JP4879181B2 - ワークハンドリング装置 - Google Patents
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Description
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ＩＣ、ＬＳＩ、ＣＰＵ等の半導体チップ、その他の電子部品等のワークを収容する汎用トレイと、ワークに対して試験，検査等の処理を施す際に汎用トレイと異なる間隔でワークを収容する専用の処理用トレイとの間でのワークの移し替え、あるいは、汎用トレイ及び処理用トレイの搬送、位置決め等を行うワークハンドリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ等のワークに対して試験あるいは検査等の各種の処理を施すために、ワークは複数の処理工程に亘って搬送される。このワークの搬送を効率良く行うために、複数のワークを同時に収容し得る汎用トレイが用いられている。
すなわち、複数のワークを汎用トレイに配列した状態で収容して、各種の処理工程に順次に搬送し、各々の処理工程でワークを一つずつ又は複数個まとめて汎用トレイから取り出して所定の処理を施し、再び汎用トレイに戻して次の処理工程に搬送している。
ここで、試験，検査等の所定の処理を施す処理工程においては、最適な処理を行えるように、汎用トレイとは収容ピッチ等が異なる専用の処理用トレイにワークを移し替えて処理を施し、その処理が完了したワークを再び汎用トレイに戻して次の処理工程に搬送している。
【０００３】
この専用の処理用トレイは、汎用トレイの収容ピッチ（間隔）とは異なる収容ピッチで、複数のワークを収容して保持するように形成されている。したがって、汎用トレイと処理用トレイとの間で、ワークを移し替える作業が発生する。
このように、汎用トレイと処理用トレイとの間でワークの移し替えを行う従来のワークハンドリング装置としては、ワークを汎用トレイから処理用トレイに移し替える二つのローダ、ワークを処理用トレイから汎用トレイに移し替える二つのアンローダを備え、二つのローダに対してワークの列又は行の間隔（ピッチ）を変更可能な可変機構を設け、又、二つのアンローダに対して同様に列又は行の間隔（ピッチ）を変更可能な可変機構を設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、この装置においては、ローダ及びアンローダにそれぞれ可変機構を設け、この可変機構を駆動させることにより、ワークを収容する間隔（ピッチ）を調整するようになっているため、間隔を変更するための変更動作に時間を要し、移し替え動作の高速化の点では好ましくない。また、可変機構が複雑になると、機能上の信頼性が低下するため、所望される間隔（収容ピッチ）に確実に変更されているか否か確認する必要がある。さらに、可変機構を設けるため、ローダ及びアンローダの大型化及び重量化を招き、又、繰り返し動作と相俟ってワークの保持ミスを生じる虞がある。また、小さな部品の取扱いにおいては、取り出しや載置時の停止精度が重要になるが、部品を移し替える際の機構が多いと各々の機構ごとに発生する機械誤差が累積され、部品の取り出しや載置の停止位置の精度が悪くなり、部品の取り出しミスや載置ミスを生じる虞がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【特許文献１】
特開２００２−１７４６５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、構造の簡略化、各機構の集約化、装置全体として小型化、設置面積の省スペース化、ワークの移し替えに要する時間の短縮化等を図りつつ、半導体チップ、基板、その他の電子部品等のワークに対して、試験、検査、測定、加工、組付け等の各種の処理を効率良く施すことができ、生産性を向上させることができるワークハンドリング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成する本発明のワークハンドリング装置は、複数のワークを同時に収容し得る汎用トレイと、ワークに対して所定の処理を施す処理エリアに対してワークを搬入及び搬出する処理用トレイとの間で、ワークを移し替えるワークハンドリング装置であって、複数の汎用トレイをその上面において左右方向に配列して保持し得る汎用トレイテーブル、汎用トレイテーブルを左右方向に移動自在に支持する汎用トレイガイドレール、汎用トレイテーブルを左右方向に所定のピッチで移動させる汎用トレイ駆動機構を備える汎用トレイ保持ユニットと、汎用トレイ保持ユニットに隣接して前後方向の後方に配列され、処理用トレイをその上面に保持し得る処理用トレイテーブル、処理用トレイテーブルを左右方向に移動自在に支持する処理用トレイガイドレール、処理用トレイテーブルを左右方向に所定のピッチで移動させる処理用トレイ駆動機構を備える処理用トレイ保持ユニットと、汎用トレイテーブルに保持された汎用トレイと処理用トレイテーブルに保持された処理用トレイとの間でワークを移し替えるべくワークを保持し得る保持ヘッド、保持ヘッドを上下方向に昇降する昇降機構、昇降機構を前後方向の所定の位置に移動させるべく前後方向に伸長するガイド機構をそれぞれ備え、左右方向に配列された２つのワーク移載ユニットと、を含む構成となっている。
この構成によれば、未処理のワークを汎用トレイから処理用トレイに移し替えるとき、又、処理エリアで所定の処理が済んだ処理済みワークを処理用トレイから汎用トレイに移し替えるとき、汎用トレイ保持ユニットと処理用トレイ保持ユニットが所定の収容ピッチに合わせて適宜左右方向に移動させられて、所定の取り出し位置及び収容位置に位置決めされると共に、ワーク移載ユニットが前後方向に移動して汎用トレイと処理用トレイとの間でワークを搬送すると共に上下方向に移動してワークを取り出し又ワークを収容して、汎用トレイと処理用トレイとの間でワークを移し替える。
このように、汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットが適宜左右方向に移動して、取り出し及び収容の対象となるワークを常に左右方向においてワーク移載ユニットの下方に位置付け、ワーク移載ユニットが上下方向及び前後方向に移動してワークを移し替えるため、ワークを高速で移動させることができ、移し替え動作の高速化を達成できる。また、汎用トレイ保持ユニット、処理用トレイ保持ユニット、及びワーク移載ユニットが平面内の一方向（左右方向Ｙ、又は、前後方向Ｘ）にのみ移動する一つの移動機構を採用しているので、汎用トレイと処理用トレイとの間でワークを移し替える際に、機械誤差が小さくなり停止位置精度が向上する。その結果、小さなワークでも正確に取り出して移載することができる。
さらに、複数の汎用トレイが左右方向に配列して設けられると共に２つのワーク移載ユニットが設けられているため、汎用トレイ保持ユニットにより汎用トレイを左右方向に適宜移動させかつ処理用トレイ保持ユニットにより処理用トレイを左右方向に適宜移動させて、一方のワーク移載ユニットにより未処理のワークを搬入（ロード）し、他方のワーク移載ユニットにより処理済みのワークを例えばその処理結果（良品、不良品等）に応じて搬出（アンロード）することができ、それ故に、ワークの移し替えを短時間でかつ効率良く行うことができ、全体としてのワークの取扱いに要する時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【０００８】
上記構成の装置において、汎用トレイ保持ユニットは、保持する汎用トレイの収容部を左右方向において２つのワーク移載ユニットの下方に位置付けし、処理用トレイ保持ユニットは、保持する処理用トレイの収容部を左右方向において２つのワーク移載ユニットの下方に位置付けし、２つのワーク移載ユニットの一方により汎用トレイから処理用トレイにワークの移し替えを行うと共に２つのワーク移載ユニットの他方により処理用トレイから汎用トレイにワークの移し替えを行う、構成を採用することができる。
この構成によれば、一方のワーク移載ユニットにより、一つの汎用トレイから処理用トレイに未処理のワークを移し替えつつ、他方のワーク移載ユニットにより、処理用トレイから他の汎用トレイに処理が済んだワークを移し替えることで未処理ワークの移し替えと処理済みワークの移し替えとを同時に行うことができ、別々に移し替えを行う場合に比べて全体として移し替えに要する時間を短縮できる。
【０００９】
上記構成の装置において、複数の汎用トレイには、未処理のワークを収容する未処理用の汎用トレイ及び処理済みのワークを収容し得る処理済み用の汎用トレイが含まれ、処理済み用の汎用トレイは、所定の検査を満たすワークを収容する良品用の汎用トレイと、所定の検査を満たさないワークを収容する不良品用の汎用トレイとを含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、ワークに対して所定の検査が施された後、良品のワークが処理用トレイから良品用の汎用トレイに、又、不良品のワークが処理用トレイから不良品用の汎用トレイに、それぞれ分類して移し替えられる。このように、検査済みのワークを、移し替え作業と同時に効率良く良品、不良品に分類することができ、全体としての工程を簡素化することができる。
【００１０】
上記構成の装置において、汎用トレイ保持ユニットは、ワーク移載ユニットによりワークの移し替えが行われる後方位置と汎用トレイを供給又は回収する前方位置との間で前後方向に汎用トレイテーブルを移動させるスライダ、スライダを前後方向に駆動する駆動機構を備える、構成を採用することができる。
この構成によれば、駆動機構によりスライダを前後方向に駆動して、汎用トレイテーブルを前後方向の前方位置に移動させることで、汎用トレイの供給又は回収を行うことができ、一方、汎用トレイテーブルを前後方向の後方位置に移動させることで、ワーク移載ユニットによりワークの移し替えを行うことができる。
【００１１】
上記構成の装置において、上記前方位置に位置する汎用トレイテーブルに対して汎用トレイの移し替えを行う汎用トレイ移載ユニットと、汎用トレイ保持ユニットよりも前後方向の前方において、汎用トレイを所定の供給位置にて供給する汎用トレイ供給ユニットと、汎用トレイ移載ユニットにより保持された汎用トレイを所定の回収位置にて回収する汎用トレイ回収ユニットと、をさらに含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、汎用トレイ保持ユニット（汎用トレイテーブル）が前方位置に移動すると、汎用トレイ移載ユニットにより、汎用トレイ供給ユニットから汎用トレイ保持ユニット（汎用トレイテーブル）に向けてワークを収容した汎用トレイ又は空の汎用トレイが供給され、又、汎用トレイ保持ユニット（汎用トレイテーブル）から汎用トレイ回収ユニットに向けて汎用トレイが回収される。このように、一連の流れ作業の中で汎用トレイの供給と回収を効率良く行うことができる。
【００１２】
上記構成の装置において、汎用トレイ移載ユニットは、左右方向に伸長するガイドフレーム、ガイドフレームに沿って左右方向に移動するスライダ機構、スライダ機構に保持されて上下方向に昇降する昇降機構、昇降機構により上下方向に昇降させられると共に汎用トレイを保持する保持機構を備え、上記前方位置、供給位置、及び回収位置は、汎用トレイ移載ユニットの移動範囲を画定するガイドフレームに沿った左右方向に直線状に配列されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、汎用トレイ移載ユニットが、左右方向に伸長するガイドフレーム、スライダ機構、昇降機構、保持機構を備え、前方位置、供給位置、及び回収位置がガイドフレームに沿った左右方向に直線状に配列されているため、汎用トレイ移載ユニットを左右方向及び上下方向を含む平面内で移動させるだけで、前方位置、供給位置、及び回収位置において、移動行程（行路長さ）の短縮化及装置の集約化を達成しつつ、汎用トレイの移し替え（供給、回収）を高精度に行うことができる。
【００１５】
上記構成の装置において、汎用トレイ保持ユニット、処理トレイ保持ユニット、及びワーク移載ユニットによりワーク移載機構が形成され、このワーク移載機構は左右方向に配列して２つ設けられ、上記前方位置に位置する汎用トレイテーブルに対して汎用トレイの移し替えを行う汎用トレイ移載ユニットと、汎用トレイ移載ユニットの移動範囲内において汎用トレイ保持ユニットに保持されている既存の汎用トレイを一時的に待機させる汎用トレイ待機エリアと、をさらに含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、汎用トレイ保持ユニット、処理トレイ保持ユニット、及びワーク移載ユニットからなるワーク移載機構を２つ設けたことにより、ワークの移し替えを、より一層短時間でかつ連続して行うことができ、全体としてのワークの取り扱いに要する時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
また、汎用トレイ待機エリアを設けたことにより、例えば、処理済みのワークを収容する汎用トレイが満たされていない場合、その汎用トレイを汎用トレイ待機エリアに一時的に待機させることができ、又、異なる種類のワークを処理する割込み指令があった場合に、先行する汎用トレイを一時的に汎用トレイ待機エリアに待機させることができ、さらには、汎用トレイ保持ユニットに供給する汎用トレイ又は汎用トレイ保持ユニットから回収する汎用トレイを一時的に汎用トレイ待機エリアに待機させて供給タイミング又は回収タイミングを調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
図１は、本発明に係るワークハンドリング装置の一実施形態を示す平面図である。
図２は、図１に示すワークハンドリング装置の正面図である。
図３は、図１に示すワークハンドリング装置の側面図である。
図４は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットの平面図である。
図５は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットの正面図である。
図６は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットの側面図である。
図７Ａ，図７Ｂ，図７Ｃは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなすワーク移載ユニットの平面図，側面図，正面図である。
図８Ａ，図８Ｂは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす処理用トレイ移送ユニットの平面図，正面図である。
図９は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす処理用トレイ移送ユニットの側面図である。
図１０Ａ，図１０Ｂ，図１０Ｃは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ供給ユニット及び汎用トレイ回収ユニットの側面図，正面図，平面図である。
図１１Ａ，図１１Ｂ，図１１Ｃは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ移載ユニットの側面図，正面図，平面図である。
図１２は、本発明に係るワークハンドリング装置の他の実施形態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の最良の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。
このワークハンドリング装置は、図１に示すように、左右方向Ｙに配列された二つの移載エリアＡ１，Ａ２、二つの移載エリアＡ１，Ａ２の後方に隣接して配置された処理用トレイ移送エリアＡ３、処理用トレイ移送エリアＡ３の後方に隣接し配置された処理エリアＡ４、移載エリアＡ１の前方に隣接して配置された汎用トレイ供給エリアＡ５、移載エリアＡ２の前方に隣接して配置された汎用トレイ回収エリアＡ６、汎用トレイ供給エリアＡ５と汎用トレイ回収エリアＡ６との間に配置されて汎用トレイを待機させる汎用トレイ待機エリアＡ７等を備えている。
【００１８】
ここで、汎用トレイＴ１は、未処理のワークあるいは処理済みのワークを搬送するために用いられるものであり、図４に示すように、所定のピッチで升目状に配列された複数の収容部Ｔ１ａを備えている。また、汎用トレイＴ１には、未処理のワークを収容する未処理用の汎用トレイＴ１、処理済みのワークを収容する処理済み用の汎用トレイＴ１、ワークを収容していない空の汎用トレイＴ１が含まれる。また、処理済み用の汎用トレイＴ１には、所定の検査を満たすワークを収容する良品用の汎用トレイＴ１、所定の検査を満たさない不良品用の汎用トレイＴ１が含まれる。
一方、処理用トレイＴ２は、未処理のワークあるいは処理済みのワークを処理エリアＡ４に対して搬入及び搬出するために用いられるものであり、図４に示すように、汎用トレイＴ１とは異なる所定のピッチで升目状に配列された複数の収容部Ｔ２ａを備えている。
【００１９】
移載エリアＡ１，Ａ２には、図１ないし図３に示すように、ワークを収容し得る汎用トレイＴ１を保持して左右方向Ｙに移動し得る汎用トレイ保持ユニット１０、汎用トレイ保持ユニット１０に隣接して前後方向Ｘの後方に配列され，処理エリアＡ４に対してワークを搬入及び搬出する処理用トレイＴ２を保持して左右方向Ｙに移動し得る処理用トレイ保持ユニット２０、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークを移し替えるべく前後方向Ｘ及び上下方向Ｚに移動し得るワーク移載ユニット３０が設けられている。
そして、この汎用トレイ保持ユニット１０、処理用トレイ保持ユニット２０、及びワーク移載ユニット３０によりワーク移載機構が構成され、このワーク移載機構が移載エリアＡ１，Ａ２にそれぞれ、左右方向Ｙに２つ配列して設けられている。
【００２０】
汎用トレイ保持ユニット１０は、図１、図３ないし図６に示すように、略矩形の輪郭をなすと共にその上面に複数（ここでは３つ）の汎用トレイＴ１を保持するテーブル１１、テーブル１１を左右方向Ｙに移動自在に支持するガイドレール１２、テーブル１１を左右方向Ｙに移動させる駆動機構１３、テーブル１１を前後方向Ｘに移動させるスライダ１４、スライダ１４を前後方向Ｘに駆動する駆動機構１５等により形成されている。
ここで、駆動機構１３としては、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及びテーブル１１に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構等が適用される。駆動機構１５としては、駆動機構１３と同様に、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及びスライダ１４に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構、あるいは油圧式や空気圧式の伸縮アクチュエータ等が適用される。
【００２１】
すなわち、汎用トレイ保持ユニット１０に保持された汎用トレイＴ１と処理用トレイ保持ユニット２０に保持された処理用トレイＴ２と間でワークを移載する場合は、テーブル１１が、駆動機構１３により左右方向Ｙに所定のピッチで駆動され、移載の対象となるワーク又は移載されるワークを収容する収容部Ｔ１ａを左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の直下に位置付けるようになっている。
また、汎用トレイＴ１の供給又は回収の場合は、スライダ１４が、駆動機構１５により前後方向Ｘに駆動されて、ワーク移載ユニット３０によりワークの移し替えが行われる後方位置と汎用トレイＴ１を供給又は回収する前方位置との間を移動するようになっている。
【００２２】
処理用トレイ保持ユニット２０は、図１、図３ないし図６に示すように、略矩形の輪郭をなすと共にその上面に処理用トレイＴ２を保持するテーブル２１、テーブル２１を左右方向Ｙに移動自在に支持するガイドレール２２、テーブル２１を左右方向Ｙに移動させる駆動機構２３、テーブル２１を上下方向Ｚに移動させる昇降機構２４等により形成されている。
ここで、駆動機構２３としては、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及びテーブル２１に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構等が適用される。昇降機構２４としては、テーブル２１を上下方向Ｚの所望の高さに位置決めし得る油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ等が適用される。
【００２３】
すなわち、汎用トレイ保持ユニット１０に保持された汎用トレイＴ１と処理用トレイ保持ユニット２０に保持された処理用トレイＴ２との間でワークを移載する場合は、テーブル２１が、駆動機構２３により左右方向Ｙに所定のピッチで駆動され、移載の対象となるワーク又は移載されるワークを収容する収容部Ｔ２ａを左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の直下に位置付けるようになっている。
また、処理用トレイＴ２を処理用トレイ移送ユニット４０に受け渡す場合は、後述する処理用トレイ移送ユニット４０が処理用トレイＴ２を保持した後、昇降機構２４によりテーブル２１を所定の高さに下降させて離脱させ、一方、処理用トレイＴ２を処理用トレイ移送ユニット４０から受け取る場合は、後述する処理用トレイ移送ユニット４０が処理用トレイＴ２を所定の位置に位置付けた後、昇降機構２４によりテーブル２１を所定の高さに上昇させて保持する（受け取る）ようになっている。
【００２４】
ワーク移載ユニット３０は、図１ないし図３、図７Ａないし図７Ｃに示すように、移載エリアＡ１，Ａ２にそれぞれ２つずつ左右方向Ｙに配列して設けられており、移載エリアＡ１，Ａ２の上方において前後方向Ｘに伸長するガイド機構３１、ガイド機構３１に対して前後方向Ｘに移動自在に支持されると共に上下方向Ｚに昇降する昇降機構３２、昇降機構３２の下端に設けられてワークを保持し得る保持ヘッド３３等により形成されている。
ここで、ガイド機構３１としては、昇降機構３２を前後方向Ｘにガイドしつつ移動させるステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及び昇降機構３２に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構等が適用され、昇降機構３２としては、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及び昇降機構３２内に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構、あるいは油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ等が適用され、保持ヘッド３３としては、ワークを吸着する吸着パッド又はワークを両側から把持する把持片等が適用される。
すなわち、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークの移し替えを行う場合は、昇降機構３２が、ガイド機構３１により前後方向Ｘに適宜移動させられて所定の位置に位置決めされ、その位置で下降して保持ヘッド３３によりワークを保持し、その後再び上昇して、ガイド機構３１により移載する処理用トレイＴ２又は汎用トレイＴ１の収容部Ｔ２ａ，Ｔ１ａの直上に位置決めされ、その位置で下降してワークを収容部Ｔ２ａ，Ｔ１ａに収容する。
【００２５】
上記のように、未処理のワークを汎用トレイＴ１から処理用トレイＴ２に移し替えるとき、又、処理エリアＡ４で所定の処理が済んだ処理済みワークを処理用トレイＴ２から汎用トレイＴ１に移し替えるとき、汎用トレイ保持ユニット１０と処理用トレイ保持ユニット２０が所定の収容ピッチに合わせて適宜左右方向Ｙに移動させられて、所定の取り出し位置及び収容位置に位置決めされると共に、ワーク移載ユニット３０が前後方向Ｘに移動して、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークを搬送すると共に上下方向Ｚに移動してワークを取り出し又ワークを収容して、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークを移し替える。このように、汎用トレイ保持ユニット１０及び処理用トレイ保持ユニット２０が適宜左右方向Ｙに移動して、取り出し又は収容の対象となるワークを常に左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の下方に位置付け、ワーク移載ユニット３０が上下方向Ｚ及び前後方向Ｘに移動してワークを移し替えるため、トレイＴ１，Ｔ２の収容部Ｔ１ａ，Ｔ２ａから取り出されたワークはＸＺ面内を移動するのみであり、それ故に、ワークを高速で移動させることができ、移し替え動作の高速化を達成できる。また、汎用トレイ保持ユニット１０、処理用トレイ保持ユニット２０、及びワーク移載ユニット３０は、それぞれ平面内の一方向（左右方向Ｙ、又は、前後方向Ｘ）にのみ移動する一つの移動機構を採用しているので、機械誤差が小さくなり高精度な位置決めが可能になる。その結果、汎用トレイ保持ユニット１０と処理用トレイ保持ユニット２０の間でワークを移し替える際に、ワークの取り出しや収容時における保持ミスや収容ミスの発生を防止でき、正確にワークを移し替えることができる。
【００２６】
また、移載エリアＡ１，Ａ２には、それぞれ２つのワーク移載ユニット３０が左右方向Ｙに配列して設けられているため、汎用トレイ保持ユニット１０が未処理のワークを収容する未処理用の汎用トレイＴ１及び処理済みのワークを収容し得る処理済み用の汎用トレイＴ１を保持している場合、一方のワーク移載ユニット３０により、未処理用の汎用トレイＴ１から処理用トレイＴ２に未処理のワークを移し替えつつ、他方のワーク移載ユニット３０により、処理用トレイＴ２から処理済み用の汎用トレイＴ１に処理が済んだワークを移し替えることができる。すなわち、未処理ワークの移し替えと処理済みワークの移し替えとを同時に行うことができるため、別々に移し替えを行う場合に比べて全体として移し替えに要する時間を短縮できる。
【００２７】
処理用トレイ移送エリアＡ３には、図１、図３に示すように、処理用トレイ移送ユニット４０が配置されている。
処理用トレイ移送ユニット４０は、図８Ａ、図８Ｂ、図９に示すように、左右方向Ｙに伸長するガイドレール４１、ガイドレール４１上を移動自在な可動ベース４２、可動ベース４２に直立して設けられた昇降機構４３、昇降機構４３により上下方向Ｚに昇降させられる昇降部材４４、昇降部材４４上に設けられた回転機構４５、回転機構４５上に設けられた架台４６、架台４６上に設けられた一対のガイド枠４７、架台４６上に設けられたスライダ機構４８、処理用トレイＴ２を把持する把持部材４９等により形成されている。
ここで、可動ベース４２は、内蔵される駆動機構により、ガイドレール４１に沿って左右方向Ｙに移動して、担持した処理用トレイＴ２を又は処理用トレイＴ２を担持していない架台４６を、移載エリアＡ１又は移載エリアＡ２に位置決めし、さらには、処理エリアＡ４に複数の処理エリアが含まれる場合は対応する処理エリアに位置決めするものである。
【００２８】
昇降機構４３は、処理用トレイＴ２を所望の高さに位置付けるべく昇降部材４４を上下方向Ｚの所望の高さに位置決めするものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。回転機構４５は、処理用トレイＴ２の水平面（ＸＹ面）内での向きを調整するべく回転させるものであり、モータ及び歯車機構等が適用される。一対のガイド枠４７は、処理用トレイＴ２を担持すると共に両側から挟み込むように規制して位置決めするものである。スライダ機構４８は、処理用トレイＴ２の受け渡し及び受け取りを行うべく、移載エリアＡ１，Ａ２（処理用トレイ保持ユニット２０）の領域又は処理エリアＡ４の領域までスライドする（伸長する）ようになっている。把持部材４９は、スライダ機構４８と一体的に移動して処理用トレイＴ２の縁部を把持して保持するものである。
すなわち、この処理用トレイ移送ユニット４０は、処理用トレイＴ２を、処理用トレイ保持ユニット２０と処理エリアＡ４との間で移送するため、ワークの移し替え工程の後円滑に処理工程に移行することができ、又、処理済みのワークを円滑に処理用トレイ保持ユニット２０に戻すことができる。さらに、処理エリアＡ４が複数箇所にある場合は、適宜選択された処理エリアと処理用トレイ保持ユニット２０との間で処理用トレイＴ２を円滑に移送することができる。
【００２９】
処理エリアＡ４には、処理用トレイＴ２に収容されたワークに対して、所定の検査を施す複数の処理エリアとしての検査エリアＡ４´，Ａ４´´が、左右方向Ｙに配列して設けられている。検査エリアＡ４´，Ａ４´´には、ワークが半導体チップである場合には、その導通チェック、又は作動チェック等を行う各種の検査ユニットが配置される。
汎用トレイ供給エリアＡ５には、図１ないし図３に示すように、汎用トレイ供給ユニット５０が複数（ここでは３つ）配置されている。
【００３０】
汎用トレイ供給ユニット５０は、図１０Ａないし図１０Ｃに示すように、汎用トレイＴ１載置するテーブル５１、テーブル５１を上下方向Ｚに昇降させる昇降機構５２、上方の供給位置において汎用トレイＴ１を挟むように保持する保持片５３ａをもつ保持機構５３等により形成されている。
また、汎用トレイ供給ユニット５０には、汎用トレイＴ１を搬入するために、最下端に位置するテーブル５１よりも上方において水平にコンベアＣが引き込まれている。
ここで、昇降機構５２は、テーブル５１を所定の高さ位置、例えば、汎用トレイＴ１を、後述する汎用トレイ移載ユニット８０に供給する供給位置、供給位置よりも若干下降した供給待機位置、コンベアＣよりも下降して搬入のために退避する退避位置等に適宜昇降させて位置決めするものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。保持機構５３は、テーブル５１及び昇降機構５２により供給位置に位置付けられた汎用トレイＴ１を保持片５３ａにより保持して、テーブル５１の下降（テーブル５１に担持された汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１の離脱）を可能にするものである。
【００３１】
すなわち、テーブル５１が退避位置にある状態で、コンベアＣにより積み重ねられた汎用トレイＴ１が搬入されると、昇降機構５２が作動して、テーブル５１が汎用トレイＴ１を担持すると共に最上段の汎用トレイＴ１を供給位置に位置付けるべく上昇する。
そして、把持機構５３が、最上段の汎用トレイＴ１を把持片５３ａにより把持してその供給位置に保持する。その後、昇降機構５２が作動して、テーブル５１は、残りの汎用トレイＴ１を担持した状態で供給待機位置まで下降して待機する。
そして、後述する汎用トレイ移載ユニット８０が、供給位置に保持された汎用トレイＴ１を受け取ると、昇降機構５２が作動して、テーブル５１が上昇して積み重ねられた汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１を供給位置に位置付ける。
そして、把持機構５３が最上段の汎用トレイＴ１を把持して保持すると共に、テーブル５１は再び残りの汎用トレイＴ１を担持した状態で供給待機位置まで下降して待機する。汎用トレイ供給ユニット５０においては、上記の動作が繰り返される。
【００３２】
この汎用トレイ供給エリアＡ５には、３つの汎用トレイ供給ユニット５０が配置されているため、例えば、２つの汎用トレイ供給ユニット５０が、未処理のワークを収容した汎用トレイＴ１を供給し、１つの汎用トレイ供給ユニット５０が、処理済みのワークを移載するためにワークを収容していない空の汎用トレイＴ１を供給するように構成される。
尚、汎用トレイ供給ユニット５０は、処理に応じて増減することができる。例えば、ワークの入れ替え処理が多くなれば、汎用トレイ供給ユニット５０を３台以上に増やしてもよく、一方、ワークの入れ替え処理が減少し又は汎用トレイ供給ユニット５０が故障した場合は、汎用トレイ供給エリアＡ５から切り離して、汎用トレイ供給ユニット５０の台数を減らしてもよい。ここで、汎用トレイ供給ユニット５０の増減は、図示しないスイッチ等の指示により行われる。
汎用トレイ回収エリアＡ６には、図１ないし図３に示すように、汎用トレイ回収ユニット６０が複数（ここでは４つ）配置されている。
【００３３】
汎用トレイ回収ユニット６０は、図１０Ａないし図１０Ｃに示すように、実質的に前述の汎用トレイ供給ユニット５０と同一の構成をなすものであり、汎用トレイＴ１載置するテーブル６１、テーブル６１を上下方向Ｚに昇降させる昇降機構６２、上方の回収位置において汎用トレイＴ１を挟むように保持する保持片６３ａをもつ保持機構６３等により形成されている。
また、汎用トレイ回収ユニット６０には、積み重ねられた汎用トレイＴ１を搬出するために、最下端に位置するテーブル６１よりも上方において水平にコンベアＣが引き込まれている。
ここで、昇降機構６２は、テーブル６１を所定の高さ位置、例えば、汎用トレイＴ１を後述する汎用トレイ移載ユニット８０から回収する回収位置、回収位置よりも若干下降した回収待機位置、コンベアＣよりも下降して搬出のために退避する退避位置等に適宜昇降させて位置決めするものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。保持機構６３は、テーブル６１及び昇降機構６２により回収位置に位置付けられた汎用トレイＴ１を保持片６３ａにより保持して、テーブル６１の上昇（テーブル６１に担持された汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１の接合）を可能にするものである。
【００３４】
すなわち、後述する汎用トレイ移載ユニット８０が汎用トレイＴ１を回収位置に位置付けると、把持機構６３がその汎用トレイＴ１を受け取って保持する。
そして、昇降機構６２が作動して、テーブル６１が上昇し積み重ねられた汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１を回収位置に保持された汎用トレイＴ１に接合させて担持すると同時に把持機構６３による把持状態が解除される。
その後、昇降機構６２が作動して、テーブル６１は、汎用トレイＴ１を担持した状態で回収待機位置まで下降して待機する。
そして再び、後述する汎用トレイ移載ユニット８０から把持機構６３に汎用トレイＴ１が受け渡されると、テーブル６１が上昇して把持された汎用トレイＴ１を担持すると共に把持機構６３による把持状態が解除され、テーブル６１は再び汎用トレイＴ１を担持した状態で回収待機位置まで下降して待機する。汎用トレイ回収ユニット６０においては上記の動作が繰り返される。
【００３５】
そして、汎用トレイＴ１が所定の数に積み重ねられると、テーブル６は退避位置まで下降し、担持した汎用トレイＴ１をコンベアＣに受け渡し、コンベアＣは汎用トレイＴ１を搬出する。
この汎用トレイ回収エリアＡ６には、４つの汎用トレイ回収ユニット６０が配置されているため、例えば、２つの汎用トレイ回収ユニット６０が、処理済みのワークうち所定の検査を満たす良品のワークを収容した汎用トレイＴ１を回収し、他の２つの汎用トレイ回収ユニット６０が、処理済みのワークのうち所定の検査を満たさない不良品のワークを収容した汎用トレイＴ１を回収するように構成される。尚、汎用トレイ回収ユニット６０は、処理に応じて増減してもよく、増減の操作は、図示しないスイッチ等の指示により行われる。
【００３６】
汎用トレイ待機エリアＡ７には、図１及び図２に示すように、載置テーブル７０が配置されている。
載置テーブル７０は、左右方向Ｙにおいて、汎用トレイ供給ユニット５０と汎用トレイ回収ユニット６０の間に配置されて、複数（ここでは３つ）の汎用トレイＴ１を載置して待機させ得るようになっている。
このように、汎用トレイ待機エリアＡ７を設けることにより、処理済みのワーク（良品又は不良品のワーク）を収容する汎用トレイＴ１がワークで満たされていない場合、その汎用トレイＴ１を載置テーブル７０に一時的に載置して待機させることができる。また、異なる種類のワークを処理する割込み指令等があった場合に、先行する汎用トレイＴ１を一時的に載置テーブル７０に載置して待機させ、さらには、汎用トレイ保持ユニット１０に供給する汎用トレイＴ１又は汎用トレイ保持ユニット１０から回収する汎用トレイＴ１を一時的に載置テーブル７０に載置して待機させ、供給タイミング又は回収タイミングを調整することができる。
【００３７】
汎用トレイ供給エリアＡ５、汎用トレイ待機エリアＡ７、汎用トレイ回収エリアＡ６には、図１及び図２に示すように、汎用トレイＴ１を上下方向Ｚ及び左右方向Ｙに移動させる汎用トレイ移載ユニット８０が配置されている。
汎用トレイ移載ユニット８０は、図１１Ａないし図１１Ｃに示すように、汎用トレイ供給エリアＡ５、汎用トレイ待機エリアＡ７、及び汎用トレイ回収エリアＡ６の上方を左右方向Ｙに伸長するガイドフレーム８１、ガイドフレーム８１に沿って左右方向Ｙに移動するスライダ機構８２、スライダ機構８２に保持されて上下方向Ｚに昇降する二つの昇降機構８３、それぞれの昇降機構８３により上下方向Ｚに昇降させられると共に汎用トレイＴ１を保持するための保持片８４ａをもつ保持機構８４等により形成されている。
ここで、スライダ機構８２は、ガイドフレーム８１に沿って、昇降機構８３を左右方向Ｙの所望の位置に移動させるものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。昇降機構８３は、保持機構８４を上下方向Ｚの所望の位置に移動させるものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。保持機構８４は、その４つの保持片８４ａにより汎用トレイＴ１を両側から挟持するものである。
【００３８】
すなわち、汎用トレイ供給ユニット５０から汎用トレイ保持ユニット１０に汎用トレイＴ１を移載する場合、汎用トレイ保持ユニット１０から汎用トレイ回収ユニット６０に汎用トレイＴ１を移載する場合、汎用トレイ供給ユニット５０から汎用トレイ待機エリアＡ７に汎用トレイＴ１を一時的に待機させる場合、汎用トレイ保持ユニット１０から汎用トレイ待機エリアＡ７に汎用トレイＴ１を一時的に待機させる場合、汎用トレイ移載ユニット８０は、汎用トレイＴを保持機構８４により保持して上昇し、左右方向Ｙの所定位置に移動した後に下降して、移載する位置において保持機構８４を解除して汎用トレイＴ１を移載する。
このように、汎用トレイ移載ユニット８０が、ＹＺ面内において、左右方向Ｙ及び上下方向Ｚに移動して、汎用トレイＴ１を移動させるため、汎用トレイＴ１を供給する移動行程（行程長さ）又は回収する移動行程（行路長さ）を短縮化でき、それ故に、装置を集約化できる。
【００３９】
また、汎用トレイ供給ユニット５０における汎用トレイＴ１の取り出し位置と、汎用トレイ保持ユニット１０における載置位置（テーブル１１が前方に移動した前方位置）と、汎用トレイ回収ユニット６０における汎用トレイＴ１の回収位置と、汎用トレイＴ１を一時的に待機させる待機テーブル７０における待機位置とが、左右方向Ｙの略直線上に配列されている。
したがって、汎用トレイ移載ユニット８０を平面内で移動させる移動機構として、左右方向Ｙにのみ移動させる一つの移動機構を設けるだけでよく、移動機構の機械誤差を小さくできる。それ故に、汎用トレイ移載ユニット８０を所定の位置に高精度にかつ確実に停止させることができ、汎用トレイＴ１を所定位置から取り出し、移載されるべき所定位置へ確実に載置することができる。
【００４０】
上記ワークハンドリング装置の全体の動作について説明すると、先ず、汎用トレイ供給ユニット５０により未処理のワークを収容した汎用トレイＴ１とワークを収容していない空の汎用トレイＴ１が供給されると、汎用トレイ移載ユニット８０がそれらの汎用トレイＴ１を保持して、前方位置に移動した汎用トレイ保持ユニット１０に移載する。
そして、汎用トレイ保持ユニット１０は、ワーク移載ユニット３０により移載を行う後方位置に移動する。また、処理用トレイ保持ユニット２０は、前の工程で処理が済んだワークを収容した処理用トレイＴ２を保持している。
続いて、一方のワーク移載ユニット３０が、処理エリアＡ４で処理が済んだワークを処理用トレイＴ２から汎用トレイＴ１に移し替えると同時に、他方のワーク移載ユニット３０が、未処理のワークを汎用トレイＴ１から処理用トレイＴ２に移し替える。
ここでは、処理済みのワークを汎用トレイＴ１に移し替えるとき、検査を満たす良品は良品用の汎用トレイＴ１に、又、検査を満たさない不良品は不良品用の汎用トレイＴ１に、それぞれ分類して収容される。
上記の移載動作においては、汎用トレイ保持ユニット１０及び処理用トレイ保持ユニット２０が各々所定の収容ピッチに合わせて適宜左右方向Ｙに移動して、取り出し及び収容の対象となるワークを常に左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の下方に位置付け、ワーク移載ユニット３０が上下方向Ｚ及び前後方向Ｘに移動してワークを移し替えるため、ワークを高速で移動させることができ、移し替え動作の高速化を達成できる。
【００４１】
ワーク移載ユニット３０により、未処理のワークの移し替えが終了すると、処理用トレイ移送ユニット４０が、処理用トレイ保持ユニット２０上の処理用トレイＴ２を、処理エリアＡ４（検査エリアＡ４´又は検査エリアＡ４´´）に移送する。
そして、処理エリアＡ４にて所定の検査が終了すると、処理用トレイ移送ユニット４０が、処理済みのワークを収容する処理用トレイＴ２を保持して処理用保持ユニット２０に移送する。
ワーク移載ユニット３０が、処理済みのワークを汎用トレイＴ１に移載すると、汎用トレイ保持ユニット１０が前方位置に移動し、汎用トレイ移載ユニット８０がその汎用トレイＴ１を保持して、汎用トレイ回収ユニット６０に移載する。
汎用トレイ回収ユニット６０は、処理済みのワークを収容した汎用トレイＴ１が所定量だけ積み重ねられると、それらの汎用トレイＴ１はコンベアＣを介して搬出される。
ここで、処理済みのワークで満たされない汎用トレイＴ１は、汎用トレイ回収ユニット６０に受け渡す前に、汎用トレイ待機エリアＡ７に一時的に待機させて、再び汎用トレイ保持ユニット１０上に移送してワークが完全に満たされた後に汎用トレイ回収ユニット６０に移送されるようにしてもよい。
【００４２】
また、種類の異なるワークの処理を行う割込み指令がなされた場合には、別の処理用トレイＴ２を処理用トレイ保持ユニット２０上に供給すると共に、汎用トレイ保持ユニット１０上にある既存の汎用トレイＴ１を汎用トレイ待機エリアＡ７に一時的に待機させる。そして、指令に対応する種類のワークを収容した汎用トレイＴ１又はワークが収容されていない新たな空の汎用トレイＴ１を汎用トレイ保持ユニット１０上に供給して、同様の移載及び処理が行われる。また、既に処理が済んだワークを収容する汎用トレイＴ１のみを待機エリアＡ７に待機させるようにしてもよい。
このように、処理済みのワークを収容する汎用トレイＴ１が満たされていない場合、その汎用トレイＴ１を汎用トレイ待機エリアＡ７に一時的に待機させることができ、又、異なる種類のワークを処理する割込み指令があった場合に、先行する汎用トレイＴ１を一時的に汎用トレイ待機エリアＡ７に待機させることができ、さらには、汎用トレイ保持ユニット１０に供給する汎用トレイＴ１又は汎用トレイ保持ユニット１０から回収する汎用トレイＴ１を一時的に汎用トレイ待機エリアＡ７に待機させて供給タイミング又は回収タイミングを調整することができる。
さらに、上記ワークハンドリング装置においては、汎用トレイ保持ユニット１０、処理用トレイ保持ユニット２０、及び２つのワーク移載ユニット３０により構成されたワーク移載機構が、左右方向Ｙに配列して２つ設けられているため、ワークの移し替えを、より一層短時間でかつ連続して行うことができ、全体としてのワークの取扱いに要する時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【００４３】
また、上記構成によれば、所定の処理が途中で終了となったとき、２つのワーク移載機構には、それぞれワークが完全に収容又は移載されていない未完了の汎用トレイＴ１が発生する。この場合、一方のワーク移載機構に保持されている未完了の汎用トレイＴ１を他方のワーク移載機構に移載して、ワークを一つの汎用トレイＴ１に収容する（移し替える）ことになる。この際、収容の対象となる一つの汎用トレイＴ１を除いた他の汎用トレイＴ１は、一時的に待機エリアＡ７に移動させられる。
具体的には、例えば、２つのワーク移載機構において、良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１及び不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１がある場合について説明すると、先ず、それぞれの汎用トレイ保持ユニット１０が、汎用トレイＴ１を供給又は回収する前方位置へ移動する。
【００４４】
続いて、汎用トレイ移載ユニット８０が、一方の汎用トレイ保持ユニット１０に保持された不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１を取り出して、待機エリアＡ７（載置テーブル７０）に移載する。
続いて、汎用トレイ移載ユニット８０が、他方の汎用トレイ保持ユニット１０に保持された良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１を取り出して、一方の汎用トレイ保持ユニット１０の載置位置（不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が保持されていた位置）に移載する。これにより、一方の汎用トレイ保持ユニット１０には、良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が２つ保持されることになる。この状態で、一方の汎用トレイ保持ユニット１０は後方位置に移動し、この一方の汎用トレイ保持ユニット１０とワーク移載ユニット３０との協働動作により、一方の汎用トレイＴ１から他方の汎用トレイＴ１の空いた収容部Ｔ１ａへワークの移し替えが行われる。そして、他方の汎用トレイＴ１が良品のワークで全て満たされると、この移載作業が完了する。尚、未完了の汎用トレイＴ１へのワークの移し替えは、未完了の汎用トレイＴ１のいずれかがワークで完全に満たされた場合、あるいは、移し替えの対象となるワークが無くなった場合に、完了することになる。
この移し替えが完了すると、一方の汎用トレイ保持ユニット１０は、ワークで満たされた汎用トレイＴ１を前方位置に移動させ、汎用トレイ移載ユニット８０がこの汎用トレイＴ１を汎用トレイ回収ユニット６０に移載する。
【００４５】
一方、待機エリアＡ７に待機させられた不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１は、汎用トレイ移載ユニット８０により待機エリアＡ７から取り出されて、他方の汎用トレイ保持ユニット１０の載置位置（良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が保持されていた位置）に移載する。これにより、他方の汎用トレイ保持ユニット１０には、不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が２つ保持されることになる。この状態で、他方の汎用トレイ保持ユニット１０は後方位置に移動し、この他方の汎用トレイ保持ユニット１０とワーク移載ユニット３０との協働動作により、一方の汎用トレイＴ１から他方の汎用トレイＴ１の空いた収容部Ｔ１ａへワークの移し替えが行われる。その後の動作は、良品のワークを移し替える場合と同様であるため省略する。
このように、ワークが完全に収容されていない未完了の汎用トレイＴ１を、それぞれの汎用トレイ保持ユニット１０にまとめて載置し、それぞれのワーク移載ユニット３０との協働動作により、ワークの移し替えを行うことで、未完了の汎用トレイＴ１を一つとすることができ、処理を効率良く行うことができる。
【００４６】
尚、ここでは、処理の対象とならない汎用トレイＴ１を一時的に待機エリアＡ７に移動させて待機させる場合を示したが、この手法に限定されるものではなく、汎用トレイ移載ユニット８０が二つの保持機構８４を備えているため、待機エリアＡ７の代わりに、一方の保持機構８４で処理の対象とならない汎用トレイＴ１を一時的に保持して待機させてもよい。また、待機エリアＡ７を使用せずに、二つの移載エリアＡ１，Ａ２をほぼ同時に使用して動作することにより、例えば一方の移載エリアＡ１では、処理済みのワークで満たされていない未完了の良品用の汎用トレイＴ１同士の移し替えを行い、他方の移載エリアＡ２では、処理済みのワークで満たされていない未完了の不良品用の汎用トレイＴ１同士の移し替えを行うことで、ワークを一つの汎用トレイＴ１に移し替える時間を短縮することができ、処理を効率よく行うことができる。
【００４７】
図１２は、本発明に係るワークハンドリング装置の他の実施形態を示す平面図である。この実施形態においては、図１２に示すように、処理用トレイ移送ユニット４０に対して、処理用トレイＴ２の供給又は回収を行う処理用トレイ供給回収ユニット９０が設けられている。
したがって、処理エリアＡ４が複数の処理エリア（検査エリアＡ４´，Ａ４´´）からなる場合に、処理用トレイ供給回収ユニット９０により、必要とされる数だけの処理用トレイＴ２を供給することができる。また、休止する処理エリア（検査エリアＡ４´又は検査エリアＡ４´´）がある場合に、その分だけ処理用トレイＴ２を回収することができ、さらには、処理用トレイＴ２を保守及び点検する場合に、容易に取り出すことができる。
以上述べたように、本発明のワークハンドリング装置によれば、構造の簡略化、各機構の集約化、装置全体として小型化、設置面積の省スペース化、ワークの移し替えに要する時間の短縮化等を達成しつつ、半導体チップ、基板、その他の電子部品等のワークに対して、試験、検査、測定、加工、組付け等の各種の処理を効率良く施すことができ、生産性を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上述べたように、本発明のワークハンドリング装置は、ワークに対して各種の処理を施す際に、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークの移し替えを必要とする分野であれば、半導体製造の分野は勿論のこと、自動車あるいはその部品の生産ライン、電子機器あるいはその部品の生産ライン、その他の機械あるいは電子部品関連等の分野においても有用である。
【符号の説明】
Ａ１，Ａ２ 移載エリア
Ａ３ 処理用トレイ移送エリア
Ａ４ 処理エリア
Ａ５ 汎用トレイ供給エリア
Ａ６ 汎用トレイ回収エリア
Ａ７ 汎用トレイ待機エリア
Ｔ１ 汎用トレイ
Ｔ２ 処理用トレイ
１０ 汎用トレイ保持ユニット
２０ 処理用トレイ保持ユニット
３０ ワーク移載ユニット
４０ 処理用トレイ移送ユニット
５０ 汎用トレイ供給ユニット
６０ 汎用トレイ回収ユニット
７０ 載置テーブル
８０ 汎用トレイ移載ユニット
【０００１】
本発明は、ＩＣ、ＬＳＩ、ＣＰＵ等の半導体チップ、その他の電子部品等のワークを収容する汎用トレイと、ワークに対して試験，検査等の処理を施す際に汎用トレイと異なる間隔でワークを収容する専用の処理用トレイとの間でのワークの移し替え、あるいは、汎用トレイ及び処理用トレイの搬送、位置決め等を行うワークハンドリング装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体チップ等のワークに対して試験あるいは検査等の各種の処理を施すために、ワークは複数の処理工程に亘って搬送される。このワークの搬送を効率良く行うために、複数のワークを同時に収容し得る汎用トレイが用いられている。
すなわち、複数のワークを汎用トレイに配列した状態で収容して、各種の処理工程に順次に搬送し、各々の処理工程でワークを一つずつ又は複数個まとめて汎用トレイから取り出して所定の処理を施し、再び汎用トレイに戻して次の処理工程に搬送している。
ここで、試験，検査等の所定の処理を施す処理工程においては、最適な処理を行えるように、汎用トレイとは収容ピッチ等が異なる専用の処理用トレイにワークを移し替えて処理を施し、その処理が完了したワークを再び汎用トレイに戻して次の処理工程に搬送している。
【０００３】
この専用の処理用トレイは、汎用トレイの収容ピッチ（間隔）とは異なる収容ピッチで、複数のワークを収容して保持するように形成されている。したがって、汎用トレイと処理用トレイとの間で、ワークを移し替える作業が発生する。
このように、汎用トレイと処理用トレイとの間でワークの移し替えを行う従来のワークハンドリング装置としては、ワークを汎用トレイから処理用トレイに移し替える二つのローダ、ワークを処理用トレイから汎用トレイに移し替える二つのアンローダを備え、二つのローダに対してワークの列又は行の間隔（ピッチ）を変更可能な可変機構を設け、又、二つのアンローダに対して同様に列又は行の間隔（ピッチ）を変更可能な可変機構を設けたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００４】
しかしながら、この装置においては、ローダ及びアンローダにそれぞれ可変機構を設け、この可変機構を駆動させることにより、ワークを収容する間隔（ピッチ）を調整するようになっているため、間隔を変更するための変更動作に時間を要し、移し替え動作の高速化の点では好ましくない。また、可変機構が複雑になると、機能上の信頼性が低下するため、所望される間隔（収容ピッチ）に確実に変更されているか否か確認する必要がある。さらに、可変機構を設けるため、ローダ及びアンローダの大型化及び重量化を招き、又、繰り返し動作と相俟ってワークの保持ミスを生じる虞がある。また、小さな部品の取扱いにおいては、取り出しや載置時の停止精度が重要になるが、部品を移し替える際の機構が多いと各々の機構ごとに発生する機械誤差が累積され、部品の取り出しや載置の停止位置の精度が悪くなり、部品の取り出しミスや載置ミスを生じる虞がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【特許文献１】
特開２００２−１７４６５８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、構造の簡略化、各機構の集約化、装置全体として小型化、設置面積の省スペース化、ワークの移し替えに要する時間の短縮化等を図りつつ、半導体チップ、基板、その他の電子部品等のワークに対して、試験、検査、測定、加工、組付け等の各種の処理を効率良く施すことができ、生産性を向上させることができるワークハンドリング装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上記の目的を達成する本発明のワークハンドリング装置は、複数のワークを同時に収容し得る汎用トレイと、ワークに対して所定の処理を施す処理エリアに対してワークを搬入及び搬出する処理用トレイとの間で、ワークを移し替えるワークハンドリング装置であって、複数の汎用トレイをその上面において左右方向に配列して保持し得る汎用トレイテーブル、汎用トレイテーブルを左右方向に移動自在に支持する汎用トレイガイドレール、汎用トレイテーブルを左右方向に所定のピッチで移動させる汎用トレイ駆動機構を備える汎用トレイ保持ユニットと、汎用トレイ保持ユニットに隣接して前後方向の後方に配列され、処理用トレイをその上面に保持し得る処理用トレイテーブル、処理用トレイテーブルを左右方向に移動自在に支持する処理用トレイガイドレール、処理用トレイテーブルを左右方向に所定のピッチで移動させる処理用トレイ駆動機構を備える処理用トレイ保持ユニットと、汎用トレイテーブルに保持された汎用トレイと処理用トレイテーブルに保持された処理用トレイとの間でワークを移し替えるべくワークを保持し得る保持ヘッド、保持ヘッドを上下方向に昇降する昇降機構、昇降機構を前後方向の所定の位置に移動させるべく前後方向に伸長するガイド機構をそれぞれ備え、左右方向に配列された２つのワーク移載ユニットと、を含む構成となっている。
この構成によれば、未処理のワークを汎用トレイから処理用トレイに移し替えるとき、又、処理エリアで所定の処理が済んだ処理済みワークを処理用トレイから汎用トレイに移し替えるとき、汎用トレイ保持ユニットと処理用トレイ保持ユニットが所定の収容ピッチに合わせて適宜左右方向に移動させられて、所定の取り出し位置及び収容位置に位置決めされると共に、ワーク移載ユニットが前後方向に移動して汎用トレイと処理用トレイとの間でワークを搬送すると共に上下方向に移動してワークを取り出し又ワークを収容して、汎用トレイと処理用トレイとの間でワークを移し替える。
このように、汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットが適宜左右方向に移動して、取り出し及び収容の対象となるワークを常に左右方向においてワーク移載ユニットの下方に位置付け、ワーク移載ユニットが上下方向及び前後方向に移動してワークを移し替えるため、ワークを高速で移動させることができ、移し替え動作の高速化を達成できる。また、汎用トレイ保持ユニット、処理用トレイ保持ユニット、及びワーク移載ユニットが平面内の一方向（左右方向Ｙ、又は、前後方向Ｘ）にのみ移動する一つの移動機構を採用しているので、汎用トレイと処理用トレイとの間でワークを移し替える際に、機械誤差が小さくなり停止位置精度が向上する。その結果、小さなワークでも正確に取り出して移載することができる。
さらに、複数の汎用トレイが左右方向に配列して設けられると共に２つのワーク移載ユニットが設けられているため、汎用トレイ保持ユニットにより汎用トレイを左右方向に適宜移動させかつ処理用トレイ保持ユニットにより処理用トレイを左右方向に適宜移動させて、一方のワーク移載ユニットにより未処理のワークを搬入（ロード）し、他方のワーク移載ユニットにより処理済みのワークを例えばその処理結果（良品、不良品等）に応じて搬出（アンロード）することができ、それ故に、ワークの移し替えを短時間でかつ効率良く行うことができ、全体としてのワークの取扱いに要する時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【０００８】
上記構成の装置において、汎用トレイ保持ユニットは、保持する汎用トレイの収容部を左右方向において２つのワーク移載ユニットの下方に位置付けし、処理用トレイ保持ユニットは、保持する処理用トレイの収容部を左右方向において２つのワーク移載ユニットの下方に位置付けし、２つのワーク移載ユニットの一方により汎用トレイから処理用トレイにワークの移し替えを行うと共に２つのワーク移載ユニットの他方により処理用トレイから汎用トレイにワークの移し替えを行う、構成を採用することができる。
この構成によれば、一方のワーク移載ユニットにより、一つの汎用トレイから処理用トレイに未処理のワークを移し替えつつ、他方のワーク移載ユニットにより、処理用トレイから他の汎用トレイに処理が済んだワークを移し替えることで未処理ワークの移し替えと処理済みワークの移し替えとを同時に行うことができ、別々に移し替えを行う場合に比べて全体として移し替えに要する時間を短縮できる。
【０００９】
上記構成の装置において、複数の汎用トレイには、未処理のワークを収容する未処理用の汎用トレイ及び処理済みのワークを収容し得る処理済み用の汎用トレイが含まれ、処理済み用の汎用トレイは、所定の検査を満たすワークを収容する良品用の汎用トレイと、所定の検査を満たさないワークを収容する不良品用の汎用トレイとを含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、ワークに対して所定の検査が施された後、良品のワークが処理用トレイから良品用の汎用トレイに、又、不良品のワークが処理用トレイから不良品用の汎用トレイに、それぞれ分類して移し替えられる。このように、検査済みのワークを、移し替え作業と同時に効率良く良品、不良品に分類することができ、全体としての工程を簡素化することができる。
【００１０】
上記構成の装置において、汎用トレイ保持ユニットは、ワーク移載ユニットによりワークの移し替えが行われる後方位置と汎用トレイを供給又は回収する前方位置との間で前後方向に汎用トレイテーブルを移動させるスライダ、スライダを前後方向に駆動する駆動機構を備える、構成を採用することができる。
この構成によれば、駆動機構によりスライダを前後方向に駆動して、汎用トレイテーブルを前後方向の前方位置に移動させることで、汎用トレイの供給又は回収を行うことができ、一方、汎用トレイテーブルを前後方向の後方位置に移動させることで、ワーク移載ユニットによりワークの移し替えを行うことができる。
【００１１】
上記構成の装置において、上記前方位置に位置する汎用トレイテーブルに対して汎用トレイの移し替えを行う汎用トレイ移載ユニットと、汎用トレイ保持ユニットよりも前後方向の前方において、汎用トレイを所定の供給位置にて供給する汎用トレイ供給ユニットと、汎用トレイ移載ユニットにより保持された汎用トレイを所定の回収位置にて回収する汎用トレイ回収ユニットと、をさらに含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、汎用トレイ保持ユニット（汎用トレイテーブル）が前方位置に移動すると、汎用トレイ移載ユニットにより、汎用トレイ供給ユニットから汎用トレイ保持ユニット（汎用トレイテーブル）に向けてワークを収容した汎用トレイ又は空の汎用トレイが供給され、又、汎用トレイ保持ユニット（汎用トレイテーブル）から汎用トレイ回収ユニットに向けて汎用トレイが回収される。このように、一連の流れ作業の中で汎用トレイの供給と回収を効率良く行うことができる。
【００１２】
上記構成の装置において、汎用トレイ移載ユニットは、左右方向に伸長するガイドフレーム、ガイドフレームに沿って左右方向に移動するスライダ機構、スライダ機構に保持されて上下方向に昇降する昇降機構、昇降機構により上下方向に昇降させられると共に汎用トレイを保持する保持機構を備え、上記前方位置、供給位置、及び回収位置は、汎用トレイ移載ユニットの移動範囲を画定するガイドフレームに沿った左右方向に直線状に配列されている、構成を採用することができる。
この構成によれば、汎用トレイ移載ユニットが、左右方向に伸長するガイドフレーム、スライダ機構、昇降機構、保持機構を備え、前方位置、供給位置、及び回収位置がガイドフレームに沿った左右方向に直線状に配列されているため、汎用トレイ移載ユニットを左右方向及び上下方向を含む平面内で移動させるだけで、前方位置、供給位置、及び回収位置において、移動行程（行路長さ）の短縮化及装置の集約化を達成しつつ、汎用トレイの移し替え（供給、回収）を高精度に行うことができる。
【００１５】
上記構成の装置において、汎用トレイ保持ユニット、処理トレイ保持ユニット、及びワーク移載ユニットによりワーク移載機構が形成され、このワーク移載機構は左右方向に配列して２つ設けられ、上記前方位置に位置する汎用トレイテーブルに対して汎用トレイの移し替えを行う汎用トレイ移載ユニットと、汎用トレイ移載ユニットの移動範囲内において汎用トレイ保持ユニットに保持されている既存の汎用トレイを一時的に待機させる汎用トレイ待機エリアと、をさらに含む、構成を採用することができる。
この構成によれば、汎用トレイ保持ユニット、処理トレイ保持ユニット、及びワーク移載ユニットからなるワーク移載機構を２つ設けたことにより、ワークの移し替えを、より一層短時間でかつ連続して行うことができ、全体としてのワークの取り扱いに要する時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
また、汎用トレイ待機エリアを設けたことにより、例えば、処理済みのワークを収容する汎用トレイが満たされていない場合、その汎用トレイを汎用トレイ待機エリアに一時的に待機させることができ、又、異なる種類のワークを処理する割込み指令があった場合に、先行する汎用トレイを一時的に汎用トレイ待機エリアに待機させることができ、さらには、汎用トレイ保持ユニットに供給する汎用トレイ又は汎用トレイ保持ユニットから回収する汎用トレイを一時的に汎用トレイ待機エリアに待機させて供給タイミング又は回収タイミングを調整することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１６】
図１は、本発明に係るワークハンドリング装置の一実施形態を示す平面図である。
図２は、図１に示すワークハンドリング装置の正面図である。
図３は、図１に示すワークハンドリング装置の側面図である。
図４は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットの平面図である。
図５は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットの正面図である。
図６は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ保持ユニット及び処理用トレイ保持ユニットの側面図である。
図７Ａ，図７Ｂ，図７Ｃは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなすワーク移載ユニットの平面図，側面図，正面図である。
図８Ａ，図８Ｂは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす処理用トレイ移送ユニットの平面図，正面図である。
図９は、図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす処理用トレイ移送ユニットの側面図である。
図１０Ａ，図１０Ｂ，図１０Ｃは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ供給ユニット及び汎用トレイ回収ユニットの側面図，正面図，平面図である。
図１１Ａ，図１１Ｂ，図１１Ｃは、それぞれ図１に示すワークハンドリング装置の一部をなす汎用トレイ移載ユニットの側面図，正面図，平面図である。
図１２は、本発明に係るワークハンドリング装置の他の実施形態を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１７】
以下、本発明の最良の実施形態について添付図面を参照しつつ説明する。
このワークハンドリング装置は、図１に示すように、左右方向Ｙに配列された二つの移載エリアＡ１，Ａ２、二つの移載エリアＡ１，Ａ２の後方に隣接して配置された処理用トレイ移送エリアＡ３、処理用トレイ移送エリアＡ３の後方に隣接し配置された処理エリアＡ４、移載エリアＡ１の前方に隣接して配置された汎用トレイ供給エリアＡ５、移載エリアＡ２の前方に隣接して配置された汎用トレイ回収エリアＡ６、汎用トレイ供給エリアＡ５と汎用トレイ回収エリアＡ６との間に配置されて汎用トレイを待機させる汎用トレイ待機エリアＡ７等を備えている。
【００１８】
ここで、汎用トレイＴ１は、未処理のワークあるいは処理済みのワークを搬送するために用いられるものであり、図４に示すように、所定のピッチで升目状に配列された複数の収容部Ｔ１ａを備えている。また、汎用トレイＴ１には、未処理のワークを収容する未処理用の汎用トレイＴ１、処理済みのワークを収容する処理済み用の汎用トレイＴ１、ワークを収容していない空の汎用トレイＴ１が含まれる。また、処理済み用の汎用トレイＴ１には、所定の検査を満たすワークを収容する良品用の汎用トレイＴ１、所定の検査を満たさない不良品用の汎用トレイＴ１が含まれる。
一方、処理用トレイＴ２は、未処理のワークあるいは処理済みのワークを処理エリアＡ４に対して搬入及び搬出するために用いられるものであり、図４に示すように、汎用トレイＴ１とは異なる所定のピッチで升目状に配列された複数の収容部Ｔ２ａを備えている。
【００１９】
移載エリアＡ１，Ａ２には、図１ないし図３に示すように、ワークを収容し得る汎用トレイＴ１を保持して左右方向Ｙに移動し得る汎用トレイ保持ユニット１０、汎用トレイ保持ユニット１０に隣接して前後方向Ｘの後方に配列され，処理エリアＡ４に対してワークを搬入及び搬出する処理用トレイＴ２を保持して左右方向Ｙに移動し得る処理用トレイ保持ユニット２０、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークを移し替えるべく前後方向Ｘ及び上下方向Ｚに移動し得るワーク移載ユニット３０が設けられている。
そして、この汎用トレイ保持ユニット１０、処理用トレイ保持ユニット２０、及びワーク移載ユニット３０によりワーク移載機構が構成され、このワーク移載機構が移載エリアＡ１，Ａ２にそれぞれ、左右方向Ｙに２つ配列して設けられている。
【００２０】
汎用トレイ保持ユニット１０は、図１、図３ないし図６に示すように、略矩形の輪郭をなすと共にその上面に複数（ここでは３つ）の汎用トレイＴ１を保持するテーブル１１、テーブル１１を左右方向Ｙに移動自在に支持するガイドレール１２、テーブル１１を左右方向Ｙに移動させる駆動機構１３、テーブル１１を前後方向Ｘに移動させるスライダ１４、スライダ１４を前後方向Ｘに駆動する駆動機構１５等により形成されている。
ここで、駆動機構１３としては、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及びテーブル１１に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構等が適用される。駆動機構１５としては、駆動機構１３と同様に、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及びスライダ１４に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構、あるいは油圧式や空気圧式の伸縮アクチュエータ等が適用される。
【００２１】
すなわち、汎用トレイ保持ユニット１０に保持された汎用トレイＴ１と処理用トレイ保持ユニット２０に保持された処理用トレイＴ２と間でワークを移載する場合は、テーブル１１が、駆動機構１３により左右方向Ｙに所定のピッチで駆動され、移載の対象となるワーク又は移載されるワークを収容する収容部Ｔ１ａを左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の直下に位置付けるようになっている。
また、汎用トレイＴ１の供給又は回収の場合は、スライダ１４が、駆動機構１５により前後方向Ｘに駆動されて、ワーク移載ユニット３０によりワークの移し替えが行われる後方位置と汎用トレイＴ１を供給又は回収する前方位置との間を移動するようになっている。
【００２２】
処理用トレイ保持ユニット２０は、図１、図３ないし図６に示すように、略矩形の輪郭をなすと共にその上面に処理用トレイＴ２を保持するテーブル２１、テーブル２１を左右方向Ｙに移動自在に支持するガイドレール２２、テーブル２１を左右方向Ｙに移動させる駆動機構２３、テーブル２１を上下方向Ｚに移動させる昇降機構２４等により形成されている。
ここで、駆動機構２３としては、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及びテーブル２１に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構等が適用される。昇降機構２４としては、テーブル２１を上下方向Ｚの所望の高さに位置決めし得る油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ等が適用される。
【００２３】
すなわち、汎用トレイ保持ユニット１０に保持された汎用トレイＴ１と処理用トレイ保持ユニット２０に保持された処理用トレイＴ２との間でワークを移載する場合は、テーブル２１が、駆動機構２３により左右方向Ｙに所定のピッチで駆動され、移載の対象となるワーク又は移載されるワークを収容する収容部Ｔ２ａを左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の直下に位置付けるようになっている。
また、処理用トレイＴ２を処理用トレイ移送ユニット４０に受け渡す場合は、後述する処理用トレイ移送ユニット４０が処理用トレイＴ２を保持した後、昇降機構２４によりテーブル２１を所定の高さに下降させて離脱させ、一方、処理用トレイＴ２を処理用トレイ移送ユニット４０から受け取る場合は、後述する処理用トレイ移送ユニット４０が処理用トレイＴ２を所定の位置に位置付けた後、昇降機構２４によりテーブル２１を所定の高さに上昇させて保持する（受け取る）ようになっている。
【００２４】
ワーク移載ユニット３０は、図１ないし図３、図７Ａないし図７Ｃに示すように、移載エリアＡ１，Ａ２にそれぞれ２つずつ左右方向Ｙに配列して設けられており、移載エリアＡ１，Ａ２の上方において前後方向Ｘに伸長するガイド機構３１、ガイド機構３１に対して前後方向Ｘに移動自在に支持されると共に上下方向Ｚに昇降する昇降機構３２、昇降機構３２の下端に設けられてワークを保持し得る保持ヘッド３３等により形成されている。
ここで、ガイド機構３１としては、昇降機構３２を前後方向Ｘにガイドしつつ移動させるステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及び昇降機構３２に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構等が適用され、昇降機構３２としては、ステッピングモータやサーボモータ等の位置制御できる駆動源、駆動源により回転駆動されるボールネジ（リードスクリュー）及び昇降機構３２内に設けられてボールネジに螺合するナットからなる送りネジ機構、あるいは油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ等が適用され、保持ヘッド３３としては、ワークを吸着する吸着パッド又はワークを両側から把持する把持片等が適用される。
すなわち、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークの移し替えを行う場合は、昇降機構３２が、ガイド機構３１により前後方向Ｘに適宜移動させられて所定の位置に位置決めされ、その位置で下降して保持ヘッド３３によりワークを保持し、その後再び上昇して、ガイド機構３１により移載する処理用トレイＴ２又は汎用トレイＴ１の収容部Ｔ２ａ，Ｔ１ａの直上に位置決めされ、その位置で下降してワークを収容部Ｔ２ａ，Ｔ１ａに収容する。
【００２５】
上記のように、未処理のワークを汎用トレイＴ１から処理用トレイＴ２に移し替えるとき、又、処理エリアＡ４で所定の処理が済んだ処理済みワークを処理用トレイＴ２から汎用トレイＴ１に移し替えるとき、汎用トレイ保持ユニット１０と処理用トレイ保持ユニット２０が所定の収容ピッチに合わせて適宜左右方向Ｙに移動させられて、所定の取り出し位置及び収容位置に位置決めされると共に、ワーク移載ユニット３０が前後方向Ｘに移動して、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークを搬送すると共に上下方向Ｚに移動してワークを取り出し又ワークを収容して、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークを移し替える。このように、汎用トレイ保持ユニット１０及び処理用トレイ保持ユニット２０が適宜左右方向Ｙに移動して、取り出し又は収容の対象となるワークを常に左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の下方に位置付け、ワーク移載ユニット３０が上下方向Ｚ及び前後方向Ｘに移動してワークを移し替えるため、トレイＴ１，Ｔ２の収容部Ｔ１ａ，Ｔ２ａから取り出されたワークはＸＺ面内を移動するのみであり、それ故に、ワークを高速で移動させることができ、移し替え動作の高速化を達成できる。また、汎用トレイ保持ユニット１０、処理用トレイ保持ユニット２０、及びワーク移載ユニット３０は、それぞれ平面内の一方向（左右方向Ｙ、又は、前後方向Ｘ）にのみ移動する一つの移動機構を採用しているので、機械誤差が小さくなり高精度な位置決めが可能になる。その結果、汎用トレイ保持ユニット１０と処理用トレイ保持ユニット２０の間でワークを移し替える際に、ワークの取り出しや収容時における保持ミスや収容ミスの発生を防止でき、正確にワークを移し替えることができる。
【００２６】
また、移載エリアＡ１，Ａ２には、それぞれ２つのワーク移載ユニット３０が左右方向Ｙに配列して設けられているため、汎用トレイ保持ユニット１０が未処理のワークを収容する未処理用の汎用トレイＴ１及び処理済みのワークを収容し得る処理済み用の汎用トレイＴ１を保持している場合、一方のワーク移載ユニット３０により、未処理用の汎用トレイＴ１から処理用トレイＴ２に未処理のワークを移し替えつつ、他方のワーク移載ユニット３０により、処理用トレイＴ２から処理済み用の汎用トレイＴ１に処理が済んだワークを移し替えることができる。すなわち、未処理ワークの移し替えと処理済みワークの移し替えとを同時に行うことができるため、別々に移し替えを行う場合に比べて全体として移し替えに要する時間を短縮できる。
【００２７】
処理用トレイ移送エリアＡ３には、図１、図３に示すように、処理用トレイ移送ユニット４０が配置されている。
処理用トレイ移送ユニット４０は、図８Ａ、図８Ｂ、図９に示すように、左右方向Ｙに伸長するガイドレール４１、ガイドレール４１上を移動自在な可動ベース４２、可動ベース４２に直立して設けられた昇降機構４３、昇降機構４３により上下方向Ｚに昇降させられる昇降部材４４、昇降部材４４上に設けられた回転機構４５、回転機構４５上に設けられた架台４６、架台４６上に設けられた一対のガイド枠４７、架台４６上に設けられたスライダ機構４８、処理用トレイＴ２を把持する把持部材４９等により形成されている。
ここで、可動ベース４２は、内蔵される駆動機構により、ガイドレール４１に沿って左右方向Ｙに移動して、担持した処理用トレイＴ２を又は処理用トレイＴ２を担持していない架台４６を、移載エリアＡ１又は移載エリアＡ２に位置決めし、さらには、処理エリアＡ４に複数の処理エリアが含まれる場合は対応する処理エリアに位置決めするものである。
【００２８】
昇降機構４３は、処理用トレイＴ２を所望の高さに位置付けるべく昇降部材４４を上下方向Ｚの所望の高さに位置決めするものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。回転機構４５は、処理用トレイＴ２の水平面（ＸＹ面）内での向きを調整するべく回転させるものであり、モータ及び歯車機構等が適用される。一対のガイド枠４７は、処理用トレイＴ２を担持すると共に両側から挟み込むように規制して位置決めするものである。スライダ機構４８は、処理用トレイＴ２の受け渡し及び受け取りを行うべく、移載エリアＡ１，Ａ２（処理用トレイ保持ユニット２０）の領域又は処理エリアＡ４の領域までスライドする（伸長する）ようになっている。把持部材４９は、スライダ機構４８と一体的に移動して処理用トレイＴ２の縁部を把持して保持するものである。
すなわち、この処理用トレイ移送ユニット４０は、処理用トレイＴ２を、処理用トレイ保持ユニット２０と処理エリアＡ４との間で移送するため、ワークの移し替え工程の後円滑に処理工程に移行することができ、又、処理済みのワークを円滑に処理用トレイ保持ユニット２０に戻すことができる。さらに、処理エリアＡ４が複数箇所にある場合は、適宜選択された処理エリアと処理用トレイ保持ユニット２０との間で処理用トレイＴ２を円滑に移送することができる。
【００２９】
処理エリアＡ４には、処理用トレイＴ２に収容されたワークに対して、所定の検査を施す複数の処理エリアとしての検査エリアＡ４´，Ａ４´´が、左右方向Ｙに配列して設けられている。検査エリアＡ４´，Ａ４´´には、ワークが半導体チップである場合には、その導通チェック、又は作動チェック等を行う各種の検査ユニットが配置される。
汎用トレイ供給エリアＡ５には、図１ないし図３に示すように、汎用トレイ供給ユニット５０が複数（ここでは３つ）配置されている。
【００３０】
汎用トレイ供給ユニット５０は、図１０Ａないし図１０Ｃに示すように、汎用トレイＴ１載置するテーブル５１、テーブル５１を上下方向Ｚに昇降させる昇降機構５２、上方の供給位置において汎用トレイＴ１を挟むように保持する保持片５３ａをもつ保持機構５３等により形成されている。
また、汎用トレイ供給ユニット５０には、汎用トレイＴ１を搬入するために、最下端に位置するテーブル５１よりも上方において水平にコンベアＣが引き込まれている。
ここで、昇降機構５２は、テーブル５１を所定の高さ位置、例えば、汎用トレイＴ１を、後述する汎用トレイ移載ユニット８０に供給する供給位置、供給位置よりも若干下降した供給待機位置、コンベアＣよりも下降して搬入のために退避する退避位置等に適宜昇降させて位置決めするものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。保持機構５３は、テーブル５１及び昇降機構５２により供給位置に位置付けられた汎用トレイＴ１を保持片５３ａにより保持して、テーブル５１の下降（テーブル５１に担持された汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１の離脱）を可能にするものである。
【００３１】
すなわち、テーブル５１が退避位置にある状態で、コンベアＣにより積み重ねられた汎用トレイＴ１が搬入されると、昇降機構５２が作動して、テーブル５１が汎用トレイＴ１を担持すると共に最上段の汎用トレイＴ１を供給位置に位置付けるべく上昇する。
そして、把持機構５３が、最上段の汎用トレイＴ１を把持片５３ａにより把持してその供給位置に保持する。その後、昇降機構５２が作動して、テーブル５１は、残りの汎用トレイＴ１を担持した状態で供給待機位置まで下降して待機する。
そして、後述する汎用トレイ移載ユニット８０が、供給位置に保持された汎用トレイＴ１を受け取ると、昇降機構５２が作動して、テーブル５１が上昇して積み重ねられた汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１を供給位置に位置付ける。
そして、把持機構５３が最上段の汎用トレイＴ１を把持して保持すると共に、テーブル５１は再び残りの汎用トレイＴ１を担持した状態で供給待機位置まで下降して待機する。汎用トレイ供給ユニット５０においては、上記の動作が繰り返される。
【００３２】
この汎用トレイ供給エリアＡ５には、３つの汎用トレイ供給ユニット５０が配置されているため、例えば、２つの汎用トレイ供給ユニット５０が、未処理のワークを収容した汎用トレイＴ１を供給し、１つの汎用トレイ供給ユニット５０が、処理済みのワークを移載するためにワークを収容していない空の汎用トレイＴ１を供給するように構成される。
尚、汎用トレイ供給ユニット５０は、処理に応じて増減することができる。例えば、ワークの入れ替え処理が多くなれば、汎用トレイ供給ユニット５０を３台以上に増やしてもよく、一方、ワークの入れ替え処理が減少し又は汎用トレイ供給ユニット５０が故障した場合は、汎用トレイ供給エリアＡ５から切り離して、汎用トレイ供給ユニット５０の台数を減らしてもよい。ここで、汎用トレイ供給ユニット５０の増減は、図示しないスイッチ等の指示により行われる。
汎用トレイ回収エリアＡ６には、図１ないし図３に示すように、汎用トレイ回収ユニット６０が複数（ここでは４つ）配置されている。
【００３３】
汎用トレイ回収ユニット６０は、図１０Ａないし図１０Ｃに示すように、実質的に前述の汎用トレイ供給ユニット５０と同一の構成をなすものであり、汎用トレイＴ１載置するテーブル６１、テーブル６１を上下方向Ｚに昇降させる昇降機構６２、上方の回収位置において汎用トレイＴ１を挟むように保持する保持片６３ａをもつ保持機構６３等により形成されている。
また、汎用トレイ回収ユニット６０には、積み重ねられた汎用トレイＴ１を搬出するために、最下端に位置するテーブル６１よりも上方において水平にコンベアＣが引き込まれている。
ここで、昇降機構６２は、テーブル６１を所定の高さ位置、例えば、汎用トレイＴ１を後述する汎用トレイ移載ユニット８０から回収する回収位置、回収位置よりも若干下降した回収待機位置、コンベアＣよりも下降して搬出のために退避する退避位置等に適宜昇降させて位置決めするものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。保持機構６３は、テーブル６１及び昇降機構６２により回収位置に位置付けられた汎用トレイＴ１を保持片６３ａにより保持して、テーブル６１の上昇（テーブル６１に担持された汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１の接合）を可能にするものである。
【００３４】
すなわち、後述する汎用トレイ移載ユニット８０が汎用トレイＴ１を回収位置に位置付けると、把持機構６３がその汎用トレイＴ１を受け取って保持する。
そして、昇降機構６２が作動して、テーブル６１が上昇し積み重ねられた汎用トレイＴ１のうち最上段の汎用トレイＴ１を回収位置に保持された汎用トレイＴ１に接合させて担持すると同時に把持機構６３による把持状態が解除される。
その後、昇降機構６２が作動して、テーブル６１は、汎用トレイＴ１を担持した状態で回収待機位置まで下降して待機する。
そして再び、後述する汎用トレイ移載ユニット８０から把持機構６３に汎用トレイＴ１が受け渡されると、テーブル６１が上昇して把持された汎用トレイＴ１を担持すると共に把持機構６３による把持状態が解除され、テーブル６１は再び汎用トレイＴ１を担持した状態で回収待機位置まで下降して待機する。汎用トレイ回収ユニット６０においては上記の動作が繰り返される。
【００３５】
そして、汎用トレイＴ１が所定の数に積み重ねられると、テーブル６は退避位置まで下降し、担持した汎用トレイＴ１をコンベアＣに受け渡し、コンベアＣは汎用トレイＴ１を搬出する。
この汎用トレイ回収エリアＡ６には、４つの汎用トレイ回収ユニット６０が配置されているため、例えば、２つの汎用トレイ回収ユニット６０が、処理済みのワークうち所定の検査を満たす良品のワークを収容した汎用トレイＴ１を回収し、他の２つの汎用トレイ回収ユニット６０が、処理済みのワークのうち所定の検査を満たさない不良品のワークを収容した汎用トレイＴ１を回収するように構成される。尚、汎用トレイ回収ユニット６０は、処理に応じて増減してもよく、増減の操作は、図示しないスイッチ等の指示により行われる。
【００３６】
汎用トレイ待機エリアＡ７には、図１及び図２に示すように、載置テーブル７０が配置されている。
載置テーブル７０は、左右方向Ｙにおいて、汎用トレイ供給ユニット５０と汎用トレイ回収ユニット６０の間に配置されて、複数（ここでは３つ）の汎用トレイＴ１を載置して待機させ得るようになっている。
このように、汎用トレイ待機エリアＡ７を設けることにより、処理済みのワーク（良品又は不良品のワーク）を収容する汎用トレイＴ１がワークで満たされていない場合、その汎用トレイＴ１を載置テーブル７０に一時的に載置して待機させることができる。また、異なる種類のワークを処理する割込み指令等があった場合に、先行する汎用トレイＴ１を一時的に載置テーブル７０に載置して待機させ、さらには、汎用トレイ保持ユニット１０に供給する汎用トレイＴ１又は汎用トレイ保持ユニット１０から回収する汎用トレイＴ１を一時的に載置テーブル７０に載置して待機させ、供給タイミング又は回収タイミングを調整することができる。
【００３７】
汎用トレイ供給エリアＡ５、汎用トレイ待機エリアＡ７、汎用トレイ回収エリアＡ６には、図１及び図２に示すように、汎用トレイＴ１を上下方向Ｚ及び左右方向Ｙに移動させる汎用トレイ移載ユニット８０が配置されている。
汎用トレイ移載ユニット８０は、図１１Ａないし図１１Ｃに示すように、汎用トレイ供給エリアＡ５、汎用トレイ待機エリアＡ７、及び汎用トレイ回収エリアＡ６の上方を左右方向Ｙに伸長するガイドフレーム８１、ガイドフレーム８１に沿って左右方向Ｙに移動するスライダ機構８２、スライダ機構８２に保持されて上下方向Ｚに昇降する二つの昇降機構８３、それぞれの昇降機構８３により上下方向Ｚに昇降させられると共に汎用トレイＴ１を保持するための保持片８４ａをもつ保持機構８４等により形成されている。
ここで、スライダ機構８２は、ガイドフレーム８１に沿って、昇降機構８３を左右方向Ｙの所望の位置に移動させるものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。昇降機構８３は、保持機構８４を上下方向Ｚの所望の位置に移動させるものであり、油圧式又は空気圧式の伸縮アクチュエータ、送りネジ機構等が適用される。保持機構８４は、その４つの保持片８４ａにより汎用トレイＴ１を両側から挟持するものである。
【００３８】
すなわち、汎用トレイ供給ユニット５０から汎用トレイ保持ユニット１０に汎用トレイＴ１を移載する場合、汎用トレイ保持ユニット１０から汎用トレイ回収ユニット６０に汎用トレイＴ１を移載する場合、汎用トレイ供給ユニット５０から汎用トレイ待機エリアＡ７に汎用トレイＴ１を一時的に待機させる場合、汎用トレイ保持ユニット１０から汎用トレイ待機エリアＡ７に汎用トレイＴ１を一時的に待機させる場合、汎用トレイ移載ユニット８０は、汎用トレイＴを保持機構８４により保持して上昇し、左右方向Ｙの所定位置に移動した後に下降して、移載する位置において保持機構８４を解除して汎用トレイＴ１を移載する。
このように、汎用トレイ移載ユニット８０が、ＹＺ面内において、左右方向Ｙ及び上下方向Ｚに移動して、汎用トレイＴ１を移動させるため、汎用トレイＴ１を供給する移動行程（行程長さ）又は回収する移動行程（行路長さ）を短縮化でき、それ故に、装置を集約化できる。
【００３９】
また、汎用トレイ供給ユニット５０における汎用トレイＴ１の取り出し位置と、汎用トレイ保持ユニット１０における載置位置（テーブル１１が前方に移動した前方位置）と、汎用トレイ回収ユニット６０における汎用トレイＴ１の回収位置と、汎用トレイＴ１を一時的に待機させる待機テーブル７０における待機位置とが、左右方向Ｙの略直線上に配列されている。
したがって、汎用トレイ移載ユニット８０を平面内で移動させる移動機構として、左右方向Ｙにのみ移動させる一つの移動機構を設けるだけでよく、移動機構の機械誤差を小さくできる。それ故に、汎用トレイ移載ユニット８０を所定の位置に高精度にかつ確実に停止させることができ、汎用トレイＴ１を所定位置から取り出し、移載されるべき所定位置へ確実に載置することができる。
【００４０】
上記ワークハンドリング装置の全体の動作について説明すると、先ず、汎用トレイ供給ユニット５０により未処理のワークを収容した汎用トレイＴ１とワークを収容していない空の汎用トレイＴ１が供給されると、汎用トレイ移載ユニット８０がそれらの汎用トレイＴ１を保持して、前方位置に移動した汎用トレイ保持ユニット１０に移載する。
そして、汎用トレイ保持ユニット１０は、ワーク移載ユニット３０により移載を行う後方位置に移動する。また、処理用トレイ保持ユニット２０は、前の工程で処理が済んだワークを収容した処理用トレイＴ２を保持している。
続いて、一方のワーク移載ユニット３０が、処理エリアＡ４で処理が済んだワークを処理用トレイＴ２から汎用トレイＴ１に移し替えると同時に、他方のワーク移載ユニット３０が、未処理のワークを汎用トレイＴ１から処理用トレイＴ２に移し替える。
ここでは、処理済みのワークを汎用トレイＴ１に移し替えるとき、検査を満たす良品は良品用の汎用トレイＴ１に、又、検査を満たさない不良品は不良品用の汎用トレイＴ１に、それぞれ分類して収容される。
上記の移載動作においては、汎用トレイ保持ユニット１０及び処理用トレイ保持ユニット２０が各々所定の収容ピッチに合わせて適宜左右方向Ｙに移動して、取り出し及び収容の対象となるワークを常に左右方向Ｙにおいてワーク移載ユニット３０の下方に位置付け、ワーク移載ユニット３０が上下方向Ｚ及び前後方向Ｘに移動してワークを移し替えるため、ワークを高速で移動させることができ、移し替え動作の高速化を達成できる。
【００４１】
ワーク移載ユニット３０により、未処理のワークの移し替えが終了すると、処理用トレイ移送ユニット４０が、処理用トレイ保持ユニット２０上の処理用トレイＴ２を、処理エリアＡ４（検査エリアＡ４´又は検査エリアＡ４´´）に移送する。
そして、処理エリアＡ４にて所定の検査が終了すると、処理用トレイ移送ユニット４０が、処理済みのワークを収容する処理用トレイＴ２を保持して処理用保持ユニット２０に移送する。
ワーク移載ユニット３０が、処理済みのワークを汎用トレイＴ１に移載すると、汎用トレイ保持ユニット１０が前方位置に移動し、汎用トレイ移載ユニット８０がその汎用トレイＴ１を保持して、汎用トレイ回収ユニット６０に移載する。
汎用トレイ回収ユニット６０は、処理済みのワークを収容した汎用トレイＴ１が所定量だけ積み重ねられると、それらの汎用トレイＴ１はコンベアＣを介して搬出される。
ここで、処理済みのワークで満たされない汎用トレイＴ１は、汎用トレイ回収ユニット６０に受け渡す前に、汎用トレイ待機エリアＡ７に一時的に待機させて、再び汎用トレイ保持ユニット１０上に移送してワークが完全に満たされた後に汎用トレイ回収ユニット６０に移送されるようにしてもよい。
【００４２】
また、種類の異なるワークの処理を行う割込み指令がなされた場合には、別の処理用トレイＴ２を処理用トレイ保持ユニット２０上に供給すると共に、汎用トレイ保持ユニット１０上にある既存の汎用トレイＴ１を汎用トレイ待機エリアＡ７に一時的に待機させる。そして、指令に対応する種類のワークを収容した汎用トレイＴ１又はワークが収容されていない新たな空の汎用トレイＴ１を汎用トレイ保持ユニット１０上に供給して、同様の移載及び処理が行われる。また、既に処理が済んだワークを収容する汎用トレイＴ１のみを待機エリアＡ７に待機させるようにしてもよい。
このように、処理済みのワークを収容する汎用トレイＴ１が満たされていない場合、その汎用トレイＴ１を汎用トレイ待機エリアＡ７に一時的に待機させることができ、又、異なる種類のワークを処理する割込み指令があった場合に、先行する汎用トレイＴ１を一時的に汎用トレイ待機エリアＡ７に待機させることができ、さらには、汎用トレイ保持ユニット１０に供給する汎用トレイＴ１又は汎用トレイ保持ユニット１０から回収する汎用トレイＴ１を一時的に汎用トレイ待機エリアＡ７に待機させて供給タイミング又は回収タイミングを調整することができる。
さらに、上記ワークハンドリング装置においては、汎用トレイ保持ユニット１０、処理用トレイ保持ユニット２０、及び２つのワーク移載ユニット３０により構成されたワーク移載機構が、左右方向Ｙに配列して２つ設けられているため、ワークの移し替えを、より一層短時間でかつ連続して行うことができ、全体としてのワークの取扱いに要する時間を短縮することができ、生産性を向上させることができる。
【００４３】
また、上記構成によれば、所定の処理が途中で終了となったとき、２つのワーク移載機構には、それぞれワークが完全に収容又は移載されていない未完了の汎用トレイＴ１が発生する。この場合、一方のワーク移載機構に保持されている未完了の汎用トレイＴ１を他方のワーク移載機構に移載して、ワークを一つの汎用トレイＴ１に収容する（移し替える）ことになる。この際、収容の対象となる一つの汎用トレイＴ１を除いた他の汎用トレイＴ１は、一時的に待機エリアＡ７に移動させられる。
具体的には、例えば、２つのワーク移載機構において、良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１及び不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１がある場合について説明すると、先ず、それぞれの汎用トレイ保持ユニット１０が、汎用トレイＴ１を供給又は回収する前方位置へ移動する。
【００４４】
続いて、汎用トレイ移載ユニット８０が、一方の汎用トレイ保持ユニット１０に保持された不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１を取り出して、待機エリアＡ７（載置テーブル７０）に移載する。
続いて、汎用トレイ移載ユニット８０が、他方の汎用トレイ保持ユニット１０に保持された良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１を取り出して、一方の汎用トレイ保持ユニット１０の載置位置（不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が保持されていた位置）に移載する。これにより、一方の汎用トレイ保持ユニット１０には、良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が２つ保持されることになる。この状態で、一方の汎用トレイ保持ユニット１０は後方位置に移動し、この一方の汎用トレイ保持ユニット１０とワーク移載ユニット３０との協働動作により、一方の汎用トレイＴ１から他方の汎用トレイＴ１の空いた収容部Ｔ１ａへワークの移し替えが行われる。そして、他方の汎用トレイＴ１が良品のワークで全て満たされると、この移載作業が完了する。尚、未完了の汎用トレイＴ１へのワークの移し替えは、未完了の汎用トレイＴ１のいずれかがワークで完全に満たされた場合、あるいは、移し替えの対象となるワークが無くなった場合に、完了することになる。
この移し替えが完了すると、一方の汎用トレイ保持ユニット１０は、ワークで満たされた汎用トレイＴ１を前方位置に移動させ、汎用トレイ移載ユニット８０がこの汎用トレイＴ１を汎用トレイ回収ユニット６０に移載する。
【００４５】
一方、待機エリアＡ７に待機させられた不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１は、汎用トレイ移載ユニット８０により待機エリアＡ７から取り出されて、他方の汎用トレイ保持ユニット１０の載置位置（良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が保持されていた位置）に移載する。これにより、他方の汎用トレイ保持ユニット１０には、不良品のワークを収容する未完了の汎用トレイＴ１が２つ保持されることになる。この状態で、他方の汎用トレイ保持ユニット１０は後方位置に移動し、この他方の汎用トレイ保持ユニット１０とワーク移載ユニット３０との協働動作により、一方の汎用トレイＴ１から他方の汎用トレイＴ１の空いた収容部Ｔ１ａへワークの移し替えが行われる。その後の動作は、良品のワークを移し替える場合と同様であるため省略する。
このように、ワークが完全に収容されていない未完了の汎用トレイＴ１を、それぞれの汎用トレイ保持ユニット１０にまとめて載置し、それぞれのワーク移載ユニット３０との協働動作により、ワークの移し替えを行うことで、未完了の汎用トレイＴ１を一つとすることができ、処理を効率良く行うことができる。
【００４６】
尚、ここでは、処理の対象とならない汎用トレイＴ１を一時的に待機エリアＡ７に移動させて待機させる場合を示したが、この手法に限定されるものではなく、汎用トレイ移載ユニット８０が二つの保持機構８４を備えているため、待機エリアＡ７の代わりに、一方の保持機構８４で処理の対象とならない汎用トレイＴ１を一時的に保持して待機させてもよい。また、待機エリアＡ７を使用せずに、二つの移載エリアＡ１，Ａ２をほぼ同時に使用して動作することにより、例えば一方の移載エリアＡ１では、処理済みのワークで満たされていない未完了の良品用の汎用トレイＴ１同士の移し替えを行い、他方の移載エリアＡ２では、処理済みのワークで満たされていない未完了の不良品用の汎用トレイＴ１同士の移し替えを行うことで、ワークを一つの汎用トレイＴ１に移し替える時間を短縮することができ、処理を効率よく行うことができる。
【００４７】
図１２は、本発明に係るワークハンドリング装置の他の実施形態を示す平面図である。この実施形態においては、図１２に示すように、処理用トレイ移送ユニット４０に対して、処理用トレイＴ２の供給又は回収を行う処理用トレイ供給回収ユニット９０が設けられている。
したがって、処理エリアＡ４が複数の処理エリア（検査エリアＡ４´，Ａ４´´）からなる場合に、処理用トレイ供給回収ユニット９０により、必要とされる数だけの処理用トレイＴ２を供給することができる。また、休止する処理エリア（検査エリアＡ４´又は検査エリアＡ４´´）がある場合に、その分だけ処理用トレイＴ２を回収することができ、さらには、処理用トレイＴ２を保守及び点検する場合に、容易に取り出すことができる。
以上述べたように、本発明のワークハンドリング装置によれば、構造の簡略化、各機構の集約化、装置全体として小型化、設置面積の省スペース化、ワークの移し替えに要する時間の短縮化等を達成しつつ、半導体チップ、基板、その他の電子部品等のワークに対して、試験、検査、測定、加工、組付け等の各種の処理を効率良く施すことができ、生産性を向上させることができる。
【産業上の利用可能性】
【００４８】
以上述べたように、本発明のワークハンドリング装置は、ワークに対して各種の処理を施す際に、汎用トレイＴ１と処理用トレイＴ２との間でワークの移し替えを必要とする分野であれば、半導体製造の分野は勿論のこと、自動車あるいはその部品の生産ライン、電子機器あるいはその部品の生産ライン、その他の機械あるいは電子部品関連等の分野においても有用である。
【符号の説明】
Ａ１，Ａ２ 移載エリア
Ａ３ 処理用トレイ移送エリア
Ａ４ 処理エリア
Ａ５ 汎用トレイ供給エリア
Ａ６ 汎用トレイ回収エリア
Ａ７ 汎用トレイ待機エリア
Ｔ１ 汎用トレイ
Ｔ２ 処理用トレイ
１０ 汎用トレイ保持ユニット
２０ 処理用トレイ保持ユニット
３０ ワーク移載ユニット
４０ 処理用トレイ移送ユニット
５０ 汎用トレイ供給ユニット
６０ 汎用トレイ回収ユニット
７０ 載置テーブル
８０ 汎用トレイ移載ユニット
Claims (7)
- 複数のワークを同時に収容し得る汎用トレイと、ワークに対して所定の処理を施す処理エリアに対してワークを搬入及び搬出する処理用トレイとの間で、ワークを移し替えるワークハンドリング装置であって、
複数の汎用トレイをその上面において左右方向に配列して保持し得る汎用トレイテーブル、前記汎用トレイテーブルを左右方向に移動自在に支持する汎用トレイガイドレール、前記汎用トレイテーブルを左右方向に所定のピッチで移動させる汎用トレイ駆動機構を備える汎用トレイ保持ユニットと、
前記汎用トレイ保持ユニットに隣接して前後方向の後方に配列され、処理用トレイをその上面に保持し得る処理用トレイテーブル、前記処理用トレイテーブルを左右方向に移動自在に支持する処理用トレイガイドレール、前記処理用トレイテーブルを左右方向に所定のピッチで移動させる処理用トレイ駆動機構を備える処理用トレイ保持ユニットと、
前記汎用トレイテーブルに保持された汎用トレイと前記処理用トレイテーブルに保持された処理用トレイとの間でワークを移し替えるべくワークを保持し得る保持ヘッド、前記保持ヘッドを上下方向に昇降する昇降機構、前記昇降機構を前後方向の所定の位置に移動させるべく前後方向に伸長するガイド機構をそれぞれ備え、左右方向に配列された２つのワーク移載ユニットと、
を含む、ことを特徴とするワークハンドリング装置。 - 前記汎用トレイ保持ユニットは、保持する汎用トレイの収容部を左右方向において前記２つのワーク移載ユニットの下方に位置付けし、
前記処理用トレイ保持ユニットは、保持する処理用トレイの収容部を左右方向において前記２つのワーク移載ユニットの下方に位置付けし、
前記２つのワーク移載ユニットの一方により汎用トレイから処理用トレイにワークの移し替えを行うと共に前記２つのワーク移載ユニットの他方により処理用トレイから汎用トレイにワークの移し替えを行う、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークハンドリング装置。 - 前記複数の汎用トレイには、未処理のワークを収容する未処理用の汎用トレイ及び処理済みのワークを収容し得る処理済み用の汎用トレイが含まれ、
前記処理済み用の汎用トレイは、所定の検査を満たすワークを収容する良品用の汎用トレイと、所定の検査を満たさないワークを収容する不良品用の汎用トレイとを含む、ことを特徴とする請求項２に記載のワークハンドリング装置。 - 前記汎用トレイ保持ユニットは、前記ワーク移載ユニットによりワークの移し替えが行われる後方位置と汎用トレイを供給又は回収する前方位置との間で前後方向に前記汎用トレイテーブルを移動させるスライダ、前記スライダを前後方向に駆動する駆動機構を備える、
ことを特徴とする請求項１に記載のワークハンドリング装置。 - 前記前方位置に位置する前記汎用トレイテーブルに対して汎用トレイの移し替えを行う汎用トレイ移載ユニットと、
前記汎用トレイ保持ユニットよりも前後方向の前方において、汎用トレイを所定の供給位置にて供給する汎用トレイ供給ユニットと、前記汎用トレイ移載ユニットにより保持された汎用トレイを所定の回収位置にて回収する汎用トレイ回収ユニットと、
をさらに含む、
ことを特徴とする請求項４に記載のワークハンドリング装置。 - 前記汎用トレイ移載ユニットは、左右方向に伸長するガイドフレーム、前記ガイドフレームに沿って左右方向に移動するスライダ機構、前記スライダ機構に保持されて上下方向に昇降する昇降機構、前記昇降機構により上下方向に昇降させられると共に汎用トレイを保持する保持機構を備え、
前記前方位置、供給位置、及び回収位置は、前記汎用トレイ移載ユニットの移動範囲を画定する前記ガイドフレームに沿った左右方向に直線状に配列されている、
ことを特徴とする請求項５に記載のワークハンドリング装置。 - 前記汎用トレイ保持ユニット、処理トレイ保持ユニット、及びワーク移載ユニットによりワーク移載機構が形成され、
前記ワーク移載機構は、左右方向に配列して２つ設けられ、
前記前方位置に位置する前記汎用トレイテーブルに対して汎用トレイの移し替えを行う汎用トレイ移載ユニットと、前記汎用トレイ移載ユニットの移動範囲内において前記汎用トレイ保持ユニットに保持されている既存の汎用トレイを一時的に待機させる汎用トレイ待機エリアと、をさらに含む、
ことを特徴とする請求項４に記載のワークハンドリング装置。
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|---|---|---|---|---|
| KR20140091768A (ko) * | 2005-11-07 | 2014-07-22 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 반도체 작업대상물 공정처리 시스템 |
| KR101841753B1 (ko) * | 2006-08-18 | 2018-03-23 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 용량이 축소된 캐리어, 이송, 로드 포트, 버퍼 시스템 |
| JP4937361B2 (ja) * | 2008-02-20 | 2012-05-23 | 平田機工株式会社 | 生産装置 |
| KR101239860B1 (ko) * | 2008-12-25 | 2013-03-06 | 가부시키가이샤 미마키 엔지니어링 | 프린터 장치 |
| KR101803111B1 (ko) * | 2010-01-08 | 2017-11-29 | 케이엘에이-텐코 코포레이션 | 이중 트레이 캐리어 유닛 |
| CA2736283C (en) * | 2011-04-04 | 2017-08-22 | Noble Engineering Company, Inc. | Transfer system for a production line |
| US8827618B2 (en) * | 2011-12-02 | 2014-09-09 | Brooks Automation, Inc. | Transport system |
| JP2014010018A (ja) * | 2012-06-28 | 2014-01-20 | Seiko Epson Corp | ハンドラーおよび検査装置 |
| US11398396B2 (en) * | 2018-08-14 | 2022-07-26 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Apparatus and methods for handling die carriers |
| JP7430154B2 (ja) * | 2021-03-29 | 2024-02-09 | Ｔｏｗａ株式会社 | 加工装置、及び加工品の製造方法 |
| CN114074255B (zh) * | 2022-01-10 | 2022-03-25 | 苏州天准科技股份有限公司 | 用于机动车热交换器的换线装置 |
| CN118679109A (zh) * | 2022-03-09 | 2024-09-20 | 平田机工株式会社 | 托盘输送装置、移载系统、控制装置、控制方法、存储介质以及程序 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08334548A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH09318703A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Toshiba Corp | Ｉｃハンドラ |
| JP2004128518A (ja) * | 2003-12-15 | 2004-04-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 配列データ最適化方法及び装置 |
Family Cites Families (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2212468B (en) * | 1987-11-20 | 1992-06-10 | Sony Corp | Automatic assembly apparatus |
| US4986729A (en) * | 1989-04-24 | 1991-01-22 | Proconics International, Inc. | Wafer transfer apparatus |
| US5307011A (en) * | 1991-12-04 | 1994-04-26 | Advantest Corporation | Loader and unloader for test handler |
| JPH0616206A (ja) * | 1992-07-03 | 1994-01-25 | Shinko Electric Co Ltd | クリーンルーム内搬送システム |
| US5588797A (en) * | 1994-07-18 | 1996-12-31 | Advantek, Inc. | IC tray handling apparatus and method |
| US5865319A (en) * | 1994-12-28 | 1999-02-02 | Advantest Corp. | Automatic test handler system for IC tester |
| JP3412114B2 (ja) * | 1995-07-26 | 2003-06-03 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置 |
| IT1289530B1 (it) * | 1995-10-13 | 1998-10-15 | Fata Automation | Magazzino integrato ad alta capacita' per container |
| JP3494828B2 (ja) * | 1996-11-18 | 2004-02-09 | 株式会社アドバンテスト | 水平搬送テストハンドラ |
| JP3689215B2 (ja) * | 1997-02-20 | 2005-08-31 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体デバイスのテスト用搬送装置 |
| JP3951436B2 (ja) * | 1998-04-01 | 2007-08-01 | 株式会社アドバンテスト | Ｉｃ試験装置 |
| TW440699B (en) * | 1998-06-09 | 2001-06-16 | Advantest Corp | Test apparatus for electronic parts |
| KR100646906B1 (ko) * | 1998-09-22 | 2006-11-17 | 동경 엘렉트론 주식회사 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
| JP2000118681A (ja) * | 1998-10-19 | 2000-04-25 | Shinkawa Ltd | トレイ搬送装置及び方法 |
| US6190107B1 (en) * | 1999-01-27 | 2001-02-20 | John J. Lanigan, Sr. | High density narrow-profile storage system |
| US6518745B2 (en) * | 2000-10-10 | 2003-02-11 | Mirae Corporation | Device test handler and method for operating the same |
| KR100363898B1 (ko) * | 2000-11-24 | 2002-12-11 | 미래산업 주식회사 | 표면실장장치 및 그 방법 |
| JP2002174658A (ja) | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Advantest Corp | ハンドラおよび電子部品試験装置 |
| JP2002319609A (ja) * | 2001-04-19 | 2002-10-31 | Hitachi Ltd | 半導体集積回路装置の製造方法 |
| JP2003066104A (ja) * | 2001-08-22 | 2003-03-05 | Advantest Corp | インサートおよびこれを備えた電子部品ハンドリング装置 |
| JP2003188229A (ja) * | 2001-12-18 | 2003-07-04 | Hitachi Kasado Eng Co Ltd | ウエハ製造システムおよびウエハ製造方法 |
| JP3960054B2 (ja) * | 2002-01-21 | 2007-08-15 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装装置および電子部品の実装ヘッドユニット |
| JPWO2003105216A1 (ja) * | 2002-06-07 | 2005-10-13 | 平田機工株式会社 | 容器搬送システム |
| KR100491304B1 (ko) * | 2003-09-18 | 2005-05-24 | 미래산업 주식회사 | 번인 테스터용 소팅 핸들러 |
| JP4495726B2 (ja) * | 2004-06-08 | 2010-07-07 | 株式会社アドバンテスト | イメージセンサ用試験装置 |
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2005
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH08334548A (ja) * | 1995-06-07 | 1996-12-17 | Tokyo Electron Ltd | 検査装置 |
| JPH09318703A (ja) * | 1996-05-31 | 1997-12-12 | Toshiba Corp | Ｉｃハンドラ |
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