JP2004117236A - 光学特性測定装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】照明側と受光側の両方の角度を変化させた場合の光学特性の測定を効率よく行えるようにする。
【解決手段】光源ランプ、調光マスク、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを有する光源部と、前記光源部から射出され絞りを通過した光を平行光とする第一のリレーレンズ系と、前記平行光を前記測定試料上に集光する第一のコリメータレンズ系と、前記測定試料の透過光または反射光を平行光とする第二のコリメータレンズ系と、この平行光を集光する第二のリレーレンズ系と、集光され絞りを通過した光を、偏光フィルタ及びチューナブルフィルタを介して受光するCCDを有する受光部と、このデータに所定の信号処理を行う信号処理部とを備えた光学特性測定装置を提供することにより前記課題を解決する。
【選択図】図1
【解決手段】光源ランプ、調光マスク、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを有する光源部と、前記光源部から射出され絞りを通過した光を平行光とする第一のリレーレンズ系と、前記平行光を前記測定試料上に集光する第一のコリメータレンズ系と、前記測定試料の透過光または反射光を平行光とする第二のコリメータレンズ系と、この平行光を集光する第二のリレーレンズ系と、集光され絞りを通過した光を、偏光フィルタ及びチューナブルフィルタを介して受光するCCDを有する受光部と、このデータに所定の信号処理を行う信号処理部とを備えた光学特性測定装置を提供することにより前記課題を解決する。
【選択図】図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学特性測定装置に係り、特に、フィルムの光学特性として視野角特性、分光特性、散乱・偏光特性を測定する光学特性測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、光学フィルムの光学特性として、視野角特性、分光特性、偏光特性を同一の装置で測定するものとしては、輝度計の前に偏光フィルターを付加して角度を変化させて測定するようにしたものか、あるいは分光する機能を有するゴニオフォトメータに偏光フィルターを付加して測定するようにしたものしか知られていなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の測定方法では、光学フィルムを照明する光としては、いずれの方法でもビーム状のスポット光でしか照明できなかった。しかし、例えば視野角特性の測定においては、照明側と受光側の角度を両方変化させて測定する必要がある。
【0004】
例えば、図5に示すように、その表面pがxy平面に含まれ、座標原点Oが表面pに含まれるように空間内に置かれた平面状の反射物体Pに対し、表面pの上方から光源Aで照射し、表面p上の原点Oで反射された光を受光器Bで受光し、反射物体Pの光学特性を調べる場合を考える。
光源Aと原点Oを結ぶ方向がz軸となす角(入射角度)をI、受光器Bと原点Oを結ぶ方向がz軸となす角(受光角度)をRとする。光源Aと受光器Bとの位置関係を規定するには、この他、光源Aからxy平面に下ろした垂線の足A’と原点Oを結ぶ方向がx軸となす角α、及び受光器Bからxy平面に下ろした垂線の足B’と原点Oを結ぶ方向がx軸となす角βをも求める必要がある。
【0005】
しかし、これら4つの角度I、R、α、βをパラメータとしてある角度間隔で動かして全て測定しようとすると、例えば、光源Aや受光器Bにモータを付けて動かしながら測定しなければならない。 従って、このような機械的な動作のため、 測定には24時間あるいは数日を要し、いわゆる透過光特性BTDF(Bi−directional Transmission Distribution Function)、 及び反射光特性BRDF(Bi−directional Reflection Distribution Function)の測定には多大の時間を要するという問題があった。
【0006】
本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされたものであり、照明側と受光側の両方の角度を変化させた場合の前記BTDF及びBRDFの測定を効率よく行うことを可能にするとともに、直射日光や曇天あるいは室内等の任意の照明角度分布の下での視野角特性、分光特性あるいは散乱・偏光特性等の光学特性の測定を容易に行うことを可能とする光学特性測定装置を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明は、測定試料の光学特性を測定する光学特性測定装置であって、光源ランプ、2次元配列調光マスク、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを有する光源部と、前記光源部から射出され絞りを通過した光を平行光とする第一のリレーレンズ系と、前記平行光を前記測定試料上に集光する第一のコリメータレンズ系と、前記測定試料の透過光または反射光を、平行光とする第二のコリメータレンズ系と、前記第二のコリメータレンズ系による平行光を集光する第二のリレーレンズ系と、前記第二のリレーレンズ系により集光され絞りを通過した光を、偏光フィルタ及びチューナブルフィルタを介して受光するCCDを有する受光部と、前記受光部で受光した光のデータを受け取り、これに所定の信号処理を行う信号処理部と、を備えたことを特徴とする光学特性測定装置を提供する。
【0008】
また、前記光源部と受光部、前記第一リレーレンズ系と第二のリレーレンズ系、及び前記第一のコリメータレンズ系と第二のコリメータレンズ系は、前記測定試料を中心として略対称形に配置されて構成されていることが好ましい。
【0009】
前記第一のリレーレンズ系と第一のコリメータレンズ系との間に光束分岐手段を配置し、前記第一のコリメータレンズ系で前記第二のコリメータレンズ系を兼用し、前記測定試料で反射され前記第一のコリメータレンズ系を通過した光の一部を前記光束分岐手段により前記測定試料への入射光に対し略直角方向に分岐させ、該分岐させた光を受光するように前記第二のリレーレンズ系及び前記受光部を配置したことが好ましい。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光学特性測定装置について、添付の図面に示される好適実施形態を基に詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明に係る光学特性測定装置の第一実施形態を示す概略構成図である。
図1に示すように、第一実施形態の光学特性測定装置1は、測定試料10を中心として、光源部12を含む照明側と受光部14を含む受光側が左右に振り分けられて略左右対称形に配置され、光源部12から射出され、測定試料10を透過した透過光を受光部14で受光することにより測定試料10の光学特性を測定するものである。
なお、測定試料10としては、特に限定はされないが、例えば写真フィルム等が例示される。
【0012】
すなわち、測定試料10の左側には、左端の光源部12から測定試料10に向かって順に、光源部12、光源部12から出た光を絞る光源側絞り16、光源側絞り16を通過した光を平行光とする光源側リレーレンズ系(第1のリレーレンズ系)18、及びこの平行光を測定試料10上に集光する光源側コリメータレンズ系(第1のコリメータレンズ系)20が配置されている。
また、測定試料10の右側には、測定試料10から右端の受光部14に向かって順に、測定試料10の透過光を平行光とする受光側コリメータレンズ系(第2のコリメータレンズ系)22、この平行光を集光する受光側リレーレンズ系(第2のリレーレンズ系)24、この集光された光を通す受光側絞り26、及び受光側絞り26を通過した光を受光する受光部14が配置されている。
さらに、受光部14には、受光された光のデータに対し、所定の信号処理を施す信号処理部30が接続されている。
【0013】
また、光源部12は、光源ランプ12a、2次元配列調光マスク(以下単に調光マスクとする。)12b、光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dから構成されている。
また、受光部14は、受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14b及び光を受光するCCD14cから構成されている。
なお、このように本実施形態の光学特性測定装置1は、測定試料10を中心として、左右対称に光学部材が配置されているが、左右の各対応する位置にある光学部材は、必ずしも全く同一のものである必要はない。
【0014】
調光マスク12bは、照明角度分布を制御するものであり、その一例を図2に示す。図2に示す調光マスク12bは、液晶マスクであり、マスクの画素数は最低100×100は必要である。この液晶マスクは、各セル毎に透過光量を制御可能であり、中央の円形部分のみ光を通すようにして、周辺部は光を遮るようにしている。
このように、調光マスク12bは、ある一部分のみ光が通るようにして、二次元的な光の強度を変えることができるようにしたものである。これにより、直射日光や曇天、あるいは室内における照明等、実際の照明に近い状態を、測定で実現することが可能となる。
なお、調光マスク12bは、図2に示すような液晶マスクには限定されず、他の形式のものであってもよい。
【0015】
光源側チューナブルフィルタ12cは、可視光を分光する波長可変フィルタであり、分光特性を測定するために組み込まれるものである。
なお、光源側チューナブルフィルタ12cは、分光する機能を有するものであればよく、特には限定されない。例えば、異なる波長帯域のフィルタを複数用意してターレットで回して切り換えるようにしてもよい。
また、光源側偏光フィルタ12dも、光源側チューナブルフィルタ12cと同様に、分光特性測定のために組み込まれるものである。光源側偏光フィルタ12dや調光マスク12bも異なるものを複数用意して、それらを切り換えて用いるようにしてもよい。
【0016】
光源側リレーレンズ系18は、光源側絞り16で絞られた光を平行光とするものであり、その後側焦点位置が符号18aで示されている。
また、光源側コリメータレンズ系20は、光源側リレーレンズ系18によって平行光とされた光を測定試料10上に集光するものであり、その前側焦点位置が符号20aで示されている。
光源側コリメータレンズ系20により、測定試料10の位置で丁度ピントが合うようになっており、光が点の状態で測定試料10に入射する。
【0017】
測定試料10に入射した光は測定試料10を透過する。受光側コリメータレンズ系22は、測定試料10の前に置かれた光源側コリメータレンズ系20とは逆向きに配置され、この透過光を平行光とするものであり、その後側焦点位置が符号22aで示されている。
受光側リレーレンズ系24は、この平行光を集光するものであり、丁度光が集光される位置に絞り26が配置されている。なお、受光側リレーレンズ系24の前側焦点位置が符号24aで示されている。
【0018】
受光部14は、絞り26を通過した光を受光するものである。受光部14に入射した光は、受光側偏光フィルタ14a、及び受光側チューナブルフィルタ14bを介してCCD14cで受光される。この受光部14の受光側偏光フィルタ14a及び受光側チューナブルフィルタ14bの働きは、光源部12の光源側偏光フィルタ12d及び光源側チューナブルフィルタ12cと同じである。
信号処理部30は、CCD14cで受光された光を受け取り、デジタル信号に変換して、これに対し所定の信号処理を行うことにより、測定試料10の光学特性を解析する。
【0019】
信号処理部30における信号処理としては、特に限定されるものではなく、各種の信号処理を行うことが可能である。
例えば、測定試料10として、検査用のフィルムを用い、その透過率を求める処理が例示される。
【0020】
以下、今言った被検査フィルムの透過率を求める場合を例にとり、図3に示すフローチャートに沿って、本実施形態の作用を説明する。
図3のフローチャートにおいて、まずステップ100からステップ106までにおいて、準備として、光源部12の調光マスク12b及び光源側チューナブルフィルタ12Cを設定し(ステップ100)、光源側偏光フィルタ12Dを回転し(ステップ102)、一方受光部14の受光側チューナブルフィルタ14b(受光側調光フィルタ)を設定する(ステップ104)とともに、受光側偏光フィルタ14aを回転する(ステップ106)。
【0021】
次に、まず測定試料10としての被検査フィルムは装着せずに、波長を所定波長数変化させてCCD14cによって光を測定する。
ステップ108において、光源側チューナブルフィルタ12cの波長を変更するとともに、ステップ110において受光側チューナブルフィルタ14bの波長を変更し、ステップ112で光源部12から出力された光を2次元CCD14cによって受光する。
すなわち、光源部12の光源ランプ12aからはあらゆる方向に光が放出されるが、調光マスク12bにより、特定の方向からの光のみが選択され、さらに光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dを介して、所定波長の偏光とされて、光源部12から出力される。
【0022】
光源部12から出力された光は、光源側絞り16で絞られた後、光源側リレーレンズ系18により平行光とされる。この平行光は、光源側コリメータレンズ系20により集光される。いまの場合、測定試料10(被検査フィルム)は装着されていないので、この光は直接CCD14cに受光される。
すなわち、光源側コリメータレンズ系20により集光された光は、直接受光側コリメータレンズ系22に入射した後、再び平行光とされ、受光側リレーレンズ系24により集光され、受光側絞り26を通過し、受光部14によって受光される。受光部14に入力された光は、受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14bを介してCCD14cによって受光される。CCD14cによって受光され光の信号は、信号処理部30に入力される。
このように光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dを変更して所定波長数(所定間隔で10〜20波長程度)変えながら、CCD14cによる光の測定を行う。
【0023】
ステップ114で、このように予め設定された所定波長数の測定が終了したか否か判断し、まだ終了していない場合には、ステップ108へもどり、光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dを変更して波長を変えてCCD14cによる測定を続行する。
ステップ114において、所定波長数の測定が終了したと判断された場合には、ステップ116へ進み、被検査フィルム(測定試料10)を装着し、被検査フィルムの透過光の測定を行う。
【0024】
すなわち、測定試料10として被検査フィルムを装着した上で、ステップ118からステップ122において、上記ステップ108からステップ112と同様にして、光源部12から出力され、被検査フィルムを透過した光をCCD14cによって受光する。
光源部12から出力された光は、光源側絞り16で絞られた後、光源側リレーレンズ系18により平行光とされ、この平行光は光源側コリメータレンズ系20により集光されて測定試料10としての被検査フィルムに照射される。
測定試料10としての被検査フィルムに入射した光は、被検査フィルムを透過する。この光は、図1に示すように、被検査フィルム(測定試料10)に入射角Iで入射し、被検査フィルムを透過後、受光角Rで出射され、受光側コリメータレンズ系22によって受光される。
【0025】
受光側コリメータレンズ系22に入射した光は、再び平行光とされ、受光側リレーレンズ系24により集光される。前述したように、この光が一点に集光される位置に受光側絞り26が配置されており、受光側絞り26を通過した光は、受光部14によって受光される。受光部14に入力された光は、受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14bを介して、CCD14cによって受光される。CCD14cによって受光された光の信号は信号処理部30に送られる。
【0026】
ステップ124において、上記被検査フィルムの透過光の測定が、10〜20の所定の波長数について終了したか否か判断し、まだ終了していない場合には、ステップ118にもどり、波長を変更して同様に測定を続け、所定の波長数について測定が終了した場合には、ステップ126に進む。
ステップ126では、信号処理部30において、被検査フィルム未装着で測定した光信号と被検査フィルムを装着して測定した光信号をデジタル信号に変換し、これらのデジタル信号に対し所定の信号処理を行い、被検査フィルムの透過率を算出する。
【0027】
以上説明したように、光源部12の調光マスク12bの光が通過する部分や、光源側チューナブルフィルタ12cの波長帯域、光源側偏光フィルタ12d、及び受光部14の受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14bを種々調整し、変更することにより、直射日光や曇天あるいは室内等の任意照明角度分布の下での、視野角特性、分光特性あるいは偏光特性を測定することができる。
【0028】
次に、本発明の第二実施形態について説明する。
図4に本発明の第二実施形態に係る光学特性測定装置の概略構成を示す。
第二実施形態の光学特性測定装置は、測定試料の反射光を測定するものであり、基本的原理は第一実施形態と同じであるが、測定試料からの反射光を光束分岐手段により、入射光と略直交する方向に光を分岐させて受光部で受光するようにした点が第一実施形態と異なっている。
【0029】
図4に示すように、本実施形態の光学特性測定装置2は、光源部112から測定試料110に至るまでの、光源部112、光源側絞り116、光源側リレーレンズ系118、光源側コリメータレンズ系120、測定試料110という部材の配置は第一実施形態と全く同じである。
本実施形態では、光源側リレーレンズ系118と光源側コリメータレンズ系120の間に光束分岐手段140が配置され、測定試料110からの反射光を入射光とは略直交する方向に分岐するように構成されている。光束分岐手段140は、特に限定はされず、ハーフミラーやダイクロイックミラー等が好適に例示される。
【0030】
また、光源側コリメータレンズ系120は、測定試料110で反射された光を受光する受光側コリメータレンズ系をも兼用している。すなわち、光源側コリメータレンズ系120は、本実施形態においては、光源部112からの光を測定試料110上に集光するとともに、測定試料110からの反射光を平行光として射出する働きを有している。
光源側コリメータレンズ系120で平行光とされた測定試料110の反射光は、光束分岐手段140で測定試料110への入射光とは略直交する方向に反射される。
【0031】
光束分岐手段140で分岐された測定試料110の反射光を受光するために、光源部112から測定試料110を結ぶ方向とは略直交する方向に受光側リレーレンズ系124、受光側絞り126、受光部114がこの順で配置されている。また、光源側リレーレンズ系118の焦点位置を符号118aで、光源側コリメータレンズ系120の焦点位置を符号120aで、また、受光側リレーレンズ系124の焦点位置を符号124aで示す。
受光部114で受光された測定試料110の反射光は、第一実施形態と同様に信号処理部130に入力され、デジタル信号に変換されて、所定の信号処理が施される。
なお、図示は省略したが、光源部112及び受光部114の内部構成は第一実施形態と同様である。
【0032】
以下、本実施形態の作用を説明する。
光源部112から射出された光は、光源側絞り116で絞られた後光源側リレーレンズ系118によって平行光とされる。この平行光は、光束分岐手段140を透過して、光源側コリメータレンズ系120に入射される。光源側コリメータレンズ系120は、この平行光を測定試料110上に集光する。
【0033】
測定試料110に入射された光は、測定試料110上で反射され、いま来た経路を引き返す。この反射光は、受光側コリメータレンズ系をも兼用する光源側コリメータレンズ系120によって、今度は平行光とされ、光束分岐手段140に入射される。光束分岐手段140は、この平行光の一部を、その方向が略90°変わる方向に反射する。
光束分岐手段140によって略直交方向に反射された光は、平行光として受光側リレーレンズ系124に入射する。受光側リレーレンズ系124は、この入射光を受光側絞り126の位置に集光する。
【0034】
そして受光側絞り126を通過した光は、受光部114で受光される。
受光部114の内部構造は、第一実形態と同様であり、CCDで受光され、信号処理部130に送られる。信号処理部130では、第一実施形態と同様に、これをデジタル信号に変換して、所定の信号処理を施すことにより、測定試料110の光学特性の解析を行う。
【0035】
以上、述べたように、各実施形態において、測定試料に光を照射して、その透過光あるいは反射光を測定する場合に、光源の前に2次元配列調光マスクを付けることにより、ある方向からの光のみが測定試料に当たるようにし、また、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを設けることで、任意の照明角度分布における視野角特性、分光特性、偏光特性等の、例えば写真フィルム等の測定試料の光学特性を簡単に短時間で測定することができるようになった。
【0036】
以上、本発明の光学特性測定装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのはもちろんである。
【0037】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、測定試料の視野角特性、分光特性、偏光特性の全ての測定が、直射日光や曇天あるいは室内等の任意の照明角度分布の下で、簡単に短時間に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光学特性測定装置の第一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】本実施形態で用いる調光マスクを示す説明図である。
【図3】本実施形態の作用を示すフローチャートである。
【図4】本発明に係る光学特性測定装置の第二実施形態を示す概略構成図である。
【図5】従来の光学特性測定方法を示す概略構成図である。
【符号の説明】
1 本発明の第一実施形態に係る光学特性測定装置
2 本発明の第二実施形態に係る光学特性測定装置
10、110 測定試料
12、112 光源部
12a 光源ランプ
12b 調光マスク
12c 光源側チューナブルフィルタ
12d 光源側偏光フィルタ
14、114 受光部
14a 受光側偏光フィルタ
14b 受光側チューナブルフィルタ
14c CCD
16、116 光源側絞り
18、118 光源側リレーレンズ系(第1のリレーレンズ系)
18a、20a、22a、24a 焦点位置
20、120 光源側コリメータレンズ系(第1のコリメータレンズ系)
22 受光側コリメータレンズ系(第2のコリメータレンズ系)
24、124 受光側リレーレンズ系(第2のコリメータレンズ系)
26、126 受光側絞り
30、130 信号処理部
【発明の属する技術分野】
本発明は、光学特性測定装置に係り、特に、フィルムの光学特性として視野角特性、分光特性、散乱・偏光特性を測定する光学特性測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来、光学フィルムの光学特性として、視野角特性、分光特性、偏光特性を同一の装置で測定するものとしては、輝度計の前に偏光フィルターを付加して角度を変化させて測定するようにしたものか、あるいは分光する機能を有するゴニオフォトメータに偏光フィルターを付加して測定するようにしたものしか知られていなかった。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の測定方法では、光学フィルムを照明する光としては、いずれの方法でもビーム状のスポット光でしか照明できなかった。しかし、例えば視野角特性の測定においては、照明側と受光側の角度を両方変化させて測定する必要がある。
【0004】
例えば、図5に示すように、その表面pがxy平面に含まれ、座標原点Oが表面pに含まれるように空間内に置かれた平面状の反射物体Pに対し、表面pの上方から光源Aで照射し、表面p上の原点Oで反射された光を受光器Bで受光し、反射物体Pの光学特性を調べる場合を考える。
光源Aと原点Oを結ぶ方向がz軸となす角(入射角度)をI、受光器Bと原点Oを結ぶ方向がz軸となす角(受光角度)をRとする。光源Aと受光器Bとの位置関係を規定するには、この他、光源Aからxy平面に下ろした垂線の足A’と原点Oを結ぶ方向がx軸となす角α、及び受光器Bからxy平面に下ろした垂線の足B’と原点Oを結ぶ方向がx軸となす角βをも求める必要がある。
【0005】
しかし、これら4つの角度I、R、α、βをパラメータとしてある角度間隔で動かして全て測定しようとすると、例えば、光源Aや受光器Bにモータを付けて動かしながら測定しなければならない。 従って、このような機械的な動作のため、 測定には24時間あるいは数日を要し、いわゆる透過光特性BTDF(Bi−directional Transmission Distribution Function)、 及び反射光特性BRDF(Bi−directional Reflection Distribution Function)の測定には多大の時間を要するという問題があった。
【0006】
本発明は、前記従来の問題に鑑みてなされたものであり、照明側と受光側の両方の角度を変化させた場合の前記BTDF及びBRDFの測定を効率よく行うことを可能にするとともに、直射日光や曇天あるいは室内等の任意の照明角度分布の下での視野角特性、分光特性あるいは散乱・偏光特性等の光学特性の測定を容易に行うことを可能とする光学特性測定装置を提供することを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明は、測定試料の光学特性を測定する光学特性測定装置であって、光源ランプ、2次元配列調光マスク、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを有する光源部と、前記光源部から射出され絞りを通過した光を平行光とする第一のリレーレンズ系と、前記平行光を前記測定試料上に集光する第一のコリメータレンズ系と、前記測定試料の透過光または反射光を、平行光とする第二のコリメータレンズ系と、前記第二のコリメータレンズ系による平行光を集光する第二のリレーレンズ系と、前記第二のリレーレンズ系により集光され絞りを通過した光を、偏光フィルタ及びチューナブルフィルタを介して受光するCCDを有する受光部と、前記受光部で受光した光のデータを受け取り、これに所定の信号処理を行う信号処理部と、を備えたことを特徴とする光学特性測定装置を提供する。
【0008】
また、前記光源部と受光部、前記第一リレーレンズ系と第二のリレーレンズ系、及び前記第一のコリメータレンズ系と第二のコリメータレンズ系は、前記測定試料を中心として略対称形に配置されて構成されていることが好ましい。
【0009】
前記第一のリレーレンズ系と第一のコリメータレンズ系との間に光束分岐手段を配置し、前記第一のコリメータレンズ系で前記第二のコリメータレンズ系を兼用し、前記測定試料で反射され前記第一のコリメータレンズ系を通過した光の一部を前記光束分岐手段により前記測定試料への入射光に対し略直角方向に分岐させ、該分岐させた光を受光するように前記第二のリレーレンズ系及び前記受光部を配置したことが好ましい。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の光学特性測定装置について、添付の図面に示される好適実施形態を基に詳細に説明する。
【0011】
図1は、本発明に係る光学特性測定装置の第一実施形態を示す概略構成図である。
図1に示すように、第一実施形態の光学特性測定装置1は、測定試料10を中心として、光源部12を含む照明側と受光部14を含む受光側が左右に振り分けられて略左右対称形に配置され、光源部12から射出され、測定試料10を透過した透過光を受光部14で受光することにより測定試料10の光学特性を測定するものである。
なお、測定試料10としては、特に限定はされないが、例えば写真フィルム等が例示される。
【0012】
すなわち、測定試料10の左側には、左端の光源部12から測定試料10に向かって順に、光源部12、光源部12から出た光を絞る光源側絞り16、光源側絞り16を通過した光を平行光とする光源側リレーレンズ系(第1のリレーレンズ系)18、及びこの平行光を測定試料10上に集光する光源側コリメータレンズ系(第1のコリメータレンズ系)20が配置されている。
また、測定試料10の右側には、測定試料10から右端の受光部14に向かって順に、測定試料10の透過光を平行光とする受光側コリメータレンズ系(第2のコリメータレンズ系)22、この平行光を集光する受光側リレーレンズ系(第2のリレーレンズ系)24、この集光された光を通す受光側絞り26、及び受光側絞り26を通過した光を受光する受光部14が配置されている。
さらに、受光部14には、受光された光のデータに対し、所定の信号処理を施す信号処理部30が接続されている。
【0013】
また、光源部12は、光源ランプ12a、2次元配列調光マスク(以下単に調光マスクとする。)12b、光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dから構成されている。
また、受光部14は、受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14b及び光を受光するCCD14cから構成されている。
なお、このように本実施形態の光学特性測定装置1は、測定試料10を中心として、左右対称に光学部材が配置されているが、左右の各対応する位置にある光学部材は、必ずしも全く同一のものである必要はない。
【0014】
調光マスク12bは、照明角度分布を制御するものであり、その一例を図2に示す。図2に示す調光マスク12bは、液晶マスクであり、マスクの画素数は最低100×100は必要である。この液晶マスクは、各セル毎に透過光量を制御可能であり、中央の円形部分のみ光を通すようにして、周辺部は光を遮るようにしている。
このように、調光マスク12bは、ある一部分のみ光が通るようにして、二次元的な光の強度を変えることができるようにしたものである。これにより、直射日光や曇天、あるいは室内における照明等、実際の照明に近い状態を、測定で実現することが可能となる。
なお、調光マスク12bは、図2に示すような液晶マスクには限定されず、他の形式のものであってもよい。
【0015】
光源側チューナブルフィルタ12cは、可視光を分光する波長可変フィルタであり、分光特性を測定するために組み込まれるものである。
なお、光源側チューナブルフィルタ12cは、分光する機能を有するものであればよく、特には限定されない。例えば、異なる波長帯域のフィルタを複数用意してターレットで回して切り換えるようにしてもよい。
また、光源側偏光フィルタ12dも、光源側チューナブルフィルタ12cと同様に、分光特性測定のために組み込まれるものである。光源側偏光フィルタ12dや調光マスク12bも異なるものを複数用意して、それらを切り換えて用いるようにしてもよい。
【0016】
光源側リレーレンズ系18は、光源側絞り16で絞られた光を平行光とするものであり、その後側焦点位置が符号18aで示されている。
また、光源側コリメータレンズ系20は、光源側リレーレンズ系18によって平行光とされた光を測定試料10上に集光するものであり、その前側焦点位置が符号20aで示されている。
光源側コリメータレンズ系20により、測定試料10の位置で丁度ピントが合うようになっており、光が点の状態で測定試料10に入射する。
【0017】
測定試料10に入射した光は測定試料10を透過する。受光側コリメータレンズ系22は、測定試料10の前に置かれた光源側コリメータレンズ系20とは逆向きに配置され、この透過光を平行光とするものであり、その後側焦点位置が符号22aで示されている。
受光側リレーレンズ系24は、この平行光を集光するものであり、丁度光が集光される位置に絞り26が配置されている。なお、受光側リレーレンズ系24の前側焦点位置が符号24aで示されている。
【0018】
受光部14は、絞り26を通過した光を受光するものである。受光部14に入射した光は、受光側偏光フィルタ14a、及び受光側チューナブルフィルタ14bを介してCCD14cで受光される。この受光部14の受光側偏光フィルタ14a及び受光側チューナブルフィルタ14bの働きは、光源部12の光源側偏光フィルタ12d及び光源側チューナブルフィルタ12cと同じである。
信号処理部30は、CCD14cで受光された光を受け取り、デジタル信号に変換して、これに対し所定の信号処理を行うことにより、測定試料10の光学特性を解析する。
【0019】
信号処理部30における信号処理としては、特に限定されるものではなく、各種の信号処理を行うことが可能である。
例えば、測定試料10として、検査用のフィルムを用い、その透過率を求める処理が例示される。
【0020】
以下、今言った被検査フィルムの透過率を求める場合を例にとり、図3に示すフローチャートに沿って、本実施形態の作用を説明する。
図3のフローチャートにおいて、まずステップ100からステップ106までにおいて、準備として、光源部12の調光マスク12b及び光源側チューナブルフィルタ12Cを設定し(ステップ100)、光源側偏光フィルタ12Dを回転し(ステップ102)、一方受光部14の受光側チューナブルフィルタ14b(受光側調光フィルタ)を設定する(ステップ104)とともに、受光側偏光フィルタ14aを回転する(ステップ106)。
【0021】
次に、まず測定試料10としての被検査フィルムは装着せずに、波長を所定波長数変化させてCCD14cによって光を測定する。
ステップ108において、光源側チューナブルフィルタ12cの波長を変更するとともに、ステップ110において受光側チューナブルフィルタ14bの波長を変更し、ステップ112で光源部12から出力された光を2次元CCD14cによって受光する。
すなわち、光源部12の光源ランプ12aからはあらゆる方向に光が放出されるが、調光マスク12bにより、特定の方向からの光のみが選択され、さらに光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dを介して、所定波長の偏光とされて、光源部12から出力される。
【0022】
光源部12から出力された光は、光源側絞り16で絞られた後、光源側リレーレンズ系18により平行光とされる。この平行光は、光源側コリメータレンズ系20により集光される。いまの場合、測定試料10(被検査フィルム)は装着されていないので、この光は直接CCD14cに受光される。
すなわち、光源側コリメータレンズ系20により集光された光は、直接受光側コリメータレンズ系22に入射した後、再び平行光とされ、受光側リレーレンズ系24により集光され、受光側絞り26を通過し、受光部14によって受光される。受光部14に入力された光は、受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14bを介してCCD14cによって受光される。CCD14cによって受光され光の信号は、信号処理部30に入力される。
このように光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dを変更して所定波長数(所定間隔で10〜20波長程度)変えながら、CCD14cによる光の測定を行う。
【0023】
ステップ114で、このように予め設定された所定波長数の測定が終了したか否か判断し、まだ終了していない場合には、ステップ108へもどり、光源側チューナブルフィルタ12c及び光源側偏光フィルタ12dを変更して波長を変えてCCD14cによる測定を続行する。
ステップ114において、所定波長数の測定が終了したと判断された場合には、ステップ116へ進み、被検査フィルム(測定試料10)を装着し、被検査フィルムの透過光の測定を行う。
【0024】
すなわち、測定試料10として被検査フィルムを装着した上で、ステップ118からステップ122において、上記ステップ108からステップ112と同様にして、光源部12から出力され、被検査フィルムを透過した光をCCD14cによって受光する。
光源部12から出力された光は、光源側絞り16で絞られた後、光源側リレーレンズ系18により平行光とされ、この平行光は光源側コリメータレンズ系20により集光されて測定試料10としての被検査フィルムに照射される。
測定試料10としての被検査フィルムに入射した光は、被検査フィルムを透過する。この光は、図1に示すように、被検査フィルム(測定試料10)に入射角Iで入射し、被検査フィルムを透過後、受光角Rで出射され、受光側コリメータレンズ系22によって受光される。
【0025】
受光側コリメータレンズ系22に入射した光は、再び平行光とされ、受光側リレーレンズ系24により集光される。前述したように、この光が一点に集光される位置に受光側絞り26が配置されており、受光側絞り26を通過した光は、受光部14によって受光される。受光部14に入力された光は、受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14bを介して、CCD14cによって受光される。CCD14cによって受光された光の信号は信号処理部30に送られる。
【0026】
ステップ124において、上記被検査フィルムの透過光の測定が、10〜20の所定の波長数について終了したか否か判断し、まだ終了していない場合には、ステップ118にもどり、波長を変更して同様に測定を続け、所定の波長数について測定が終了した場合には、ステップ126に進む。
ステップ126では、信号処理部30において、被検査フィルム未装着で測定した光信号と被検査フィルムを装着して測定した光信号をデジタル信号に変換し、これらのデジタル信号に対し所定の信号処理を行い、被検査フィルムの透過率を算出する。
【0027】
以上説明したように、光源部12の調光マスク12bの光が通過する部分や、光源側チューナブルフィルタ12cの波長帯域、光源側偏光フィルタ12d、及び受光部14の受光側偏光フィルタ14a、受光側チューナブルフィルタ14bを種々調整し、変更することにより、直射日光や曇天あるいは室内等の任意照明角度分布の下での、視野角特性、分光特性あるいは偏光特性を測定することができる。
【0028】
次に、本発明の第二実施形態について説明する。
図4に本発明の第二実施形態に係る光学特性測定装置の概略構成を示す。
第二実施形態の光学特性測定装置は、測定試料の反射光を測定するものであり、基本的原理は第一実施形態と同じであるが、測定試料からの反射光を光束分岐手段により、入射光と略直交する方向に光を分岐させて受光部で受光するようにした点が第一実施形態と異なっている。
【0029】
図4に示すように、本実施形態の光学特性測定装置2は、光源部112から測定試料110に至るまでの、光源部112、光源側絞り116、光源側リレーレンズ系118、光源側コリメータレンズ系120、測定試料110という部材の配置は第一実施形態と全く同じである。
本実施形態では、光源側リレーレンズ系118と光源側コリメータレンズ系120の間に光束分岐手段140が配置され、測定試料110からの反射光を入射光とは略直交する方向に分岐するように構成されている。光束分岐手段140は、特に限定はされず、ハーフミラーやダイクロイックミラー等が好適に例示される。
【0030】
また、光源側コリメータレンズ系120は、測定試料110で反射された光を受光する受光側コリメータレンズ系をも兼用している。すなわち、光源側コリメータレンズ系120は、本実施形態においては、光源部112からの光を測定試料110上に集光するとともに、測定試料110からの反射光を平行光として射出する働きを有している。
光源側コリメータレンズ系120で平行光とされた測定試料110の反射光は、光束分岐手段140で測定試料110への入射光とは略直交する方向に反射される。
【0031】
光束分岐手段140で分岐された測定試料110の反射光を受光するために、光源部112から測定試料110を結ぶ方向とは略直交する方向に受光側リレーレンズ系124、受光側絞り126、受光部114がこの順で配置されている。また、光源側リレーレンズ系118の焦点位置を符号118aで、光源側コリメータレンズ系120の焦点位置を符号120aで、また、受光側リレーレンズ系124の焦点位置を符号124aで示す。
受光部114で受光された測定試料110の反射光は、第一実施形態と同様に信号処理部130に入力され、デジタル信号に変換されて、所定の信号処理が施される。
なお、図示は省略したが、光源部112及び受光部114の内部構成は第一実施形態と同様である。
【0032】
以下、本実施形態の作用を説明する。
光源部112から射出された光は、光源側絞り116で絞られた後光源側リレーレンズ系118によって平行光とされる。この平行光は、光束分岐手段140を透過して、光源側コリメータレンズ系120に入射される。光源側コリメータレンズ系120は、この平行光を測定試料110上に集光する。
【0033】
測定試料110に入射された光は、測定試料110上で反射され、いま来た経路を引き返す。この反射光は、受光側コリメータレンズ系をも兼用する光源側コリメータレンズ系120によって、今度は平行光とされ、光束分岐手段140に入射される。光束分岐手段140は、この平行光の一部を、その方向が略90°変わる方向に反射する。
光束分岐手段140によって略直交方向に反射された光は、平行光として受光側リレーレンズ系124に入射する。受光側リレーレンズ系124は、この入射光を受光側絞り126の位置に集光する。
【0034】
そして受光側絞り126を通過した光は、受光部114で受光される。
受光部114の内部構造は、第一実形態と同様であり、CCDで受光され、信号処理部130に送られる。信号処理部130では、第一実施形態と同様に、これをデジタル信号に変換して、所定の信号処理を施すことにより、測定試料110の光学特性の解析を行う。
【0035】
以上、述べたように、各実施形態において、測定試料に光を照射して、その透過光あるいは反射光を測定する場合に、光源の前に2次元配列調光マスクを付けることにより、ある方向からの光のみが測定試料に当たるようにし、また、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを設けることで、任意の照明角度分布における視野角特性、分光特性、偏光特性等の、例えば写真フィルム等の測定試料の光学特性を簡単に短時間で測定することができるようになった。
【0036】
以上、本発明の光学特性測定装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変更を行ってもよいのはもちろんである。
【0037】
【発明の効果】
以上説明した通り、本発明によれば、測定試料の視野角特性、分光特性、偏光特性の全ての測定が、直射日光や曇天あるいは室内等の任意の照明角度分布の下で、簡単に短時間に行うことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る光学特性測定装置の第一実施形態を示す概略構成図である。
【図2】本実施形態で用いる調光マスクを示す説明図である。
【図3】本実施形態の作用を示すフローチャートである。
【図4】本発明に係る光学特性測定装置の第二実施形態を示す概略構成図である。
【図5】従来の光学特性測定方法を示す概略構成図である。
【符号の説明】
1 本発明の第一実施形態に係る光学特性測定装置
2 本発明の第二実施形態に係る光学特性測定装置
10、110 測定試料
12、112 光源部
12a 光源ランプ
12b 調光マスク
12c 光源側チューナブルフィルタ
12d 光源側偏光フィルタ
14、114 受光部
14a 受光側偏光フィルタ
14b 受光側チューナブルフィルタ
14c CCD
16、116 光源側絞り
18、118 光源側リレーレンズ系(第1のリレーレンズ系)
18a、20a、22a、24a 焦点位置
20、120 光源側コリメータレンズ系(第1のコリメータレンズ系)
22 受光側コリメータレンズ系(第2のコリメータレンズ系)
24、124 受光側リレーレンズ系(第2のコリメータレンズ系)
26、126 受光側絞り
30、130 信号処理部
Claims (1)
- 測定試料の光学特性を測定する光学特性測定装置であって、
光源ランプ、2次元配列調光マスク、チューナブルフィルタ及び偏光フィルタを有する光源部と、
前記光源部から射出され絞りを通過した光を平行光とする第一のリレーレンズ系と、
前記平行光を前記測定試料上に集光する第一のコリメータレンズ系と、
前記測定試料の透過光または反射光を、平行光とする第二のコリメータレンズ系と、
前記第二のコリメータレンズ系による平行光を集光する第二のリレーレンズ系と、
前記第二のリレーレンズ系により集光され絞りを通過した光を、偏光フィルタ及びチューナブルフィルタを介して受光するCCDを有する受光部と、
前記受光部で受光した光のデータを受け取り、これに所定の信号処理を行う信号処理部と、
を備えたことを特徴とする光学特性測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002282523A JP2004117236A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 光学特性測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002282523A JP2004117236A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 光学特性測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004117236A true JP2004117236A (ja) | 2004-04-15 |
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ID=32276649
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002282523A Withdrawn JP2004117236A (ja) | 2002-09-27 | 2002-09-27 | 光学特性測定装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2004117236A (ja) |
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-
2002
- 2002-09-27 JP JP2002282523A patent/JP2004117236A/ja not_active Withdrawn
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