JP3480925B2 - ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体 - Google Patents

ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体

Info

Publication number
JP3480925B2
JP3480925B2 JP2000276573A JP2000276573A JP3480925B2 JP 3480925 B2 JP3480925 B2 JP 3480925B2 JP 2000276573 A JP2000276573 A JP 2000276573A JP 2000276573 A JP2000276573 A JP 2000276573A JP 3480925 B2 JP3480925 B2 JP 3480925B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
axis
frame member
driven
axis drive
display panel
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2000276573A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2002091336A (ja
Inventor
敏雄 奥野
軍司 水谷
正智 長島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Adtec Engineering Co Ltd
Original Assignee
Adtec Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Adtec Engineering Co Ltd filed Critical Adtec Engineering Co Ltd
Priority to JP2000276573A priority Critical patent/JP3480925B2/ja
Priority to KR1020010051455A priority patent/KR100786631B1/ko
Priority to EP01307712A priority patent/EP1186899A3/en
Priority to TW090122498A priority patent/TW515907B/zh
Priority to US09/949,976 priority patent/US6556004B2/en
Priority to CNB011328800A priority patent/CN1188733C/zh
Publication of JP2002091336A publication Critical patent/JP2002091336A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3480925B2 publication Critical patent/JP3480925B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
    • G09G—ARRANGEMENTS OR CIRCUITS FOR CONTROL OF INDICATING DEVICES USING STATIC MEANS TO PRESENT VARIABLE INFORMATION
    • G09G3/00—Control arrangements or circuits, of interest only in connection with visual indicators other than cathode-ray tubes
    • G09G3/006—Electronic inspection or testing of displays and display drivers, e.g. of LED or LCD displays
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
    • G01R1/02—General constructional details
    • G01R1/04—Housings; Supporting members; Arrangements of terminals

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Tests Of Electronic Circuits (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は検査対象であるディ
スプレイパネル又は検査用プローブブロックの支持枠体
の改良に関するものであって、主としてリッキドクリス
タルディスプレイパネル（ＬＣＤ…液晶パネル）、プラ
ズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）等に代表されるディ
スプレイパネルの支持枠体、又は該ディスプレイパネル
の辺縁部に配置された電極パッドに加圧接触する検査用
プローブブロックの支持枠体を主眼に開発されたもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】上記ディスプレイパネルの支持枠体及び
検査用プローブブロックの支持枠体は、何れも方形枠体
によって構成されており、図１３、図１４に示すよう
に、液晶パネルに代表されるディスプレイパネルＰを支
持した後方の支持枠体の前面側に検査用プローブブロッ
クＢを支持した前方の支持枠体を配置し、後方の支持枠
体を前方の支持枠体に対し進退可に設け、同前進によっ
てディスプレイパネルＰの辺縁部に配置された電極パッ
ド１２に検査用プローブブロックＢの検査用端子１３を
加圧接触せしめ、又後方の支持枠体を後退し且つ側方へ
退避しディスプレイパネルＰの交換を行うようにしてい
る。
【０００３】然るに従来は大きさの異なるディスプレイ
パネルＰ毎に専用の後方の支持枠体を用意し、同様にデ
ィスプレイパネルＰの大きさに応じた専用の前方の支持
枠体を用意して検査用のプローブブロックＢを支持せし
めるようにしている。
【０００４】従って大きさの異なるディスプレイパネル
Ｐ毎にこれに適合する前後の支持枠体を持った検査装置
を設備せねばならないか、又は前後の支持枠体のみをデ
ィスプレイパネルＰの大きさに応じ交換できるように互
換性を持たせた構造にせねばならず、多大な設備負担と
高重量の枠体を交換する作業負担と検査作業の効率悪化
を招来していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明は上記問題を解
決しようとするもので、課題の第１は、各種大きさのデ
ィスプレイパネルに対応した大きさの支持枠体を容易に
形成でき、同様に該ディスプレイパネルの大きさに対応
した検査用プローブ支持枠体を容易に形成でき、１台の
検査装置を大きさの異なる各種ディスプレイパネルに適
合させることである。これによりパネル検査のランニン
グコストの低減を図る。
【０００６】課題の第２は、限定された駆動源にて拡縮
可能にしたディスプレイパネルの支持枠体、又はプロー
ブブロックの支持枠体として、拡縮可能な支持枠体を合
理的に構成したことである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】第一の発明は、上記課題
を解決するため、検査対象であるディスプレイパネル又
は検査用のプローブブロックを支持する方形支持枠体を
次のように構成する。
【０００８】第１に、方形の一側辺を固定枠材とする。
【０００９】第２に、固定枠材の一方に隣接する側辺を
構成し、固定枠材に沿った方向（Ｙ軸方向）に駆動可能
なＹ軸駆動枠材を設ける。
【００１０】第３に、固定枠材に対向する側辺を構成し
Ｙ軸駆動枠材によりＹ軸方向に従動可能で固定枠材に対
して接近離間する方向（Ｘ軸方向）に駆動可能なＹ軸従
動Ｘ軸駆動枠材を設ける。
【００１１】第４に、固定枠材の他方に隣接する側辺を
構成しＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材によりＸ軸方向に従動可能
なＸ軸従動枠材を設ける。
【００１２】第５に、Ｙ軸駆動枠材のＹ軸駆動とＹ軸従
動Ｘ軸駆動枠材のＸ軸駆動とにより上記４辺の枠材で画
成される窓を拡大又は縮小を行う。
【００１３】第６に、該拡大又は縮小された窓を画成す
る枠材部に上記ディスプレイパネル又は該ディスプレイ
パネルに配された電極パッドに加圧接触するプローブブ
ロックを支持する。
【００１４】第二の発明は、前記課題を解決するため、
検査対象であるディスプレイパネル又は検査用のプロー
ブブロックを支持する方形支持枠体を次のように構成す
る。
【００１５】第１に、方形の一側辺を構成する枠材を、
該一側辺と直交する方向（Ｘ軸方向）に駆動可能なＸ軸
駆動枠材とする。
【００１６】第２に、該Ｘ軸駆動枠材の一方に隣接する
側辺を構成しＸ軸駆動枠材によりＸ軸方向に従動可能で
Ｘ軸駆動枠材に沿った方向（Ｙ軸方向）に駆動可能なＸ
軸従動Ｙ軸駆動枠材を設ける。
【００１７】第３に、上記Ｘ軸駆動枠材に対向する側辺
を構成しＸ軸従動Ｙ軸駆動枠材によりＹ軸方向に従動可
能でＸ軸方向に駆動可能なＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材を設け
る。
【００１８】第４に、Ｘ軸駆動枠材の他方に隣接する側
辺を構成しＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材によりＸ軸方向に従動
可能なＸ軸従動枠材を設ける。
【００１９】第５に、Ｘ軸従動Ｙ軸駆動枠材のＹ軸駆動
とＸ軸駆動枠材及びＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材のＸ軸駆動と
により上記四辺の枠材で画成される窓の拡大又は縮小を
行う。
【００２０】第６に、該拡大又は縮小された窓を画成す
る枠材部に上記ディスプレイパネル又は該ディスプレイ
パネルに配された電極パッドに加圧接触するプローブブ
ロックを支持する。
【００２１】上記各枠材相互はスライドレールを介して
上記所定のＸ軸動又は／及びＹ軸動するように連結す
る。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図１乃
至図１４に基づいて説明する。図中符号１は検査対象で
ある液晶ディスプレイパネルに代表されるディスプレイ
パネルを支持する方形支持枠体である。
【００２３】方形支持枠体１は、方形の一側辺を固定枠
材２とする。図示の実施例では左縦枠材が固定枠材２と
なる。
【００２４】固定枠材２である左縦枠材の隣設側辺の一
つを、固定枠材２により構成される一側辺に沿った方向
（Ｙ軸方向、図２及び図３中縦方向）に駆動可能なＹ軸
駆動枠材３とする。図示の実施例では下横枠材がＹ軸駆
動枠材３とされる。
【００２５】Ｙ軸駆動枠材３のＹ軸駆動機構は、第一モ
ーター１４、第一モーター１４により回転させられるボ
ールねじ１５、ボールねじ１５の回転力をＹ軸駆動枠材
３のＹ軸方向の駆動力に変える同枠材３に取り付けられ
たナット１６とにより構成されている。尚、Ｙ軸駆動枠
材３は、固定枠材２の延在領域内においてＹ軸方向へ移
動する。
【００２６】固定枠材２の対向する側辺を構成する下横
枠材によりＹ軸方向に従動可能で固定枠材２に対して接
近離間する方向（Ｘ軸方向）に駆動可能なＹ軸従動Ｘ軸
駆動枠材４とする。実施例では右縦枠材がＹ軸従動Ｘ軸
駆動枠材４となる。
【００２７】Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材４のＸ軸駆動機構
は、第二モーター１４、第二モーター１４により回転さ
せられるボールねじ１５、ボールねじ１５の回転力をＹ
軸従動Ｘ軸駆動枠材４のＸ軸方向の駆動力に変える同枠
材４に取り付けられたナット１６とにより構成されてい
る。尚、Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材４は、Ｙ軸駆動枠材３の
延在領域内においてＸ軸方向へ移動する。モーター１４
の回転量により駆動枠材３，４の移動量を設定する。
【００２８】固定枠材２の他方の隣設側辺をＹ軸従動Ｘ
軸駆動枠材４によりＸ軸方向に従動可能なＸ軸従動枠材
５とする。実施例では上横枠材がＸ軸従動枠材５とな
る。Ｘ軸従動枠材５は独自の駆動機構を有しない。尚、
Ｘ軸従動枠材５は固定枠材２の延在領域内においてＸ軸
方向に移動する。
【００２９】上記Ｙ軸駆動枠材３とＸ軸従動枠材５と固
定枠材２とＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材４の上記Ｙ軸移動とＸ
軸移動とにより上記Ｙ軸駆動枠材３とＸ軸従動枠材５と
固定枠材２とＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材４で画成される窓６
を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓６を画成す
る枠材部に上記ディスプレイパネルＰの各辺を載置し支
持する。
【００３０】各枠材３，５，２，４の二乃至四にはその
長手方向に亘り細長く延在するスタンド７を突設し、該
スタンド７にはパネル支持面で開口せる吸着孔８を長手
方向に亘り間隔的に多数並設する。上記ディスプレイパ
ネルＰの二辺乃至四辺を上記スタンド７で支持しつつ、
同一辺乃至四辺を吸着孔８で吸着保持する。
【００３１】他方、上記支持枠体１をプローブブロック
Ｂの支持手段として用いる場合には、同様に上記Ｙ軸駆
動枠材３とＸ軸従動枠材５と固定枠材２とＹ軸従動Ｘ軸
駆動枠材４の上記Ｙ軸移動とＸ軸移動とにより上記Ｙ軸
駆動枠材３とＸ軸従動枠材５と固定枠材２とＹ軸従動Ｘ
軸駆動枠材４で画成される窓６を拡大又は縮小する。そ
して上記各枠材３，５，２，４にスタンド７や吸着孔８
を設けずに、プローブブロックＢを螺子止めする取り付
け孔１１等の取り付け手段を設け、各枠材３，５，２，
４を上記の通り移動させて窓６を拡大又は縮小した後、
上記プローブブロックＢを各枠材３，５，２，４の一乃
至四に螺子止め等する。
【００３２】上記プローブブロックＢは多数の並列して
配置したリードを保有するプレート又はシートをフォル
ダーブロックに貼り合わせて成り、各リード端をフォル
ダーブロックから突出させてディスプレイパネルの各電
極パッド１２に加圧接触する端子１３を構成している。
【００３３】上記各枠材３，５，２，４相互はスライド
レールを介して上記所定のＸ軸動又は／及びＹ軸動する
ように連結する。
【００３４】詳述すると、枠材２，３間においては枠材
２の内側辺に沿ってＹ軸方向のレール９を設け、枠材３
に該レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑子１０が
レール９に沿って移動することにより枠材３のＹ軸方向
の移動を案内する。
【００３５】同様に、枠材３，４間においては枠材３の
内側辺に沿ってＸ軸方向のレール９を設け、枠材４に該
レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑子１０がレー
ル９に沿って移動することにより枠材４のＸ軸方向の移
動を案内する。
【００３６】同様に、枠材４，５間においては枠材４の
内側辺に沿ってＹ軸方向のレール９を設け、枠材５に該
レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑子１０に沿っ
てレール９が移動することにより枠材４のＹ軸方向の移
動を案内する。
【００３７】同様に、枠材５，２間においては枠材５の
内側辺に沿ってＸ軸方向のレール９を設け、枠材２に該
レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑子１０に沿っ
てレール９が移動することにより枠材５のＸ軸方向の移
動を案内する。
【００３８】第二の発明は、前記課題を解決するため、
検査対象であるディスプレイパネル又は検査用のプロー
ブブロックを支持する方形支持枠体１を次のように構成
する。
【００３９】方形の支持枠体１の一側辺を構成する枠材
を、該一側辺と直交する方向（Ｘ軸方向）に駆動可能な
Ｘ軸駆動枠材２′とする。
【００４０】Ｘ軸駆動枠材２′のＸ軸駆動機構は、第一
モーター１４、第一モーター１４により回転させられる
ボールねじ１５、ボールねじ１５の回転力をＸ軸駆動枠
材２′のＸ軸方向の駆動力に変える同枠材２′に取り付
けられたナット１６とにより構成されている。尚、Ｘ軸
駆動枠材２′は、Ｘ軸従動枠材５′の延在領域内におい
てＸ軸方向へ移動する。
【００４１】該Ｘ軸駆動枠材２′の一方に隣接する側辺
を構成しＸ軸駆動枠材２′によりＸ軸方向に従動可能で
Ｘ軸駆動枠材２′に沿った方向（Ｙ軸方向）に駆動可能
なＸ軸従動Ｙ軸駆動枠材３′を設ける。
【００４２】Ｘ軸従動Ｙ軸駆動枠材３′のＹ軸駆動機構
は、第二モーター１４、第二モーター１４により回転さ
せられるボールねじ１５、ボールねじ１５の回転力をＸ
軸従動Ｙ軸駆動枠材３′のＹ軸方向の駆動力に変える同
枠材３′に取り付けられたナット１６とにより構成され
ている。尚、Ｘ軸従動Ｙ軸駆動枠材３′は、Ｘ軸駆動枠
材２′の延在領域内においてＹ軸方向へ移動する。
【００４３】上記Ｘ軸駆動枠材２′に対向する側辺を構
成しＸ軸従動Ｙ軸駆動枠材３′によりＹ軸方向に従動可
能でＸ軸方向に駆動可能なＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材４′を
設ける。
【００４４】Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材４′のＸ軸駆動機構
は、第三モーター１４、第三モーター１４により回転さ
せられるボールねじ１５、ボールねじ１５の回転力をＹ
軸従動Ｘ軸駆動枠材４′のＸ軸方向の駆動力に変える同
枠材４′に取り付けられたナット１６とにより構成され
ている。尚、Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材４′は、Ｘ軸従動Ｙ
軸駆動枠材３′の延在領域内においてＸ軸方向へ移動す
る。モーター１４の回転量により駆動枠材２′，３′，
４′の移動量を設定する。
【００４５】Ｘ軸駆動枠材２′の他方に隣接する側辺を
構成しＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材４′によりＸ軸方向に従動
可能なＸ軸従動枠材５′を設ける。
【００４６】Ｘ軸従動Ｙ軸駆動枠材３′のＹ軸駆動とＸ
軸駆動枠材２′及びＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材４′のＸ軸駆
動とにより上記四辺の枠材３′，５′，４′，２′で画
成される窓６の拡大又は縮小を行う。
【００４７】該拡大又は縮小された窓６を画成する枠材
部に上記ディスプレイパネルＰ又は該ディスプレイパネ
ルに配された電極パッド１２に加圧接触するプローブブ
ロックＢを支持する。
【００４８】各枠材３′，５′，２′，４′の二乃至四
にはその長手方向に亘り細長く延在するスタンド７を突
設し、該スタンド７にはパネル支持面で開口せる吸着孔
８を長手方向に亘り間隔的に多数並設する。上記ディス
プレイパネルＰの二辺乃至四辺を上記スタンド７で支持
しつつ、同一辺乃至四辺を吸着孔８で吸着保持する。
【００４９】他方、上記支持枠体１をプローブブロック
Ｂの支持手段として用いる場合には、上記各枠材３′，
５′，２′，４′にスタンド７や吸着孔８を設けずに、
プローブブロックＢを螺子止めする取り付け孔１１等の
取り付け手段を設け、各枠材３′，５′，２′，４′を
上記の通り移動させて窓６を拡大又は縮小した後、上記
プローブブロックＢを各枠材３′，５′，２′，４′の
一乃至四に螺子止め等する。
【００５０】上記プローブブロックＢは多数の並列して
配置したリードを保有するプレート又はシートをフォル
ダーブロックに貼り合わせて成り、各リード端をフォル
ダーブロックから突出させてディスプレイパネルの各電
極パッド１２に加圧接触する端子１３を構成している。
【００５１】前記と同様に、上記各枠材３′，５′，
２′，４′相互はスライドレールを介して上記所定のＸ
軸動又は／及びＹ軸動するように連結する。
【００５２】詳述すると、枠材２′，３′間においては
枠材２′の内側辺に沿ってＹ軸方向のレール９を設け、
枠材３′に該レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑
子１０がレール９に沿って移動することにより枠材３′
のＹ軸方向の移動を案内する。
【００５３】同様に、枠材３′，４′間においては枠材
３′の内側辺に沿ってＸ軸方向のレール９を設け、枠材
４′に該レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑子１
０がレール９に沿って移動することにより枠材４′のＸ
軸方向の移動を案内する。
【００５４】同様に、枠材４′，５′間においては枠材
４′の内側辺に沿ってＹ軸方向のレール９を設け、枠材
５′に該レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑子１
０がレール９に沿って移動することにより枠材４′のＹ
軸方向の移動を案内する。
【００５５】同様に、枠材５′，２′間においては枠材
５′の内側辺に沿ってＸ軸方向のレール９を設け、枠材
２′に該レール９と滑合する滑子１０を設け、該滑子１
０がレール９に沿って移動することにより枠材２′のＸ
軸方向の移動を案内する。
【００５６】上記第一、第二の発明における枠材２乃至
５相互間、枠材２′乃至５′相互間は夫々Ｘ軸方向又は
Ｙ軸方向において離間しないよう交叉組みする。
【００５７】次に検査手順について説明する。プローブ
ブロックＢの取り付けられた支持枠体１とディスプレイ
パネルＰが吸着支持される支持枠体１の一方又は双方を
上記構造とし、図１３に示す位置に対置し、ディスプレ
イパネルＰの支持枠体１を図１３の矢印方向に前進さ
せ、プローブブロックＢの端子１３にディスプレイパネ
ルＰの各電極パッド１２を加圧接触させて検査を行う。
図１４がこの状態を示す。検査終了後は、加圧接触を解
除し、その後プローブブロックＢの支持枠体１が拡大
し、ディスプレイパネルＰの交換が行われ、次の検査に
移行する。
【００５８】図６は、他の検査装置に関するもので、支
持枠体１に取り付けたプローブブロックＢにより４枚の
ディスプレイパネルＰを検査する状態を示す斜視図であ
る。プローブブロックＢが取り付けられた支持枠体１
は、一枚のディスプレイパネルＰの大きさに合致させて
形成されている。他方、４枚のディスプレイパネルＰは
Ｘ軸方向（前後方向）、Ｙ軸方向（左右方向）及びＺ軸
方向（上下方向）に移動可能なステージ（図示されてい
ない）に載置されたアレー１７に配置されている。
【００５９】検査に際してはプローブブロックＢの取り
付けられた支持枠体１は移動せず、ステージをＸ軸方向
Ｙ軸方向に移動させ、ディスプレイパネルＰとプローブ
ブロックＢの端子１３の位置合わせを行った後、ステー
ジを介してディスプレイパネルＰを上昇させ、プローブ
ブロックＢの端子１３にディスプレイパネルＰの各電極
パッド１２を加圧接触させて検査を行う。最初のディス
プレイパネルＰの検査が終了したら、ステージを次の検
査対象ディスプレイパネルＰをプローブブロックＢに向
かってＸ軸方向Ｙ軸方向に移動させ、位置合わせを行っ
た後、上昇させ、同様に検査を行うのである。
【００６０】
【発明の効果】本発明によれば、枠材のＸ軸動とＹ軸動
とによって、各種大きさのディスプレイパネルに対応し
た大きさの支持枠体を容易に形成でき、同様に該ディス
プレイパネルの大きさに対応した検査用プローブ支持枠
体を容易に形成でき、これにより１台の検査装置を大き
さの異なる各種ディスプレイパネルに適合させることが
でき、極めて経済的であって、検査作業の効率の向上と
検査コストの低減を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】第一の発明における実施形態例を示すディスプ
レイパネル又はプローブブロックの支持枠体の斜視図。
【図２】同枠体を縮小状態にしてディスプレイパネルを
支持した状態を以って示す平面図。
【図３】同枠体を拡大状態にしてディスプレイパネルを
支持した状態を以って示す平面図。
【図４】同枠体を縮小状態にしてプローブブロックを支
持した状態を以って示す平面図。
【図５】同枠体を拡大状態にしてプローブブロックを支
持した状態を以って示す平面図。
【図６】同枠体に取り付けたプローブブロックによりデ
ィスプレイパネルの単位を複数単位並設した集合パネル
を検査する状態を示す斜視図。
【図７】第二の発明におけるディスプレイパネル又はプ
ローブブロックの支持枠体を縮小状態にしてディスプレ
イパネルを支持した状態を以って示す平面図。
【図８】同枠体を拡大状態にしてディスプレイパネルを
支持した状態を以って示す平面図。
【図９】同枠体を縮小状態にしてプローブブロックを支
持した状態を以って示す平面図。
【図１０】同枠体を拡大状態にしてプローブブロックを
支持した状態を以って示す平面図。
【図１１】枠体の連結部分の拡大平面図。
【図１２】同断面図。
【図１３】プローブブロック支持枠体とパネル支持枠体
の相対配置を接触解除状態を以って示す断面図。
【図１４】プローブブロック支持枠体とパネル支持枠体
の相対配置を接触状態を以って示す断面図。
【符号の説明】
１ 支持枠体 ２ 固定枠材 ３ Ｙ軸駆動枠材 ４ Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材 ５ Ｘ軸従動枠材 ２′ Ｘ軸駆動枠材 ３′ Ｘ軸従動Ｙ軸駆動枠材 ４′ Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材 ５′ Ｘ軸従動枠材 ６ 窓 ７ スタンド ８ 吸着孔 ９ レール １０ 滑子 １１ 取り付け孔 １２ 電極パッド １３ 端子 １４ モーター １５ ねじ １６ ナット １７ アレー Ｐ ディスプレイパネル Ｂ プローブブロック
フロントページの続き (72)発明者 長島 正智 神奈川県川崎市高津区坂戸三丁目２番１ 号 株式会社双晶テック内 (56)参考文献 特開 平10−185956（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−77560（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−78122（ＪＰ，Ａ) 特開 平11−40302（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−65249（ＪＰ，Ａ) 特開 平９−21987（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G09F 9/00 G02F 1/13 G02F 1/137 - 1/141 G01R 1/06 - 1/073 G01R 31/28 - 31/319 H01L 21/68

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】検査対象であるディスプレイパネル又は検
    査用のプローブブロックを支持する方形支持枠体であっ
    て、該方形支持枠体の四辺の枠材が方形の一側辺を構成
    する固定枠材（２）と、固定枠材（２）の一方に隣接す
    る側辺を構成し固定枠材（２）に沿った方向（Ｙ軸方
    向）に駆動可能にスライドレールを介して交叉組みされ
    たＹ軸駆動枠材（３）と、固定枠材（２）に対向する側
    辺を構成しＹ軸駆動枠材（３）によりＹ軸方向に従動可
    能で固定枠材（２）に対して接近離間する方向（Ｘ軸方
    向）に駆動可能にスライドレールを介して交叉組みされ
    たＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材（４）と、固定枠材（２）の他
    方に隣接する側辺を構成しＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材（４）
    によりＸ軸方向に従動可能にスライドレールを介して交
    叉組みされたＸ軸従動枠材（５）とからなり、上記Ｙ軸
    駆動枠材（３）のＹ軸駆動機構は第一モーターと第一モ
    ーターにより回転させられるボールねじとボールねじの
    回転力をＹ軸駆動枠材（３）のＹ軸方向の駆動力に変え
    る同枠材（３）に取り付けられたナットとにより構成
    し、同様に上記Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材（４）のＸ軸駆動
    機構は第二モーターと第二モーターにより回転させられ
    るボールねじとボールねじの回転力をＹ軸従動Ｘ軸駆動
    枠材（４）のＸ軸方向の駆動力に変える同枠材（４）に
    取り付けられたナットとにより構成して上記ボールねじ
    の回転によるＹ軸駆動枠材（３）のＹ軸駆動とＹ軸従動
    Ｘ軸駆動枠材（４）のＸ軸駆動とにより上記四辺の枠材
    （２），（３），（４），（５）で画成される窓を拡大
    又は縮小し、該拡大又は縮小された窓を画成する枠材部
    に上記ディスプレイパネル又は該ディスプレイパネルに
    配された電極パッドに加圧接触するプローブブロックを
    支持する構成としたことを特徴とするディスプレイパネ
    ル又はプローブブロックの支持枠体。
  2. 【請求項２】検査対象であるディスプレイパネル又は検
    査用のプローブブロックを支持する方形支持枠体であっ
    て、該方形支持枠体の四辺の枠材が方形の一側辺を構成
    し該一側辺と直交する方向（Ｘ軸方向）に駆動可能なＸ
    軸駆動枠材（２′）と、該Ｘ軸駆動枠材（２′）の一方
    に隣接する側辺を構成しＸ軸駆動枠材（２′）によりＸ
    軸方向に従動可能でＸ軸駆動枠材（２′）に沿った方向
    （Ｙ軸方向）に駆動可能にスライドレールを介して交叉
    組みされたＸ軸従動Ｙ軸駆動枠材（３′）と、上記Ｘ軸
    駆動枠材（２′）に対向する側辺を構成しＸ軸従動Ｙ軸
    駆動枠材（３′）によりＹ軸方向に従動可能でＸ軸方向
    に駆動可能にスライドレールを介して交叉組みされたＹ
    軸従動Ｘ軸駆動枠材（４′）と、Ｘ軸駆動枠材（２′）
    の他方に隣接する側辺を構成しＹ軸従動Ｘ軸駆動枠材
    （４′）によりＸ軸方向に従動可能にスライドレールを
    介して交叉組みされたＸ軸従動枠材（５′）とからな
    り、上記Ｘ軸駆動枠材（２′）のＸ軸駆動機構は第一モ
    ーター１４と第一モーターにより回転させられるボール
    ねじとボールねじの回転力をＸ軸駆動枠材（２′）のＸ
    軸方向の駆動力に変える同枠材（２′）に取り付けられ
    たナットとにより構成し、同様に上記Ｘ軸従動Ｙ軸駆動
    枠材（３′）のＹ軸駆動機構は第二モーターと第二モー
    ターにより回転させられるボールねじとボールねじの回
    転力をＸ軸従動Ｙ軸駆動枠材（３′）のＹ軸方向の駆動
    力に変える同枠材（３′）に取り付けられたナットとに
    より構成し、同様に上記Ｙ軸従動Ｘ軸駆動枠材（４′）
    のＸ軸駆動機構は第三モーターと第三モーターにより回
    転させられるボールねじとボールねじの回転力をＹ軸従
    動Ｘ軸駆動枠材（４′）のＸ軸方向の駆動力に変える同
    枠材（４′）に取り付けられたナットとにより構成して
    上記ボールねじの回転によるＸ軸従動Ｙ軸駆動枠材
    （３′）のＹ軸駆動とＸ軸駆動枠材（２′）及びＹ軸従
    動Ｘ軸駆動枠材（４′）のＸ軸駆動とにより上記四辺の
    枠材（２′），（３′），（４′），（５′）で画成さ
    れる窓を拡大又は縮小し、該拡大又は縮小された窓を画
    成する枠材部に上記ディスプレイパネル又は該ディスプ
    レイパネルに配された電極パッドに加圧接触するプロー
    ブブロックを支持する構成としたことを特徴とするディ
    スプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体。
JP2000276573A 2000-09-12 2000-09-12 ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体 Expired - Lifetime JP3480925B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000276573A JP3480925B2 (ja) 2000-09-12 2000-09-12 ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体
KR1020010051455A KR100786631B1 (ko) 2000-09-12 2001-08-24 디스플레이 패널 또는 프로브 블록의 지지틀
EP01307712A EP1186899A3 (en) 2000-09-12 2001-09-11 Supporting framework for display panel or probe block
TW090122498A TW515907B (en) 2000-09-12 2001-09-11 Supporting framework for display panel or probe block
US09/949,976 US6556004B2 (en) 2000-09-12 2001-09-12 Supporting framework for display panel or probe block
CNB011328800A CN1188733C (zh) 2000-09-12 2001-09-12 显示板或探测器块的支撑框架

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000276573A JP3480925B2 (ja) 2000-09-12 2000-09-12 ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002091336A JP2002091336A (ja) 2002-03-27
JP3480925B2 true JP3480925B2 (ja) 2003-12-22

Family

ID=18762009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000276573A Expired - Lifetime JP3480925B2 (ja) 2000-09-12 2000-09-12 ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体

Country Status (6)

Country Link
US (1) US6556004B2 (ja)
EP (1) EP1186899A3 (ja)
JP (1) JP3480925B2 (ja)
KR (1) KR100786631B1 (ja)
CN (1) CN1188733C (ja)
TW (1) TW515907B (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007163426A (ja) * 2005-12-16 2007-06-28 Micronics Japan Co Ltd 表示パネル検査装置
KR100873743B1 (ko) * 2006-09-06 2008-12-12 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 검사 장치

Families Citing this family (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1309248C (zh) * 2002-08-02 2007-04-04 Nec液晶技术株式会社 显示器和显示板的支撑框架及其制造方法
KR100920377B1 (ko) * 2003-02-25 2009-10-07 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치의 검사장치 및 방법
KR100951904B1 (ko) 2003-04-08 2010-04-09 삼성전자주식회사 액정표시모듈 신뢰성 테스트 장치
KR100971959B1 (ko) 2003-12-30 2010-07-23 엘지디스플레이 주식회사 멀티글라스 지지유닛
KR100648467B1 (ko) * 2004-08-27 2006-11-24 주식회사 디이엔티 다종 유리기판 검사장치
JP2006138634A (ja) * 2004-10-15 2006-06-01 Micronics Japan Co Ltd 表示用パネルの検査装置に用いられる電気的接続装置
JP4570930B2 (ja) * 2004-10-22 2010-10-27 株式会社日本マイクロニクス パネルの検査装置に用いられる電気的接続装置
KR100625510B1 (ko) * 2004-12-06 2006-09-20 주식회사 파이컴 평판디스플레이 패널 검사장치의 패널공급장치 및 이에 사용되는 서브 테이블
KR100776177B1 (ko) * 2004-12-17 2007-11-16 주식회사 디이엔티 평판 표시패널 검사장치용 워크 테이블
KR100731308B1 (ko) * 2005-03-29 2007-06-25 (주)유비프리시젼 엘씨디 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널 지지장치
JP4576294B2 (ja) * 2005-06-22 2010-11-04 日置電機株式会社 回路基板検査装置
KR100733276B1 (ko) * 2005-07-29 2007-06-28 주식회사 파이컴 디스플레이 패널의 검사 장비와 이를 이용한 디스플레이패널 검사 방법
KR100748072B1 (ko) * 2005-08-01 2007-08-09 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 표시패널의 전기검사장치
JP4533271B2 (ja) * 2005-08-01 2010-09-01 株式会社日本マイクロニクス 表示パネルの電気検査装置
US8134377B1 (en) 2005-08-31 2012-03-13 Lecroy Corporation Adherable holder and locater tool
JP4989911B2 (ja) * 2006-03-31 2012-08-01 株式会社日本マイクロニクス 可動式プローブユニット及び検査装置
KR100798649B1 (ko) 2006-05-03 2008-01-28 (주)넥스디스플레이 백 라이트 유닛 검사 장치
JP5137336B2 (ja) * 2006-05-29 2013-02-06 株式会社日本マイクロニクス 可動式プローブユニット機構及び電気検査装置
JP4808135B2 (ja) * 2006-11-09 2011-11-02 株式会社日本マイクロニクス プローブ位置合わせ方法及び可動式プローブユニット機構並びに検査装置
TWI439709B (zh) * 2006-12-29 2014-06-01 Intest Corp 用於使負載沿平移軸線平移之操縱器與負載定位系統
KR100913188B1 (ko) * 2008-05-02 2009-08-20 (주)유비프리시젼 디스플레이 패널 검사장치용 워크테이블의 다규격 패널지지장치
CN102054413B (zh) * 2009-11-06 2014-03-26 日本麦可罗尼克斯股份有限公司 平板状被检查体的测试装置
KR101237042B1 (ko) * 2012-10-05 2013-02-26 (주)대동정공 엘시디 패널 홀더
JP6084426B2 (ja) * 2012-10-15 2017-02-22 株式会社日本マイクロニクス 検査装置
CN103292759B (zh) * 2013-06-04 2016-02-24 昆山电子羽电业制品有限公司 一种显示屏前框检测治具
CN105509984A (zh) * 2014-09-22 2016-04-20 神讯电脑(昆山)有限公司 玻璃落球测试装置及其玻璃放置结构
CN105093634A (zh) * 2015-09-11 2015-11-25 昆山精讯电子技术有限公司 显示面板的支撑平台及显示面板检测装置
KR101974172B1 (ko) * 2018-06-01 2019-04-30 (주) 나노에이스 크기가 다른 반도체칩 검사를 위한 변위형 지지체
CN108806568B (zh) * 2018-08-03 2023-09-12 武汉精测电子集团股份有限公司 显示面板自动拔线治具
CN108828809A (zh) * 2018-08-31 2018-11-16 中电装备山东电子有限公司 一种检测液晶显示的装置及方法
CN109360518B (zh) * 2018-09-06 2023-09-29 武汉精测电子集团股份有限公司 一种显示面板自动对位微调载具
KR102097456B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
KR102097455B1 (ko) * 2019-07-01 2020-04-07 우리마이크론(주) 디스플레이 패널 검사를 위한 프로브 블록 조립체, 이의 제어 방법 및 디스플레이 패널 검사 장치
CN214025309U (zh) * 2020-10-30 2021-08-24 京东方科技集团股份有限公司 测试夹具
CN112595725A (zh) * 2020-11-30 2021-04-02 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种检测载物台及检测系统
TWI802172B (zh) * 2021-12-24 2023-05-11 尹鑽科技有限公司 液晶面板電路檢測裝置
CN114965502B (zh) * 2022-05-23 2025-01-10 厦门特仪科技有限公司 一种点灯测试模组

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5391376A (en) * 1977-01-24 1978-08-11 Hirohide Yano Device for inspecting printed board
US4648585A (en) * 1985-06-07 1987-03-10 Yang Tai Her Vise structure having articulatable vise jaws
TW312749B (ja) * 1994-07-26 1997-08-11 Tokyo Electron Co Ltd
JPH1140302A (ja) * 1997-07-25 1999-02-12 Nec Corp フリーサイズｌｓｉピン変換治具
US6003571A (en) * 1998-09-30 1999-12-21 Broussard; Dwayne J. Flower like rosette cutting device

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007163426A (ja) * 2005-12-16 2007-06-28 Micronics Japan Co Ltd 表示パネル検査装置
KR100873743B1 (ko) * 2006-09-06 2008-12-12 가부시키가이샤 니혼 마이크로닉스 검사 장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN1188733C (zh) 2005-02-09
CN1343901A (zh) 2002-04-10
JP2002091336A (ja) 2002-03-27
US20020030149A1 (en) 2002-03-14
EP1186899A3 (en) 2003-08-06
US6556004B2 (en) 2003-04-29
KR20020020997A (ko) 2002-03-18
KR100786631B1 (ko) 2007-12-21
TW515907B (en) 2003-01-01
EP1186899A2 (en) 2002-03-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3480925B2 (ja) ディスプレイパネル又はプローブブロックの支持枠体
CN111421800A (zh) 一种车用液晶显示屏自动贴膜设备
CN111844181B (zh) 一种用于lcd显示屏的高精度表面处理装置
JP2001179559A (ja) Ｎｃマシンの吸着テーブル装置
CN111679462A (zh) 一种压接装置
US20230302587A1 (en) Fixing device and welding equipment having the same
CN115780279B (zh) 具有自动除尘结构的线路板检测设备
CN217322312U (zh) 残材分离装置及其残材去除设备
CN111070505A (zh) 一种循环加工装置
CN201063083Y (zh) 用以定位液晶面板的气浮式工作台
CN112678496A (zh) 一种用于Mini LED显示装置的双工位贴压敏胶装置
CN114838918A (zh) 一种显示屏边缘检测装置
CN114505827A (zh) 玻璃支撑装置、玻璃边缘缺陷的检测装置及检测系统
CN217259056U (zh) 用于硬质材料印刷的靠角自动定位装置
CN222643663U (zh) 保压设备
CN221602390U (zh) 一种自动多面点胶装置
CN223865742U (zh) 一种晶圆排片机检测装置的检测工台
CN223400808U (zh) 一种玻璃产品快换平台检测设备
CN221916325U (zh) 分离及搬运装置
CN217349626U (zh) 一种板材的多轴连杆定位机构
CN222189151U (zh) 一种全面手机屏及检测治具
CN223883327U (zh) 一种电子设备接口检测设备
CN114326172B (zh) 一种用于显示屏模组组装的手工通用冶具
CN220368858U (zh) 一种高阶板拆pin机
CN220357373U (zh) 一种手动对位调整机构

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

R360 Written notification for declining of transfer of rights

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360

R371 Transfer withdrawn

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371

S111 Request for change of ownership or part of ownership

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071010

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101010

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111010

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121010

Year of fee payment: 9