JP7624912B2 - 排ガス浄化触媒装置の製造方法 - Google Patents
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Description
(B)減圧ポンプによって前記工程(A)後の基材を下端面から吸引して、前記塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすること、及び
(C)前記工程(A)後の基材を、次工程まで移送すること、
を含む、排ガス浄化触媒装置の製造方法において、
前記工程(B)及び前記工程(C)を、移送吸引装置によって同時に行う、
排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様2》前記移送吸引装置が、前記工程(A)後の基材の下端面と、前記減圧ポンプとを連結する、1又は複数の減圧チャネルを有する、態様1に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様3》前記減圧チャネルのそれぞれが、第1の減圧チャネル及び第2の減圧チャネルを含み、
前記第1の減圧チャネルは、減圧ポンプと連結されて減圧されており、
前記第2の減圧チャネルは、
前記移送吸引装置が前記工程(A)後の基材を受け取った後、当該基材が所定の位置に移送されるまでは、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとを連結し、かつ、
当該基材が所定の位置に移送されたときには、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとの連結を解除する、
態様2に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様4》前記移送吸引装置が、前記第1の減圧チャネルを含む第1層、及び前記第2の減圧チャネルを含む第2層を有し、これらが積層された2層から構成されており、
前記第2層は、前記第1層に対して相対的に移動可能であり、
前記第2層は、前記工程(A)後の基材を受け取った後、前記第1層に対して相対的に移動することによって、前記基材を前記次工程まで移送する、
態様3に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様5》前記移送吸引装置が、円盤状である、態様1~4のいずれか一項に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様6》前記移送吸引装置が、それぞれ円盤状の前記第1層及び前記第2層が同軸に積層された2層の円盤状であり、
前記第2層の前記第1層に対する相対的な移動が回転である、
態様4に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様7》前記第1の減圧チャネルは、
前記第1層の面のうちの、前記第2層とは反対側の面に開口する、前記減圧ポンプと連結されるための、ポンプ連結開口部、及び
前記第2層側の面に、前記第1層の円周に沿って弧状に開口する、弧状開口部
を有し、
前記第2の減圧チャネルは、
前記第2層の面のうちの、前記第1層側の面に開口する、前記第1の減圧チャネルと連結されるための、減圧チャネル連結開口部、及び
前記第1層とは反対側の面に開口する、前記工程(A)後の基材の下端面と連結されるための、基材連結開口部
を有し、
前記第2層が前記第1層に対して相対的に回転するときに、
前記第2層が前記工程(A)後の基材を受け取った後、当該基材が所定の位置に移送されるまでは、前記第2層の前記減圧チャネル連結開口部は、前記第1層の前記弧状開口部の弧形に沿って移動し、かつ、
当該基材が所定の位置に移送されたときには、前記第2層の前記減圧チャネル連結開口部が、前記第1層の前記弧状開口部の弧形から外れることにより、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとの連結が解除される、
態様6に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様8》前記第1の減圧チャネルの前記弧状開口部の弧形の中心角が、90°以上270°以下である、態様7に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
《態様9》セル壁によって区画された複数のセル流路を有する基材を、前記セル流路の流路方向が鉛直となるように保持し、前記基材の上端面上に触媒コート層形成用塗工液を載置する、塗工液載置装置、及び
前記工程(A)後の基材を下端面から吸引して、前記塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすることと、前記工程(A)後の基材を、次工程まで移送することとを同時に行う、移送吸引装置
を含む、排ガス浄化触媒装置の製造システム。
《態様10》セル壁によって区画された複数のセル流路を有する基材の上端面上に、触媒コート層形成用塗工液が載置された基材を、その下端面から吸引して、前記塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすることと、前記基材を、次工程まで移送することとを同時に行う、移送吸引装置。
本発明の排ガス浄化触媒装置の製造方法は、
(A)セル壁によって区画された複数のセル流路を有するハニカム基材を、セル流路の流路方向が鉛直となるように保持し、基材の上端面上に触媒コート層形成用塗工液を載置すること(塗工液載置工程)、
(B)減圧ポンプによって、(A)塗工液載置工程後の基材を下端面から吸引して、塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすること(吸引コート工程)、及び
(C)(A)塗工液載置工程後の基材を、次工程まで移送すること(移送工程)、
を含む、排ガス浄化触媒装置の製造方法において、
(B)吸引コート工程及び(C)移送工程を、移送吸引装置によって同時に行う、
排ガス浄化触媒装置の製造方法である。
本発明の排ガス浄化触媒装置の製造方法に適用される基材は、セル壁によって区画された複数のセル流路を有するハニカム基材である。このハニカム基材は、例えば、コージェライト、SiC、ステンレス鋼、無機酸化物粒子等の材料から構成されている、例えば、ストレートフロー型又はウォールフロー型のモノリスハニカム基材であってよい。
(A)塗工液載置工程では、セル壁によって区画された複数のセル流路を有するハニカム基材を、セル流路の流路方向が鉛直となるように保持し、基材の上端面上に触媒コート層形成用塗工液を載置する。
(B)吸引コート工程は、減圧ポンプによって、(A)塗工液載置工程後の基材を下端面から吸引して、塗工液を基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートする工程である。
(C)移送工程は、(A)塗工液載置工程後の基材を、次工程まで移送する工程である。
本発明の排ガス浄化触媒装置の製造方法では、上記の(B)吸引コート工程及び(C)移送工程を、移送吸引装置によって同時に行う。したがって、この移送吸引装置は、(A)塗工液載置工程後の基材を次工程まで移送する移送機能と、(A)塗工液載置工程後の基材を下端面から吸引して、塗工液を基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートする吸引コート機能とを併有する装置である。
基材が所定の範囲内にある場合には、第2の減圧チャネルと第1の減圧チャネルとが連結された状態にあり、基材の下端面に減圧が印加されるが、
基材が所定の位置に至った場合には、第2の減圧チャネルと第1の減圧チャネルとの連結が解除され、基材の下端面の減圧が除去されて、吸引コート工程を終了する
態様としてもよい。
移送吸引装置が、第1の減圧チャネルを含む第1層、及び第2の減圧チャネルを含む第2層を有し、これらが積層された2層から構成されており、
第2層は、前記第1層に対して相対的に移動可能である
態様が例示できる。
第1の減圧チャネルは、
第1層の面のうちの、第2層とは反対側の面に開口する、減圧ポンプと連結されるための、ポンプ連結開口部、及び
第2層側の面に、第1層の円周に沿って弧状に開口する、弧状開口部
を有していてよい。
第2層の面のうちの、第1層側の面に開口する、第1の減圧チャネルと連結されるための、減圧チャネル連結開口部、及び
第1層とは反対側の面に開口する、工程(A)後の基材の下端面と連結されるための、基材連結開口部
を有ししていてよい。
本発明の別の観点によると、排ガス浄化触媒装置の製造システムが提供される。
セル壁によって区画された複数のセル流路を有する基材を、セル流路の流路方向が鉛直となるように保持し、基材の上端面上に触媒コート層形成用塗工液を載置する、塗工液載 置装置、及び
工程(A)後の基材を下端面から吸引して、塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすることと、工程(A)後の基材を、次工程まで移送することとを同時に行う、移送吸引装置
を含む、排ガス浄化触媒装置の製造システムである。
本発明の更に別の観点によると、移送吸引装置が提供される。
図1及び図2に、本発明の排ガス浄化触媒装置の製造方法に用いられる、移送吸引装置の一例の構成を示す。図1は、移送吸引装置の概形を示す斜視図であり、図2は、移送吸引装置を構成する第1層及び第2層の内部構造を説明するための内部透視斜視図である。
第2の減圧チャネルA系統(21a)の減圧チャネル連結開口部は、第1の減圧チャネルA系統(11a)の弧状開口部に沿って移動し、
第2の減圧チャネルB系統(21b)の減圧チャネル連結開口部は、第1の減圧チャネルB系統(11b)の弧状開口部に沿って移動し、
第2の減圧チャネルC系統(21c)の減圧チャネル連結開口部は、第1の減圧チャネルC系統(11c)の弧状開口部に沿って移動する。
11 第1の減圧チャネル
11a 第1の減圧チャネルA系統
11b 第1の減圧チャネルB系統
11c 第1の減圧チャネルC系統
12a 減圧ポンプ連結路A系統
12b 減圧ポンプ連結路B系統
12c 減圧ポンプ連結路C系統
20 第2層
21 第2の減圧チャネル
21a 第2の減圧チャネルA系統
21b 第2の減圧チャネルB系統
21c 第2の減圧チャネルC系統
100 移送吸引装置
P1、P2、P3 減圧ポンプ
Claims (9)
- (A)セル壁によって区画された複数のセル流路を有するハニカム基材を、前記セル流路の流路方向が鉛直となるように保持し、前記基材の上端面上に触媒コート層形成用塗工液を載置すること、
(B)減圧ポンプによって前記工程(A)後の基材を下端面から吸引して、前記塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすること、及び
(C)前記工程(A)後の基材を、次工程まで移送すること、
を含む、排ガス浄化触媒装置の製造方法において、
前記工程(B)及び前記工程(C)を、移送吸引装置によって同時に行う、
排ガス浄化触媒装置の製造方法であって、
前記移送吸引装置が、前記工程(A)後の基材の下端面と、前記減圧ポンプとを連結する、1又は複数の減圧チャネルを有し、
前記減圧チャネルのそれぞれが、第1の減圧チャネル及び第2の減圧チャネルを含み、
前記第1の減圧チャネルは、減圧ポンプと連結されて減圧されており、
前記第2の減圧チャネルは、
前記移送吸引装置が前記工程(A)後の基材を受け取った後、当該基材が所定の位置に移送されるまでは、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとを連結し、かつ、
当該基材が所定の位置に移送されたときには、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとの連結を解除し、
前記移送吸引装置が、前記第1の減圧チャネルを含む第1層、及び前記第2の減圧チャネルを含む第2層を有し、これらが積層された2層から構成されており、
前記第2層は、前記第1層に対して相対的に移動可能であり、
前記第2層は、前記工程(A)後の基材を受け取った後、前記第1層に対して相対的に移動することによって、前記基材を前記次工程まで移送する、
排ガス浄化触媒装置の製造方法。 - 前記移送吸引装置が、円盤状である、請求項1に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
- 前記移送吸引装置が、それぞれ円盤状の前記第1層及び前記第2層が同軸に積層された2層の円盤状であり、
前記第2層の前記第1層に対する相対的な移動が回転である、
請求項1に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。 - 前記第1の減圧チャネルは、
前記第1層の面のうちの、前記第2層とは反対側の面に開口する、前記減圧ポンプと連結されるための、ポンプ連結開口部、及び
前記第2層側の面に、前記第1層の円周に沿って弧状に開口する、弧状開口部
を有し、
前記第2の減圧チャネルは、
前記第2層の面のうちの、前記第1層側の面に開口する、前記第1の減圧チャネルと連結されるための、減圧チャネル連結開口部、及び
前記第1層とは反対側の面に開口する、前記工程(A)後の基材の下端面と連結されるための、基材連結開口部
を有し、
前記第2層が前記第1層に対して相対的に回転するときに、
前記第2層が前記工程(A)後の基材を受け取った後、当該基材が所定の位置に移送されるまでは、前記第2層の前記減圧チャネル連結開口部は、前記第1層の前記弧状開口部の弧形に沿って移動し、かつ、
当該基材が所定の位置に移送されたときには、前記第2層の前記減圧チャネル連結開口部が、前記第1層の前記弧状開口部の弧形から外れることにより、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとの連結が解除される、
請求項3に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。 - 前記第1の減圧チャネルの前記弧状開口部の弧形の中心角が、90°以上270°以下である、請求項4に記載の排ガス浄化触媒装置の製造方法。
- セル壁によって区画された複数のセル流路を有する基材を、前記セル流路の流路方向が鉛直となるように保持し、前記基材の上端面上に触媒コート層形成用塗工液を載置する、塗工液載置装置、及び
触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材を下端面から吸引して、前記塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすることと、触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材を、次工程まで移送することとを同時に行う、移送吸引装置
を含む、排ガス浄化触媒装置の製造システムであって、
前記移送吸引装置が、触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材の下端面と、減圧ポンプとを連結する、1又は複数の減圧チャネルを有し、
前記減圧チャネルのそれぞれが、第1の減圧チャネル及び第2の減圧チャネルを含み、
前記第1の減圧チャネルは、減圧ポンプと連結されて減圧されており、
前記第2の減圧チャネルは、
前記移送吸引装置が触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材を受け取った後、当該基材が所定の位置に移送されるまでは、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとを連結し、かつ、
当該基材が所定の位置に移送されたときには、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとの連結を解除し、
前記移送吸引装置が、前記第1の減圧チャネルを含む第1層、及び前記第2の減圧チャネルを含む第2層を有し、これらが積層された2層から構成されており、
前記第2層は、前記第1層に対して相対的に移動可能であり、
前記第2層は、触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材を受け取った後、前記第1層に対して相対的に移動することによって、前記基材を前記次工程まで移送する、
排ガス浄化触媒装置の製造システム。 - 前記移送吸引装置が、それぞれ円盤状の前記第1層及び前記第2層が同軸に積層された2層の円盤状であり、
前記第2層の前記第1層に対する相対的な移動が回転である、
請求項6に記載の排ガス浄化触媒装置の製造システム。 - セル壁によって区画された複数のセル流路を有する基材の上端面上に、触媒コート層形成用塗工液が載置された基材を、その下端面から吸引して、前記塗工液を前記基材のセル壁上及びセル壁中の1つ以上にコートすることと、前記基材を、次工程まで移送することとを同時に行う、移送吸引装置であって、
前記移送吸引装置が、触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材の下端面と、減圧ポンプとを連結する、1又は複数の減圧チャネルを有し、
前記減圧チャネルのそれぞれが、第1の減圧チャネル及び第2の減圧チャネルを含み、
前記第1の減圧チャネルは、減圧ポンプと連結されて減圧されており、
前記第2の減圧チャネルは、
前記移送吸引装置が触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材を受け取った後、当該基材が所定の位置に移送されるまでは、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとを連結し、かつ、
当該基材が所定の位置に移送されたときには、前記基材の下端面と前記第1の減圧チャネルとの連結を解除し、
前記移送吸引装置が、前記第1の減圧チャネルを含む第1層、及び前記第2の減圧チャネルを含む第2層を有し、これらが積層された2層から構成されており、
前記第2層は、前記第1層に対して相対的に移動可能であり、
前記第2層は、触媒コート層形成用塗工液が載置された前記基材を受け取った後、前記第1層に対して相対的に移動することによって、前記基材を前記次工程まで移送する、
移送吸引装置。 - 前記移送吸引装置が、それぞれ円盤状の前記第1層及び前記第2層が同軸に積層された2層の円盤状であり、
前記第2層の前記第1層に対する相対的な移動が回転である、
請求項8に記載の移送吸引装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021190369A JP7624912B2 (ja) | 2021-11-24 | 2021-11-24 | 排ガス浄化触媒装置の製造方法 |
| EP22898429.0A EP4438175A4 (en) | 2021-11-24 | 2022-11-11 | METHOD FOR MANUFACTURING AN EXHAUST GAS PURIFICATION CATALYST DEVICE |
| PCT/JP2022/042104 WO2023095645A1 (ja) | 2021-11-24 | 2022-11-11 | 排ガス浄化触媒装置の製造方法 |
| US18/706,581 US20250010282A1 (en) | 2021-11-24 | 2022-11-11 | Method for manufacturing exhaust gas purification catalyst device |
| CN202280077501.2A CN118302249A (zh) | 2021-11-24 | 2022-11-11 | 排气净化催化剂装置的制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021190369A JP7624912B2 (ja) | 2021-11-24 | 2021-11-24 | 排ガス浄化触媒装置の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023077179A JP2023077179A (ja) | 2023-06-05 |
| JP7624912B2 true JP7624912B2 (ja) | 2025-01-31 |
Family
ID=86539532
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021190369A Active JP7624912B2 (ja) | 2021-11-24 | 2021-11-24 | 排ガス浄化触媒装置の製造方法 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20250010282A1 (ja) |
| EP (1) | EP4438175A4 (ja) |
| JP (1) | JP7624912B2 (ja) |
| CN (1) | CN118302249A (ja) |
| WO (1) | WO2023095645A1 (ja) |
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Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP6698809B1 (ja) * | 2018-12-19 | 2020-05-27 | 株式会社キャタラー | 排ガス浄化装置の製造方法 |
-
2021
- 2021-11-24 JP JP2021190369A patent/JP7624912B2/ja active Active
-
2022
- 2022-11-11 US US18/706,581 patent/US20250010282A1/en active Pending
- 2022-11-11 EP EP22898429.0A patent/EP4438175A4/en active Pending
- 2022-11-11 WO PCT/JP2022/042104 patent/WO2023095645A1/ja not_active Ceased
- 2022-11-11 CN CN202280077501.2A patent/CN118302249A/zh active Pending
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| JP2018015704A (ja) | 2016-07-27 | 2018-02-01 | 株式会社キャタラー | 排ガス浄化用触媒の製造方法及び製造装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP4438175A4 (en) | 2025-11-05 |
| US20250010282A1 (en) | 2025-01-09 |
| EP4438175A1 (en) | 2024-10-02 |
| CN118302249A (zh) | 2024-07-05 |
| JP2023077179A (ja) | 2023-06-05 |
| WO2023095645A1 (ja) | 2023-06-01 |
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| Date | Code | Title | Description |
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| A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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