雑でコストが高いという欠点があ
る。また、上述した第１および第２の従来の波長測定装
置１０および３０は、レーザ光の発振波長を測定するの
に時間がかかるという欠点もある。
た第１および第２の従来の波長測定装置１０および２０
は、構造（構成）が複雑でコストが高いという欠点があ
る。また、上述した第１および第２の従来の波長測定装
置１０および３０は、レーザ光の発振波長を測定するの
に時間がかかるという欠点もある。
【００１０】それ故に本発明の課題は、非常に安価な波
長測定装置を提供することにある。
長測定装置を提供することにある。
【００１１】本発明の他の課題は、半導体レーザから出
射されるレーザ光の発振波長を短時間に測定することが
できる波長測定装置を提供することにある。
射されるレーザ光の発振波長を短時間に測定することが
できる波長測定装置を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明によれば、半導体
レーザ（３１）から出射されるレーザ光の発振波長を測
定する波長測定装置（３０）において、半導体レーザか
ら出射されたレーザ光を受光する受光手段（３２）と、
この受光手段で流れる電流値を測定するための電流計
（３３）と、半導体レーザと受光手段との間に出入り可
能に配置された色フィルタ（３４）と、色フィルタが挿
入される前に電流計で測定される受光手段を流れる第１
の電流値と、色フィルタが挿入された後に電流計で測定
される受光手段を流れる第２の電流値との比より色フィ
ルタの透過率を求める手段（３８）と、この求めた色フ
ィルタの透過率よりレーザ光の発振波長を決定する手段
（３８）とを有する波長測定装置が得られる。
レーザ（３１）から出射されるレーザ光の発振波長を測
定する波長測定装置（３０）において、半導体レーザか
ら出射されたレーザ光を受光する受光手段（３２）と、
この受光手段で流れる電流値を測定するための電流計
（３３）と、半導体レーザと受光手段との間に出入り可
能に配置された色フィルタ（３４）と、色フィルタが挿
入される前に電流計で測定される受光手段を流れる第１
の電流値と、色フィルタが挿入された後に電流計で測定
される受光手段を流れる第２の電流値との比より色フィ
ルタの透過率を求める手段（３８）と、この求めた色フ
ィルタの透過率よりレーザ光の発振波長を決定する手段
（３８）とを有する波長測定装置が得られる。
【００１３】上記波長測定装置は、半導体レーザの温度
を調節する温度調整機構や、半導体レーザから出射され
たレーザ光の光パワーを測定する光パワー測定手段を更
に備えることが好ましい。
を調節する温度調整機構や、半導体レーザから出射され
たレーザ光の光パワーを測定する光パワー測定手段を更
に備えることが好ましい。
【００１４】また、本発明によれば、半導体レーザ（３
１）から出射されるレーザ光の発振波長を測定する方法
において、半導体レーザから出射されたレーザ光を色フ
ィルタ（３４）を通さずに受光手段（３２）で受光した
ときに受光手段を流れる第１の電流値を測定し（３
３）、半導体レーザから出射されたレーザ光を色フィル
タを通して受光手段で受光したときに受光手段を流れる
第２の電流値を測定し（３３）、第１の電流値と第２の
電流値の比より前記色フィルタの透過率を求め（３
８）、この求めた色フィルタの透過率よりレーザ光の発
振波長を決定する（３８）ステップを含む波長測定方法
が得られる。
１）から出射されるレーザ光の発振波長を測定する方法
において、半導体レーザから出射されたレーザ光を色フ
ィルタ（３４）を通さずに受光手段（３２）で受光した
ときに受光手段を流れる第１の電流値を測定し（３
３）、半導体レーザから出射されたレーザ光を色フィル
タを通して受光手段で受光したときに受光手段を流れる
第２の電流値を測定し（３３）、第１の電流値と第２の
電流値の比より前記色フィルタの透過率を求め（３
８）、この求めた色フィルタの透過率よりレーザ光の発
振波長を決定する（３８）ステップを含む波長測定方法
が得られる。
【００１５】上記波長測定方法において、受光手段でレ
ーザ光を受光する前に、半導体レーザの温度を一定に調
整したり、半導体レーザから出射されるレーザ光の光パ
ワーを一定に制御することが好ましい。
ーザ光を受光する前に、半導体レーザの温度を一定に調
整したり、半導体レーザから出射されるレーザ光の光パ
ワーを一定に制御することが好ましい。
【００１６】尚、上記括弧内の参照符号は、理解を容易
にするために付したものであり、一例にすぎず、これら
に限定されないのは勿論である。
にするために付したものであり、一例にすぎず、これら
に限定されないのは勿論である。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
て図面を参照して詳細に説明する。
【００１８】図４を参照して、本発明の一実施の形態に
係る波長測定装置について説明する。図４は本発明の一
実施の形態に係る波長測定装置の概略構成を示す図であ
る。
係る波長測定装置について説明する。図４は本発明の一
実施の形態に係る波長測定装置の概略構成を示す図であ
る。
【００１９】図示の波長測定装置３０は、半導体レーザ
であるレーザダイオード３１から出射されるレーザ光の
発振波長を測定するための装置である。波長測定装置３
０は、レーザダイオード３１から出射されたレーザ光を
受光する受光手段として働くフォトダイオード３２と、
このフォトダイオード３２で流れる電流値を測定するた
めの電流計３３と、レーザダイオード３１とフォトダイ
オード３２との間で矢印Ａで示されるように出入り可能
に配置された色フィルタ３４とを有する。
であるレーザダイオード３１から出射されるレーザ光の
発振波長を測定するための装置である。波長測定装置３
０は、レーザダイオード３１から出射されたレーザ光を
受光する受光手段として働くフォトダイオード３２と、
このフォトダイオード３２で流れる電流値を測定するた
めの電流計３３と、レーザダイオード３１とフォトダイ
オード３２との間で矢印Ａで示されるように出入り可能
に配置された色フィルタ３４とを有する。
【００２０】波長測定装置３０は、電流計３３に接続さ
れた処理装置３８を更に含む。この処理装置３８は、透
過率計算手段（図示ぜず）と波長決定手段（図示せず）
とを有する。透過率計算手段は、色フィルタ３４が挿入
される前に電流計３３で測定されたフォトダイオード３
２を流れる第１の電流値と、色フィルタ３４が挿入され
た後に電流計３３で測定されたフォトダイオード３２を
流れる第２の電流値との比より色フィルタ３４の透過率
を求める。波長決定手段は、この求めた色フィルタ３３
の透過率よりレーザ光の発振波長を決定する。
れた処理装置３８を更に含む。この処理装置３８は、透
過率計算手段（図示ぜず）と波長決定手段（図示せず）
とを有する。透過率計算手段は、色フィルタ３４が挿入
される前に電流計３３で測定されたフォトダイオード３
２を流れる第１の電流値と、色フィルタ３４が挿入され
た後に電流計３３で測定されたフォトダイオード３２を
流れる第２の電流値との比より色フィルタ３４の透過率
を求める。波長決定手段は、この求めた色フィルタ３３
の透過率よりレーザ光の発振波長を決定する。
【００２１】図５に色フィルタ３４の透過率と波長との
間の依存特性を示す。図５において、縦軸は色フィルタ
３４の透過率（％）を示し、横軸は波長（ｎｍ）を示
す。図５に示されるように、色フィルタ３４の透過率
は、決められた範囲内で波長依存性を持っている。
間の依存特性を示す。図５において、縦軸は色フィルタ
３４の透過率（％）を示し、横軸は波長（ｎｍ）を示
す。図５に示されるように、色フィルタ３４の透過率
は、決められた範囲内で波長依存性を持っている。
【００２２】上記波長決定手段は、この図５に示された
透過率−波長依存特性を予め記憶しているメモリを含
み、透過率計算手段で求められた色フィルタ３４の透過
率からレーザダイオード３１から出射されたレーザ光の
発振波長を決定する。
透過率−波長依存特性を予め記憶しているメモリを含
み、透過率計算手段で求められた色フィルタ３４の透過
率からレーザダイオード３１から出射されたレーザ光の
発振波長を決定する。
【００２３】尚、色フィルタ３３の透過率と波長との間
の関係（図５）は、予め従来から知られている方法で測
定しておく必要がある。或いは、予め透過率−波長依存
特性の分かっている色フィルタ３４を使用しても良い。
の関係（図５）は、予め従来から知られている方法で測
定しておく必要がある。或いは、予め透過率−波長依存
特性の分かっている色フィルタ３４を使用しても良い。
【００２４】この技術分野で周知にように、レーザダイ
オード３１から出射されるレーザ光の発振波長は、その
周囲の温度やレーザ光の光パワーによって変化する。し
たがって、測定中、レーザダイオード３１の周囲温度を
一定に保つと共に、レーザダイオード３１から出射され
るレーザ光の光パワーも一定に保つ必要がある。
オード３１から出射されるレーザ光の発振波長は、その
周囲の温度やレーザ光の光パワーによって変化する。し
たがって、測定中、レーザダイオード３１の周囲温度を
一定に保つと共に、レーザダイオード３１から出射され
るレーザ光の光パワーも一定に保つ必要がある。
【００２５】そこで、レーザダイオード３１は、ＬＤ取
付けユニット３５の温度調整機能付きソケット（レーザ
ダイオードホルダ）３５１に挿入される。温度調整が必
要なのは、前述したように、レーザダイオード３１から
出射されるレーザ光の発振波長がその周囲の温度の変化
により変化するからである。尚、温度調整機構は、例え
ば、ペルチェ素子と放熱板、サーモセンサ等で構成でき
る。
付けユニット３５の温度調整機能付きソケット（レーザ
ダイオードホルダ）３５１に挿入される。温度調整が必
要なのは、前述したように、レーザダイオード３１から
出射されるレーザ光の発振波長がその周囲の温度の変化
により変化するからである。尚、温度調整機構は、例え
ば、ペルチェ素子と放熱板、サーモセンサ等で構成でき
る。
【００２６】また、レーザダイオード３１の発光部の直
ぐ上には、レーザダイオード３１から出射されるレーザ
光全体の出射光量を測定するための光パワー測定手段が
配置される。図示の光パワー測定手段は、光パワーセン
サ３６１とＮＤフィルタ３６２と光パワーメータ３６３
とから構成されている。光パワーセンサ３６１に入射す
る光量が多いと光パワーセンサ３６１が飽和する場合が
あるため、必要に応じてＮＤフィルタ３６２が、光パワ
ーセンサ３６１に装着される。この光パワー測定手段
は、測定後、矢印Ｂに示されるように、退避できるよう
にスライド機構（図示せず）を備えている。
ぐ上には、レーザダイオード３１から出射されるレーザ
光全体の出射光量を測定するための光パワー測定手段が
配置される。図示の光パワー測定手段は、光パワーセン
サ３６１とＮＤフィルタ３６２と光パワーメータ３６３
とから構成されている。光パワーセンサ３６１に入射す
る光量が多いと光パワーセンサ３６１が飽和する場合が
あるため、必要に応じてＮＤフィルタ３６２が、光パワ
ーセンサ３６１に装着される。この光パワー測定手段
は、測定後、矢印Ｂに示されるように、退避できるよう
にスライド機構（図示せず）を備えている。
【００２７】レーザダイオード３１の光軸上にフォトダ
イオード３２を置き、レーザダイオード３１とフォトダ
イオード３２との間に色フィルタ３４が挿入され得る。
色フィルタ３４はスライド機構（図示せず）により矢印
Ａに示すように退避可能である。
イオード３２を置き、レーザダイオード３１とフォトダ
イオード３２との間に色フィルタ３４が挿入され得る。
色フィルタ３４はスライド機構（図示せず）により矢印
Ａに示すように退避可能である。
【００２８】尚、フォトダイオード３２及び色フィルタ
３４は、位置ずれ等による影響を受けないようにしなけ
ればならない。また、レーザダイオード３１とフォトダ
イオード３２との間の距離が離れているとき（例えば、
５ｍｍ以上）には、レンズ３７を用いて発散光を平行光
にする手法が取られる。また、フォトダイオード３２の
受光部は、光線の巾に対して十分に大きいことが望まし
い。
３４は、位置ずれ等による影響を受けないようにしなけ
ればならない。また、レーザダイオード３１とフォトダ
イオード３２との間の距離が離れているとき（例えば、
５ｍｍ以上）には、レンズ３７を用いて発散光を平行光
にする手法が取られる。また、フォトダイオード３２の
受光部は、光線の巾に対して十分に大きいことが望まし
い。
【００２９】レーザ光の発振波長を測定するためには、
予め色フィルタ３４の特性を明らかにする必要がある。
図５に示す色フィルタ３４の特性は、７８０ｎｍ前後の
波長帯域で色フィルタ３４の透過率の差が生じている。
また、色フィルタ３４の透過率からレーザ光の発振波長
を求めるためには、色フィルタ３４の透過率と波長との
関係がリニアで特性であることが望ましい。さらに、異
なる波長帯域の測定を行うためには、異なる特性を有す
る色フィルタを用意し、取り替えることで可能となる。
予め色フィルタ３４の特性を明らかにする必要がある。
図５に示す色フィルタ３４の特性は、７８０ｎｍ前後の
波長帯域で色フィルタ３４の透過率の差が生じている。
また、色フィルタ３４の透過率からレーザ光の発振波長
を求めるためには、色フィルタ３４の透過率と波長との
関係がリニアで特性であることが望ましい。さらに、異
なる波長帯域の測定を行うためには、異なる特性を有す
る色フィルタを用意し、取り替えることで可能となる。
【００３０】また、レーザダイオード３１の効率（ＩＬ
特性）測定などの機能を組み合せても良い。本実施の形
態による波長測定装置３０は、パルス出力での波長測定
も可能である。
特性）測定などの機能を組み合せても良い。本実施の形
態による波長測定装置３０は、パルス出力での波長測定
も可能である。
【００３１】次に、図４に示した波長測定装置３０の波
長測定方法について説明する。まず、実際に測定を開始
する前に、温度調整機能付きソケット（レーザダイオー
ドホルダ）３５１によりレーザダイオード３１の周囲温
度を一定に保持する。また、光パワー測定手段によりレ
ーザダイオード３１から出射されるレーザ光の光パワー
も一定に保つようにする。光パワー測定手段は、その測
定後は、スライド機構により矢印Ｂに沿って退避され
る。
長測定方法について説明する。まず、実際に測定を開始
する前に、温度調整機能付きソケット（レーザダイオー
ドホルダ）３５１によりレーザダイオード３１の周囲温
度を一定に保持する。また、光パワー測定手段によりレ
ーザダイオード３１から出射されるレーザ光の光パワー
も一定に保つようにする。光パワー測定手段は、その測
定後は、スライド機構により矢印Ｂに沿って退避され
る。
【００３２】以上の準備が完了後に実際に測定を行う。
先ず、レーザダイオード３１から出射されたレーザ光を
色フィルタ３４を通さずにフォトダイオード３２で受光
したときにこのフォトダイオード３２を流れる第１の電
流値を電流計３３により測定する。引続いて、スライド
機構（図示せず）により矢印Ａに沿って色フィルタ３４
を、レーザダイオード３１とフォトダイオード３２との
間に挿入する。この状態で、レーザダイオード３１から
出射されたレーザ光を色フィルタ３４を通してフォトダ
イオード３２で受光したときにフォトダイオード３２を
流れる第２の電流値を電流計３３により測定する。処理
装置３８は、第１の電流値と第２の電流値の比より色フ
ィルタ３４の透過率を求め、この求めた色フィルタ３４
の透過率よりレーザ光の発振波長を決定する。
先ず、レーザダイオード３１から出射されたレーザ光を
色フィルタ３４を通さずにフォトダイオード３２で受光
したときにこのフォトダイオード３２を流れる第１の電
流値を電流計３３により測定する。引続いて、スライド
機構（図示せず）により矢印Ａに沿って色フィルタ３４
を、レーザダイオード３１とフォトダイオード３２との
間に挿入する。この状態で、レーザダイオード３１から
出射されたレーザ光を色フィルタ３４を通してフォトダ
イオード３２で受光したときにフォトダイオード３２を
流れる第２の電流値を電流計３３により測定する。処理
装置３８は、第１の電流値と第２の電流値の比より色フ
ィルタ３４の透過率を求め、この求めた色フィルタ３４
の透過率よりレーザ光の発振波長を決定する。
【００３３】このように、本実施の形態による波長測定
装置３０は、色フィルタ３４とフォトダイオード３２と
を組み合わせた構成であるので、非常に安価である。ま
た、色フィルタ３４の有無による２ポイントの測定であ
るから測定時間が短い。さらに、簡単な構成であるた
め、波長測定装置３０の小型化が可能である。
装置３０は、色フィルタ３４とフォトダイオード３２と
を組み合わせた構成であるので、非常に安価である。ま
た、色フィルタ３４の有無による２ポイントの測定であ
るから測定時間が短い。さらに、簡単な構成であるた
め、波長測定装置３０の小型化が可能である。
【００３４】本発明は上述した実施の形態に限定せず、
本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更・変形が
可能なのは勿論である。
本発明の要旨を逸脱しない範囲内で種々の変更・変形が
可能なのは勿論である。
【００３５】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、色フィルタと受光手段との組み合せにより波
長測定装置を構成できるので、非常に安価となる利点が
ある。また、色フィルタの有無による２ポイントの測定
であるので、測定時間を短くすることができる。さら
に、従来の波長測定装置に比べて構成が簡単であるの
で、波長測定装置の小型化が可能となる。
によれば、色フィルタと受光手段との組み合せにより波
長測定装置を構成できるので、非常に安価となる利点が
ある。また、色フィルタの有無による２ポイントの測定
であるので、測定時間を短くすることができる。さら
に、従来の波長測定装置に比べて構成が簡単であるの
で、波長測定装置の小型化が可能となる。
【図１】第１の従来の波長測定装置の概略構成を示す図
である。
である。
【図２】第２の従来の波長測定装置の概略構成を示す図
である。
である。
【図３】図２に示す第２の従来の波長測定装置による逆
フーリエ変換の様子を示す図である。
フーリエ変換の様子を示す図である。
【図４】本発明の一実施の形態に係る波長測定装置の概
略構成を示す図である。
略構成を示す図である。
【図５】図４に示す波長測定装置に使用される色フィル
タの特性の一例を示す図である。
タの特性の一例を示す図である。
【符号の説明】
３０ 波長測定装置
３１ レーザダイオード（半導体レーザ）
３２ フォトダイオード（受光手段）
３３ 電流計
３４ 色フィルタ
３５ ＬＤ取付けユニット
３５１ 温度調整機能付きソケット（レーザダイオー
ドホルダ） ３６１ 光パワーセンサ ３６２ ＮＤフィルタ ３６３ 光パワーメータ ３７ レンズ ３８ 処理装置
ドホルダ） ３６１ 光パワーセンサ ３６２ ＮＤフィルタ ３６３ 光パワーメータ ３７ レンズ ３８ 処理装置
Claims (6)
- 【請求項１】 半導体レーザから出射されるレーザ光の
発振波長を測定する波長測定装置において、 前記半導体レーザから出射されたレーザ光を受光する受
光手段と、 該受光手段で流れる電流値を測定するための電流計と、 前記半導体レーザと前記受光手段との間に出入り可能に
配置された色フィルタと、 前記色フィルタが挿入される前に前記電流計で測定され
る前記受光手段を流れる第１の電流値と、前記色フィル
タが挿入された後に前記電流計で測定される前記受光手
段を流れる第２の電流値との比より前記色フィルタの透
過率を求める手段と、 前記求めた色フィルタの透過率より前記レーザ光の発振
波長を決定する手段とを有する波長測定装置。 - 【請求項２】 前記半導体レーザの温度を調節する温度
調整機構を更に備えた、請求項１に記載の波長測定装
置。 - 【請求項３】 前記半導体レーザから出射された前記レ
ーザ光の光パワーを測定する光パワー測定手段を更に備
える、請求項１に記載の波長測定装置。 - 【請求項４】 半導体レーザから出射されるレーザ光の
発振波長を測定する方法において、 前記半導体レーザから出射されたレーザ光を色フィルタ
を通さずに受光手段で受光したときに該受光手段を流れ
る第１の電流値を測定し、 前記半導体レーザから出射されたレーザ光を前記色フィ
ルタを通して前記受光手段で受光したときに前記受光手
段を流れる第２の電流値を測定し、 前記第１の電流値と前記第２の電流値の比より前記色フ
ィルタの透過率を求め、 該求めた色フィルタの透過率より前記レーザ光の発振波
長を決定するステップを含む波長測定方法。 - 【請求項５】 前記受光手段で前記レーザ光を受光する
前に、前記半導体レーザの温度を一定に調整するステッ
プを含む、請求項４に記載の波長測定方法。 - 【請求項６】 前記受光手段で前記レーザ光を受光する
前に、前記半導体レーザから出射される前記レーザ光の
光パワーを一定に制御するステップを含む、請求項４に
記載の波長測定方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002048114A JP2003247894A (ja) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | 波長測定装置および波長測定方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002048114A JP2003247894A (ja) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | 波長測定装置および波長測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003247894A true JP2003247894A (ja) | 2003-09-05 |
Family
ID=28661001
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002048114A Withdrawn JP2003247894A (ja) | 2002-02-25 | 2002-02-25 | 波長測定装置および波長測定方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003247894A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010071874A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Horiba Ltd | 試料分析装置 |
-
2002
- 2002-02-25 JP JP2002048114A patent/JP2003247894A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010071874A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Horiba Ltd | 試料分析装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050510 |