JP2015032702A - ウェハ搬送用装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ウェハを収容したカセットの向きの影響を受けずに、当該カセットをカセット台に適切に置くことのできる、ウェハ搬送用装置を提供する。
【解決手段】ウェハ搬送用装置１は、カセット２を置くことが可能なカセット台２３と、カセット検出センサ３５とを有している。カセット２は、半導体製造用のウェハＷを収容するためのカセット本体４から把持部５が突出する構成を有している。カセット検出センサ３５は、カセット台２３にカセット２が置かれたことを検出するために設けられている。カセット台２３は、当該カセット台２３に置かれたカセット２の把持部５との接触を回避するための接触回避部３４を有している。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体製造用のウェハを搬送するための、ウェハ搬送用装置に関する。

半導体製造用のウェハに熱処理を行うための、処理装置が知られている（たとえば、特許文献１参照）。特許文献１に記載の処理装置は、ウェハ上に絶縁膜を形成することが可能な構成を有している。この処理装置は、カセットステーションを有している。

カセットステーションは、カセット台と、ウェハ搬送体と、を有している。カセット台は、複数のカセットを置くことが可能な台である。カセットは、たとえば、２５枚のウェハを収容することが可能である。カセット内では、ウェハが、上下に間隔をあけて互いに平行（水平）な状態で並んでいる。カセット内のウェハは、ウェハ搬送体によって、搬送される。ウェハ搬送体は、カセット内のウェハを選択的に取り出すことができる。カセットから取り出されたウェハは、熱処理炉などに搬送され、熱処理を施される。

特開２００７−５９６７５号公報（［００２２］〜［００２５］）

処理装置においては、カセット台にカセットが置かれたことを検出するためのセンサが設けられている。このセンサによって、カセット台上のカセットが検出されると、ウェハ搬送体は、カセットからウェハを取り出し、熱処理炉などへ向けて搬送する。

通常、複数のウェハは、カセット内において上下の向きを同じに揃えられた状態で収容されている。そして、複数の工程において、ウェハは、上下の向きを変更されることなく、複数の製造装置によって処理を施される。しかしながら、製造装置などの条件によっては、一の製造装置で処理が行われる場合と、他の製造装置で処理が行われる場合とで、ウェハの上下の向きを反転させる必要が生じることがある。このような場合、カセットの上下の向きを反転させることで、複数のウェハの向きを一括して変更することが考えられる。このような反転の方法の場合、カセットの向きを本来の向きと反対にしても、カセットをカセット台に置くことができるようにする必要がある。

本発明は、上記事情に鑑みることにより、ウェハを収容したカセットの向きの影響を受けずに、当該カセットをカセット台に適切に置くことのできる、ウェハ搬送用装置を提供することを目的とする。

（１）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わるウェハ搬送用装置は、半導体製造用のウェハを収容するためのカセット本体から突出部が突出する構成のカセットを置くことが可能な、カセット台と、前記カセット台に前記カセットが置かれたことを検出するためのカセット検出センサと、を備え、前記カセット台は、当該カセット台に置かれた前記カセットの前記突出部との接触を回避するための接触回避部を有していることを特徴とする。

この構成によると、たとえば、作業員は、カセットを把持するための取っ手などの突起部を接触回避部に配置した状態で、カセットをカセット台に載せることができる。これにより、作業員は、突起部をカセット台側に向けた状態で、カセットをカセット台に置くことができる。すなわち、カセットをカセット台に置いた状態において、突起部が邪魔にならずに済む。よって、作業員は、カセットをカセット台上に正規の姿勢で配置できる。また、突起部がカセット台を向かない状態で作業員がカセットをカセット台に置く場合も、突起部は、カセット台へのカセットの設置の邪魔にならない。よって、本発明によると、ウェハを収容したカセットの向きの影響を受けずに、当該カセットをカセット台に適切に置くことができる。

（２）好ましくは、前記ウェハ搬送用装置は、前記カセット台に前記カセットが置かれた場合における前記カセットの向きを検出するための向き検出センサをさらに備えている。

この構成によると、向き検出センサを用いることで、カセット台上におけるカセットの向きを検出できる。その結果、作業員などがカセット台へカセットを置く際のカセットの向きが間違っている場合において、当該間違いを、向き検出センサによって検出できる。

（３）より好ましくは、前記向き検出センサは、前記接触回避部に進入した前記突出部を検出可能に構成されている。

この構成によると、突起部が接触回避部に挿入された場合、すなわち、突起部がカセット台側に配置された状態でカセットがカセット台に配置されたことを、向き検出センサによって検出することができる。

（４）好ましくは、前記向き検出センサは、前記カセット台において前記カセットが上向き姿勢および下向き姿勢の何れか一方の前記姿勢にあるときに前記カセットを検出するように構成されており、かつ、前記カセットが他方の前記姿勢にあるときには前記カセットを検出しないように構成されている。

この構成によると、カセット台上において、カセットが一方の前記姿勢にある場合、向き検出センサによって当該カセットの向きを検出できる。また、カセット台上において、カセットが他方の前記姿勢にある場合、向き検出センサではカセットは検出されないけれども、カセットの存在は、カセット検出センサによって検出される。よって、カセット台上において、カセットが他方の前記姿勢にある場合も、向き検出センサとカセット検出センサとの協働によって、カセット台上のカセットの向きを、確実に検出することができる。

（５）上記課題を解決するために、この発明のある局面に係わるウェハ搬送用装置は、半導体製造用のウェハを収容するためカセットと、前記カセットを置くためのカセット台と、前記カセット台に前記カセットが置かれたことを検出するためのカセット検出センサと、を備え、前記カセットは、前記ウェハを保持するためのカセット本体と、前記カセット本体の上部に形成され前記カセット検出センサによって検出されるための上側被検出部と、前記カセット本体の下部に形成され前記カセット検出センサによって検出されるための下側被検出部と、を含んでいる。

この構成によると、カセットがカセット台に上向きに設置された場合、および、下向きに設置された場合の何れの場合でも、カセット検出センサは、当該カセットの存在を問題無く検出することができる。よって、本発明によると、ウェハを収容したカセットの向きの影響を受けずに、当該カセットをカセット台に適切に置くことができる。

本発明によると、ウェハを収容したカセットの向きの影響を受けずに、当該カセットをカセット台に適切に置くことができる。

本発明の実施形態にかかるウェハ搬送用装置の模式的な側面図であり、一部は断面を示している。 カセットの平面図である。 カセットが下向き姿勢で置かれた状態を示す、ウェハ搬送用装置の側面図であり、一部を断面で示している。 カセット台の主要部の平面図である。 センサユニットの周辺の拡大断面図であり、一部を側面で示している。 カセットがカセット台に置かれる前の状態を示す側面図であり、一部を断面で示している。 カセットを下向き姿勢でカセット台に置いた状態を示す拡大断面図であり、一部を側面で示している。 本発明の変形例について説明するための模式的な平面図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しつつ説明する。尚、本発明は、ウェハ搬送用装置として広く適用することができる。

図１は、本発明の実施形態にかかるウェハ搬送用装置の模式的な側面図であり、一部は断面を示している。図１を参照して、ウェハ搬送用装置１は、半導体の製造に用いられるウェハＷを搬送するために設けられている。ウェハ搬送用装置１は、たとえば、熱処理炉などを有する熱処理装置２０にウェハＷを搬送するために用いられる。本実施形態では、作業員によって搬送されたカセット２が、ウェハ搬送用装置１のテーブルユニット３に置かれるように構成されている。ウェハ搬送用装置１は、カセット２がテーブルユニット３に置かれたか否かを検出し、かつ、カセット２の上下の向きを検出するように構成されている。

ウェハ搬送用装置１は、カセット２と、テーブルユニット３と、を有している。すなわち、ウェハ搬送用装置１は、テーブルユニット３を有しており、このテーブルユニット３にカセット２を置くことができる。

図２は、カセット２の平面図である。図１および図２を参照して、カセット２は、複数（たとえば、２５枚）のウェハＷを収容するために設けられている。各ウェハＷは、たとえは、直径が２００ｍｍ程度、厚みが１ｍｍ程度の円板状に形成されている。カセット２は、たとえば、合成樹脂を用いて形成されている。

カセット２は、カセット本体４と、把持部５と、を有している。

カセット本体４は、複数のウェハＷを収容するための収容部として設けられている。カセット本体４は、側壁６，７と、上壁８と、下壁９と、を有している。

側壁６，７、上壁８および下壁９で囲まれた空間が、複数のウェハＷを収容するための収容空間として規定されている。

側壁６，７は、それぞれ、平面視において一部が湾曲した形状を有している。より具体的には、側壁６，７は、互いに向かい合うようにして配置されており、互いの間に、ウェハＷの出入口１０を形成している。ウェハＷは、この出入口１０を通して、上記収容空間に出し入れされる。側壁６，７は、出入口１０を形成する部分が互いに平行に形成され、かつ、出入口１０から奥へ進んだ箇所が、平面視において円弧状に形成されて互いの間隔が狭くなっている。

側壁６，７は、ウェハＷを受けるための受け部１１，１２を有している。受け部１１，１２は、カセット２において、出入口１０の奥側に配置されている。受け部１１，１２は、対応する側壁６，７の内側面に形成された小片状の部分であり、ウェハＷの縁部を協働して受けることが可能である。受け部１１，１２は、それぞれ、上下方向に複数配置されており、対応する受け部１１，１２で１枚のウェハＷを受けるように構成されている。側壁６，７の高さ方向における当該側壁６，７の下端に、下壁９が形成されている。

本実施形態では、下壁９は、カセット本体４の下部として設けられている。下壁９は、受け部１１，１２に受けられたウェハＷの一部を覆うように配置されている。

下壁９は、下脚部１３と、下側被検出部１４と、を有している。

下脚部１３は、カセット２が上向き姿勢で後述するテーブルユニット３に置かれた場合に、当該テーブルユニット３に受けられる部分として設けられている。なお、カセット２の上向き姿勢とは、カセット２の把持部５が上を向いている姿勢をいい、図１に示す姿勢のことをいう。下脚部１３は、たとえば、下壁９の四隅のそれぞれに形成されている。図１では、４つの下脚部１３のうちの２つのみを図示している。下脚部１３に隣接して下側被検出部１４が設けられている。

下側被検出部１４は、カセット２が上向き姿勢でテーブルユニット３に置かれた場合に、後述するカセット検出センサ３５によって検出される部分として設けられている。下側被検出部１４は、たとえば、板状に形成されている。なお、下側被検出部１４は、カセット検出センサ３５によって検出されることが可能であればよく、当該下側被検出部１４の形状は、特に限定されない。上記の構成を有する下壁９と上下に並ぶようにして、上壁８が配置されている。

上壁８は、カセット本体４の上部として設けられている。上壁８は、受け部１１，１２に受けられたウェハＷの一部を覆うように配置されている。

上壁８は、上脚部１５と、上側被検出部１６と、を有している。

上脚部１５は、カセット２が下向き姿勢でテーブルユニット３に置かれた場合に、当該テーブルユニット３に受けられる部分として設けられている。なお、下向き姿勢とは、カセット２の把持部５が下を向いている姿勢をいい、図３に示す姿勢のことをいう。

図３は、カセット２が下向き姿勢で置かれた状態を示す、ウェハ搬送用装置１の側面図であり、一部を断面で示している。図１〜図３を参照して、上脚部１５は、たとえば、上壁８の四隅のそれぞれに形成されている。上脚部１５に隣接して上側被検出部１６が設けられている。

上側被検出部１６は、カセット２が下向き姿勢でテーブルユニット３に置かれた場合に、カセット検出センサ３５によって検出される部分として設けられている。上側被検出部１６は、たとえば、上壁８の上面の一部であり、ウェハＷの一部を覆うように形成された面を構成している。なお、上側被検出部１６は、カセット検出センサ３５によって検出されることが可能であればよく、当該上側被検出部１６の形状は、特に限定されない。上記の構成を有するカセット本体４の上壁８に、把持部５が固定されている。

把持部５は、本発明の「突起部」の一例であり、カセット本体４から突出している。把持部５は、作業員がカセット２を搬送する際に当該作業員によって把持される部分として設けられている。把持部５は、カセット２が上向き姿勢にあるときに、上壁８の上方に位置している。

把持部５は、上壁８のうち出入口１０の近傍から上方に延びる一対の固定部１７，１８と、これらの固定部１７，１８間に延びる把持部本体１９と、を有している。

固定部１７，１８は、カセット本体４の側壁６，７に固定されている。把持部本体１９は、軸状に形成されており、カセット本体４の上方に配置されている。作業員は、把持部本体１９をつかんだ状態で、カセット２を持ち上げることができる。上記の構成を有するカセット２は、作業員によって、テーブルユニット３に置かれる。

テーブルユニット３は、カセット２を熱処理装置２０へ搬送するために設けられている。本実施形態では、テーブルユニット３は、テーブルユニット３の後述する回転台２１の回転動作によって、カセット２を熱処理装置２０へ搬送する。熱処理装置２０は、たとえば、熱処理炉を有している。

図１を参照して、テーブルユニット３は、回転台２１と、下テーブル２２と、カセット台２３と、センサユニット２４と、を有している。

回転台２１は、たとえば、円柱状に形成されており、当該回転台２１の中心軸線（鉛直軸線、図示せず）回りに回転可能に構成されている。この回転台２１に、下テーブル２２およびカセット台２３が取り付けられている。

下テーブル２２は、回転台２１の下端部から、当該回転台２１の径方向の外方に向けて突出する梁状に形成されている。下テーブル２２の先端部には、２つのステー２５，２６が固定されている。これらのステー２５，２６は、それぞれ、下テーブル２２から上方に延びており、カセット台２３に隣接している。これらのステー２５，２６は、後述するセンサ本体３８，４４を保持するために設けられている。

図４は、カセット台２３の主要部の平面図である。図１、図２、および、図４を参照して、カセット台２３は、カセット２が置かれる台として設けられている。カセット台２３は、回転台２１に連結されており、当該回転台２１とともに回転台２１の中心軸線回りに回転することが可能である。

本実施形態では、カセット台２３は、２枚のプレート２７，２８を上下に重ねて互いに固定することで形成されている。なお、カセット台２３は、単一の板部材で形成されていてもよい。カセット台２３は、回転台２１の上部の外周部に連結されている基端部２９と、先端部３０と、を有している。カセット台２３の上面３１および下面３２は、それぞれ、略水平な平坦面である。

カセット台２３の上面には、複数（本実施形態では、４つ）の台座部３３が形成されている。台座部３３は、カセット２を受ける部分として設けられている。台座部３３は、カセット台２３の基端部２９寄りに２箇所設けられており、また、カセット台２３の先端部３０に２箇所設けられている。各台座部３３は、カセット台２３から上方に突出するブロック状に形成されている。

図１に示すように、カセット２が台座部３３に上向き姿勢で置かれた状態では、カセット２の各下脚部１３は、対応する台座部３３に受けられる。一方、図３に示すように、カセット２が台座部３３に下向き姿勢で置かれた状態では、カセット２の各上脚部１５は、対応する台座部３３に受けられる。

図３および図４を参照して、カセット台２３には、接触回避部３４が形成されている。接触回避部３４は、カセット２が下向き姿勢でカセット台２３に置かれたときのカセット２の把持部５とカセット台２３との接触を回避するために形成されている。カセット２が下向き姿勢でカセット台２３の台座部３３に置かれた状態における把持部５の位置に、接触回避部３４が配置されている。本実施形態では、接触回避部３４は、カセット台２３の先端部３０寄りの２つの台座部３３に隣接して配置されている。

接触回避部３４は、カセット台２３の上面３１に形成された溝部であり、本実施形態では、平面視において、カセット台２３の幅方向に細長く延びる矩形状に形成されている。接触回避部３４の深さ（上面３１からの深さ）は、カセット台２３の厚みの半分程度に設定されている。本実施形態では、接触回避部３４は、プレート２７を貫通し、かつ、プレート２８の一部に形成されている。なお、接触回避部３４は、カセット台２３に下向き姿勢で置かれたカセット２の把持部５とカセット台２３との接触を回避可能な形状であればよく、上記の形状に限定されない。

図５は、センサユニット２４の周辺の拡大断面図であり、一部を側面で示している。図４および図５を参照して、センサユニット２４は、カセット台２３にカセット２が置かれているか否かを検出するように構成されており、かつ、カセット台２３にカセット２が置かれている場合の当該カセット台２３の向きを検出するように構成されている。

センサユニット２４は、カセット検出センサ３５と、向き検出センサ３６と、を有している。

カセット検出センサ３５は、カセット台２３にカセット２が置かれているか否かを検出するために設けられている。

カセット検出センサ３５は、第１ドグユニット３７と、センサ本体３８とを有している。

第１ドグユニット３７は、カセット２がカセット台２３に置かれたときに、当該カセット２と接触するように構成されており、当該カセット２から受けた力によって変位する。第１ドグユニット３７は、平面視において、カセット台２３の略中央に配置されている。

第１ドグユニット３７は、第１ドグ部材３９と、第１ばね４０と、第１カバー４１とを有している。

第１ドグ部材３９は、カセット２に接触するために設けられている。第１ドグ部材３９は、棒状に形成されて上下に延びている。この第１ドグ部材３９は、カセット台２３に形成された第１貫通孔部４２を貫通している。

図６は、カセット２がカセット台２３に置かれる前の状態を示す側面図であり、一部を断面で示している。図６に示すように、カセット２がカセット台２３に置かれる前の状態において、第１ドグ部材３９の上端部の高さ位置は、カセット台２３の上面３１の高さ位置よりも高い。第１ドグ部材３９には、第１ばね４０が取り付けられている。

図５を参照して、第１ばね４０は、第１ドグ部材３９を上方へ押し上げる力（付勢力）を当該第１ドグ部材３９に付与するために設けられている。第１ばね４０は、たとえば、コイルばねであり、第１貫通孔部４２内に収容されている。第１貫通孔部４２は、段部４２ａを有しており、この段部４２ａに第１ばね４０の下端部が受けられている。また、第１ばね４０の上端部は、第１ドグ部材３９の外周に形成された環状凸部３９ａに受けられている。環状凸部３９ａは、第１カバー４１に受けられるように構成されている。

第１カバー４１は、ねじなどの固定部材を用いてカセット台２３に固定された板状の部材である。第１カバー４１には、貫通孔部４１ａが形成されており、この貫通孔部４１ａを第１ドグ部材３９が貫通している。第１ドグ部材３９の環状凸部３９ａは、第１カバー４１における貫通孔部４１ａの周縁部に受けられることで、抜け止めを達成される。上記の構成を有する第１ドグユニット３７の下方に、センサ本体３８が配置されている。

センサ本体３８は、カセット２がカセット台２３に置かれたことを示す電気信号を生成するように構成されている。センサ本体３８は、ステー２５の上端部に固定されており、第１ドグ部材３９と上下に並んでいる。センサ本体３８は、カセット２に押された第１ドグ部材３９が下方に変位したときに、当該第１ドグ部材３９の変位を検出するように配置されている。第１ドグ部材３９を第１センサ本体３８が検出することで、センサ本体３８は、電気信号を発生する。上記の構成を有するカセット検出センサ３５に隣接した箇所に、向き検出センサ３６が配置されている。

図７は、カセット２を下向き姿勢でカセット台２３に置いた状態を示す拡大断面図であり、一部を側面で示している。図４および図７を参照して、向き検出センサ３６は、カセット台２３にカセット２が置かれている場合に、当該カセット２の向きが上向きか下向きかを検出するために設けられている。本実施形態では、向き検出センサ３６は、接触回避部３４に進入した把持部５を検出可能に構成されている。

向き検出センサ３６は、第２ドグユニット４３と、センサ本体４４とを有している。

第２ドグユニット４３は、カセット２がカセット台２３に下向き姿勢で置かれたときに、当該カセット２の把持部５と接触するように構成されており、当該把持部５から受けた力によって変位する。第２ドグユニット４３は、平面視において、第１ドグ部材３９とカセット台２３の先端部３０との間に配置されている。

第２ドグユニット４３は、第２ドグ部材４５と、第２ばね４６と、第２カバー４７と、第３カバー４８と、を有している。

第２ドグ部材４５は、カセット２の把持部５に接触するために設けられている。第２ドグ部材４５は、棒状に形成されて上下に延びている。この第２ドグ部材４５は、カセット台２３および第３カバー４８に形成された第２貫通孔部４９と、第２カバー４７に形成された貫通孔部４７ａとを貫通している。第３カバー４８は、カセット台２３の下面にねじ部材などを用いて固定された板状の部材である。

図６に示すように、カセット２が下向き姿勢でカセット台２３に置かれる前の状態において、第２ドグ部材４５の上端部の高さ位置は、接触回避部３４の底面３４ａの高さ位置よりも高い。第２ドグ部材４５には、第２ばね４６が取り付けられている。

図７を参照して、第２ばね４６は、第２ドグ部材４５を上方へ押し上げる力（付勢力）を当該第２ドグ部材４５に付与するために設けられている。第２ばね４６は、たとえば、コイルばねであり、第２貫通孔部４９内に収容されている。第２貫通孔部４９は、段部４９ａを有しており、この段部４９ａに第２ばね４６の下端部が受けられている。また、第２ばね４６の上端部は、第２ドグ部材４５の外周に形成された環状凸部４５ａに受けられている。環状凸部４５ａは、第２カバー４７に受けられるように構成されている。

第２カバー４７は、ねじなどの固定部材を用いてカセット台２３に固定された板状の部材である。第２カバー４７には、貫通孔部４７ａが形成されており、この貫通孔部４７ａを第２ドグ部材４５が貫通している。第２ドグ部材４５の環状凸部４５ａは、第２カバー４７における貫通孔部４７ａの周縁部に受けられることで、抜け止めを達成される。上記の構成を有する第２ドグユニット４３の下方に、センサ本体４４が配置されている。

センサ本体４４は、カセット２が下向き姿勢でカセット台２３に置かれたことを示す電気信号を生成するように構成されている。センサ本体４４は、ステー２６の上端部に固定されており、第２ドグ部材４５と上下に並んでいる。センサ本体４４は、カセット２の把持部５との接触によって第２ドグ部材４５が下方に変位したときに、当該第２ドグ部材４５の変位を検出するように配置されている。第２ドグ部材４５をセンサ本体４４が検出することで、センサ本体４４は、電気信号を発生する。本実施形態では、上下方向において、センサ本体４４の位置は、センサ本体３８の位置よりも低く設定されている。

センサ本体３８，４４で発生した電気信号は、たとえば、熱処理装置２０の制御部５０（図６参照）へ出力される。制御部５０は、センサ本体３８（カセット検出センサ３５）から電気信号を与えられ、かつ、センサ本体４４（向き検出センサ３６）から電気信号を与えられなかった場合、カセット２が上向きの姿勢でカセット台２３に置かれたと判定する。

一方、制御部５０は、センサ本体３８（カセット検出センサ３５）から電気信号を与えられ、かつ、センサ本体４４から電気信号を与えられた場合、カセット２が下向きの姿勢でカセット台２３に置かれたと判定する。

次に、上記の構成を有するウェハ搬送用装置１にカセット２を置く場合の動作を説明する。

図６に示すように、カセット台２３にカセット２が置かれる前の状態では、第１ドグ部材３９は、カセット台２３の上面３１から上方に突出している。また、第２ドグ部材４５は、カセット台２３の接触回避部３４の底面３４ａから上方に突出している。

この状態から、作業員が、カセット２を上向き姿勢でカセット台２３に置くと、図１に示すように、下脚部１３は、台座部３３に受けられる。このとき、カセット２の下側被検出部１４は、第１ドグ部材３９に接触し、この第１ドグ部材３９を押し下げる。第１ドグ部材３９の変位に伴いセンサ本体３８で電気信号が発生し、当該電気信号は、熱処理装置２０の制御部５０へ出力される。

このとき、第２ドグ部材４５は、カセット２に接触しないので変位せず、したがって、センサ本体４４は、電気信号を発生しない。すなわち、カセット２が上向き姿勢でカセット台２３に置かれた場合、向き検出センサ３６は、カセット２を検出しない。

一方、カセット台２３にカセット２が置かれていない状態から、作業員が、カセット２を下向き姿勢でカセット台２３に置くと、図３に示すように、上脚部１５は、台座部３３に受けられる。このとき、カセット２の上側被検出部１６は、第１ドグ部材３９に接触し、この第１ドグ部材３９を押し下げる。第１ドグ部材３９の変位に伴い、センサ本体３８で電気信号が発生し、当該電気信号は、熱処理装置２０の制御部５０へ出力される。

このとき、カセット２の把持部５は、第２ドグ部材４５に接触し、この第２ドグ部材４５を押し下げる。第２ドグ部材４５の変位に伴い、センサ本体４４で電気信号が発生し、当該電気信号は、熱処理装置２０の制御部５０へ出力される。すなわち、カセット２が下向き姿勢でカセット台２３に置かれた場合、向き検出センサ３６は、カセット２を検出する。

以上説明したように、本実施形態のウェハ搬送用装置１によると、作業員は、カセット２を下向き姿勢でカセット台２３に置く際に、カセット２の把持部５を接触回避部３４に配置した状態で、カセット２をカセット台２３に載せることができる。これにより、作業員は、把持部５をカセット台２３側に向けた状態で、カセット２をカセット台２３に置くことができる。すなわち、カセット２をカセット台２３に置いた状態において、把持部５が邪魔にならずに済む。よって、作業員は、カセット２をカセット台２３に正規の姿勢で配置できる。また、把持部５がカセット台２３を向かない状態で（カセット２が上向き姿勢となるように）、作業員がカセット２をカセット台２３に置く場合も、把持部５は、カセット台２３へのカセット２の設置の邪魔にならない。よって、ウェハＷを収容したカセット２の向きの影響を受けずに、当該カセット２をカセット台２３に適切に置くことができる。

また、たとえば、ウェハＷの製造工程において、ウェハＷの向きを上下逆向きにしなければならない場合がある。より具体的には、上向き姿勢のカセット２内で各ウェハＷの表面が上向きとなるように揃えられている場合において、各ウェハＷの裏面が上向きとなるようにしてウェハＷを熱処理装置２０へ供給しなければならない場合がある。この場合、本実施形態によると、作業員は、カセット２全体を上下反転させることで、各ウェハＷの向きを反転させることができる。よって、カセット２内のウェハＷの向きを一枚毎に反転させるという手間のかかる作業が不要である。よって、ウェハＷの処理工程における作業時間の短縮を実現できる。

また、ウェハ搬送用装置１によると、向き検出センサ３６が設けられている。この向き検出センサ３６を用いることで、カセット台２３上におけるカセット２の向きを検出できる。その結果、作業員などがカセット台２３へカセット２を置く際のカセット２の向きが間違っている場合において、当該間違いを、向き検出センサ３６によって検出できる。

また、ウェハ搬送用装置１によると、向き検出センサ３６は、カセット台２３の接触回避部３４に進入した把持部５を検出可能に構成されている。この構成によると、把持部５が接触回避部３４に挿入された場合、すなわち、把持部５がカセット台２３側に配置された状態（カセット２が下向き姿勢）で、カセット２がカセット台２３に配置されたことを、向き検出センサ３６によって検出することができる。

また、ウェハ搬送用装置１によると、向き検出センサ３６は、カセット台２３においてカセット２が下向き姿勢にあるときにカセット２を検出するように構成されており、かつ、カセット２が上向き姿勢にあるときにはカセット２を検出しないように構成されている。この構成によると、カセット台２３上において、カセット２が下向き姿勢にある場合、向き検出センサ３６によってカセット２の向きを検出できる。また、カセット台２３上において、カセット２が上向き姿勢にある場合、向き検出センサ３６ではカセット２は検出されないけれども、カセット２の存在は、カセット検出センサ３５によって検出される。よって、カセット台２３上において、カセット２が上向き姿勢にある場合も、向き検出センサ３６とカセット検出センサ３５との協働によって、カセット台２３上のカセット２の向きを、確実に検出することができる。

また、ウェハ搬送用装置１によると、カセット２は、カセット本体４の上部に形成された上側被検出部１６と、カセット本体４の下部に形成された下側被検出部１４と、を含んでいる。この構成によると、カセット２がカセット台２３に上向き姿勢に設置された場合、および、下向き姿勢に設置された場合の何れの場合でも、カセット検出センサ３５は、当該カセット２の存在を問題無く検出することができる。よって、ウェハＷを収容したカセット２の向きの影響を受けずに、当該カセット２をカセット台２３に適切に置くことができる。

以上、本発明の実施形態について説明したけれども、本発明は上述の実施の形態に限られない。本発明は、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能である。

（１）上述の実施形態では、カセット２がカセット台２３において上向き姿勢にあるときおよび下向き姿勢にあるときのいずれの場合でも、カセット検出センサ３５が、当該カセット２を検出する形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、カセット２がカセット台２３において下向き姿勢にある場合、カセット検出センサ３５は、カセット２を検出しなくてもよい。この場合、向き検出センサ３６がカセット２を検出することで、カセット２が下向きにカセット台２３に置かれていることを検出できる。

（２）また、上述の実施形態では、カセット本体４の上壁８（上部）に把持部５が取り付けられる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、カセット２に代えて、図８に示すカセット２Ａが用いられてもよい。図８は、本発明の変形例について説明するための模式的な平面図である。カセット２Ａは、カセット本体４と、把持部５Ａとを有している。把持部５Ａは、側壁６，７を挟むようにして一対設けられている。各把持部５Ａは、カセット本体４の側壁６，７から、当該側壁６，７の外方に延びている。このような構成であれば、把持部５Ａは、カセット本体４の上方および下方のいずれにも突出していない。したがって、カセット台２３に接触回避部３４が設けられていない場合でも、当該カセット２Ａを下向き姿勢でカセット台２３に置くことができる。

（３）また、上述の実施形態では、カセット本体４に設けられた突起部として把持部５を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。たとえば、把持部５以外の突起状の部分が、突起部としてカセット本体４に設けられていてもよい。

（４）また、上述の実施形態では、ウェハ搬送用装置１にカセット２が含まれる形態を例に説明した。しかしながら、この通りでなくてもよい。ウェハ搬送用装置１は、カセット２を含んでいなくてもよい。

本発明は、ウェハ搬送用装置として、広く適用することができる。

１ ウェハ搬送用装置
２，２Ａ カセット
４ カセット本体
５，５Ａ 把持部（突出部）
１４ 下側被検出部
１６ 上側被検出部
２３ カセット台
３４ 接触回避部
３５ カセット検出センサ
３６ 向き検出センサ
Ｗ ウェハ

Claims (5)

1. 半導体製造用のウェハを収容するためのカセット本体から突出部が突出する構成のカセットを置くことが可能な、カセット台と、
   前記カセット台に前記カセットが置かれたことを検出するためのカセット検出センサと、を備え、
   前記カセット台は、当該カセット台に置かれた前記カセットの前記突出部との接触を回避するための接触回避部を有していることを特徴とする、ウェハ搬送用装置。
2. 請求項１に記載のウェハ搬送装置であって、
   前記カセット台に前記カセットが置かれた場合における前記カセットの向きを検出するための向き検出センサをさらに備えていることを特徴とする、ウェハ搬送用装置。
3. 請求項２に記載のウェハ搬送用装置であって、
   前記向き検出センサは、前記接触回避部に進入した前記突出部を検出可能に構成されていることを特徴とする、ウェハ搬送用装置。
4. 請求項２または請求項３に記載のウェハ搬送用装置であって、
   前記向き検出センサは、前記カセット台において前記カセットが上向き姿勢および下向き姿勢の何れか一方の前記姿勢にあるときに前記カセットを検出するように構成されており、かつ、前記カセットが他方の前記姿勢にあるときには前記カセットを検出しないように構成されていることを特徴とする、ウェハ搬送用装置。
5. 半導体製造用のウェハを収容するためカセットと、
   前記カセットを置くためのカセット台と、
   前記カセット台に前記カセットが置かれたことを検出するためのカセット検出センサと、を備え、
   前記カセットは、前記ウェハを保持するためのカセット本体と、前記カセット本体の上部に形成され前記カセット検出センサによって検出されるための上側被検出部と、前記カセット本体の下部に形成され前記カセット検出センサによって検出されるための下側被検出部と、を含んでいることを特徴とする、ウェハ搬送用装置。

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