JP7700251B2 - エキスパンド装置 - Google Patents

Description

この発明は、エキスパンド装置に関し、特に、ウエハおよびリング状部材が貼り付けられたシート部材をエキスパンドするエキスパンド装置に関する。

従来、ウエハおよびリング状部材が貼り付けられたシート部材をエキスパンドするエキスパンド装置が知られている。このようなエキスパンド装置は、たとえば、特許第４２８８３９２号公報に開示されている。

上記特許第４２８８３９２号公報には、ウエハおよびウエハを囲むリング状のフレーム（リング状部材）が貼り付けられた粘着シート（シート部材）をエキスパンドするエキスパンド装置が開示されている。このエキスパンド装置は、粘着シートをエキスパンドするための伸縮テーブルおよびフレームチャックを備えている。このエキスパンド装置では、フレームチャックによりフレームを固定した状態で、伸縮テーブルにより粘着シートのウエハの貼り付けられた部分を上方に持ち上げることにより、粘着シートが引き伸ばされて粘着シートがエキスパンドされる。また、このエキスパンド装置は、エキスパンドにより粘着シートに発生した粘着シートの弛みをヒートシュリンク（加熱収縮）させるための噴射管をさらに備えている。このエキスパンド装置では、粘着シートの弛みに噴射管から熱風を噴射することにより、粘着シートの弛みをヒートシュリンクさせる。また、このエキスパンド装置では、粘着シートのエキスパンドと粘着シートのヒートシュリンクとが同じ位置で行われる。

特許第４２８８３９２号公報

しかしながら、上記特許第４２８８３９２号公報に記載されたエキスパンド装置では、粘着シートのエキスパンドと粘着シートのヒートシュリンクとを同じ位置で行うため、噴射管などのヒートシュリンクに関する構造を配置するスペースを容易に確保することが困難であるという問題点がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、シート部材をエキスパンドしてヒートシュリンクする場合にも、ヒートシュリンクに関する構造を配置するスペースを容易に確保することが可能なエキスパンド装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面によるエキスパンド装置は、ウエハと、ウエハを囲むリング状部材と、ウエハおよびリング状部材が貼り付けられた伸縮性を有する熱収縮性のシート部材とを含むウエハリング構造のシート部材を、第１位置において、エキスパンドするエキスパンド部と、エキスパンド部によりシート部材をエキスパンドした状態で、第１位置から、平面視において第１位置とは水平方向に離間した第２位置にエキスパンド部を水平方向に移動させる移動機構と、エキスパンド部によるエキスパンドにより発生するシート部材のウエハの周囲の部分の弛みを、第２位置において、加熱して収縮させるヒートシュリンク部と、を備え、第１位置に配置され、エキスパンド部によりシート部材をエキスパンドする際、シート部材のエキスパンドに起因してウエハリング構造から発生する飛散物を吸引して除去する吸引部をさらに備え、吸引部は、環状の吸引部本体と、吸引部本体に設けられ、飛散物の吸引時にウエハの外縁に対向する環状の吸引口とを含む。
上記目的を達成するために、この発明の第２の局面によるエキスパンド装置は、ウエハと、ウエハを囲むリング状部材と、ウエハおよびリング状部材が貼り付けられた伸縮性を有する熱収縮性のシート部材とを含むウエハリング構造のシート部材を、第１位置において、エキスパンドするエキスパンド部と、エキスパンド部によりシート部材をエキスパンドした状態で、第１位置から、平面視において第１位置とは水平方向に離間した第２位置にエキスパンド部を水平方向に移動させる移動機構と、エキスパンド部によるエキスパンドにより発生するシート部材のウエハの周囲の部分の弛みを、第２位置において、加熱して収縮させるヒートシュリンク部と、を備え、第１位置に配置され、エキスパンド部によりシート部材をエキスパンドする際、シート部材のエキスパンドに起因してウエハリング構造から発生する飛散物を吸引して除去する吸引部をさらに備え、吸引部は、飛散物を吸引する下方位置と、飛散物を吸引しない上方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。

この発明の第１および第２の局面によるエキスパンド装置では、上記のように、ウエハおよびリング状部材が貼り付けられた伸縮性を有する熱収縮性のシート部材を、第１位置においてエキスパンドするエキスパンド部と、エキスパンド部によりシート部材をエキスパンドした状態で、平面視において第１位置とは水平方向に離間した第２位置にエキスパンド部を水平方向に移動させる移動機構と、シート部材のウエハの周囲の部分の弛みを、第２位置において、加熱して収縮させるヒートシュリンク部と、を設ける。これにより、シート部材のエキスパンドを第１位置で行い、シート部材のヒートシュリンクを第１位置から水平方向に離間した第２位置で行うことができるので、シート部材のエキスパンドとシート部材のヒートシュリンクとを別々の位置で行うことができる。その結果、シート部材をエキスパンドしてヒートシュリンクする場合にも、第２位置において、シート部材のヒートシュリンクに関する構造を配置するスペースを容易に確保することができる。また、第２位置において、高品質の達成に必要な構造を容易に配置することができるので、より高品質なシート部材のヒートシュリンクを容易に達成することができる。
また、上記第１および第２の局面によるエキスパンド装置において、第１位置に配置され、エキスパンド部によりシート部材をエキスパンドする際、シート部材のエキスパンドに起因してウエハリング構造から発生する飛散物を吸引して除去する吸引部をさらに備える。このように構成すれば、飛散物を吸引して除去することができるので、飛散物がウエハ上に飛散することに起因して品質不良が発生することを抑制することができる。また、飛散物をエキスパンド装置内でブローして（吹き飛ばして）除去する場合と異なり、飛散物がエキスパンド装置内に残ることを抑制することができるので、エキスパンド装置内に残った飛散物が再飛散することにより、飛散物がウエハ上に飛散して品質不良が発生することを抑制することができる。また、上記のように、シート部材のエキスパンドとシート部材のヒートシュリンクとを別々の位置で行うので、エキスパンド時の除去構造としての吸引部を配置するスペースを確保することができる。
また、上記第１の局面によるエキスパンド装置において、吸引部は、環状の吸引部本体と、吸引部本体に設けられ、飛散物の吸引時にウエハの外縁に対向する環状の吸引口とを含む。このように構成すれば、飛散物が発生しやすいウエハの外縁に対向するように、吸引部の吸引口が設けられているので、吸引部により飛散物を効果的に吸引することができる。
また、上記第２の局面によるエキスパンド装置において、環状の吸引口は、所定の間隔を隔てて環状に配置された複数の吸引口により構成されている。このように構成すれば、環状の吸引口が単一の吸引口により構成されている場合に比べて、吸引口ごとの吸引力を大きくすることができるので、吸引部により飛散物をより効果的に吸引することができる。

また、シート部材のエキスパンドとシート部材のヒートシュリンクとを別々の位置で行うことにより、エキスパンド時にシート部材を冷却する冷却構造およびエキスパンド時に発生する飛散物を除去する除去構造などが存在する場合には、第１位置において、冷却構造および除去構造などを配置するスペースを確保することもできる。これにより、冷却構造および除去構造などが存在する場合には、第１位置において、高品質の達成に必要な冷却構造および除去構造などを配置することができるので、より高品質なシート部材のエキスパンドを達成することができる。

上記第１および第２の局面によるエキスパンド装置において、好ましくは、ヒートシュリンク部は、第２位置において、移動機構により移動したエキスパンド部の上方に配置されている。このように構成すれば、第２位置において、スペースを比較的容易に確保することが可能なエキスパンド部の上方にヒートシュリンク部を配置することができる。その結果、第２位置において、高品質の達成に必要な構造をより容易に配置することができるので、高品質なシート部材のヒートシュリンクをより容易に達成することができる。

この場合、好ましくは、ヒートシュリンク部は、第２位置において、シート部材を加熱しない上方位置と、シート部材を加熱する下方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。このように構成すれば、ヒートシュリンク部を上方位置に移動させることにより、エキスパンド部の移動に干渉しないようにヒートシュリンク部を退避させることができるので、エキスパンド部の移動を容易に行うことができる。また、ヒートシュリンク部を下方位置に移動させることにより、エキスパンド部の第２位置への移動後には、シート部材のヒートシュリンクを容易に行うことができる。

上記第２の局面によるエキスパンド装置において、好ましくは、吸引部は、環状の吸引部本体と、吸引部本体に設けられ、飛散物の吸引時にウエハの外縁に対向する環状の吸引口とを含む。このように構成すれば、飛散物が発生しやすいウエハの外縁に対向するように、吸引部の吸引口が設けられているので、吸引部により飛散物を効果的に吸引することができる。

上記第１および第２の局面によるエキスパンド装置において吸引部が環状の吸引口を含む構成において、好ましくは、環状の吸引口は、所定の間隔を隔てて環状に配置された複数の吸引口により構成されている。このように構成すれば、環状の吸引口が単一の吸引口により構成されている場合に比べて、吸引口ごとの吸引力を大きくすることができるので、吸引部により飛散物をより効果的に吸引することができる。

上記第１の局面によるエキスパンド装置において、好ましくは、吸引部は、飛散物を吸引する下方位置と、飛散物を吸引しない上方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。このように構成すれば、吸引部を上方位置に移動させることにより、エキスパンド部の移動に干渉しないように吸引部を退避させることができるので、エキスパンド部の移動を容易に行うことができる。また、吸引部を下方位置に移動させることにより、シート部材のエキスパンド時には、飛散物の吸引を容易に行うことができる。

上記第１および第２の局面によるエキスパンド装置において、好ましくは、第１位置に配置され、エキスパンド部によりシート部材をエキスパンドする際、シート部材を冷却する冷却部をさらに備える。このように構成すれば、エキスパンド時にシート部材を冷却して固くすることができるので、シート部材が柔らかいためにシート部材の外周部分のみが伸びてしまい、ウエハに対して十分な分割力が発生せずにウエハが分割できないことを抑制することができる。また、ウエハが柔らかい薄い膜層（Ｌｏｗ－Ｋ膜およびＤＡＦ（Ｄｉｅ Ａｔｔａｃｈｅｄ Ｆｉｌｍ）など）を有する場合、膜層は柔らかいため、ウエハのシリコン部分がエキスパンドによって分割されても、膜層が割れ残ってしまう場合があるが、上記のよう構成すれば、エキスパンド時に膜層を冷却して固くすることができるので、膜層が割れ残ってしまうことを抑制することができる。また、上記のように、シート部材のエキスパンドとシート部材のヒートシュリンクとを別々の位置で行うので、エキスパンド時の冷却構造としての冷却部を配置するスペースを確保することができる。

この場合、好ましくは、移動機構は、第１位置から冷却部を移動させることなく、冷却部とは独立して、第１位置から第２位置にエキスパンド部を水平方向に移動させるように構成されている。このように構成すれば、移動機構が冷却部と共にエキスパンド部を移動させるように構成されている場合に比べて、移動機構に必要な駆動力を小さくすることができる。その結果、移動機構を小型化することができる。

上記第１および第２の局面によるエキスパンド装置において、好ましくは、平面視において第１位置および第２位置とは異なる位置に配置され、複数のウエハリング構造を収容する収容部と、平面視において第１位置および第２位置とは異なる位置に配置され、収容部からウエハリング構造を取り出す取出部と、をさらに備え、取出部が収容部からウエハリング構造を取り出す方向は、移動機構がエキスパンド部を移動させる方向と略平行である。このように構成すれば、取出部が収容部からウエハリング構造を取り出す方向が、移動機構がエキスパンド部を移動させる方向と略直交する場合と異なり、取出部が収容部からウエハリング構造を取り出す方向および移動機構がエキスパンド部を移動させる方向に略直交する方向にエキスパンド装置が大型化することを抑制することができる。

本発明によれば、上記のように、シート部材をエキスパンドしてヒートシュリンクする場合にも、シート部材のヒートシュリンクに関する構造を配置するスペースを容易に確保することが可能なエキスパンド装置を提供することができる。

一実施形態によるエキスパンド装置の平面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置の側面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置のウエハリング構造の平面図である。 図３の１０１－１０１線に沿った断面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置の破片クリーナの底面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置のヒートシュリンク部の底面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置の制御的な構成を示したブロック図である。 一実施形態によるエキスパンド装置の半導体チップ製造処理を示したフローチャートである。 一実施形態によるエキスパンド装置のウエハリング構造をクランプする前の状態を示した側面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置のウエハリング構造をクランプした状態を示した側面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置のシート部材をエキスパンドした状態を示した側面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置のウエハリング構造、破片クリーナ、およびエキスパンドリングを示した側面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置のシート部材をヒートシュリンクする前の状態を示した側面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置のシート部材をヒートシュリンクする際の状態を示した側面図である。 一実施形態によるエキスパンド装置の取出処理を示したフローチャートである。 一実施形態によるエキスパンド装置の移載処理を示したフローチャートである。 一実施形態によるエキスパンド装置のエキスパンド処理を示したフローチャートである。 図１７のフローチャートの続きのフローチャートである。 一実施形態によるエキスパンド装置のヒートシュリンク処理を示したフローチャートである。 図１９のフローチャートの続きのフローチャートである。 一実施形態によるエキスパンド装置の収容処理を示したフローチャートである。

以下、本発明を具体化した実施形態を図面に基づいて説明する。

図１～図２１を参照して、本発明の一実施形態によるエキスパンド装置１００の構成について説明する。

（エキスパンド装置の構成）
図１および図２に示すように、エキスパンド装置１００は、ウエハ２１０を分割して複数の半導体チップを形成するように構成されている。また、エキスパンド装置１００は、複数の半導体チップ同士の間に十分な隙間を形成するように構成されている。ここで、ウエハ２１０には、ウエハ２１０に対して透過性を有する波長のレーザを分割ライン（ストリート）に沿って照射することにより、予め改質層が形成されている。改質層とは、レーザによりウエハ２１０の内部に形成された亀裂およびボイドなどを示す。このように、ウエハ２１０に改質層を形成する手法をステルス式ダイシング加工という。

したがって、エキスパンド装置１００では、シート部材２２０をエキスパンドさせることにより、改質層に沿ってウエハ２１０が分割されることになる。また、エキスパンド装置１００において、シート部材２２０をエキスパンドさせることにより、分割されて形成された複数の半導体チップ同士の隙間が広がることになる。

エキスパンド装置１００は、ベースプレート１と、カセット部２と、リフトアップハンド部３と、吸着ハンド部４と、ベース５と、エキスパンド部６と、冷気供給部７と、冷却ユニット８と、破片クリーナ９と、ヒートシュリンク部１０と、紫外線照射部１１とを備えている。なお、カセット部２は、請求の範囲の「収容部」の一例である。また、リフトアップハンド部３は、請求の範囲の「取出部」の一例である。また、冷気供給部７および冷却ユニット８は、請求の範囲の「冷却部」の一例である。また、破片クリーナ９は、請求の範囲の「吸引部」の一例である。

ここで、水平方向のうちカセット部２と、ヒートシュリンク部１０とが並ぶ方向をＸ方向とし、Ｘ方向のうちカセット部２側をＸ１方向とし、Ｘ方向のうちヒートシュリンク部１０側をＸ２方向とする。また、水平方向のうちＸ方向に直交する方向をＹ方向とし、Ｙ方向のうちカセット部２側をＹ１方向とし、Ｙ１方向とは逆方向をＹ２方向とする。また、上下方向をＺ方向とし、上方向をＺ１方向とし、下方向をＺ２方向とする。

〈ベースプレート〉
ベースプレート１は、カセット部２および吸着ハンド部４が設置される基台である。ベースプレート１は、平面視において、Ｙ方向に長い矩形形状を有している。

〈カセット部〉
カセット部２は、複数（５個）のウエハリング構造２００を収容可能に構成されている。ここで、ウエハリング構造２００は、図３および図４に示すように、ウエハ２１０と、シート部材２２０と、リング状部材２３０とを有している。

ウエハ２１０は、半導体集積回路の材料となる半導体物質の結晶でできた円形の薄い板である。ウエハ２１０の内部には、上記したように、分割ラインに沿って内部を改質させた改質層が形成されている。すなわち、ウエハ２１０は、分割ラインに沿って分割可能に構成されている。シート部材２２０は、伸縮性を有する粘着テープである。シート部材２２０の上面２２０ａには、粘着層が設けられている。シート部材２２０には、粘着層にウエハ２１０が貼り付けられている。リング状部材２３０は、平面視においてリング状の金属製のフレームである。リング状部材２３０の外側面２３０ａには、切り欠き２４０および切り欠き２５０が形成されている。リング状部材２３０は、ウエハ２１０を囲んだ状態でシート部材２２０の粘着層に貼り付けられている。

図１および図２に示すように、カセット部２は、Ｚ方向移動機構２１と、ウエハカセット２２と、一対の載置部２３とを含んでいる。Ｚ方向移動機構２１は、モータ２１ａを駆動源としてウエハカセット２２をＺ方向に移動させるように構成されている。また、Ｚ方向移動機構２１は、ウエハカセット２２を下側から支持する載置台２１ｂを有している。載置台２１ｂには、ウエハカセット２２が手作業によって供給および載置される。ウエハカセット２２は、複数のウエハリング構造２００を収容可能な収容空間を有している。一対の載置部２３は、ウエハカセット２２の内側に複数（５個）配置されている。一対の載置部２３には、ウエハリング構造２００のリング状部材２３０がＺ１方向側から載置される。一対の載置部２３の一方は、ウエハカセット２２のＸ１方向側の内側面からＸ２方向側に突出している。一対の載置部２３の他方は、ウエハカセット２２のＸ２方向側の内側面からＸ１方向側に突出している。

〈リフトアップハンド部〉
リフトアップハンド部３は、カセット部２からウエハリング構造２００を取出可能に構成されている。また、リフトアップハンド部３は、カセット部２にウエハリング構造２００を収容可能に構成されている。

具体的には、リフトアップハンド部３は、Ｙ方向移動機構３１と、リフトアップハンド３２とを含んでいる。Ｙ方向移動機構３１は、モータ３１ａを駆動源としてリフトアップハンド３２をＹ方向に移動させるように構成されている。リフトアップハンド３２は、ウエハリング構造２００のリング状部材２３０をＺ２方向側から支持するように構成されている。

〈吸着ハンド部〉
吸着ハンド部４は、ウエハリング構造２００のリング状部材２３０をＺ１方向側から吸着するように構成されている。

具体的には、吸着ハンド部４は、Ｘ方向移動機構４１と、Ｚ方向移動機構４２と、吸着ハンド４３とを含んでいる。Ｘ方向移動機構４１は、モータ４１ａを駆動源として吸着ハンド４３をＸ方向に移動させるように構成されている。Ｚ方向移動機構４２は、モータ４２ａを駆動源として吸着ハンド４３をＺ方向に移動させるように構成されている。吸着ハンド４３は、ウエハリング構造２００のリング状部材２３０をＺ１方向側から支持するように構成されている。

〈ベース〉
ベース５は、エキスパンド部６、冷却ユニット８および紫外線照射部１１が設置される基台である。ベース５は、平面視において、Ｙ方向に長い矩形形状を有している。

〈エキスパンド部〉
エキスパンド部６は、ウエハリング構造２００のシート部材２２０をエキスパンドすることにより、分割ラインに沿ってウエハ２１０を分割するように構成されている。

具体的には、エキスパンド部６は、Ｚ方向移動機構６１と、Ｙ方向移動機構６２と、クランプ部６３と、エキスパンドリング６４とを含んでいる。Ｚ方向移動機構６１は、モータ６１ａを駆動源としてクランプ部６３をＺ方向に移動させるように構成されている。Ｙ方向移動機構６２は、モータ６２ａを駆動源としてＺ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４をＹ方向に移動させるように構成されている。なお、Ｙ方向移動機構６２は、請求の範囲の「移動機構」の一例である。

クランプ部６３は、ウエハリング構造２００のリング状部材２３０を把持するように構成されている。クランプ部６３は、下側把持部６３ａと、上側把持部６３ｂとを有している。下側把持部６３ａは、リング状部材２３０をＺ２方向側から支持する。上側把持部６３ｂは、下側把持部６３ａにより支持された状態のリング状部材２３０をＺ１方向側から押さえる。このように、リング状部材２３０は、下側把持部６３ａおよび上側把持部６３ｂにより把持される。

エキスパンドリング６４は、シート部材２２０をＺ２方向側から支持することにより、シート部材２２０をエキスパンド（拡張）させるように構成されている。エキスパンドリング６４は、平面視においてリング形状を有している。

〈冷気供給部〉
冷気供給部７は、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドさせる際、シート部材２２０にＺ１方向側から冷気を供給するように構成されている。

具体的には、冷気供給部７は、複数のノズル７１を有している。ノズル７１は、冷気供給源（図示せず）から供給される冷気を流出させる冷気供給口７１ａ（図５参照）を有している。ノズル７１は、破片クリーナ９に取り付けられている。冷気供給源は、冷気を生成するための冷却装置である。冷気供給源は、たとえば、ヒートポンプなどが設けられた冷却装置などにより冷却された空気を供給する。このような冷気供給源は、ベース５に設置される。冷気供給源と、複数のノズル７１の各々とは、ホース（図示せず）により接続されている。

〈冷却ユニット〉
冷却ユニット８は、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドさせる際、シート部材２２０をＺ２方向側から冷却するように構成されている。

具体的には、冷却ユニット８は、冷却体８１ａおよびペルチェ素子８１ｂを有する冷却部材８１と、シリンダ８２とを含んでいる。冷却体８１ａは、熱容量が大きく、かつ、熱伝導率が高い部材により構成されている。冷却体８１ａは、アルミニウムなどの金属により形成されている。ペルチェ素子８１ｂは、冷却体８１ａを冷却するように構成されている。なお、冷却体８１ａは、アルミニウムに限定されず、他の熱容量が大きく、かつ、熱伝導率が高い部材であってもよい。

冷却ユニット８は、シリンダ８２により、Ｚ方向に移動可能に構成されている。これにより、冷却ユニット８は、シート部材２２０に接触する位置、および、シート部材２２０から離間した位置に移動することが可能である。

〈破片クリーナ〉
破片クリーナ９は、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドさせる際、ウエハ２１０の破片などを吸引するように構成されている。

図５に示すように、破片クリーナ９は、リング状部材９１と、複数の吸引口９２とを含んでいる。リング状部材９１は、Ｚ１方向側から見て、リング形状を有する部材である。複数の吸引口９２は、ウエハ２１０の破片などを吸引するための開口である。複数の吸引口９２は、リング状部材９１のＺ２方向側の下面に形成されている。なお、リング状部材９１は、請求の範囲の「吸引部本体」の一例である。

図２に示すように、破片クリーナ９は、シリンダ（図示せず）により、Ｚ方向に移動可能に構成されている。これにより、破片クリーナ９は、ウエハ２１０に近接した位置、および、Ｘ方向に移動する吸着ハンド４３を回避可能な位置に移動することが可能である。

〈ヒートシュリンク部〉
ヒートシュリンク部１０は、エキスパンド部６によりエキスパンドされたシート部材２２０を、複数の半導体チップ同士の間の隙間を保持した状態で、加熱により収縮させるように構成されている。

図１に示すように、ヒートシュリンク部１０は、Ｚ方向移動機構１１０と、加熱リング１１１と、吸気リング１１２と、拡張維持リング１１３とを含んでいる。Ｚ方向移動機構１１０は、モータ１１０ａを駆動源として加熱リング１１１および吸気リング１１２をＺ方向に移動させるように構成されている。

図６に示すように、加熱リング１１１は、平面視において、リング形状を有している。また、加熱リング１１１は、シート部材２２０を加熱するシーズヒータを有している。吸気リング１１２は、加熱リング１１１と一体的に構成されている。吸気リング１１２は、平面視において、リング形状を有している。吸気リング１１２のＺ２方向側の下面には、複数の吸気口１１２ａが形成されている。拡張維持リング１１３は、加熱リング１１１による加熱によってウエハ２１０付近のシート部材２２０が収縮しないように、シート部材２２０をＺ１方向側から押さえるように構成されている。

拡張維持リング１１３は、平面視においてリング形状を有している。拡張維持リング１１３は、シリンダ（図示せず）により、Ｚ方向に移動可能に構成されている。これにより、拡張維持リング１１３は、シート部材２２０を押さえる位置、および、シート部材２２０から離れた位置に移動することが可能である。

〈紫外線照射部〉
紫外線照射部１１は、シート部材２２０の粘着層の粘着力を低下させるために、シート部材２２０に紫外線を照射するように構成されている。具体的には、紫外線照射部１１は、紫外線用照明を有している。

（エキスパンド装置の制御的な構成）
図７に示すように、エキスパンド装置１００は、第１制御部１２と、第２制御部１３と、第３制御部１４と、第４制御部１５と、第５制御部１６と、エキスパンド制御演算部１７と、ハンドリング制御演算部１８と、記憶部１９とを備えている。

第１制御部１２は、ヒートシュリンク部１０を制御するように構成されている。第１制御部１２は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）およびＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）などを有する記憶部とを含んでいる。なお、第１制御部１２は、記憶部として、電圧遮断後にも記憶された情報が保持されるＨＤＤ（Ｈａｒｄ Ｄｉｓｋ Ｄｒｉｖｅ）などを含んでいてもよい。また、ＨＤＤは、第１制御部１２、第２制御部１３、第３制御部１４、第４制御部１５、および、第５制御部１６に対して共通に設けられていてもよい。

第２制御部１３は、冷気供給部７、冷却ユニット８および破片クリーナ９を制御するように構成されている。第２制御部１３は、ＣＰＵと、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを有する記憶部とを含んでいる。第３制御部１４は、エキスパンド部６を制御するように構成されている。第３制御部１４は、ＣＰＵと、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを有する記憶部とを含んでいる。なお、第２制御部１３および第３制御部１４は、記憶部として、電圧遮断後にも記憶された情報が保持されるＨＤＤなどを含んでいてもよい。

第４制御部１５は、カセット部２およびリフトアップハンド部３を制御するように構成されている。第４制御部１５は、ＣＰＵと、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを有する記憶部とを含んでいる。第５制御部１６は、吸着ハンド部４を制御するように構成されている。第５制御部１６は、ＣＰＵと、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを有する記憶部とを含んでいる。なお、第４制御部１５および第５制御部１６は、記憶部として、電圧遮断後にも記憶された情報が保持されるＨＤＤなどを含んでいてもよい。

エキスパンド制御演算部１７は、第１制御部１２、第２制御部１３および第３制御部１４の処理結果に基づいて、シート部材２２０のエキスパンド処理に関する演算を行うように構成されている。エキスパンド制御演算部１７は、ＣＰＵと、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを有する記憶部とを含んでいる。

ハンドリング制御演算部１８は、第４制御部１５および第５制御部１６の処理結果に基づいて、ウエハリング構造２００の移動処理に関する演算を行うように構成されている。ハンドリング制御演算部１８は、ＣＰＵと、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを有する記憶部とを含んでいる。

記憶部１９は、エキスパンド装置１００を動作させるためのプログラムが記憶されている。記憶部１９は、ＲＯＭおよびＲＡＭなどを含んでいる。

（エキスパンド装置による半導体チップ製造処理）
エキスパンド装置１００の全体的な動作について以下に説明する。

ステップＳ１において、カセット部２からウエハリング構造２００が取り出される。すなわち、カセット部２内に収容されたウエハリング構造２００をリフトアップハンド３２により支持した後、Ｙ方向移動機構３１によりリフトアップハンド３２がＹ２方向側に移動することによって、カセット部２からウエハリング構造２００が取り出される。ステップＳ２において、吸着ハンド４３によりウエハリング構造２００がエキスパンド部６に移載される。すなわち、カセット部２から取り出されたウエハリング構造２００は、吸着ハンド４３により吸着された状態で、Ｘ方向移動機構４１によりＸ２方向側に移動する。そして、Ｘ２方向側に移動したウエハリング構造２００は、吸着ハンド４３からクランプ部６３に移載された後、クランプ部６３により把持される。

ステップＳ３において、エキスパンド部６によりシート部材２２０がエキスパンドされる。この際、クランプ部６３により把持されたウエハリング構造２００のシート部材２２０は、冷却ユニット８により冷却される。また、必要であれば、冷気供給部７によるシート部材２２０の冷却が、行われる。所定温度まで冷却されたウエハリング構造２００は、クランプ部６３により把持された状態で、Ｚ方向移動機構６１により下降する。そして、エキスパンドリング６４によりシート部材２２０がエキスパンドされることによって、ウエハ２１０が分割ラインに沿って分割される。この際、破片クリーナ９による破片の吸引を行いつつ、ウエハ２１０の分割が行われる。

ステップＳ４において、シート部材２２０のエキスパンド状態を維持したまま、エキスパンド部６をヒートシュリンク部１０のＺ２方向側に移動する。すなわち、ウエハ２１０の分割が行われた後、シート部材２２０がエキスパンドされた状態のウエハリング構造２００は、Ｙ方向移動機構６２によりＹ１方向に移動する。ステップＳ５において、ヒートシュリンク部１０によりシート部材２２０を加熱して収縮させる。この際、Ｙ１方向に移動したウエハリング構造２００は、拡張維持リング１１３およびエキスパンドリング６４により挟み込まれた状態で、加熱リング１１１による加熱が行われる。この際、吸気リング１１２による吸気と、紫外線照射部１１による紫外線の照射とが行われる。

ステップＳ６において、エキスパンド部６を元の位置に戻す。すなわち、シート部材２２０を収縮させたウエハリング構造２００は、Ｙ方向移動機構３１によりＹ２方向側に移動する。ステップＳ７において、吸着ハンド４３によりエキスパンド部６からリフトアップハンド部３にウエハリング構造２００が移載された状態で、Ｘ方向移動機構４１によりＸ１方向側に移動し、リフトアップハンド３２に受け渡される。ステップＳ８において、ウエハリング構造２００が、カセット部２に収容される。そして、リフトアップハンド３２により支持されたウエハリング構造２００は、Ｙ方向移動機構３１によってＹ１方向側に移動させることによって、カセット部２にウエハリング構造２００が収容される。これらにより、１枚のウエハリング構造２００に対して行われる処理が完了する。

（エキスパンドおよびヒートシュリンクに関する構成）
図１および図９～図１４を参照して、エキスパンドおよびヒートシュリンクに関する構成について詳細に説明する。

ここで、本実施形態では、図１および図９～図１４に示すように、エキスパンド部６は、伸縮性を有する熱収縮性のシート部材２２０を、第１位置Ｐ１において、エキスパンドするように構成されている。また、Ｙ方向移動機構６２は、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドした状態で、第１位置Ｐ１から、平面視において第１位置Ｐ１とは水平方向（Ｙ１方向）に離間した第２位置Ｐ２にエキスパンド部６のＺ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４を水平方向（Ｙ１方向）に移動させるように構成されている。また、ヒートシュリンク部１０は、エキスパンド部６によるエキスパンドにより発生するシート部材２２０のウエハ２１０の周囲の部分２２０ｂの弛みを、第２位置Ｐ２において、加熱して収縮させる（ヒートシュリンクさせる）ように構成されている。

〈エキスパンドに関する構成〉
図９～図１１に示すように、エキスパンド部６は、シート部材２２０をエキスパンドする際、クランプ部６３によりリング状部材２３０を上下方向（Ｚ方向）に把持するように構成されている。具体的には、クランプ部６３の上側把持部６３ｂは、ウエハリング構造２００を囲むように配置された複数（４つ）のスライド移動体６３ｂａにより構成されている。複数のスライド移動体６３ｂａは、リング状部材２３０を把持する際、ウエハ２１０側に向かって水平方向にスライド移動するように構成されている。また、クランプ部６３の下側把持部６３ａは、エアシリンダなどのシリンダの駆動力により、ウエハ２１０側にスライド移動した上側把持部６３ｂ（複数のスライド移動体６３ｂａ）に向かってＺ１方向側に上昇するように構成されている。これにより、クランプ部６３の上側把持部６３ｂと下側把持部６３ａとの間に、リング状部材２３０が把持されて固定される。

また、クランプ部６３は、上側把持部６３ｂと下側把持部６３ａとの間にリング状部材２３０を把持した状態で、Ｚ方向移動機構６１のモータ６１ａの駆動力により、エキスパンドリング６４に向かってＺ２方向側に下降するように構成されている。これにより、シート部材２２０がエキスパンドリング６４に押し付けられるとともに、シート部材２２０がエキスパンドされる。なお、エキスパンドリング６４は、シート部材２２０に対してＺ２方向側に配置されている。また、エキスパンドリング６４は、ウエハ２１０を囲むように、リング状部材２３０と同軸でかつ円形の環状に形成されている。また、エキスパンドリング６４の径は、ウエハ２１０の径よりも大きくかつリング状部材２３０の径（内径）よりも小さい。すなわち、エキスパンドリング６４は、水平方向においてウエハ２１０とリング状部材２３０との間に配置されている。

また、本実施形態では、エキスパンド位置である第１位置Ｐ１において、ウエハリング構造２００に対してＺ１方向側に、シート部材２２０のエキスパンドに起因してウエハリング構造２００から発生する飛散物を吸引して除去する破片クリーナ９が配置されている。飛散物は、たとえば、ウエハ２１０の破片などであり、ウエハ２１０の外縁２１０ａ（図１２参照）の近傍ではウエハ２１０などの破片が小さいため、シート部材２２０のエキスパンドの際に位置が不安定となり、飛散物となりやすい。また、ウエハ２１０とシート部材２２０との間にダイアタッチフィルムが存在する場合、ダイアタッチフィルムが飛散物となる場合もある。破片クリーナ９は、負圧発生装置から供給される負圧により、飛散物を吸引して除去するように構成されている。

また、本実施形態では、図５および図１２に示すように、破片クリーナ９の吸引口９２は、飛散物（ウエハ２１０の破片およびダイアタッチフィルムの破片など）の吸引時に円形の環状のウエハ２１０の外縁２１０ａに対向するように、円形の環状に形成されている。具体的には、円形の環状の吸引口９２は、所定の間隔を隔てて円形の環状に配置された複数の吸引口９２により構成されている。破片クリーナ９は、円形の環状の吸引口９２により、ウエハ２１０の中心から離間する方向に、飛散物を吸引するように構成されている。

また、本実施形態では、図９～図１１に示すように、破片クリーナ９は、エアシリンダなどのシリンダの駆動力により、エキスパンド位置である第１位置Ｐ１において、飛散物を吸引する下方位置と、飛散物を吸引しない上方位置との間で、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。下方位置は、ウエハ２１０の近傍の位置である。また、上方位置は、Ｘ方向に移動する吸着ハンド４３を回避可能な退避位置である。破片クリーナ９は、シート部材２２０をエキスパンドする際、上方位置から下方位置まで、Ｚ２方向側に下降するように構成されている。また、破片クリーナ９は、エキスパンドリング６４にシート部材２２０を押し付ける前に吸引動作を開始し、少なくともエキスパンドリング６４へのシート部材２２０の押し付けが完了する（Ｚ方向移動機構６１によるＺ２方向側への移動が完了した時点）まで、吸引動作を継続するように構成されている。

また、本実施形態では、エキスパンド位置である第１位置Ｐ１に、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドする際、シート部材２２０を冷却する冷気供給部７および冷却ユニット８が配置されている。冷気供給部７は、ウエハリング構造２００に対してＺ１方向側に、破片クリーナ９と一体的に設けられている。このため、冷気供給部７は、第１位置Ｐ１において、冷気を供給する下方位置と、冷気を供給しない上方位置との間で、破片クリーナ９と一体的に、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。冷気供給部７は、シート部材２２０をエキスパンドする際、上方位置から下方位置まで、Ｚ２方向側に下降するように構成されている。また、冷気供給部７は、エキスパンドリング６４にシート部材２２０を押し付ける前に冷気供給動作を開始し、少なくともエキスパンドリング６４にシート部材２２０を押し付け切るまで、冷気供給動作を継続し続けるように構成されている。

また、冷却ユニット８は、ウエハリング構造２００に対してＺ２方向側に配置されている。また、冷却ユニット８は、第１位置Ｐ１において、エアシリンダなどのシリンダ８２の駆動力により、シート部材２２０を冷却する上方位置と、シート部材２２０を冷却しない下方位置との間で、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。冷却ユニット８は、シート部材２２０をエキスパンドする際、下方位置から上方位置まで、Ｚ１方向側に上昇するように構成されている。また、冷却ユニット８は、エキスパンドリング６４にシート部材２２０を押し付ける前に、冷却動作を開始して完了するように構成されている。また、冷却ユニット８は、エキスパンドリング６４にシート部材２２０を押し付ける前に、下方位置に退避するように構成されている。

また、エキスパンド部６によるシート部材２２０のエキスパンド（シート部材２２０のエキスパンドリング６４への押し付け）が完了すると、Ｙ方向移動機構６２は、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドした状態を維持しつつ、シート部材２２０のエキスパンドを行った第１位置Ｐ１から、シート部材２２０のヒートシュリンクを行う第２位置Ｐ２に、エキスパンド部６（Ｚ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４）をＹ１方向に移動させるように構成されている。この際、Ｙ方向移動機構６２は、第１位置Ｐ１から破片クリーナ９、冷気供給部７および冷却ユニット８を移動させることなく、破片クリーナ９、冷気供給部７および冷却ユニット８とは独立して、第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２にエキスパンド部６をＹ１方向に移動させるように構成されている。この際、破片クリーナ９および冷気供給部７は、上方位置に退避されており、冷却ユニット８は、下方位置に退避されている。

Ｙ方向移動機構６２は、モータ６２ａに加えて、載置部６２ｂと、レール部６２ｃとをさらに有している。載置部６２ｂは、Ｚ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４が上面に載置されるように構成されている。また、載置部６２ｂは、平面視において略矩形形状のプレート状に形成されている。また、載置部６２ｂは、レール部６２ｃ上に移動可能に設けられている。レール部６２ｃは、Ｘ方向に離間して一対設けられている。一対のレール部６２ｃは、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間で、Ｙ方向に延びるように設けられている。Ｙ方向移動機構６２は、モータ６２ａの駆動力により、一対のレール部６２ｃに沿って載置部６２ｂをＹ方向に移動させることによって、Ｚ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４を、第１位置Ｐ１と第２位置Ｐ２との間でＹ方向に移動させることが可能なように構成されている。

また、載置部６２ｂには、上下方向（Ｚ方向）に載置部６２ｂを貫通する孔部６２ｂａが設けられている。孔部６２ｂａは、平面視において、円形状に形成されている。また、孔部６２ｂａは、第１位置Ｐ１において、冷却ユニット８を通過させることが可能な大きさを有している。これにより、孔部６２ｂａを介して冷却ユニット８を上方位置と下方位置との間で移動させることが可能である。また、孔部６２ｂａは、第２位置Ｐ２において、紫外線照射部１１を通過させることが可能な大きさを有している。これにより、孔部６２ｂａを介して紫外線照射部１１を上方位置と下方位置との間で移動させることが可能である。また、孔部６２ｂａは、エキスパンドリング６４の内側に設けられている。冷却ユニット８および紫外線照射部１１は、孔部６２ｂａを介して、エキスパンドリング６４の内側に移動するように構成されている。

〈ヒートシュリンクに関する構成〉
また、本実施形態では、図１３および図１４に示すように、ヒートシュリンク部１０は、ヒートシュリンク位置である第２位置Ｐ２において、Ｙ方向移動機構６２により移動したエキスパンド部６のＺ１方向側に配置されている。また、ヒートシュリンク部１０の加熱リング１１１および吸気リング１１２は、Ｚ方向移動機構１１０のモータ１１０ａの駆動力により、第２位置Ｐ２において、シート部材２２０を加熱しない上方位置と、シート部材２２０を加熱する下方位置との間で、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。また、ヒートシュリンク部１０の拡張維持リング１１３は、エアシリンダなどのシリンダの駆動力により、第２位置Ｐ２において、シート部材２２０を押さえない上方位置と、シート部材２２０を押さえる下方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。また、上方位置は、Ｙ１方向に移動するエキスパンド部６およびウエハリング構造２００を回避可能な退避位置である。また、下方位置は、シート部材２２０の近傍の位置である。

また、ヒートシュリンク部１０（加熱リング１１１、吸気リング１１２および拡張維持リング１１３）は、シート部材２２０をヒートシュリンクする際、上方位置から下方位置まで、Ｚ２方向側に下降するように構成されている。なお、加熱リング１１１および吸気リング１１２用の上下機構（Ｚ方向移動機構１１０）と、拡張維持リング１１３用の上下機構（シリンダ）とは、別々の機構である。このため、加熱リング１１１および吸気リング１１２と、拡張維持リング１１３とは、互いに独立して上下移動可能である。拡張維持リング１１３は、エキスパンドリング６４との間で、上下方向（Ｚ方向）にシート部材２２０を挟み込むように構成されている。これにより、拡張維持リング１１３は、シート部材２２０のウエハ２１０に対応する部分のエキスパンド状態を維持するように構成されている。また、加熱リング１１１は、拡張維持リング１１３でシート部材２２０のエキスパンド状態を維持した状態で、加熱機構であるシーズヒータにより、シート部材２２０のウエハ２１０の周囲の部分２２０ｂ（拡張維持リング１１３の外側の部分）を加熱するように構成されている。また、吸気リング１１２は、加熱リング１１１によるシート部材２２０の加熱の間、加熱に起因してシート部材２２０から発生するガスを吸気するように構成されている。

また、本実施形態では、ヒートシュリンク位置である第２位置Ｐ２に、ヒートシュリンク部１０によりシート部材２２０をヒートシュリンクする際、シート部材２２０に紫外線を照射する紫外線照射部１１が配置されている。紫外線照射部１１は、ウエハリング構造２００に対してＺ２方向側に配置されている。また、紫外線照射部１１は、第２位置Ｐ２において、エアシリンダなどのシリンダ１２１の駆動力により、紫外線を照射する上方位置と、紫外線を照射しない下方位置との間で、上下方向（Ｚ方向）に移動可能に構成されている。紫外線照射部１１は、シート部材２２０をヒートシュリンクする際、下方位置から上方位置まで、Ｚ１方向側に上昇するように構成されている。

また、ヒートシュリンク部１０によるシート部材２２０のヒートシュリンクが完了すると、Ｙ方向移動機構６２は、ヒートシュリンクを行った第２位置Ｐ２から、エキスパンドを行った第１位置Ｐ１に、エキスパンド部６（Ｚ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４）をＹ２方向に移動させるように構成されている。この際、Ｙ方向移動機構６２は、第２位置Ｐ２からヒートシュリンク部１０および紫外線照射部１１を移動させることなく、ヒートシュリンク部１０および紫外線照射部１１とは独立して、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１にエキスパンド部６をＹ２方向に移動させるように構成されている。この際、ヒートシュリンク部１０は、上方位置に退避されており、紫外線照射部１１は、下方位置に退避されている。

〈カセット部およびリフトアップハンド部に関する構成〉
また、本実施形態では、図１に示すように、カセット部２は、平面視において第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２とは異なる位置に配置されている。また、リフトアップハンド部３は、平面視において第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２とは異なる位置に配置されている。また、リフトアップハンド部３がカセット部２からウエハリング構造２００を取り出す方向（Ｙ２方向）は、Ｙ方向移動機構６２がエキスパンド部６を移動させる方向（Ｙ１方向）と略平行である。すなわち、リフトアップハンド部３によるウエハリング構造２００の挿抜方向（Ｙ方向）と、Ｙ方向移動機構６２によるエキスパンド部６の移動方向（Ｙ方向）とは、互いに略平行である。また、カセット部２は、ヒートシュリンク位置である第２位置Ｐ２とＸ方向に並んで配置されている。また、リフトアップハンド部３によるウエハリング構造２００の取出位置は、エキスパンド位置である第１位置Ｐ１とＸ方向に並んで配置されている。

（取出処理）
図１５を参照して、エキスパンド装置１００における取出処理について説明する。取出処理は、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ１において行われる処理である。

図１５に示すように、ステップＳ１０１において、リフトアップハンド部３のリフトアップハンド３２が空いているか否かが判断される。リフトアップハンド３２が空いていない場合、取出処理が終了される。また、リフトアップハンド３２が空いている場合、ステップＳ１０２に進む。

そして、ステップＳ１０２において、リフトアップハンド３２がカセット部２のウエハカセット２２内に存在するか否かが判断される。リフトアップハンド３２がウエハカセット２２内に存在しない場合、ステップＳ１０４に進む。また、リフトアップハンド３２がウエハカセット２２内に存在する場合、ステップＳ１０３に進む。

そして、ステップＳ１０３において、リフトアップハンド３２が、Ｙ方向移動機構３１により、ウエハカセット２２内からウエハカセット２２外にＹ２方向に移動される。

そして、ステップＳ１０４において、リフトアップハンド３２によりウエハカセット２２内の取出対象のウエハリング構造２００を取り出し可能なように、ウエハカセット２２がＺ方向移動機構２１によりＺ方向に移動される。具体的には、ステップＳ１０４では、ウエハカセット２２内の取出対象のウエハリング構造２００のリング状部材の２３０の下面のわずかにＺ２方向側の高さに、リフトアップハンド３２の上面が位置するように、ウエハカセット２２がＺ方向移動機構２１によりＺ方向に移動される。

そして、ステップＳ１０５において、ウエハカセット２２内の取出対象のウエハリング構造２００のリング状部材２３０の真下に位置するように、リフトアップハンド３２がＹ方向移動機構３１によりＹ１方向に移動される。

そして、ステップＳ１０６において、ウエハカセット２２内の取出対象のウエハリング構造２００が、リフトアップハンド３２に受け渡される。具体的には、ステップＳ１０６では、ウエハカセット２２内の取出対象のウエハリング構造２００のリング状部材２３０の下面が、リフトアップハンド３２により一対の載置部２３の上面からわずかに浮き上がるように、ウエハカセット２２がＺ方向移動機構２１によりＺ２方向に移動される。

そして、ステップＳ１０７において、リフトアップハンド３２の上面により取出対象のウエハリング構造２００のリング状部材２３０の下面を支持した状態で、リフトアップハンド３２がＹ方向移動機構３１によりＹ２方向に移動される。これにより、取出対象のウエハリング構造２００が、リフトアップハンド３２によりウエハカセット２２内から取り出される。そして、取出処理が終了される。

（移載処理）
図１６を参照して、エキスパンド装置１００における移載処理について説明する。移載処理は、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ２またはＳ７において行われる処理である。

図１６に示すように、ステップＳ２０１において、吸着ハンド部４の吸着ハンド４３がＺ方向移動機構４２により上昇される。

そして、ステップＳ２０２において、吸着ハンド４３がＸ方向移動機構４１によりウエハリング構造２００の上方に移動される。具体的には、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ２の場合、吸着ハンド４３が、リフトアップハンド３２により支持されたウエハリング構造２００の上方に移動される。また、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ７の場合、吸着ハンド４３が、エキスパンド部６により支持されたウエハリング構造２００の上方に移動される。

そして、ステップＳ２０３において、吸着ハンド４３がＺ方向移動機構４２によりウエハリング構造２００に向かって下降される。

そして、ステップＳ２０４において、吸着ハンド４３が負圧発生装置から供給される負圧によりウエハリング構造２００のリング状部材２３０を吸着する。

そして、ステップＳ２０５において、吸着ハンド４３がＺ方向移動機構４２により上昇される。

そして、ステップＳ２０６において、吸着ハンド４３がＸ方向移動機構４１により移載先の上方に移動される。具体的には、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ２の場合、吸着ハンド４３が、第１位置Ｐ１のエキスパンド部６の上方に移動される。また、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ７の場合、吸着ハンド４３が、リフトアップハンド３２の上方に移動される。

そして、ステップＳ２０７において、吸着ハンド４３がＺ方向移動機構４２により移載先（エキスパンド部６またはリフトアップハンド３２）に向かって下降される。

そして、ステップＳ２０８において、吸着ハンド４３によるウエハリング構造２００のリング状部材２３０の吸着が解除される。これにより、ウエハリング構造２００の移載先への移載が完了する。そして、移載処理が終了される。

（エキスパンド処理）
図１７および図１８を参照して、エキスパンド装置１００におけるエキスパンド処理について説明する。エキスパンド処理は、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ３において行われる処理である。エキスパンド処理は、第１位置Ｐ１において行われる。

図１７に示すように、ステップＳ３０１において、吸着ハンド４３がＺ方向移動機構４２により上昇される。この際、ウエハリング構造２００のリング状部材２３０が、クランプ部６３の下側把持部６３ａにより支持されている。

そして、ステップＳ３０２において、上側把持部６３ｂの複数のスライド移動体６３ｂａがウエハ２１０側に向かって水平方向にスライド移動される。

そして、ステップＳ３０３において、ウエハリング構造２００のリング状部材２３０を支持した状態で、下側把持部６３ａが上昇される。これにより、上側把持部６３ｂと下側把持部６３ａとの間に、リング状部材２３０が把持されて固定される。

そして、ステップＳ３０４において、破片クリーナ９が冷気供給部７と共にシリンダによりウエハリング構造２００に向かって下降される。

そして、ステップＳ３０５において、冷気供給部７によるシート部材２２０への冷気の供給による冷却が必要であるか否かが判断される。冷気供給部７によるシート部材２２０への冷気の供給による冷却が必要である場合、ステップＳ３０５ａに進む。そして、ステップＳ３０５ａにおいて、冷気供給部７によるシート部材２２０への冷気の供給が開始される。なお、冷気供給部７による冷却が行われる場合には、後述するステップＳ３０７において冷却ユニット８による冷却も行われる。そして、ステップＳ３０６に進む。また、冷気供給部７によるシート部材２２０への冷気の供給による冷却が必要ではない場合、ステップＳ３０５ａの処理を行わずに、ステップＳ３０６に進む。

そして、ステップＳ３０６において、シート部材２２０の冷却ユニット８による冷却が必要であるか否かが判断される。シート部材２２０の冷却ユニット８による冷却が必要である場合、ステップＳ３０７に進む。そして、ステップＳ３０７において、シート部材２２０の冷気供給部７による冷却に加えて、シート部材２２０の冷却ユニット８による冷却が行われる。そして、ステップＳ３０８に進む。また、シート部材２２０の冷却ユニット８による冷却が必要ではない場合、ステップＳ３０７の処理を行わずに、ステップＳ３０８に進む。

そして、図１８に示すように、ステップＳ３０８において、飛散物の破片クリーナ９による吸引が開始される。

そして、ステップＳ３０９において、クランプ部６３がＺ方向移動機構６１により急速に下降されてシート部材２２０がエキスパンドリング６４に押し付けられることにより、シート部材２２０のエキスパンドが実行される。これにより、シート部材２２０上のウエハ２１０がマトリクス状の複数の半導体チップに分割されるとともに、複数の半導体チップの間の隙間が広げられる。また、ステップＳ３０９では、クランプ部６３がエキスパンド開始位置からエキスパンド完了位置まで下降される。

そして、ステップＳ３１０において、冷気供給部７によるシート部材２２０への冷気の供給が停止される。なお、ステップ３０５において、冷気供給部７によるシート部材２２０への冷気の供給による冷却が必要ではないと判断された場合、ステップＳ３１０の処理を行わずに、ステップＳ３１１に進む。

そして、ステップＳ３１１において、飛散物の破片クリーナ９による吸引が停止される。

そして、ステップＳ３１２において、破片クリーナ９が冷気供給部７と共にシリンダにより上昇される。そして、エキスパンド処理が終了される。そして、シート部材２２０をエキスパンドした状態を維持しつつ、第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２に、エキスパンド部６（Ｚ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４）がＹ方向移動機構６２により移動される。

（ヒートシュリンク処理）
図１９および図２０を参照して、エキスパンド装置１００におけるヒートシュリンク処理について説明する。ヒートシュリンク処理は、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ５において行われる処理である。

図１９に示すように、ステップＳ４０１において、紫外線照射部１１がシリンダ１２１により上昇される。

そして、ステップＳ４０２において、拡張維持リング１１３がシリンダにより下降される。これにより、拡張維持リング１１３とエキスパンドリング６４との間にシート部材２２０が挟み込まれる。

そして、ステップＳ４０３において、加熱リング１１１と吸気リング１１２とがＺ方向移動機構１１０により下降される。なお、加熱リング１１１および吸気リング１１２用の上下機構（Ｚ方向移動機構１１０）と、拡張維持リング１１３用の上下機構（シリンダ）とは、別々の機構である。

そして、ステップＳ４０４において、吸気リング１１２による吸気が開始される。

そして、ステップＳ４０５において、シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱と、紫外線の紫外線照射部１１によるシート部材２２０への照射とが開始される。シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱により、シート部材２２０のウエハ２１０の周囲の部分２２０ｂの弛みが収縮して除去される。また、紫外線の紫外線照射部１１によるシート部材２２０への照射により、シート部材２２０の粘着層の粘着力が低下される。

そして、ステップＳ４０６において、シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱時間が設定時間に達したか否かが判断される。シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱時間が設定時間に達していない場合、ステップＳ４０６の処理が繰り返される。また、シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱時間が設定時間に達した場合、ステップＳ４０７に進む。

そして、ステップＳ４０７において、シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱が停止される。

そして、ステップＳ４０８において、クランプ部６３がＺ方向移動機構６１により低速で上昇される。

そして、ステップＳ４０９において、クランプ部６３がエキスパンド開始位置まで上昇したか否かが判断される。クランプ部６３がエキスパンド開始位置まで上昇していない場合、ステップＳ４０９の処理が繰り返される。また、クランプ部６３がエキスパンド開始位置まで上昇した場合、ステップＳ４１０に進む。

なお、ステップＳ４０６～Ｓ４０９の処理では、シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱と、クランプ部６３のＺ方向移動機構６１による上昇とを１回で行う例を示したが、ヒートシュリンクの構成はこれには限られない。たとえば、シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱と、クランプ部６３のＺ方向移動機構６１による上昇とを複数回に分割して行ってもよい。すなわち、シート部材２２０の加熱リング１１１による加熱と、クランプ部６３のＺ方向移動機構６１による上昇とを繰り返しながら、クランプ部６３がエキスパンド開始位置まで上昇されてもよい。

そして、ステップＳ４１０において、吸気リング１１２による吸気と、紫外線の紫外線照射部１１によるシート部材２２０への照射とが停止される。

そして、ステップＳ４１１において、加熱リング１１１と吸気リング１１２とがＺ方向移動機構１１０により上昇される。

そして、ステップＳ４１２において、拡張維持リング１１３がシリンダにより上昇される。

そして、ステップＳ４１３において、紫外線照射部１１がシリンダ１２１により下降される。そして、ヒートシュリンク処理が終了される。そして、第２位置Ｐ２から第１位置Ｐ１に、エキスパンド部６（Ｚ方向移動機構６１、クランプ部６３およびエキスパンドリング６４）がＹ方向移動機構６２により移動される。そして、第１位置Ｐ１のエキスパンド部６からリフトアップハンド３２に、エキスパンドおよびヒートシュリンクが完了したウエハリング構造２００が、吸着ハンド４３により移載される。

（収容処理）
図２１を参照して、エキスパンド装置１００における収容処理について説明する。収容処理は、上記半導体チップ製造処理におけるステップＳ８において行われる処理である。

図２１に示すように、ステップＳ５０１において、リフトアップハンド部３のリフトアップハンド３２が空いているか否かが判断される。リフトアップハンド３２が空いていない場合、収容処理が終了される。また、リフトアップハンド３２が空いている場合、ステップＳ５０２に進む。

そして、ステップＳ５０２において、リフトアップハンド３２がカセット部２のウエハカセット２２内に存在するか否かが判断される。リフトアップハンド３２がウエハカセット２２内に存在しない場合、ステップＳ５０４に進む。また、リフトアップハンド３２がウエハカセット２２内に存在する場合、ステップＳ５０３に進む。

そして、ステップＳ５０３において、リフトアップハンド３２が、Ｙ方向移動機構３１により、ウエハカセット２２内からウエハカセット２２外にＹ２方向に移動される。

そして、ステップＳ５０４において、ウエハカセット２２にリフトアップハンド３２上の収容対象のウエハリング構造２００を収容可能なように、ウエハカセット２２がＺ方向移動機構２１によりＺ方向に移動される。具体的には、ステップＳ５０４では、ウエハカセット２２内の一対の載置部２３の上面のわずかにＺ１方向側の高さに、リフトアップハンド３２上の収容対象のウエハリング構造２００のリング状部材の２３０の下面が位置するように、ウエハカセット２２がＺ方向移動機構２１によりＺ方向に移動される。

そして、ステップＳ５０５において、リフトアップハンド３２上の収容対象のウエハリング構造２００のリング状部材の２３０の下面がウエハカセット２２内の収容位置（一対の載置部２３の真上）に位置するように、リフトアップハンド３２がＹ方向移動機構３１によりＹ１方向に移動される。

そして、ステップＳ５０６において、リフトアップハンド３２上の収容対象のウエハリング構造２００が、ウエハカセット２２内の一対の載置部２３に受け渡される。具体的には、ステップＳ５０６では、リフトアップハンド３２の上面が、一対の載置部２３の上面よりもわずかに下になるように、ウエハカセット２２がＺ方向移動機構２１によりＺ１方向に移動される。

そして、ステップＳ５０８において、一対の載置部２３の上面により収容対象のウエハリング構造２００のリング状部材２３０の下面を支持した状態で、リフトアップハンド３２がＹ方向移動機構３１によりＹ２方向に移動される。これにより、収容対象のウエハリング構造２００がウエハカセット２２内に収容された状態で、リフトアップハンド３２が取り出される。そして、収容処理が終了される。

（本実施形態の効果）
本実施形態では、以下のような効果を得ることができる。

本実施形態では、上記のように、ウエハ２１０およびリング状部材２３０が貼り付けられた伸縮性を有する熱収縮性のシート部材２２０を、第１位置Ｐ１においてエキスパンドするエキスパンド部６と、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドした状態で、平面視において第１位置Ｐ１とは水平方向に離間した第２位置Ｐ２にエキスパンド部６を水平方向に移動させるＹ方向移動機構６２と、シート部材２２０のウエハ２１０の周囲の部分２２０ｂの弛みを、第２位置Ｐ２において、加熱して収縮させるヒートシュリンク部１０と、を設ける。これにより、シート部材２２０のエキスパンドを第１位置Ｐ１で行い、シート部材２２０のヒートシュリンクを第１位置Ｐ１から水平方向に離間した第２位置Ｐ２で行うことができるので、シート部材２２０のエキスパンドとシート部材２２０のヒートシュリンクとを別々の位置で行うことができる。その結果、シート部材２２０をエキスパンドしてヒートシュリンクする場合にも、第２位置Ｐ２において、シート部材２２０のヒートシュリンクに関する構造を配置するスペースを容易に確保することができる。また、第２位置Ｐ２において、高品質の達成に必要な構造を容易に配置することができるので、より高品質なシート部材２２０のヒートシュリンクを容易に達成することができる。

また、シート部材２２０のエキスパンドとシート部材２２０のヒートシュリンクとを別々の位置で行うことにより、エキスパンド時にシート部材２２０を冷却する冷却構造およびエキスパンド時に発生する飛散物を除去する除去構造などが存在する場合には、第１位置Ｐ１において、冷却構造および除去構造などを配置するスペースを確保することもできる。これにより、冷却構造および除去構造などが存在する場合には、第１位置Ｐ１において、高品質の達成に必要な冷却構造および除去構造などを配置することができるので、より高品質なシート部材２２０のエキスパンドを達成することができる。

また、本実施形態では、上記のように、ヒートシュリンク部１０は、第２位置Ｐ２において、Ｙ方向移動機構６２により移動したエキスパンド部６の上方に配置されている。これにより、第２位置Ｐ２において、スペースを比較的容易に確保することが可能なエキスパンド部６の上方にヒートシュリンク部１０を配置することができる。その結果、第２位置Ｐ２において、高品質の達成に必要な構造をより容易に配置することができるので、高品質なシート部材２２０のヒートシュリンクをより容易に達成することができる。

また、本実施形態では、上記のように、ヒートシュリンク部１０は、第２位置Ｐ２において、シート部材２２０を加熱しない上方位置と、シート部材２２０を加熱する下方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。これにより、ヒートシュリンク部１０を上方位置に移動させることにより、エキスパンド部６の移動に干渉しないようにヒートシュリンク部１０を退避させることができるので、エキスパンド部６の移動を容易に行うことができる。また、ヒートシュリンク部１０を下方位置に移動させることにより、エキスパンド部６の第２位置Ｐ２への移動後には、シート部材２２０のヒートシュリンクを容易に行うことができる。

また、本実施形態では、上記のように、エキスパンド装置１００は、第１位置Ｐ１に配置され、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドする際、シート部材２２０のエキスパンドに起因してウエハリング構造２００から発生する飛散物を吸引して除去する破片クリーナ９を備える。これにより、飛散物を吸引して除去することができるので、飛散物がウエハ２１０上に飛散することに起因して品質不良が発生することを抑制することができる。また、飛散物をエキスパンド装置１００内でブローして（吹き飛ばして）除去する場合と異なり、飛散物がエキスパンド装置１００内に残ることを抑制することができるので、エキスパンド装置１００内に残った飛散物が再飛散することにより、飛散物がウエハ２１０上に飛散して品質不良が発生することを抑制することができる。また、上記のように、シート部材２２０のエキスパンドとシート部材２２０のヒートシュリンクとを別々の位置で行うので、エキスパンド時の除去構造としての破片クリーナ９を配置するスペースを確保することができる。

また、本実施形態では、上記のように、破片クリーナ９は、環状のリング状部材９１と、リング状部材９１に設けられ、飛散物の吸引時にウエハ２１０の外縁に対向する環状の吸引口９２とを含む。これにより、飛散物が発生しやすいウエハ２１０の外縁に対向するように、破片クリーナ９の吸引口９２が設けられているので、破片クリーナ９により飛散物を効果的に吸引することができる。

また、本実施形態では、上記のように、環状の吸引口９２は、所定の間隔を隔てて環状に配置された複数の吸引口９２により構成されている。これにより、環状の吸引口９２が単一の吸引口９２により構成されている場合に比べて、吸引口９２ごとの吸引力を大きくすることができるので、破片クリーナ９により飛散物をより効果的に吸引することができる。

また、本実施形態では、上記のように、破片クリーナ９は、飛散物を吸引する下方位置と、飛散物を吸引しない上方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている。これにより、破片クリーナ９を上方位置に移動させることにより、エキスパンド部６の移動に干渉しないように破片クリーナ９を退避させることができるので、エキスパンド部６の移動を容易に行うことができる。また、破片クリーナ９を下方位置に移動させることにより、シート部材２２０のエキスパンド時には、飛散物の吸引を容易に行うことができる。

また、本実施形態では、上記のように、エキスパンド装置１００は、第１位置Ｐ１に配置され、エキスパンド部６によりシート部材２２０をエキスパンドする際、シート部材２２０を冷却する冷気供給部７および冷却ユニット８を備える。これにより、エキスパンド時にシート部材２２０を冷却して固くすることができるので、シート部材２２０が柔らかいためにシート部材２２０の外周部分のみが伸びてしまい、ウエハ２１０に対して十分な分割力が発生せずにウエハ２１０が分割できないことを抑制することができるシート部材２２０。また、ウエハ２１０が柔らかい薄い膜層（Ｌｏｗ－Ｋ膜およびＤＡＦ（Ｄｉｅ Ａｔｔａｃｈｅｄ Ｆｉｌｍ）など）を有する場合、膜層は柔らかいため、ウエハ２１０のシリコン部分がエキスパンドによって分割されても、膜層が割れ残ってしまう場合があるが、上記のよう構成すれば、エキスパンド時に膜層を冷却して固くすることができるので、膜層が割れ残ってしまうことを抑制することができる。また、上記のように、シート部材２２０のエキスパンドとシート部材２２０のヒートシュリンクとを別々の位置で行うので、エキスパンド時の冷却構造としての冷気供給部７および冷却ユニット８を配置するスペースを確保することができる。

また、本実施形態では、上記のように、Ｙ方向移動機構６２は、第１位置Ｐ１から冷気供給部７および冷却ユニット８を移動させることなく、冷気供給部７および冷却ユニット８とは独立して、第１位置Ｐ１から第２位置Ｐ２にエキスパンド部６を水平方向に移動させるように構成されている。これにより、Ｙ方向移動機構６２が冷気供給部７および冷却ユニット８と共にエキスパンド部６を移動させるように構成されている場合に比べて、Ｙ方向移動機構６２に必要な駆動力を小さくすることができる。その結果、Ｙ方向移動機構６２を小型化することができる。

また、本実施形態では、上記のように、エキスパンド装置１００は、平面視において第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２とは異なる位置に配置され、複数のウエハリング構造２００を収容するカセット部２と、平面視において第１位置Ｐ１および第２位置Ｐ２とは異なる位置に配置され、カセット部２からウエハリング構造２００を取り出すリフトアップハンド部３と、を備える。また、リフトアップハンド部３がカセット部２からウエハリング構造２００を取り出す方向は、Ｙ方向移動機構６２がエキスパンド部６を移動させる方向と略平行である。これにより、リフトアップハンド部３がカセット部２からウエハリング構造２００を取り出す方向が、Ｙ方向移動機構６２がエキスパンド部６を移動させる方向と略直交する場合と異なり、リフトアップハンド部３がカセット部２からウエハリング構造２００を取り出す方向およびＹ方向移動機構６２がエキスパンド部６を移動させる方向に略直交する方向にエキスパンド装置１００が大型化することを抑制することができる。

［変形例］
なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく請求の範囲によって示され、さらに請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更（変形例）が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、ヒートシュリンク部は、第２位置において、エキスパンド部の上方に配置されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヒートシュリンク部は、第２位置において、エキスパンド部の下方に配置されていてもよい。

また、上記実施形態では、ヒートシュリンク部は、加熱リングを有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、シート部材を加熱可能であれば、ヒートシュリンク部は、加熱リング以外の加熱部を有していてもよい。

また、上記実施形態では、ヒートシュリンク部は、吸気リングと、拡張維持リングとを有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、ヒートシュリンク部は、吸気リングと、拡張維持リングとを有していなくてもよい。

また、上記実施形態では、エキスパンド装置は、破片クリーナ（吸引部）を備えている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、エキスパンド装置は、吸引部を備えていなくてもよい。

また、上記実施形態では、破片クリーナ（吸引部）は、ウエハの外縁に対向する環状の吸引口を有している例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、飛散物を吸引可能であれば、吸引部の吸引口の形状は、どのような形状であってもよい。

また、上記実施形態では、環状の吸引口は、複数の吸引口により構成されている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、環状の吸引口は、単一の吸引口により構成されていてもよい。

また、上記実施形態では、エキスパンド装置は、冷気供給部および冷却ユニット（冷却部）を備えている例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、エキスパンド装置は、冷気供給部および冷却ユニットのうちのいずかれ一方のみを冷却部として備えていてもよい。また、エキスパンド装置は、冷却部を備えていてなくてもよい。

また、上記実施形態では、リフトアップハンド部（取出部）がカセット部（収容部）からウエハリング構造を取り出す方向は、Ｙ方向移動機構（移動機構）がエキスパンド部を移動させる方向と略平行である例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、取出部が収容部からウエハリング構造を取り出す方向は、移動機構がエキスパンド部を移動させる方向と交差していてもよい。

また、上記実施形態では、説明の便宜上、制御処理を、処理フローに沿って順番に処理を行うフロー駆動型のフローチャートを用いて説明した例について示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、制御処理を、イベント単位で処理を実行するイベント駆動型（イベントドリブン型）の処理により行ってもよい。この場合、完全なイベント駆動型で行ってもよいし、イベント駆動およびフロー駆動を組み合わせて行ってもよい。

２ カセット部（収容部）
３ リフトアップハンド部（取出部）
６ エキスパンド部
７ 冷気供給部（冷却部）
８ 冷却ユニット（冷却部）
９ 破片クリーナ（吸引部）
１０ ヒートシュリンク部
６２ Ｙ方向移動機構（移動機構）
９１ リング状部材（吸引部本体）
９２ 吸引口
１００ エキスパンド装置
２００ ウエハリング構造
２１０ ウエハ
２２０ シート部材
２２０ｂ シート部材のウエハの周囲の部分
２３０ リング状部材
Ｐ１ 第１位置
Ｐ２ 第２位置

Claims (10)

1. ウエハと、前記ウエハを囲むリング状部材と、前記ウエハおよび前記リング状部材が貼り付けられた伸縮性を有する熱収縮性のシート部材とを含むウエハリング構造の前記シート部材を、第１位置において、エキスパンドするエキスパンド部と、
   前記エキスパンド部により前記シート部材をエキスパンドした状態で、前記第１位置から、平面視において前記第１位置とは水平方向に離間した第２位置に前記エキスパンド部を水平方向に移動させる移動機構と、
   前記エキスパンド部によるエキスパンドにより発生する前記シート部材の前記ウエハの周囲の部分の弛みを、前記第２位置において、加熱して収縮させるヒートシュリンク部と、を備え、
   前記第１位置に配置され、前記エキスパンド部により前記シート部材をエキスパンドする際、前記シート部材のエキスパンドに起因して前記ウエハリング構造から発生する飛散物を吸引して除去する吸引部をさらに備え、
   前記吸引部は、環状の吸引部本体と、前記吸引部本体に設けられ、前記飛散物の吸引時に前記ウエハの外縁に対向する環状の吸引口とを含む、エキスパンド装置。
2. ウエハと、前記ウエハを囲むリング状部材と、前記ウエハおよび前記リング状部材が貼り付けられた伸縮性を有する熱収縮性のシート部材とを含むウエハリング構造の前記シート部材を、第１位置において、エキスパンドするエキスパンド部と、
   前記エキスパンド部により前記シート部材をエキスパンドした状態で、前記第１位置から、平面視において前記第１位置とは水平方向に離間した第２位置に前記エキスパンド部を水平方向に移動させる移動機構と、
   前記エキスパンド部によるエキスパンドにより発生する前記シート部材の前記ウエハの周囲の部分の弛みを、前記第２位置において、加熱して収縮させるヒートシュリンク部と、を備え、
   前記第１位置に配置され、前記エキスパンド部により前記シート部材をエキスパンドする際、前記シート部材のエキスパンドに起因して前記ウエハリング構造から発生する飛散物を吸引して除去する吸引部をさらに備え、
   前記吸引部は、前記飛散物を吸引する下方位置と、前記飛散物を吸引しない上方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている、エキスパンド装置。
3. 前記ヒートシュリンク部は、前記第２位置において、前記移動機構により移動した前記エキスパンド部の上方に配置されている、請求項１または２に記載のエキスパンド装置。
4. 前記ヒートシュリンク部は、前記第２位置において、前記シート部材を加熱しない上方位置と、前記シート部材を加熱する下方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている、請求項３に記載のエキスパンド装置。
5. 前記吸引部は、環状の吸引部本体と、前記吸引部本体に設けられ、前記飛散物の吸引時に前記ウエハの外縁に対向する環状の吸引口とを含む、請求項２に記載のエキスパンド装置。
6. 環状の前記吸引口は、所定の間隔を隔てて環状に配置された複数の吸引口により構成されている、請求項１または５に記載のエキスパンド装置。
7. 前記吸引部は、前記飛散物を吸引する下方位置と、前記飛散物を吸引しない上方位置との間で、上下方向に移動可能に構成されている、請求項１に記載のエキスパンド装置。
8. 前記第１位置に配置され、前記エキスパンド部により前記シート部材をエキスパンドする際、前記シート部材を冷却する冷却部をさらに備える、請求項１～７のいずれか１項に記載のエキスパンド装置。
9. 前記移動機構は、前記第１位置から前記冷却部を移動させることなく、前記冷却部とは独立して、前記第１位置から前記第２位置に前記エキスパンド部を水平方向に移動させるように構成されている、請求項８に記載のエキスパンド装置。
10. 平面視において前記第１位置および前記第２位置とは異なる位置に配置され、複数の前記ウエハリング構造を収容する収容部と、
    平面視において前記第１位置および前記第２位置とは異なる位置に配置され、前記収容部から前記ウエハリング構造を取り出す取出部と、をさらに備え、
    前記取出部が前記収容部から前記ウエハリング構造を取り出す方向は、前記移動機構が前記エキスパンド部を移動させる方向と略平行である、請求項１～９のいずれか１項に記載のエキスパンド装置。

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