JP2012242344A - 加速度検出器、加速度検出デバイス及び電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】電気結合に起因する加速度検出素子の異常発振による誤動作を回避し、印加される加速度の誤検出や検出精度の低下を回避可能な加速度検出器の提供。
【解決手段】加速度検出器１は、ベース部１０と、継ぎ手部１１と、可動部１２と、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂと、を備え、可動部１２は、加わる加速度に応じて、継ぎ手部１１を支点にして変位し、一対の加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、可動部１２の変位に応じて、加わる力を電気信号に変換し、ベース部１０は、一方の主面１０ａに、加速度検出素子１３Ａと接続され一方の電気信号が流れる第１配線パターン１０ｃ，１０ｄを有し、他方の主面１０ｂに、加速度検出素子１３Ｂと接続され他方の電気信号が流れる第２配線パターン１０ｅ，１０ｆを有し、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄと、第２配線パターン１０ｅ，１０ｆとが、平面視において、互いに重ならないように配置されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、加速度検出器、この加速度検出器を備えた、加速度検出デバイス及び電子機器に関する。

加速度検出器には、例えば、圧電振動素子に検出軸方向の力が作用すると圧電振動素子の共振周波数が変化する現象を利用して、この共振周波数の変化から加速度検出器に印加される加速度を検出するように構成されているものがある。
例えば、特許文献１には、フレーム状の平行四辺形枠の一方の対角に双音叉型圧電振動素子を接合し、他方の対角に圧縮力、または引っ張り力を加える構成の加速度計（加速度検出器）が開示されている。

特許文献１の加速度検出器は、固定部と可動部（震性マス）とを備えた略平板状の中央素子と、中央素子の両面に配置され、双音叉型圧電振動素子が組み込まれた略平板状の一対のトランスジューサー素子と、を備えている（特許文献１の図３参照）。
上記加速度検出器は、一対の双音叉型圧電振動素子間の、印加される加速度に応じて変化する共振周波数の差（周波数差）によって、加速度を検出するように構成されている。

特開平８−５４４１１号公報

上記加速度検出器は、中央素子の両面に配置された一対のトランスジューサー素子の双音叉型圧電振動素子から引き出されたそれぞれの配線パターン（リード）が、中央素子の外周に設けられたリング状の支持部材である隔離リングまで延在し、隔離リングの両面で、平面視において、互いに重なるように配置されている構成と考えられる。

これにより、上記加速度検出器は、それぞれの配線パターンに流れる発振信号（電気信号）同士が電気結合（カップリング）を生じ、双音叉型圧電振動素子（加速度検出素子）が、例えば、本来の共振周波数と異なる共振周波数で発振したり、共振周波数がふらついたり、共振周波数が突然大きく変化したりする異常発振によって、誤動作する虞がある。
この結果、上記加速度検出器は、印加される加速度の誤検出や、検出精度の低下などの不具合が発生する虞がある。

本発明は、上記課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例にかかる加速度検出器は、平板状のベース部と、該ベース部に継ぎ手部を介して接続された平板状の可動部と、前記ベース部及び前記可動部の、一方の主面間及び他方の主面間に架け渡された一対の加速度検出素子と、を備え、前記可動部は、加わる加速度に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記主面と交差する方向に変位可能であり、一対の前記加速度検出素子は、前記可動部の変位に応じて、それぞれに加わる互いに逆方向の力を電気信号に変換可能であり、前記ベース部は、一方の前記主面に、一方の前記加速度検出素子と接続され一方の前記電気信号が流れる第１配線パターンを有し、他方の前記主面に、他方の前記加速度検出素子と接続され他方の前記電気信号が流れる第２配線パターンを有し、前記第１配線パターンと、前記第２配線パターンとが、平面視において、互いに重ならないように配置されていることを特徴とする。

これによれば、加速度検出器は、ベース部（固定部に相当）が、一方の主面に、一方の加速度検出素子と接続され一方の電気信号が流れる第１配線パターンを有し、他方の主面に、他方の加速度検出素子と接続され他方の電気信号が流れる第２配線パターンを有し、第１配線パターンと、第２配線パターンとが、平面視において、互いに重ならないように配置されている。
この結果、加速度検出器は、第１配線パターンと第２配線パターンとが、平面視において、互いに重ならないことから、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制することが可能となる。
したがって、加速度検出器は、電気結合に起因する一対の加速度検出素子の異常発振による誤動作を回避し、印加される加速度の誤検出や検出精度の低下などの不具合の発生を低減することができる。

［適用例２］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位を有した支持部を更に備え、前記第１配線パターン及び前記第２配線パターンが、前記支持部に延在し、平面視において、互いに重ならないように配置されていることが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、ベース部から可動部に沿って延びる部位を有した支持部を備え、第１配線パターン及び第２配線パターンが、支持部に延在し、平面視において、互いに重ならないように配置されている。
この結果、加速度検出器は、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制しつつ、安定した姿勢で外部部材に支持（固定）され、且つ導通をとる（電気的に接続される）ことができる。

［適用例３］上記適用例２にかかる加速度検出器において、前記支持部は、平面視において、前記ベース部とによって前記可動部を囲む枠状に形成されていることが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、平面視において、支持部がベース部とによって可動部を囲む枠状に形成されている。
この結果、加速度検出器は、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制しつつ、剛性が向上した支持部によって、更に安定した姿勢で外部部材に支持され、且つ導通をとることができる。

［適用例４］上記適用例にかかる加速度検出器において、前記加速度検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、一方の前記基部が前記ベース部に固定され、他方の前記基部が前記可動部に固定されていることが好ましい。

これによれば、加速度検出器は、加速度検出素子が少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、一方の基部がベース部に固定され、他方の基部が可動部に固定されている。
この結果、本構成の加速度検出器は、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制しつつ、加速度検出素子に、例えば、構成がシンプルで検出特性に優れた双音叉型圧電振動素子などを採用可能なことから、検出特性に優れた加速度検出器を提供することができる。

［適用例５］本適用例にかかる加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器と、前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする

これによれば、加速度検出デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器と、加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。

［適用例６］本適用例にかかる電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする。

これによれば、電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の加速度検出器を備えたことから、上記適用例のいずれか一例に記載の効果を奏する電子機器を提供することができる。

第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す部分展開模式斜視図。 第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＡ−Ａ線での断面図。 加速度検出器の動作について説明する模式断面図であり、（ａ）は可動部が−Ｚ方向に変位した状態を示し、（ｂ）は可動部が＋Ｚ方向に変位した状態を示す。 一対の加速度検出素子を含む発振回路の回路図。 変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図、（ｃ）は（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図。 第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図であり、（ａ）はリッド（蓋体）側から俯瞰した平面図、（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図。 第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図。 傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図。

以下、本発明を具体化した実施形態について図面を参照して説明する。

（第１実施形態）
最初に、加速度検出器の一例について説明する。
図１は、第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す部分展開模式斜視図である。図２は、第１実施形態の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図２（ａ）は、平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）のＡ−Ａ線での断面図である。なお、一部の配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。

図１、図２に示すように、加速度検出器１は、平板状のベース部１０と、ベース部１０に継ぎ手部１１を介して接続された矩形平板状の可動部１２と、ベース部１０及び可動部１２の、一方の主面１０ａ，１２ａ間及び他方の主面１０ｂ，１２ｂ間に架け渡された一対の加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂとを備えている。
そして、加速度検出器１は、平面視において、ベース部１０から可動部１２の両側に沿って延び、ベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されている平板状の支持部１４を、更に備えている。

可動部１２は、平板の表裏面に相当する両主面１２ａ，１２ｂに、平面視において、一部が支持部１４と重なる一対の質量部（錘）１５が配置されている。質量部１５は、接合材１６を介して両主面１２ａ，１２ｂに接合されている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４は、例えば、水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、一体で略平板状に形成されている。なお、可動部１２と支持部１４との間には、両者を分割するスリット状の孔が設けられている。
ベース部１０、継ぎ手部１１、可動部１２、支持部１４の外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。なお、一例として、ベース部１０、可動部１２、支持部１４の厚さは、１００〜２００μｍ程度であり、継ぎ手部１１の厚さは、２０μｍ程度である。

継ぎ手部１１は、両主面１２ａ，１２ｂ側からのハーフエッチングによって、ベース部１０と可動部１２とを区切るように、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）と直交する方向（Ｘ軸方向）に沿って有底の溝部１１ａが形成されている。
溝部１１ａにより、継ぎ手部１１のＹ軸方向に沿った断面形状（図２（ｂ）の形状）は、略Ｈ字状に形成されている。
この、継ぎ手部１１により、可動部１２は、一方の主面１２ａ（他方の主面１２ｂ）と交差する方向（Ｚ軸方向）に加わる加速度に応じて、継ぎ手部１１を支点（回転軸）にして一方の主面１２ａと交差する方向（Ｚ軸方向）に変位（回動）可能となっている。

質量部１５は、可動部１２の一方の主面１２ａ（他方の主面１２ｂ）側に突出する円柱状（円板状）の凸部１５ａを有し、凸部１５ａの先端部が、可動部１２の一方の主面１２ａ及び他方の主面１２ｂに接合材１６を介して接合されている。
なお、凸部１５ａは、熱応力の抑制の観点から、可動部１２への接合に必要な面積を確保しつつ、平面サイズを極力小さくすることが好ましい。また、質量部１５は、接合時の傾き回避の観点から、平面視において、質量部１５の重心が凸部１５ａ内に収まることが好ましい。
質量部１５は、加速度検出器１の感度向上を図るべく平面サイズを極力大きくするために、可動部１２における継ぎ手部１１側とは反対側の自由端側から、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂを避けて二股状で継ぎ手部１１近傍まで延び、平面視において、略Ｕ字状に形成されている。
質量部１５には、例えば、Ｃｕ、Ａｕなどの金属に代表される比較的比重の大きい材料が用いられている。
接合材１６には、弾性に優れたシリコーン系樹脂（変成シリコーン樹脂など）を含む接着剤として、例えば、シリコーン系熱硬化型接着剤が用いられている。

加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂ（図２（ａ）のハッチング部分）では、図２（ｂ）に示すように、質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられている。本実施形態では、隙間Ｃを凸部１５ａの厚さ（突出高さ）で管理している。

一対の加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、ベース部１０と可動部１２とを結ぶ方向（Ｙ軸方向）に沿って延びる少なくとも一以上（ここでは２本）の角柱状であって、Ｘ軸方向に屈曲振動をする振動梁１３ｃ，１３ｄを有する加速度検出部１３ｅと、加速度検出部１３ｅの両端に接続された一対の基部１３ｆ，１３ｇと、を備えている。
加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、圧電材料を用いて２本の振動梁１３ｃ，１３ｄと一対の基部１３ｆ，１３ｇとで二組の音叉を構成することから、双音叉型圧電振動素子（双音叉素子、双音叉型振動片）とも呼ばれている。

加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、例えば、圧電材料である水晶の原石などから所定の角度で切り出された水晶基板を用いて、加速度検出部１３ｅと基部１３ｆ，１３ｇとが一体で略平板状に形成されている。また、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂの外形形状は、フォトリソグラフィー、エッチングなどの技術を用いて精度よく形成されている。
加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、可動部１２の変位に応じて、それぞれに加わる互いに逆方向の力を圧電効果により電気信号に変換可能である。

一方の加速度検出素子１３Ａは、一方の基部１３ｆが可動部１２の一方の主面１２ａに、例えば、低融点ガラス、共晶接合可能なＡｕ／Ｓｎ合金被膜などの接合部材１７を介して固定され、他方の基部１３ｇがベース部１０の一方の主面１０ａに接合部材１７を介して固定されている。
同様に、他方の加速度検出素子１３Ｂは、一方の基部１３ｆが可動部１２の他方の主面１２ｂに、接合部材１７を介して固定され、他方の基部１３ｇがベース部１０の他方の主面１０ｂに接合部材１７を介して固定されている。

なお、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂと、ベース部１０の両主面１０ａ，１０ｂ及び可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂとの間には、可動部１２の変位時に加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂとベース部１０及び可動部１２とが互いに接触しないように、所定の隙間が設けられている。この隙間は、本実施形態では、接合部材１７の厚さで管理されている。
具体的には、例えば、ベース部１０及び可動部１２と加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂとの間に、所定の隙間に相当する厚さに形成されたスペーサーを挟んだ状態で、ベース部１０及び可動部１２と加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂとを接合部材１７によって固定することで、隙間を所定の範囲内に管理することができる。

一方の加速度検出素子１３Ａは、振動梁１３ｃ，１３ｄの図示しない励振電極（駆動電極）から基部１３ｇに引き出された引き出し電極１３ｈ，１３ｉが、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤（例えば、シリコーン系導電性接着剤）１８によって、ベース部１０の一方の主面１０ａに設けられた第１配線パターン１０ｃ，１０ｄと接続されている。
詳述すると、引き出し電極１３ｈは、第１配線パターン１０ｃと接続され、引き出し電極１３ｉは、第１配線パターン１０ｄと接続されている。

第１配線パターン１０ｃ，１０ｄは、それぞれベース部１０から支持部１４に沿って可動部１２の両側に延び、支持部１４における可動部１２の自由端近傍まで延在している。そして、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄは、先端部において、スルーホール１４ｃを介して支持部１４の一方の主面１４ａから他方の主面１４ｂに回りこみ、スルーホール１４ｃの周囲に外部部材（例えば、パッケージ）への導通部分が形成さている。
第１配線パターン１０ｃ，１０ｄは、一方の加速度検出素子１３Ａと接続されることにより、一方の電気信号が流れることになる。
なお、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄは、支持部１４において質量部１５と接触しないように配置される。

同様に、他方の加速度検出素子１３Ｂは、振動梁１３ｃ，１３ｄの励振電極から基部１３ｇに引き出された引き出し電極１３ｈ，１３ｉが、導電性接着剤１８によって、ベース部１０の他方の主面１０ｂに設けられた第２配線パターン１０ｅ，１０ｆと接続されている。
詳述すると、引き出し電極１３ｈは、第２配線パターン１０ｅと接続され、引き出し電極１３ｉは、第２配線パターン１０ｆと接続されている。
第２配線パターン１０ｅ，１０ｆは、それぞれベース部１０から支持部１４の根元部分まで延在している。第２配線パターン１０ｅ，１０ｆは、支持部１４の角部近傍に形成された部分が外部部材への導通部分となっている。
第２配線パターン１０ｅ，１０ｆは、他方の加速度検出素子１３Ｂと接続されることにより、他方の電気信号が流れることになる。

ここで、図２（ａ）に示すように、加速度検出器１は、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄと第２配線パターン１０ｅ，１０ｆとが、平面視において、互いに重ならないように配置されている。
なお、励振電極、引き出し電極１３ｈ，１３ｉ、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ、第２配線パターン１０ｅ，１０ｆは、例えば、Ｃｒを下地層とし、その上にＡｕが積層された構成となっている。

ここで、加速度検出器１の動作について説明する。
図３は、加速度検出器の動作について説明する模式断面図である。図３（ａ）は、可動部が紙面下方（−Ｚ方向）に変位した状態を示し、図３（ｂ）は、可動部が紙面上方（＋Ｚ方向）に変位した状態を示す。

図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋αに応じた慣性力によって、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして−Ｚ方向に変位した場合、一方の加速度検出素子１３Ａには、Ｙ軸方向に基部１３ｆと基部１３ｇとが互いに離れる方向の引っ張り力が加わり、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄに引っ張り応力が生じる。
これにより、加速度検出素子１３Ａは、例えば、巻き上げられた弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄの振動周波数（以下、共振周波数ともいう）が高くなる方に変化する。
このとき、他方の加速度検出素子１３Ｂには、Ｙ軸方向に基部１３ｆと基部１３ｇとが互いに近づく方向の圧縮力が加わり、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄに圧縮応力が生じる。
これにより、加速度検出素子１３Ｂは、例えば、巻き戻された弦楽器の弦のように、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄの共振周波数が低くなる方に変化する。

反対に、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−αに応じた慣性力によって、可動部１２が、継ぎ手部１１を支点にして＋Ｚ方向に変位した場合、一方の加速度検出素子１３Ａには、Ｙ軸方向に基部１３ｆと基部１３ｇとが互いに近づく方向の圧縮力が加わり、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄに圧縮応力が生じる。
これにより、加速度検出素子１３Ａは、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄの共振周波数が低くなる方に変化する。
このとき、他方の加速度検出素子１３Ｂには、Ｙ軸方向に基部１３ｆと基部１３ｇとが互いに離れる方向の引っ張り力が加わり、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄに引っ張り応力が生じる。
これにより、加速度検出素子１３Ｂは、加速度検出部１３ｅの振動梁１３ｃ，１３ｄの共振周波数が高くなる方に変化する。
なお、加速度検出素子１３Ａと加速度検出素子１３Ｂとは、加速度が加わらない状態では、略同一の共振周波数で発振（共振）している。

加速度検出器１は、この一方の加速度検出素子１３Ａの共振周波数と、他方の加速度検出素子１３Ｂの共振周波数との、周波数差を検出可能な構成となっている。Ｚ軸方向に加わる加速度（＋α、−α）は、この検出された周波数差の変化の割合に応じて、ルックアップテーブルなどによって定められた数値に変換することで導出される。

ここで、図３（ａ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度＋αが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の一方の主面１２ａに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４に接触する。
これにより、加速度検出器１は、加速度＋αに応じて−Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。

一方、図３（ｂ）に示すように、加速度検出器１は、Ｚ軸方向に加わる加速度−αが所定の大きさより大きい場合、可動部１２の他方の主面１２ｂに固定された質量部１５の、平面視において支持部１４と重なる部分が支持部１４に接触する。
これにより、加速度検出器１は、加速度−αに応じて＋Ｚ方向に変位する可動部１２の変位を、所定の範囲（隙間Ｃに相当、図２（ｂ）参照）内に規制する。

上述したように、第１実施形態の加速度検出器１は、ベース部１０が、一方の主面１０ａに、一方の加速度検出素子１３Ａと接続され一方の電気信号が流れる第１配線パターン１０ｃ，１０ｄを有し、他方の主面１０ｂに、他方の加速度検出素子１３Ｂと接続され他方の電気信号が流れる第２配線パターン１０ｅ，１０ｆを有している。
そして、加速度検出器１は、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄと、第２配線パターン１０ｅ，１０ｆとが、平面視において、互いに重ならないように配置されている。

この結果、加速度検出器１は、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄと第２配線パターン１０ｅ，１０ｆとが、平面視において、互いに重ならないことから、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制することが可能となる。
したがって、加速度検出器１は、電気結合に起因する一対の加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂの異常発振による誤動作を回避し、印加される加速度の誤検出や検出精度の低下などの不具合の発生を低減することができる。

上記について、図を用いて詳述する。
図４は、一対の加速度検出素子を含む発振回路の回路図である。なお、説明の便宜上、回路図中の該当箇所に第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ及び第２配線パターン１０ｅ，１０ｆの符号を付してある。
図４に示すように、発振回路５０，５１は、双音叉型圧電振動素子の一般的な発振回路であって、それぞれ加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂと、インバーターＩｖと、帰還抵抗Ｒｆと、ドレイン抵抗Ｒｄと、ゲート容量Ｃｇと、ドレイン容量Ｃｄと、を備えている。
この構成により、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、加速度が印加されていない状態において、所定の共振周波数（例えば、約３２ｋＨｚ）で発振している。

ここで、平面視において、第１配線パターン１０ｄと第２配線パターン１０ｅとが重なり、第１配線パターン１０ｃと第２配線パターン１０ｆとが重なっていると仮定すると、電気結合作用により、第１配線パターン１０ｄと第２配線パターン１０ｅとの間には、静電容量Ｃ１が発生し、第１配線パターン１０ｃと第２配線パターン１０ｆとの間には、静電容量Ｃ２が発生する。
静電容量Ｃ０は、次式（１）で表すことができる。
Ｃ０＝Ｅ×Ｓ／Ｄ…………（１）
ここで、Ｅは誘電率、Ｓは対向する電極面積、Ｄは電極間の距離を表す。
式（１）から、静電容量Ｃ０は、電極間の距離に反比例することが分かる。そうすると、加速度検出器１は、ベース部１０、支持部１４の厚さが、例えば、１００〜２００μｍ程度であり、数百μｍ〜数ｍｍ程度の厚さの一般的な回路基板などと比較して、静電容量Ｃ０が大きくなる傾向にあるといえる。

加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、発振回路５０，５１に静電容量Ｃ１，Ｃ２が付加されることにより、例えば、本来の共振周波数と異なる共振周波数で発振したり、共振周波数がふらついたり、共振周波数が突然大きく変化したりする異常発振によって、誤動作する虞がある。
加えて、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、この異常発振によって、互いに機械的にも干渉し合い、異常発振を増大させる虞がある。

このような不具合を避けるため、本実施形態の加速度検出器１では、平面視において、第１配線パターン１０ｄと第２配線パターン１０ｅとが重ならず、第１配線パターン１０ｃと第２配線パターン１０ｆとが重ならないように配置されている。
この結果、加速度検出器１では、静電容量Ｃ１，Ｃ２を無視できるレベルまで低減することが可能である。
なお、静電容量Ｃ１，Ｃ２を更に低減するためには、引き出し電極１３ｈ，１３ｉと第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ及び第２配線パターン１０ｅ，１０ｆとの接続に、導電性接着剤１８に代えて、金属ワイヤーを用いることが好ましい。
これによれば、加速度検出器１は、導電性接着剤１８のような塗布時の広がりがなく、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ側と第２配線パターン１０ｅ，１０ｆ側との対向する電極面積（Ｓ）を減らすことができ、静電容量Ｃ１，Ｃ２を更に低減することが可能となる。

また、加速度検出器１は、ベース部１０から可動部１２に沿って延びる部位を有した支持部１４を備え、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ及び第２配線パターン１０ｅ，１０ｆが、支持部１４に延在し、平面視において、互いに重ならないように配置されている。
この結果、加速度検出器１は、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制しつつ、支持部１４によって安定した姿勢で外部部材に支持（固定）され、且つ外部部材の端子と確実に導通をとる（電気的に接続される）ことができる。

また、加速度検出器１は、支持部１４が平面視において、ベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されている。
この結果、加速度検出器１は、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制しつつ、枠状でない場合と比較して剛性が向上した支持部１４によって、更に安定した姿勢で外部部材に支持され、且つ外部部材の端子と確実に導通をとることができる。

また、加速度検出器１は、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂが少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部１３ｅと、加速度検出部１３ｅの両端に接続された一対の基部１３ｆ，１３ｇと、を備え、一方の基部１３ｆが可動部１２に固定され、他方の基部１３ｇがベース部１０に固定されている。
この結果、本構成の加速度検出器１は、一方の電気信号と他方の電気信号との電気結合を抑制しつつ、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂに、例えば、構成がシンプルで検出特性に優れた双音叉型圧電振動素子などを採用可能なことから、検出特性に優れた加速度検出器を提供することができる。

また、加速度検出器１は、可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに、平面視において、一部が支持部１４と重なる質量部１５が配置され、可動部１２がＺ軸方向に加わる加速度（＋α、−α）に応じて継ぎ手部１１を支点にしてＺ軸方向に変位可能であり、質量部１５と支持部１４とが重なる領域Ｂにおける質量部１５と支持部１４との間に隙間Ｃが設けられている。
このことから、加速度検出器１は、加速度に応じてＺ軸方向に変位する可動部１２の変位を、可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに固定された質量部１５が隙間Ｃ分変位して支持部１４と接触することによって、所定の範囲内に規制することができる。

この結果、加速度検出器１は、自身に可動部１２の変位を規制するストッパーを設けたことから、例えば、外部部材であるパッケージに依存することなく可動部１２の変位を自身で規制することが可能となる。
したがって、加速度検出器１は、例えば、外部部材であるパッケージの内面と加速度検出器１との隙間を、質量部１５と支持部１４との隙間Ｃよりも十分に大きく設定することが可能となり、パッケージの内面との衝突や強度の限界を超える変位による、可動部１２や加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂの破損を回避することができる。

また、加速度検出器１は、自身に可動部１２の変位を規制するストッパーを設けたことから、可動部１２の変位の規制具合を、例えば、パッケージなどの外部部材に収容する前に確認することができる。
これにより、加速度検出器１は、良品率が格段に向上し、実使用時における破損などの不具合を低減することができる。

また、加速度検出器１は、平面視において、支持部１４がベース部１０とによって可動部１２を囲む略矩形の枠状に形成されていることから、例えば、後述する変形例のような、支持部１４が可動部１２の両側に分割されている場合と比較して、支持部１４における質量部１５の接触時（衝突時）の強度（耐衝撃性）を向上させることができる。

また、加速度検出器１は、質量部１５が可動部１２の一方の主面１２ａ（他方の主面１２ｂ）側に突出する凸部１５ａを有し、凸部１５ａの先端部が可動部１２の一方の主面１２ａ及び他方の主面１２ｂに接合材１６を介して接合されている。
これにより、加速度検出器１は、例えば、凸部１５ａのない質量部１５が接合材１６で可動部１２の両主面１２ａ，１２ｂに広範囲に亘って接着されている構成と比較して、質量部１５の接合範囲を狭くできることから、周囲の温度変化に起因する熱応力に伴う可動部１２の歪みを抑制することができる。
この結果、加速度検出器１は、上記歪みに起因する応力が低減され、加速度検出精度や温度特性などの加速度検出特性を向上させることができる。

また、加速度検出器１は、接合材１６がシリコーン系樹脂を含む接着剤としてのシリコーン系熱硬化型接着剤であることから、シリコーン系樹脂特有の弾性により質量部１５と支持部１４との接触時（衝突時）の衝撃力を緩和及び吸収することができる。
この結果、加速度検出器１は、質量部１５と支持部１４との接触時の損傷を低減することができ、耐衝撃性能を向上させることが可能となる。

なお、加速度検出器１は、耐衝撃性能に支障がなければ、平面視において、質量部１５と支持部１４とを重ねなくてもよい（ストッパーを除去してもよい）。
また、加速度検出器１は、質量部１５における接着箇所の位置ズレ、接着範囲の想定外の広がり、接着高さ（隙間Ｃ）のばらつきなどが殆どないと考えられる場合には、質量部１５に凸部１５ａを設けなくてもよい。

（変形例）
次に、第１実施形態の変形例について説明する。
図５は、第１実施形態の変形例の加速度検出器の概略構成を示す模式平断面図である。図５（ａ）は、平面図、図５（ｂ）は、図５（ａ）のＤ−Ｄ線での断面図、図５（ｃ）は、図５（ａ）のＥ−Ｅ線での断面図である。なお、一部の配線は省略してあり、各構成要素の寸法比率は実際と異なる。
また、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図５に示すように、加速度検出器２は、支持部１１４における可動部１１２の自由端側（−Ｙ側）の、第１実施形態ではＸ軸方向に延びて繋がっていた部分が、Ｙ軸方向からＸ軸方向に屈曲した根元部分を残して切り取られ、支持部１１４が可動部１１２の＋Ｘ側と−Ｘ側との２つに分割されている。
また、加速度検出器２は、支持部１１４の切り取られたスペースに可動部１１２の自由端側が延在している。

加速度検出器２は、可動部１１２の上記延在した部分に加速度検出素子１１３Ａ，１１３Ｂが配置可能なように、質量部１１５が＋Ｘ側と−Ｘ側との２つにそれぞれ分割されている。そして、２つに分割された質量部１１５が、加速度検出素子１１３Ａ，１１３Ｂを＋Ｘ側と−Ｘ側とから挟むように配置されている。
質量部１１５は、可動部１１２の一方の主面１１２ａ（他方の主面１１２ｂ）側に突出する円柱状（円板状）の凸部１１５ａを有し、凸部１１５ａの先端部が、可動部１１２の一方の主面１１２ａ及び他方の主面１１２ｂに接合材１６を介して接合されている。

質量部１１５の一部は、平面視において、支持部１１４における可動部１１２の自由端側のＹ軸方向からＸ軸方向に屈曲した部分（先端部分）と重なっている（図５（ａ）のハッチング部分、領域Ｂ）。
質量部１１５と支持部１１４とが重なる領域Ｂでは、図５（ｃ）に示すように、質量部１１５と支持部１１４との間に隙間Ｃが設けられている。
なお、加速度検出器２の動作については、第１実施形態に準じるので説明を省略する。

上記構成により、加速度検出器２は、加速度検出素子１１３Ａ，１１３Ｂの一方の基部１３ｆを可動部１１２の自由端側の端部に移動させ、他方の基部１３ｇを第１実施形態と同じ位置に配置することができる。
このことから、加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子１１３Ａ，１１３Ｂの加速度検出部１１３ｅの振動梁１１３ｃ，１１３ｄを第１実施形態よりも長くすることが可能となる。

上述したように、変形例の加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度検出素子１１３Ａ，１１３Ｂの振動梁１１３ｃ，１１３ｄを第１実施形態よりも長くすることが可能なことから、加速度による可動部１１２の僅かな変位でも振動梁１１３ｃ，１１３ｄが伸縮しやすくなり、周波数差の変化が発生しやすくなる。
この結果、加速度検出器２は、第１実施形態と比較して、Ｙ軸方向のサイズを大きくすることなく、加速度の検出感度を向上させることができる。

なお、加速度検出器２は、第１実施形態と同様に、耐衝撃性能に支障がなければ、平面視において、質量部１１５と支持部１１４とを重ねなくてもよい（ストッパーを除去してもよい）。
また、加速度検出器２は、質量部１１５における接着箇所の位置ズレ、接着範囲の想定外の広がり、接着高さ（隙間Ｃ）のばらつきなどが殆どないと考えられる場合には、質量部１１５に凸部１１５ａを設けなくてもよい。

（第２実施形態）
次に、上記第１実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた加速度検出デバイスについて説明する。
図６は、第２実施形態の加速度検出デバイスの概略構成を示す模式平断面図である。図６（ａ）は、リッド（蓋体）側から俯瞰した平面図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）のＦ−Ｆ線での断面図である。なお、平面図では、リッドを省略してある。また、一部の配線は省略してある。
なお、上記第１実施形態との共通部分には、同一符号を付して詳細な説明を省略し、上記第１実施形態と異なる部分を中心に説明する。

図６に示すように、加速度検出デバイス３は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１と、加速度検出器１を収容するパッケージ２０と、を備えている。
パッケージ２０は、平面形状が略矩形で凹部を有したパッケージベース２１と、パッケージベース２１の凹部を覆う平面形状が略矩形で平板状のリッド２２と、を有し、略直方体形状に形成されている。
パッケージベース２１には、セラミックグリーンシートを成形して積層し焼成した酸化アルミニウム質焼結体、水晶、ガラス、シリコンなどが用いられている。
リッド２２には、パッケージベース２１と同材料、または、コバール、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属が用いられている。

パッケージベース２１には、内底面（凹部の内側の底面）２３の外周部分から凹部の内壁に沿って突出した対向する２箇所の段差部２３ａに、内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂが設けられている。
内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂは、各段差部２３ａの長手方向の両端であって、加速度検出器１の支持部１４に延在する第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ及び第２配線パターン１０ｅ，１０ｆの導通部分と対向する位置（平面視において重なる位置）に設けられている。

パッケージベース２１の外底面（内底面２３の反対側の面、外側の底面）２６には、電子機器などの外部部材に実装される際に用いられる外部端子２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂが形成されている。
外部端子２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂは、図示しない内部配線によって内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂと接続されている。例えば、外部端子２７ａは、内部端子２４ａと接続され、外部端子２７ｂは、内部端子２４ｂと接続され、外部端子２８ａは、内部端子２５ａと接続され、外部端子２８ｂは、内部端子２５ｂと接続されている。
内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ及び外部端子２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂは、Ｗ、Ｍｏなどのメタライズ層にＮｉ、Ａｕなどの各被膜をメッキなどの方法により積層した金属膜からなる。

パッケージベース２１には、凹部の底部にパッケージ２０の内部を封止する封止部２９が設けられている。
封止部２９は、パッケージベース２１に形成された、外底面２６側の孔径が内底面２３側の孔径より大きい段付きの貫通孔２９ａに、Ａｕ／Ｇｅ合金、ハンダなどからなる封止材２９ｂを投入し、加熱溶融後、固化させることでパッケージ２０の内部を気密に封止する構成となっている。

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１の支持部１４に延在する第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ及び第２配線パターン１０ｅ，１０ｆの導通部分が、例えば、金属フィラーなどの導電性物質が混合された導電性接着剤（例えば、シリコーン系導電性接着剤）３０を介して、パッケージベース２１の段差部２３ａの内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂに固定されている。
これにより、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ及び第２配線パターン１０ｅ，１０ｆは、内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂと導通をとることができる（電気的に接続される）。

加速度検出デバイス３は、加速度検出器１がパッケージベース２１の内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂに固定された状態で、パッケージベース２１の凹部がリッド２２により覆われ、パッケージベース２１とリッド２２とがシームリング、低融点ガラス、接着剤などの接合部材２２ａで接合される。
加速度検出デバイス３は、リッド２２の接合後、パッケージ２０の内部が減圧された状態（真空度の高い状態）で、封止部２９の貫通孔２９ａに封止材２９ｂが投入され、加熱溶融後、固化されることにより、パッケージ２０の内部が気密に封止される。
なお、パッケージ２０の内部は、窒素、ヘリウム、アルゴンなどの不活性ガスが充填されていてもよい。
なお、パッケージは、パッケージベース及びリッドの両方に凹部を有していてもよい。

加速度検出デバイス３は、外部端子２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂ、内部端子２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄ及び第２配線パターン１０ｅ，１０ｆなどを経由して加速度検出器１の励振電極に印加される駆動信号によって、加速度検出器１の加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂのそれぞれの振動梁１３ｃ，１３ｄが所定の周波数で発振（共振）する。
そして、加速度検出デバイス３は、加わる加速度に応じて変化する加速度検出器１の加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂのそれぞれの共振周波数を出力信号として出力する。

上述したように、第２実施形態の加速度検出デバイス３は、加速度検出器１を備えたことから、上記第１実施形態に記載された効果を奏する加速度検出デバイス（例えば、電気結合に起因する加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂの異常発振による誤動作を回避し、印加される加速度の誤検出や検出精度の低下などの不具合の発生を低減することができる加速度検出デバイス）を提供することができる。
なお、加速度検出デバイス３は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を備えた場合においても、上記と同様の効果及び加速度検出器２の特有の効果を奏する加速度検出デバイスを提供することができる。

（第３実施形態）
次に、上記実施形態及び変形例で述べた加速度検出器を備えた電子機器としての傾斜計について説明する。
図７は、第３実施形態の傾斜計を示す模式斜視図である。図８は、傾斜計の内部に収容された傾斜センサーモジュールの概略構成を示す部分展開模式斜視図である。
図７、図８に示すように、傾斜計４は、上記第１実施形態で述べた加速度検出器１を、傾斜センサーモジュール５の傾斜センサーとして備えている。
図８に示すように、傾斜センサーモジュール５は、ベース基板２０１と、断熱基板２０２と、基台２０３と、加速度検出器１を備えた加速度検出デバイス３と、発振器２０４と、キャップ２０５と、を備え、傾斜計４の内部に収容されている。

矩形平板状のベース基板２０１には、例えば、ＦＲ−４（ガラス布入りエポキシ樹脂基板）が用いられ、搭載された回路素子２０１ａによって、加速度検出デバイス３や発振器２０４に関わる周辺回路が構成されている。また、ベース基板２０１には、外部（傾斜計本体）との入出力のための端子２０１ｂや、傾斜計本体への取り付け孔２０１ｃが形成されている。
矩形平板状の断熱基板２０２は、ＰＢＴ（ポリブチレンテレフタレート）、ＬＣＰ（液晶ポリマー）などの低熱伝導率で耐熱性、電気特性、寸法安定性などに優れた樹脂が用いられ、厚み方向に貫通して固定されている細いピン状（棒状）の複数の接続ピン２０２ａによって、ベース基板２０１に隙間を有して接続されている。
基台２０３は、アルミニウム、アルミニウム合金、銅、銅合金などの金属を用いて、削り出しまたは板金加工により略直方体形状に形成され、断熱基板２０２に、例えば、接着剤などで固定されている。なお、基台２０３には、上記の樹脂や酸化アルミニウム質焼結体（セラミック類）などを用いてもよい。

加速度検出デバイス３及び発振器２０４は、基台２０３の側面（断熱基板２０２に対して直立する面）に、例えば、導電性接着剤などによって固定されている。２つの加速度検出デバイス３は、基台２０３における隣り合う直角に接続された側面にそれぞれ固定されている。これにより、傾斜センサーモジュール５は、互いに直交する２軸に対する傾斜を検出することができる。
発振器２０４は、基台２０３における一方の加速度検出デバイス３が固定された側面と対向する側面（換言すれば、他方の加速度検出デバイス３が固定された側面と隣り合う側面）に固定されている。
加速度検出デバイス３及び発振器２０４は、リード線２０６によって断熱基板２０２の接続ピン２０２ａに接続され、接続ピン２０２ａを経由してベース基板２０１に接続されている。

なお、一方の加速度検出デバイス３の近傍には、周辺の温度を検知するサーミスター２０７（温度センサー）が備えられている。サーミスター２０７は、周辺の温度を検知して、加速度検出デバイス３及び発振器２０４の周波数特性の温度補償（温度補正）をする際の、温度検知手段として備えられている。
サーミスター２０７は、上記加速度検出デバイス３及び発振器２０４と同様に、リード線２０６によって断熱基板２０２の接続ピン２０２ａに接続され、接続ピン２０２ａを経由してベース基板２０１に接続されている。
発振器２０４は、加速度検出時における加速度検出デバイス３（加速度検出器１）の共振周波数と比較する比較回路の基準周波数（基準共振周波数）発振源として備えられている。

ベース基板２０１側に開口部を備えた箱状のキャップ２０５には、断熱基板２０２と同様に低熱伝導率の樹脂（ＰＢＴ、ＡＢＳ、ＰＣなど）が用いられ、ベース基板２０１上の断熱基板２０２、基台２０３、加速度検出デバイス３、サーミスター２０７、発振器２０４、回路素子２０１ａなどを覆うようにベース基板２０１に固定されている。

これらの構成により、傾斜センサーモジュール５は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス３への到達を遅延させることができる。詳述すると、ベース基板２０１からの接触による熱伝導は、細いピン状の接続ピン２０２ａや低熱伝導率の樹脂が用いられた断熱基板２０２により遅延され、加速度検出デバイス３の周辺の大気の対流や、外部部材の放射熱（輻射熱）による熱伝導は、低熱伝導率の樹脂が用いられたキャップ２０５による外気及び放射熱源からの遮断によって遅延される。
このように、傾斜センサーモジュール５は、周囲の温度変化の加速度検出デバイス３への到達を遅延させることで、加速度検出デバイス３の温度変化をなだらかにすることが可能となることから、加速度検出デバイス３（加速度検出器１）の、例えば、加速度検出精度などの加速度検出特性を良好な状態に維持することができる。

図７に戻って、傾斜計４は、例えば、山の斜面、道路の法面、盛土の擁壁面などの被計測場所に設置される。傾斜計４は、外部からケーブル４０を介して電源が供給され、または電源を内蔵し、図示しない駆動回路によって傾斜センサーモジュール５（加速度検出器１）に駆動信号が送られている。
そして、傾斜計４は、図示しない検出回路によって、傾斜センサーモジュール５（加速度検出器１）に加わる重力加速度に応じて変化する各共振周波数の周波数差から、傾斜計４の姿勢の変化（傾斜計４に対する重力加速度が加わる方向の変化）を検出し、それを角度に換算して、例えば、無線またはケーブル４０などで基地局にデータ転送する。これにより、傾斜計４は、日常の管理や異常の早期発見に貢献することができる。
なお、傾斜計４は、加速度検出器１に代えて加速度検出器２を傾斜センサーとして備えていてもよい。

上述した加速度検出器１，２は、上記傾斜計に限らず、地震計、ナビゲーション装置、姿勢制御装置、ゲームコントローラー、携帯電話などの加速度センサー、傾斜センサーなどとして好適に用いることができ、いずれの場合にも上記実施形態及び変形例で説明した効果を奏する電子機器を提供することができる。

なお、上記各実施形態及び変形例において、ベース部、継ぎ手部、可動部、支持部の材料は、水晶に限定するものではなく、ガラス、またはシリコンなどの半導体材料であってもよい。
また、加速度検出素子の基材は、水晶に限定するものではなく、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ₂Ｂ₄Ｏ₇）、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料、または酸化亜鉛（ＺｎＯ）、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）などの圧電材料を被膜として備えたシリコンなどの半導体材料であってもよい。

１，２…加速度検出器、３…加速度検出デバイス、４…電子機器としての傾斜計、５…傾斜センサーモジュール、１０…ベース部、１０ａ…一方の主面、１０ｂ…他方の主面、１０ｃ，１０ｄ…第１配線パターン、１０ｅ，１０ｆ…第２配線パターン、１１…継ぎ手部、１１ａ…溝部、１２…可動部、１２ａ…一方の主面、１２ｂ…他方の主面、１３Ａ，１３Ｂ…加速度検出素子、１３ｃ，１３ｄ…振動梁、１３ｅ…加速度検出部、１３ｆ，１３ｇ…基部、１３ｈ，１３ｉ…引き出し電極、１４…支持部、１４ａ…一方の主面、１４ｂ…他方の主面、１４ｃ…スルーホール、１５…質量部、１５ａ…凸部、１６…接合材、１７…接合部材、１８…導電性接着剤、２０…パッケージ、２１…パッケージベース、２２…リッド、２２ａ…接合部材、２３…内底面、２３ａ…段差部、２４ａ，２４ｂ，２５ａ，２５ｂ…内部端子、２６…外底面、２７ａ，２７ｂ，２８ａ，２８ｂ…外部端子、２９…封止部、２９ａ…貫通孔、２９ｂ…封止材、３０…導電性接着剤、４０…ケーブル、１１２…可動部、１１２ａ…一方の主面、１１２ｂ…他方の主面、１１３Ａ，１１３Ｂ…加速度検出素子、１１３ｃ，１１３ｄ…振動梁、１１３ｅ…加速度検出部、１１４…支持部、１１５…質量部、１１５ａ…凸部、２０１…ベース基板、２０１ａ…回路素子、２０１ｂ…端子、２０１ｃ…取り付け孔、２０２…断熱基板、２０２ａ…接続ピン、２０３…基台、２０４…発振器、２０５…キャップ、２０６…リード線、２０７…サーミスター、Ｂ…質量部と支持部とが重なる領域。

Claims (6)

1. 平板状のベース部と、
   該ベース部に継ぎ手部を介して接続された平板状の可動部と、
   前記ベース部及び前記可動部の、一方の主面間及び他方の主面間に架け渡された一対の加速度検出素子と、を備え、
   前記可動部は、加わる加速度に応じて、前記継ぎ手部を支点にして前記主面と交差する方向に変位可能であり、
   一対の前記加速度検出素子は、前記可動部の変位に応じて、それぞれに加わる互いに逆方向の力を電気信号に変換可能であり、
   前記ベース部は、一方の前記主面に、一方の前記加速度検出素子と接続され一方の前記電気信号が流れる第１配線パターンを有し、他方の前記主面に、他方の前記加速度検出素子と接続され他方の前記電気信号が流れる第２配線パターンを有し、
   前記第１配線パターンと、前記第２配線パターンとが、平面視において、互いに重ならないように配置されていることを特徴とする加速度検出器。
2. 請求項１に記載の加速度検出器において、前記ベース部から前記可動部に沿って延びる部位を有した支持部を更に備え、
   前記第１配線パターン及び前記第２配線パターンが、前記支持部に延在し、平面視において、互いに重ならないように配置されていることを特徴とする加速度検出器。
3. 請求項２に記載の加速度検出器において、前記支持部は、平面視において、前記ベース部とによって前記可動部を囲む枠状に形成されていることを特徴とする加速度検出器。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の加速度検出器において、前記加速度検出素子は、前記ベース部と前記可動部とを結ぶ方向に沿って延びる少なくとも一以上の振動梁を有する加速度検出部と、該加速度検出部の両端に接続された一対の基部と、を備え、
   一方の前記基部が前記ベース部に固定され、他方の前記基部が前記可動部に固定されていることを特徴とする加速度検出器。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の加速度検出器と、
   前記加速度検出器を収容するパッケージと、を備えたことを特徴とする加速度検出デバイス。
6. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の加速度検出器を備えたことを特徴とする電子機器。

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