JP3207583U - 流体圧シリンダ - Google Patents

Abstract

【課題】推力を増加させつつ、長手寸法の小型化を図ることが可能な流体圧シリンダを提供する。【解決手段】流体圧シリンダ１０は、内部にシリンダ室２２を有した筒状のシリンダチューブ１２と、シリンダチューブの両端部に装着されるヘッドカバー１４及びロッドカバー１６と、シリンダ室２２に沿って変位自在に設けられるピストン１８と、ピストンに連結されるピストンロッド２０とを有する。ピストン１８及びシリンダ室２２は、軸方向に直交する断面が八角形状に形成される。ピストン１８は、シリンダチューブ１２の内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が八角形状のウェアリング４４を有し、ウェアリングにマグネットが内蔵される。【選択図】図２

Description

本考案は、圧力流体の供給作用下にピストンを軸方向に沿って変位させる流体圧シリンダに関する。

従来から、ワーク等の搬送手段として、例えば、圧力流体の供給作用下に変位するピストンを有した流体圧シリンダが用いられている。

このような流体圧シリンダは、例えば、特許文献１に開示されるように、筒状のシリンダチューブと、シリンダチューブの端部に設けられるシリンダカバーと、シリンダチューブの内部に変位自在に設けられるピストンとを有している。そして、ピストン及びシリンダチューブの軸方向と直交する断面形状を非円形状に形成することで、断面円形状のピストンを用いた場合と比較して受圧面積を増加させ出力される推力の増加を図っている。

また、特許文献２には、断面四角形状のピストンを有したシリンダ装置が開示され、該ピストンの断面形状に対応してシリンダハウジングの断面形状も断面四角形状に形成されている。そして、ピストンの外縁部には溝部を介してそれぞれシーリング部材が設けられ、シリンダハウジングの内壁面に当接することでシールを行う。

特開平６−２３５４０５号公報 特表２０１１−５０８１２７号公報

上述した特許文献１及び特許文献２に開示されたような非円形状のピストンを有した流体圧シリンダにおいて、軸方向に沿った長手寸法のさらなる小型化を図りたいという要請がある。

本考案は、前記の提案に関連してなされたものであり、推力を増加させつつ、長手寸法の小型化を図ることが可能な流体圧シリンダを提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本考案は、内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が八角形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が八角形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする。

また、本考案は、内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が六角形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が六角形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする。

さらに、本考案は、内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が長方形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が長方形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする。

さらにまた、本考案は、内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が多角形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が多角形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする。

本考案に係る流体圧シリンダでは、ウェアリングを含むピストンとシリンダ室とが上記の断面形状に形成され、ウェアリングにマグネットを内蔵する。これにより、ウェアリングとマグネットとをピストンの外周面において軸方向に並列に設けた流体圧シリンダと比較し、ピストンの変位方向に沿った軸寸法が増大することを抑制できる。その結果、上記の断面形状のピストンによって受圧面積を大きく確保することでより大きな推力を得つつ、ピストンを含む流体圧シリンダの長手寸法を小型化することが可能となる。

上記の流体圧シリンダにおいて、前記シリンダチューブの外壁には、前記シリンダ室内を変位する前記マグネットの軌道に沿って設けられたセンサ装着レールに、前記マグネットの磁気を検出可能な検出センサが装着されることが好ましい。ピストン及びシリンダ室が上記の断面形状に形成されることにより、シリンダチューブに対して、ウェアリングを含むピストンが相対的に回転することを規制できる。これによって、ウェアリングに内蔵されるマグネットがシリンダ室内で回転することを規制できるため、シリンダ室内をピストンが変位する際のマグネットの軌道がシリンダチューブの軸方向から逸れることを回避できる。

したがって、シリンダチューブの外壁に対して、マグネットの軌道（シリンダチューブの軸方向）に沿って設けたセンサ装着レールにセンサを装着するのみで、マグネットの磁気を精度よく検出することが可能になる。つまり、例えば、ウェアリングを含むピストン及びシリンダ室の軸方向に直交する断面の形状が円形であり、シリンダ室内にマグネットが回転可能に装着される流体圧シリンダとは異なり、ピストンの全周にわたってマグネットを装着したり、シリンダチューブの全周にわたってセンサを装着したりすることなく、マグネットの磁気を精度よく検出することが可能になる。

上記の流体圧シリンダにおいて、前記ピストンは前記ピストンロッドに対して回転自在に連結されることが好ましい。この場合、ピストンロッドに軸の周方向の荷重（負荷）が生じた場合でも、ピストンに対してピストンロッドが回転可能であるため、該ピストンに回転方向の荷重が付与されてしまうことを回避できる。その結果、ピストンに回転方向の荷重（負荷）がかかった場合に懸念される該ピストンの角部とシリンダチューブとの接触応力の増加が防止され、ピストンの摩耗が抑制されることで耐久性の向上を図ることができる。

本考案に係る流体圧シリンダでは、ウェアリングを含むピストン、及びシリンダチューブの軸方向に直交する断面が八角形状等に形成され、該ウェアリングにマグネットが内蔵される。これにより、ウェアリングとマグネットとをピストンの外周面において軸方向に並列に設けた流体圧シリンダと比較し、ピストンの変位方向に沿った軸寸法が増大することを抑制できる。その結果、上記の断面形状のピストンによって受圧面積を大きく確保してより大きな推力を得つつ、ピストンを含む流体圧シリンダの長手寸法を小型化することが可能となる。

本考案の第１実施形態に係る流体圧シリンダの全体斜視図である。 図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った断面図である。 図１のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った断面図である。 図１の流体圧シリンダにおけるピストン及びピストンロッドの斜視図である。 本考案の第２実施形態に係る流体圧シリンダの全体斜視図である。 図５のＶＩ−ＶＩ線に沿った断面図である。 図５のＶＩＩ−ＶＩＩ線に沿った断面図である。 本考案の第３実施形態に係る流体圧シリンダの全体斜視図である。 図８のＩＸ−ＩＸ線に沿った断面図である。 本考案の第４実施形態に係る流体圧シリンダの全体斜視図である。 図１０のＸＩ−ＸＩ線に沿った断面図である。

本考案に係る流体圧シリンダについて好適な実施形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

＜第１実施形態＞
図１において、参照符号１０は、本考案の第１実施形態に係る流体圧シリンダを示す。この流体圧シリンダ１０は、図１〜図４に示されるように、中空のシリンダチューブ１２と、シリンダチューブ１２の一端部側（矢印Ａ方向側）に装着されるヘッドカバー（カバー部材）１４と、シリンダチューブ１２の他端部側（矢印Ｂ方向側）に装着されるロッドカバー（カバー部材）１６と、シリンダチューブ１２の内部に変位自在に設けられるピストン１８と、ピストン１８に連結されるピストンロッド２０とを含む。

シリンダチューブ１２は、軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に直交する断面（以下、単に断面ともいう）の外形が略正方形状に形成され、その内部に軸方向に沿って貫通した断面略正八角形状のシリンダ室２２が形成される（図３参照）。図２に示すように、シリンダ室２２の他端部側には、内周面に沿ってリング溝２４が形成され、該リング溝２４には、係止リング２６が装着される。

シリンダチューブ１２の側部には、圧力流体が供給・排出される一組の第１流体ポート２８及び第２流体ポート３０が形成される。第１及び第２流体ポート２８、３０は、シリンダチューブ１２の軸方向に沿って互いに所定間隔離間し、シリンダ室２２にそれぞれ連通している。これにより、第１及び第２流体ポート２８、３０に供給された圧力流体がシリンダ室２２の内部に導入される。また、シリンダチューブ１２の外側面には、ピストン１８の位置を検出可能なセンサ（不図示）装着用の溝として、複数のセンサ装着レール３２が軸方向に沿って延在している。なお、これらのセンサ装着レール３２のうち、後述するように、シリンダチューブ１２内に設けられたマグネット３３の近傍のセンサ装着レール３２に対してセンサが装着される。

ヘッドカバー１４は、シリンダチューブ１２の一端部側（矢印Ａ方向側）に装着され、シリンダ室２２の前記断面形状に対応した八角形状に形成されている。このヘッドカバー１４がシリンダチューブ１２に装着されることで、シリンダ室２２内の気密が保持される。ヘッドカバー１４の他端部側（矢印Ｂ方向側）には第１ダンパ３４が装着される。この第１ダンパ３４は、例えば、弾性材料からリング状に形成され、ヘッドカバー１４の他端部から若干だけシリンダ室２２内に向かって突出するように設けられる。

ロッドカバー１６は、シリンダチューブ１２の他端部側（矢印Ｂ方向側）に装着され、ヘッドカバー１４と同様にシリンダ室２２の前記断面形状に対応した八角形状に形成されている。また、ロッドカバー１６の略中央部には、軸方向に沿って貫通したロッド孔３６が形成され、該ロッド孔３６にはピストン１８に連結されたピストンロッド２０が挿通される。なお、ロッド孔３６の内部にはロッドパッキン３８が装着される。これによって、ロッド孔３６にピストンロッド２０を挿通した際に、ロッドパッキン３８がピストンロッド２０の外周面に摺接するため、ロッドカバー１６とピストンロッド２０との間を通じた圧力流体の漏出を防止することができる。さらに、ロッドカバー１６の外周面には、環状溝を介してＯリング４０が装着される。

ピストン１８は、ピストンロッド２０の一端部に設けられ、ベース体４２と、ベース体４２の外周側に設けられるウェアリング４４と、ウェアリング４４に隣接したピストンパッキン４６と、ピストンパッキン４６に隣接したプレート体４８と、プレート体４８に隣接して最もピストン１８の他端部側（矢印Ｂ方向側）に設けられた第２ダンパ５０とを含む。

ベース体４２は、例えば、金属製材料から円盤状に形成され、その中心にはピストンロッド２０の一端部が挿通され加締められる加締孔５２が形成される。加締孔５２は、ピストン１８の一端部側に向かって徐々に拡径するテーパ状に形成される。この加締孔５２の形状に合わせてピストンロッド２０の一端部側が拡径することで、軸方向への相対変位が規制された状態でピストンロッド２０とベース体４２とが一体的に連結される。

また、ベース体４２の一端部は、軸方向と直交する平面状に形成され、ベース体４２の他端部には、該他端部から軸方向に沿って突出する第１突部５４と、該第１突部５４に対してさらに突出する第２突部５６が形成される。この第１及び第２突部５４、５６は断面円形状に形成されると共に、第２突部５６が第１突部５４よりも小径に形成される。

ウェアリング４４は、例えば、樹脂製材料から断面が略正八角形状に形成され、その外形がシリンダ室２２の断面形状と略同一形状となるように形成される。このウェアリング４４の中心には、ベース体４２が装着される装着孔５８が形成される。また、ピストン１８の一端部側（矢印Ａ方向側）となるウェアリング４４の端面には、マグネット３３が装着される一対のマグネット穴６２が形成される（図４参照）。なお、装着孔５８は、ウェアリング４４の厚さ方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って貫通している。

装着孔５８は、直径が異なるように軸方向に段差状に形成され、ベース体４２の第１及び第２突部５４、５６が係合する。これによって、装着孔５８の中心に対してベース体４２が収納された状態で保持される。この際、ウェアリング４４の一端面に対してベース体４２の一端面が突出することがなく同一平面となるように形成される。

一方、図４に示すように、マグネット穴６２は、例えば、断面略正八角形状のウェアリング４４の、装着孔５８を中心として対角となる一組の角部に形成され、該ウェアリング４４の一端面側に開口するように、断面円形状で所定深さに形成される。そして、マグネット穴６２にはそれぞれマグネット３３が挿入され、例えば、接着剤等によって固定される。なお、マグネット３３は、ウェアリング４４の厚さ寸法より薄く形成されているため、マグネット穴６２に収納された状態でウェアリング４４の端面から突出することがなく、該ウェアリング４４に内蔵される。

ピストンパッキン４６は、例えば、ゴム等の弾性材料から断面略正八角形状に形成され、その一端面及び他端面における外縁部近傍には環状に形成された潤滑剤保持溝（不図示）が形成される。この潤滑剤保持溝は、ウェアリング４４側（矢印Ａ方向側）となるピストンパッキン４６の一端面及びプレート体４８側（矢印Ｂ方向側）となるピストンパッキン４６の他端面にそれぞれ形成され、ピストンパッキン４６の厚さ方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に所定深さだけ窪んで形成されると共に、所定間隔離間して平行に複数（例えば、３本）設けられる。

そして、潤滑剤保持溝には、例えば、グリス等の潤滑剤が保持され、ピストン１８がシリンダチューブ１２に沿って軸方向に移動する際、該シリンダチューブ１２の内壁面に潤滑剤を供給することでピストン１８とシリンダチューブ１２との間の潤滑を行う。

一方、ピストンパッキン４６の中心にはパッキン孔６４が開口する。このパッキン孔６４を介してピストンパッキン４６がウェアリング４４の他端面に沿って配設される。これにより、ピストンパッキン４６は、その他端面とウェアリング４４の他端面とが略同一平面となるように装着される。

プレート体４８は、例えば、金属製材料からなる断面略正八角形状の薄板であり、その中心にはベース体４２の第２突部５６が挿通される挿通孔６６が開口している。

ピストンロッド２０は、軸方向に沿って所定長さを有した軸体からなり、略一定径で形成された本体部６８と、該本体部６８の一端部に形成された小径な先端部７０とを有する。また、先端部７０と本体部６８との境界が段付状に形成され、該先端部７０にピストン１８が保持される。また、ピストンロッド２０は、その他端部側（矢印Ｂ方向側）がロッドカバー１６のロッド孔３６へ挿通され、軸方向に沿って変位自在に保持される。

そして、ウェアリング４４の一端面側（矢印Ａ方向側）から装着孔５８にベース体４２が挿入され、ピストンパッキン４６が装着されたウェアリング４４の他端面にプレート体４８を当接させる。この状態で、プレート体４８側からベース体４２の加締孔５２内にピストンロッド２０を挿通し、プレート体４８を本体部６８の端部に当接させた状態で、先端部７０を図示しない加締め用治具等によって押し潰して拡径させることで、先端部７０が加締孔５２に係合される。

これにより、ピストンロッド２０における先端部７０と本体部６８との間にピストン１８が保持された状態となる。この際、先端部７０と本体部６８との間において、ベース体４２、ウェアリング４４及びプレート体４８との間にはそれぞれ軸方向に僅かな隙間を有しているため、ウェアリング４４、ピストンパッキン４６及びプレート体４８がピストンロッド２０を中心として回転自在に保持された状態にある。

また、ピストンロッド２０に対するウェアリング４４及びプレート体４８の相対的な回転を規制する場合には、例えば、プレート体４８や、ウェアリング４４の第１突部５４の厚さ寸法を大きく設定することで、ベース体４２、ウェアリング４４及びプレート体４８との間における隙間をなくし互いに密着させる。これにより、ピストンロッド２０に対するウェアリング４４及びプレート体４８の相対的な回転が規制され、ピストンロッド２０とピストン１８とを一体的に構成することが可能となる。すなわち、ピストン１８に対してピストンロッド２０を回転させたくない場合に好適である。

本考案の第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、図２に示されるピストン１８がヘッドカバー１４側（矢印Ａ方向）に変位した状態を初期位置として説明する。

先ず、図示しない圧力流体供給源から圧力流体を第１流体ポート２８へと導入する。この場合、第２流体ポート３０は、図示しない切換弁による切換作用下に大気開放状態としておく。これにより、第１流体ポート２８からシリンダ室２２へと導入された圧力流体によってピストン１８がロッドカバー１６側（矢印Ｂ方向）へと押圧される。そして、ピストン１８の変位作用下にピストンロッド２０が共に変位し、第２ダンパ５０がロッドカバー１６と当接することで変位終端位置となる。

一方、ピストン１８を上記とは反対方向（矢印Ｂ方向）に変位させる場合には、第２流体ポート３０に圧力流体を供給すると共に、第１流体ポート２８を切換弁の切換作用下に大気開放状態とする。これにより、第２流体ポート３０からシリンダ室２２へと導入された圧力流体によってピストン１８がヘッドカバー１４側（矢印Ａ方向）へと押圧される。そして、ピストン１８の変位作用下にピストンロッド２０が共に変位し、ピストン１８のベース体４２がヘッドカバー１４の第１ダンパ３４と当接することで初期位置へと復帰する（図２参照）。

以上のように、ピストン１８及びシリンダ室２２の軸方向に直交する断面が略正八角形状に形成された流体圧シリンダ１０では、断面円形状であり直径がピストン１８の最大対角線長さと略同等であるピストンを有する流体圧シリンダ（不図示）と比較し、受圧面積を大きく確保することが可能となる。その結果、流体圧シリンダ１０における推力を増加させることができると共に、シリンダ室２２内に供給される圧力流体を低圧としても流体圧シリンダ１０を駆動可能となる。これによって、ピストン１８を変位させる際に必要な圧力流体の消費量を削減することができるため、省エネルギー化を図ることができる。

また、ピストン１８は、シリンダチューブ１２の内壁面に摺接することで軸方向に沿って案内するウェアリング４４を有し、該ウェアリング４４の内部にマグネット３３を内蔵可能な構成とする。これによって、ウェアリング４４とマグネット３３とをピストン１８の外周面において軸方向に並列に設けた場合と比較し、ピストン１８の軸寸法が増大することを抑制できるため、流体圧シリンダ１０の小型化を図ることが可能となる。

さらに、ウェアリング４４を含むピストン１８及びシリンダ室２２が上記の断面形状に形成されることにより、シリンダチューブ１２に対して、ウェアリング４４を含むピストン１８が相対的に回転することを規制できる。これによって、ウェアリング４４に内蔵されるマグネット３３がシリンダ室２２内で回転することを規制できるため、該シリンダ室２２内をピストン１８が変位する際のマグネット３３の軌道がシリンダチューブ１２の軸方向から逸れることを回避できる。

したがって、シリンダチューブ１２の外壁に対して、該シリンダチューブ１２の軸方向に沿ってセンサ装着レール３２を設けることで、該センサ装着レール３２をマグネット３３の軌道に沿わせることができる。このため、マグネット３３の近傍に配設されたセンサ装着レール３２のみにセンサを設けるだけで、マグネット３３の磁気を精度よく検出することが可能になる。つまり、例えば、ピストン及びシリンダ室の断面形状が円形であり、該シリンダ室内にマグネット３３が回転可能に装着される不図示の流体圧シリンダとは異なり、ピストン１８の全周にわたってマグネット３３を装着したり、シリンダチューブ１２の全周にわたってセンサを装着したりすることなく、マグネット３３の磁気を精度よく検出することが可能になる。

その結果、例えば、マグネット３３をリング状とする必要がない分、該マグネット３３の体積を低減することができ、それに伴って流体圧シリンダ１０の小型化を図ることや、製造コストの削減を図ることができる。

またさらに、ピストン１８を構成するウェアリング４４、ピストンパッキン４６及びプレート体４８をピストンロッド２０に対して回転自在とすることで、例えば、ピストンロッド２０の他端部に搬送テーブル等を螺合して組み付ける際、ピストンロッド２０を回転させることで容易に組み付けることができる。このため、流体圧シリンダ１０が他の装置等に固定され回転させることができない場合でも組付性が良好である。

また、ピストン１８を構成するウェアリング４４、ピストンパッキン４６及びプレート体４８をピストンロッド２０に対して回転自在としている。これにより、ピストンロッド２０に軸の周方向の荷重（負荷）が生じた場合でも、ピストン１８に回転方向の荷重が付与されてしまうことを回避できる。その結果、ピストン１８に回転方向の荷重（負荷）がかかった場合に懸念される該ピストン１８の角部とシリンダチューブ１２との接触応力の増加が防止され、ピストン１８の摩耗が抑制されることで耐久性の向上を図ることができる。

なお、上述したピストン１８では、ウェアリング４４、ピストンパッキン４６及びプレート体４８をピストンロッド２０に対して回転自在に設けているが、これに限定されるものではなく、例えば、ウェアリング４４、ピストンパッキン４６及びプレート体４８を互いに軸方向に接するように固定することで、ウェアリング４４、ピストンパッキン４６及びプレート体４８に対するピストンロッド２０の回転を規制するようにしてもよい。すなわち、流体圧シリンダ１０の使用用途に応じてピストン１８に対するピストンロッド２０の回転可否を選択して用いることができる。

また、ピストンパッキン４６の中心に形成されるパッキン孔６４を、該ピストンパッキン４６の外側形状と同様に断面略正八角形状としてもよい。なお、この場合、ウェアリング４４の第１突部５４も断面略正八角形状に形成される。パッキン孔６４を前記断面形状とすることで、ピストンパッキン４６のパッキン孔６４から外縁部までの幅寸法を、該ピストンパッキン４６の周方向に沿って略均一とすることができる。このため、ピストンパッキン４６のシリンダチューブ１２に接触する際の面圧を均一化することができる。その結果、シリンダチューブ１２との間において、ピストンパッキン４６の周方向に沿ってより均一なシールがなされる。

上記した第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０では、ピストン１８やシリンダ室２２等の断面形状を略正八角形としたが、該断面形状は八角形であればよく、正八角形に限定されるものではい。

＜第２実施形態＞
次に、第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０を図５〜図７に示す。なお、上述した第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０と同一又は同様な機能及び効果を奏する構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０は、後述するように、シリンダ室２２から第１流体ポート２８及び第２流体ポート３０を介して外部へと排出される流体の流量を調整することにより、ピストン８２の変位終端位置における衝撃を緩衝可能なクッション機構を備えることが、第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０との主な相違点である。

具体的には、流体圧シリンダ８０は、断面の外形が略正八角形状のシリンダチューブ８４と、該シリンダチューブ８４の一端部側（矢印Ａ方向側）に装着されるヘッドカバー（カバー部材）８６と、シリンダチューブ８４の他端部側（矢印Ｂ方向側）に装着されるロッドカバー（カバー部材）８８と、シリンダチューブ８４の内部に変位自在に設けられるピストン８２と、ピストン８２に連結されるピストンロッド２０とを含む。

シリンダチューブ８４は、軸方向に沿って一定断面積で延在した筒体からなり、その内部に断面略正八角形状のシリンダ室２２が形成される。また、図７に示されるように、シリンダチューブ８４の外壁には、ピストン８２の軸方向に沿った位置を検出するセンサ（不図示）を装着するためのセンサ装着レール９０が設けられる。なお、図５では、説明の便宜上、センサ装着レール９０の図示を省略している。

このセンサ装着レール９０は、シリンダチューブ８４から離間する方向に向かって開口した断面略Ｕ字状に形成され、該シリンダチューブ８４の軸方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定長さを有すると共に、断面略正八角形状のシリンダチューブ８４の角部近傍に装着される。

図５に示すように、ヘッドカバー８６の外縁部の四隅には、軸方向に沿って貫通孔９２が形成され、該貫通孔９２に、後述するように連結ロッド９４が挿通される。また、ヘッドカバー８６の側部には、軸方向と直交する方向に延在した第１流体ポート２８が形成される。

図６に示すように、ヘッドカバー８６は、ロッドカバー８８側（矢印Ｂ方向）に臨む端部からシリンダ室２２に向かって所定長さだけ突出する第１段付部９６が形成される。第１段付部９６の断面形状は、シリンダ室２２の断面形状に対応する略正八角形状である。この第１段付部９６は、シリンダチューブ８４内の一端部側（矢印Ａ方向側）に挿通される。なお、第１段付部９６の外周面と、シリンダチューブ８４の内周面との間には、ガスケット９７が設けられ、互いの間から圧力流体が漏出することが防止される。

また、ヘッドカバー８６の中央部には、シリンダ室２２に臨むように開口する断面円形状の第１凹部９８が所定深さで形成されると共に、第１凹部９８と連通した第１クッション室１００が形成される。

第１凹部９８には、リング状の第１ホルダ１０２が圧入され固定されると共に、その内周面に対して半径外方向に窪んだ第１連通路１０４が形成される。第１連通路１０４は、例えば、断面矩形状に形成される。

この第１連通路１０４は、第１凹部９８の開口部から軸方向に沿って同一断面で延在した水平部１０４ａと、該水平部１０４ａの端部から第１凹部９８の中心側に向かって鉛直方向（図６の矢印Ｃ方向）に延在する鉛直部１０４ｂとから構成される。すなわち、水平部１０４ａがシリンダ室２２側（矢印Ｂ方向）へと開口することで該シリンダ室２２と連通し、鉛直部１０４ｂの上端部が第１クッション室１００と連通している。このため、第１連通路１０４によってシリンダチューブ８４のシリンダ室２２と第１クッション室１００とが連通する。なお、第１連通路１０４は、断面矩形状に限らず断面半円状に形成されていてもよい。

第１クッション室１００は、例えば、第１凹部９８に対して小径且つ同軸状に形成され、ヘッドカバー８６一端部によって閉塞された空間である。そして、第１クッション室１００は、その外周側に設けられた第１流体ポート２８と連通すると共に、第１連通路１０４を通じてシリンダ室２２と連通している。

第１ホルダ１０２は、その中心に第１クッション孔１０６を有した円環体からなり、該第１ホルダ１０２が第１凹部９８へ圧入されることで、その外周面が第１凹部９８の内周面に対して嵌合され固定される。また、第１ホルダ１０２の一端面が、第１凹部９８の壁面に当接するように固定される。

このように第１凹部９８へ第１ホルダ１０２が装着されることで、第１連通路１０４における水平部１０４ａの内周側及び鉛直部１０４ｂのシリンダ室２２側（矢印Ｂ方向側）がそれぞれ第１ホルダ１０２の外周面及び端面によって覆われ、圧力流体の流通する断面矩形状の通路となる。

また、第１クッション孔１０６には、その内周面に形成された環状溝を介して第１クッションパッキン１０８が装着される。第１クッションパッキン１０８は、例えば、ゴム等の弾性材料から環状に形成され、第１クッション孔１０６へ後述する第１クッションロッド１１０が挿入された際、その外周面に摺接するように第１クッション孔１０６の内周面に向かって突出するように設けられる。

図５及び図７に示すように、ロッドカバー８８は、ヘッドカバー８６と同様に、外縁部の四隅に軸方向に沿って貫通孔１１２が形成され、該貫通孔１１２に、連結ロッド９４が挿通される。また、ロッドカバー８８の側部には、該ロッドカバー８８の軸方向と直交する方向に延在した第２流体ポート３０が形成される。

図６に示すように、ロッドカバー８８は、ヘッドカバー８６側（矢印Ａ方向）に臨む端部からシリンダ室２２に向かって所定長さだけ突出する第２段付部１１４が形成される。第２段付部１１４の断面形状は、シリンダ室２２の断面形状に対応する略正八角形状である。シリンダチューブ８４内に他端部側から第２段付部１１４が挿通される。なお、第２段付部１１４の外周面と、シリンダチューブ８４の内周面との間には、ガスケット１１５が設けられ、互いの間から圧力流体の漏出が防止される。

上記の通り、シリンダチューブ８４の一端部にヘッドカバー１４の第１段付部９６を挿通し、他端部にロッドカバー１６の第２段付部１１４を挿通した状態で、前記貫通孔９２、１１２のそれぞれに連結ロッド９４を挿通する。そして、連結ロッド９４の両端部にナット１１６を螺合させ締め付けることで、ヘッドカバー８６とロッドカバー８８との間にシリンダチューブ８４が挟持された状態で固定される。

また、ロッドカバー８８の中央部には、シリンダ室２２に臨むように開口する断面円形状の第２凹部１１８と、該第２凹部１１８と連通した第２クッション室１２０と、第２クッション室１２０と連通したロッド孔３６とが形成される。

第２凹部１１８は、リング状の第２ホルダ１２２が圧入され固定されると共に、内周面に対して半径外方向に窪んだ第２連通路１２４が形成される。第２連通路１２４は、例えば、断面矩形状に形成される。この第２連通路１２４は、第２凹部１１８の開口部から軸方向に沿って同一断面で延在した水平部１２４ａと、該水平部１２４ａの端部から第２凹部１１８の中心側に向かって鉛直方向（矢印Ｃ方向）に延在する鉛直部１２４ｂとから構成される。なお、第２連通路１２４は、断面矩形状に限らず断面半円状に形成されていてもよい。

すなわち、水平部１２４ａがシリンダ室２２側（矢印Ａ方向）へと開口することで該シリンダ室２２と連通し、鉛直部１２４ｂの上端部が第２クッション室１２０と連通している。このため、第２連通路１２４によってシリンダチューブ８４のシリンダ室２２と第２クッション室１２０とが連通する。

第２クッション室１２０は、例えば、第２凹部１１８に対して小径且つ同軸状に形成され、ロッドカバー８８の端部によって閉塞された空間である。そして、第２クッション室１２０は、第２流体ポート３０と連通すると共に、第２連通路１２４を通じてシリンダ室２２と連通している。

第２クッション室１２０に隣接するロッド孔３６の内周面にはブッシュ１２６及びロッドパッキン３８が設けられる。ブッシュ１２６は、ロッド孔３６に挿通されるピストンロッド２０を軸方向に沿って案内する。

第２ホルダ１２２は、その中心に第２クッション孔１２８を有した円環体からなり、該第２ホルダ１２２が第２凹部１１８へ圧入されることで、その外周面が第２凹部１１８の内周面に対して嵌合され固定される。また、第２ホルダ１２２の端面が、ロッド孔３６との境界に設けられた第２凹部１１８の壁面に当接するように固定される。

このように第２凹部１１８へ第２ホルダ１２２が装着されることで、第２連通路１２４における水平部１２４ａの内周側及び鉛直部１２４ｂのシリンダ室２２側がそれぞれ第２ホルダ１２２の外周面及び端面によって覆われ、圧力流体の流通する通路となる。

また、第２クッション孔１２８には、その内周面に形成された環状溝を介して第２クッションパッキン１３０が装着される。第２クッションパッキン１３０は、例えば、ゴム等の弾性材料から環状に形成され、ロッド孔３６へ後述する第２クッションロッド１３２が挿入された際、その外周面に摺接するように設けられる。

ピストン８２は、上記の第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０のピストン１８と同一又は同様な機能及び効果を奏する構成要素と、第１クッションロッド１１０と、第２クッションロッド１３２と、第３ダンパ１３４とをさらに備えている。

第１クッションロッド１１０は、ヘッドカバー８６に臨むピストン８２の一端面から、ピストンロッド２０と同軸状となるように所定長さ突出する。具体的には、第１クッションロッド１１０は、その他端部が、ピストンロッド２０の先端部７０に当接するようにベース体４２の加締孔５２内に挿通されることで、該ベース体４２に保持されている。

また、第１クッションロッド１１０は、中心に孔部１３６を有した中空状に形成され、その先端がピストン８２から離間する方向（矢印Ａ方向）に向かって徐々に縮径する。なお、第１クッションロッド１１０は、中空状に形成される場合に限定されるものでなく、孔部１３６を有していない中実状としてもよい。

第２クッションロッド１３２は、ロッドカバー８８に臨むピストン８２の他端面（プレート体４８）から、ロッドカバー８８側（矢印Ｂ方向側）に向かって所定長さ突出する円筒状であり、ピストンロッド２０の外周を覆う。この第２クッションロッド１３２は、その先端がピストン８２から離間する方向（矢印Ｂ方向）に向かって徐々に縮径する。第２クッションロッド１３２の一端側の外周は、第２ダンパ５０で覆われる。

第３ダンパ１３４は、ベース体４２及びウェアリング４４の一端面に当接するように、第１クッションロッド１１０の外周に設けられる。つまり、第３ダンパ１３４は、例えば、ゴムやウレタン等の弾性材料から形成され、その中央に第１クッションロッド１１０を挿通可能な孔部を有した円盤状に形成される。そして、ピストン８２が軸方向に沿って変位した際、第３ダンパ１３４がヘッドカバー８６の他端面に当接することで衝撃を緩衝することが可能になっている。

本考案の第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、図６に示されるピストン８２がヘッドカバー８６側（矢印Ａ方向）に変位し、第１クッションロッド１１０が第１ホルダ１０２を通じて第１クッション室１００へと収容された状態を初期位置として説明する。

先ず、図示しない圧力流体供給源から圧力流体を第１流体ポート２８へと導入することで第１クッション室１００内へと供給される。この場合、第２流体ポート３０は、図示しない切換手段による切換作用下に大気開放状態としておく。

これにより、圧力流体が、第１クッション室１００から第１連通路１０４を通じてシリンダ室２２へと供給されると共に、第１クッションロッド１１０の孔部１３６へと供給される。また同時に、圧力流体は、第１クッション孔１０６へと流入することで、第１クッションパッキン１０８がロッドカバー８８側（矢印Ｂ方向）へと移動し、該第１クッションパッキン１０８の外周側を通じてシリンダ室２２へと流通する。これにより、ピストン８２がロッドカバー８８側へと押圧される。そして、ピストン８２の変位作用下にピストンロッド２０が共に変位し、第１クッションロッド１１０が第１ホルダ１０２の第１クッションパッキン１０８に摺接しながら徐々に第１クッション室１００からシリンダ室２２側（矢印Ｂ方向）へと移動する。

この際、ピストン８２とロッドカバー８８との間となるシリンダ室２２に残存している空気は、第２連通路１２４を通じて第２クッション室１２０へと流入すると同時に、ピストンロッド２０の外周面と第２クッションパッキン１３０との間の間隙を通じて第２クッション室１２０へと流入した後、第２流体ポート３０から外部へと排出される。

そして、ピストン８２がさらにロッドカバー８８側へと移動することで、ピストンロッド２０の他端部がロッドカバー８８の外側へと徐々に突出していく。これと共に、第２クッションロッド１３２が第２ホルダ１２２の第２クッション孔１２８へと挿入され、その外周面に第２クッションパッキン１３０が摺接する。

これにより、第２ホルダ１２２の第２クッションパッキン１３０とピストンロッド２０との間の間隙が第２クッションロッド１３２によって塞がれ、シリンダ室２２の空気は第２連通路１２４のみを通じて第２流体ポート３０へと排出されることとなる。その結果、第２流体ポート３０からの空気の排出量が減少することで、該空気の一部がシリンダ室２２内で圧縮され、ピストン８２が変位する際の変位抵抗となる。このため、ピストン８２の変位速度が変位終端位置に近づくにつれて徐々に低下する。すなわち、ピストン８２の変位速度を減速させることが可能なクッション作用が機能する。

最後に、ピストン８２がロッドカバー８８側に向かって徐々に変位し、第２クッションロッド１３２が完全に第２クッション孔１２８及び第２クッション室１２０へと収容され、第２ダンパ５０がロッドカバー８８の一端部に当接することでピストン８２がロッドカバー８８側へと到達した変位終端位置となる。

換言すれば、第２連通路１２４は、第２クッション孔１２８が第２クッションロッド１３２によって塞がれた際、シリンダ室２２の空気を第２流体ポート３０側へと流通させるための固定式のオリフィスとして機能する。

一方、ピストン８２を上記とは反対方向（矢印Ａ方向）に変位させ初期位置へと復帰させる場合には、切換手段の切換作用下に第１流体ポート２８に供給されていた圧力流体を第２流体ポート３０へ供給することで第２クッション室１２０へと導入すると共に、第１流体ポート２８を大気開放状態とする。

これにより、圧力流体は、第２クッション室１２０から第２連通路１２４を通じてシリンダ室２２へと供給されると共に、第２クッション孔１２８へと流入することで、第２クッションパッキン１３０がヘッドカバー８６側（矢印Ａ方向）へと移動し、該第２クッションパッキン１３０の外周側を通じてシリンダ室２２側へと流通する。これにより、ピストン８２がヘッドカバー８６側へと押圧される。そして、ピストン８２の変位作用下にピストンロッド２０が共に変位し、第２クッションロッド１３２が第２ホルダ１２２の第２クッションパッキン１３０に摺接しながら徐々に第２クッション室１２０からシリンダ室２２側（矢印Ａ方向）へと移動していく。

この際、ピストン８２とヘッドカバー８６との間となるシリンダ室２２に残存している空気は、第１連通路１０４を通じて第１クッション室１００へと流入すると同時に、開放された第１ホルダ１０２の第１クッション孔１０６を通じて第１クッション室１００へと流入した後、第１流体ポート２８を通じて外部へと排出される。

そして、ピストン８２がさらにヘッドカバー８６側（矢印Ｂ方向）へと移動することで、ピストンロッド２０の他端部側がロッドカバー８８のロッド孔３６へと徐々に収納されていく。これと共に、第１クッションロッド１１０が第１ホルダ１０２の第１クッション孔１０６へと挿入され、その外周面に第１クッションパッキン１０８が摺接する。

これにより、第１クッションロッド１１０によって第１クッション孔１０６が塞がれ、シリンダ室２２の流体は第１連通路１０４のみを通じて第１流体ポート２８へ排出されることとなる。

その結果、第１クッション孔１０６を通じた空気の流通が遮断されることで、第１流体ポート２８からの空気の排出量が減少し、該空気の一部がシリンダ室２２内で圧縮されるため、ピストン８２が変位する際の変位抵抗となる。その結果、ピストン８２の変位速度がヘッドカバー８６側となる初期位置へと近づくにつれて徐々に低下する。すなわち、ピストン８２の変位速度を減速させることが可能なクッション作用が機能する。

最後に、ピストン８２がヘッドカバー８６側に向かって徐々に変位し、第１クッションロッド１１０が完全に第１クッション孔１０６及び第１クッション室１００へと収容され、第３ダンパ１３４がヘッドカバー８６の他端部に当接することでピストン８２がヘッドカバー８６側へ到達した初期位置へと復帰する（図６参照）。

換言すれば、第１連通路１０４は、第１クッション孔１０６が第１クッションロッド１１０によって塞がれた際、シリンダ室２２の空気を第１流体ポート２８側へと流通させるための固定式のオリフィスとして機能する。

以上のように、第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０は、断面が略正八角形状のピストン８２及びシリンダ室２２を備えることで、第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０と同様の上記作用効果を得ることができる。

さらに、第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０では、上記の通り、第１連通路１０４及び第２連通路１２４が、シリンダ室２２の空気を第１流体ポート２８側又は第２流体ポート３０側へと流通させるための固定式のオリフィスとして機能する。これによって、ピストン８２の変位速度を効果的に減速させることが可能なクッション作用を得ることができる。

上記した第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０においても、ピストン８２やシリンダ室２２等の断面形状を略正八角形としたが、該断面形状は八角形であればよく、正八角形に限定されるものではい。

＜第３実施形態＞
次に、第３実施形態に係る流体圧シリンダ１４０を図８及び図９に示す。なお、上述した第１及び第２実施形態に係る流体圧シリンダ１０、８０と同一又は同様な機能及び効果を奏する構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

具体的には、流体圧シリンダ１４０では、断面形状が六角形のシリンダチューブ１４２を備え、該シリンダチューブ１４２の内部に断面六角形状のシリンダ室１４３が形成される点、及び２本の連結ロッド９４によって、ヘッドカバー１４４とロッドカバー１４６とシリンダチューブ１４２とが一体化される点で、上記の流体圧シリンダ８０と主に相違する。

具体的には、流体圧シリンダ１４０は、シリンダチューブ１４２と、シリンダチューブ１４２の一端部側（矢印Ａ方向側）に装着されるヘッドカバー（カバー部材）１４４と、シリンダチューブ１４２の他端部側（矢印Ｂ方向側）に装着されるロッドカバー（カバー部材）１４６と、シリンダチューブ１４２の内部に変位自在に設けられるピストン（不図示）と、ピストンに連結されるピストンロッド２０とを含む。

シリンダチューブ１４２は、軸方向に沿って一定断面積で延在した筒体からなる。また、図９に仮想線で示すように、マグネット３３は、断面六角形状のシリンダ室１４３内の連結ロッド９４から離間した角部近傍に設けられる。このマグネット３３の近傍のシリンダチューブ１４２の外壁にセンサ装着レール９０が設けられる。なお、図８では、説明の便宜上、センサ装着レール９０の図示を省略している。

図８に示すように、ヘッドカバー１４４は、互いに対向する一組の短辺と、互いに対向する一組の長辺とからなる断面長方形状であり、その同一の対角線上にある２つの角部に、軸方向に沿って貫通孔９２がそれぞれ形成される。また、ヘッドカバー１４４の一方側（矢印Ｃ方向側）の短辺を構成する側壁には、軸方向と直交する方向（矢印Ｃ、Ｄ方向）に延在した第１流体ポート２８が形成される。ヘッドカバー１４４のその他の構成については、上記のヘッドカバー８６と同様とすることができるため詳細な説明を省略する。

ロッドカバー１４６は、ヘッドカバー１４４と同様の断面長方形状からなる。また、シリンダチューブ１４２の両端部にヘッドカバー１４４及びロッドカバー１４６がそれぞれ配置された際、該ヘッドカバー１４４の貫通孔９２と、軸方向に所定の間隔をおいて対向するロッドカバー１４６の２つの角部のそれぞれに、軸方向に沿って貫通孔１１２が形成される。つまり、シリンダチューブ１４２を挟持するヘッドカバー１４４及びロッドカバー１４６の各々の貫通孔９２、１１２が互いに同軸となり、これらの貫通孔９２、１１２に連結ロッド９４が挿通される。このとき、貫通孔９２、１１２同士の間にシリンダチューブ１４２が介在することを避けるように、換言すると、連結ロッド９４とシリンダチューブ１４２とが接触することを避けるように、シリンダチューブ１４２の断面形状が六角形に形成される。

また、ロッドカバー１４６の一方側（矢印Ｃ方向側）の短辺を構成する側壁には、軸方向と直交する方向に延在した第２流体ポート３０が形成される。ロッドカバー１４６のその他の構成については、上記のロッドカバー８８と同様とすることができるため詳細な説明を省略する。

本考案の第３実施形態に係る流体圧シリンダ１４０は、基本的には以上のように構成されるものである。この流体圧シリンダ１４０の動作は、上記した第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０の動作と略同様であるため、その説明を省略する。流体圧シリンダ１４０では、断面が六角形状のピストン（不図示）及びシリンダ室１４３を備えることで、第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０と同様の上記作用効果を得ることができる。

また、シリンダチューブ１４２が前記断面形状に形成されることで、流体圧シリンダ１４０の受圧面積を確保しつつ、ヘッドカバー１４４とロッドカバー１４６との間に２本の連結ロッド９４を挿通して、ヘッドカバー１４４とロッドカバー１４６とシリンダチューブ１４２とを一体化できる。その結果、流体圧シリンダ１４０における推力を維持しつつ、流体圧シリンダ１４０の小型化を効果的に図ることができる。

＜第４実施形態＞
次に、第４実施形態に係る流体圧シリンダ１５０を図１０及び図１１に示す。なお、上述した第１実施形態〜第３実施形態に係る流体圧シリンダ１０、８０、１４０と同一又は同様な機能及び効果を奏する構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

流体圧シリンダ１５０では、断面形状が長方形のシリンダチューブ１５２を備え、該シリンダチューブ１５２の内部に断面長方形状のシリンダ室１５４が形成される点で、上記の流体圧シリンダ８０と主に相違する。

具体的には、流体圧シリンダ１５０は、シリンダチューブ１５２と、シリンダチューブ１５２の一端部側（矢印Ａ方向側）に装着されるヘッドカバー（カバー部材）１５６と、シリンダチューブ１５２の他端部側（矢印Ｂ方向側）に装着されるロッドカバー（カバー部材）１５８と、シリンダチューブ１５２の内部に変位自在に設けられるピストン（不図示）と、ピストンに連結されるピストンロッド２０とを含む。

シリンダチューブ１５２は、軸方向に沿って一定断面積で延在した筒体からなり、断面形状が、互いに対向する一組の短辺と、互いに対向する一組の長辺とからなる長方形である。また、図１１に仮想線で示すように、シリンダ室１５４内に設けられるマグネット３３は、前記一組の短辺の略中央近傍のシリンダ室１５４内に配置される。また、マグネット３３の近傍のシリンダチューブ１５２の外壁にセンサ装着レール９０が設けられる。

ヘッドカバー１５６及びロッドカバー１５８の各々は、シリンダチューブ１５２の断面長方形状に比して、長辺が大きい断面長方形状に形成され、一組の長辺の各々の両端側に軸方向に沿って貫通孔９２、１１２がそれぞれ形成されている。シリンダチューブ１５２の両端部にヘッドカバー１５６及びロッドカバー１５８がそれぞれ配置された際、該ヘッドカバー１５６の貫通孔９２と、ロッドカバー１５８の貫通孔１１２とは、軸方向に所定の間隔をおいて対向する。つまり、互いに同軸となる貫通孔９２、１１２に連結ロッド９４が挿通され、該連結ロッド９４の両端部にナット１１６を螺合させ締め付けることで、ヘッドカバー１５６とロッドカバー１５８との間にシリンダチューブ１５２が挟持された状態で固定される。

本考案の第４実施形態に係る流体圧シリンダ１５０は、基本的には以上のように構成されるものである。この流体圧シリンダ１５０の動作は、上記した第２実施形態に係る流体圧シリンダ８０の動作と略同様であるため、その説明を省略する。流体圧シリンダ１５０では、断面が長方形状のピストン（不図示）及びシリンダ室１５４を備えることで、第１実施形態に係る流体圧シリンダ１０と同様の上記作用効果を得ることができる。

なお、本考案に係る流体圧シリンダは、上述の実施形態に限らず、本考案の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

例えば、流体圧シリンダ１０、８０、１４０、１５０のピストン１８、８２及びシリンダ室２２、１４３、１５４の断面形状は、上記の形状に限定されるものではなく、他の多角形状であってもよい。

１０、８０、１４０、１５０…流体圧シリンダ
１２、８４、１４２、１５２…シリンダチューブ
１４、８６、１４４、１５６…ヘッドカバー
１６、８８、１４６、１５８…ロッドカバー
１８、８２…ピストン ２０…ピストンロッド
２２、１４３、１５４…シリンダ室 ３２、９０…センサ装着レール
３３…マグネット ４４…ウェアリング

Claims (10)

1. 内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、
   前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が八角形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が八角形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする流体圧シリンダ。
2. 請求項１記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記シリンダチューブの外壁には、前記シリンダ室内を変位する前記マグネットの軌道に沿って設けられたセンサ装着レールに、前記マグネットの磁気を検出可能な検出センサが装着されることを特徴とする流体圧シリンダ。
3. 請求項１又は２記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記ピストンは前記ピストンロッドに対して回転自在に連結されることを特徴とする流体圧シリンダ。
4. 内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、
   前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が六角形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が六角形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする流体圧シリンダ。
5. 請求項４記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記シリンダチューブの外壁には、前記シリンダ室内を変位する前記マグネットの軌道に沿って設けられたセンサ装着レールに、前記マグネットの磁気を検出可能な検出センサが装着されることを特徴とする流体圧シリンダ。
6. 請求項４又は５記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記ピストンは前記ピストンロッドに対して回転自在に連結されることを特徴とする流体圧シリンダ。
7. 内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、
   前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が長方形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が長方形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする流体圧シリンダ。
8. 請求項７記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記シリンダチューブの外壁には、前記シリンダ室内を変位する前記マグネットの軌道に沿って設けられたセンサ装着レールに、前記マグネットの磁気を検出可能な検出センサが装着されることを特徴とする流体圧シリンダ。
9. 請求項７又は８記載の流体圧シリンダにおいて、
   前記ピストンは前記ピストンロッドに対して回転自在に連結されることを特徴とする流体圧シリンダ。
10. 内部にシリンダ室を有した筒状のシリンダチューブと、前記シリンダチューブの両端部に装着される一組のカバー部材と、前記シリンダ室に沿って変位自在に設けられるピストンと、前記ピストンに連結されるピストンロッドとを有する流体圧シリンダにおいて、
    前記ピストン及び前記シリンダ室は、軸方向に直交する断面が多角形状に形成され、前記ピストンは、前記シリンダチューブの内壁面に摺接し且つ軸方向に直交する断面が多角形状のウェアリングを有し、前記ウェアリングにマグネットが内蔵されることを特徴とする流体圧シリンダ。

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