JPH01114677U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01114677U JPH01114677U JP813688U JP813688U JPH01114677U JP H01114677 U JPH01114677 U JP H01114677U JP 813688 U JP813688 U JP 813688U JP 813688 U JP813688 U JP 813688U JP H01114677 U JPH01114677 U JP H01114677U
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- JP
- Japan
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- crucible
- single crystal
- crystal growth
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- Pending
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- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 4
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は本考案の単結晶育成装置用ルツボの斜
視図、第２図は観察窓の透光性板のアルミナ単結
晶板の斜視図、第３図は本考案の単結晶育成装置
用ルツボを用いたホツトゾーンの構成図、第４図
は比較の対照の従来品のルツボを用いたホツトゾ
ーンの構成図、第５図は融液表面の中心からそれ
ぞれ１cmおよび３cmはなれ、円周方向に４５°づ
つ周つた個所の温度分布を示すグラフ、第６図は
ルツボ内の鉛直方法の温度分布を示すグラフ、第
７図は融液貯留面より上部に拡径した深い側壁部
分の縁を丸縁とした本考案の異なる実施例の斜視
図である。 １…本体、２…側壁、３…切欠部、４…透光性
板、５…従来品のルツボ、６…融液、７…保温材
、８…アツパーシールド、９…アクターヒータ。
視図、第２図は観察窓の透光性板のアルミナ単結
晶板の斜視図、第３図は本考案の単結晶育成装置
用ルツボを用いたホツトゾーンの構成図、第４図
は比較の対照の従来品のルツボを用いたホツトゾ
ーンの構成図、第５図は融液表面の中心からそれ
ぞれ１cmおよび３cmはなれ、円周方向に４５°づ
つ周つた個所の温度分布を示すグラフ、第６図は
ルツボ内の鉛直方法の温度分布を示すグラフ、第
７図は融液貯留面より上部に拡径した深い側壁部
分の縁を丸縁とした本考案の異なる実施例の斜視
図である。 １…本体、２…側壁、３…切欠部、４…透光性
板、５…従来品のルツボ、６…融液、７…保温材
、８…アツパーシールド、９…アクターヒータ。
Claims (1)
- 融液貯留面より上部に拡径した深い側壁を設け
たことを特徴とする単結晶育成装置用ルツボ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP813688U JPH01114677U (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP813688U JPH01114677U (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01114677U true JPH01114677U (ja) | 1989-08-02 |
Family
ID=31213745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP813688U Pending JPH01114677U (ja) | 1988-01-27 | 1988-01-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01114677U (ja) |
-
1988
- 1988-01-27 JP JP813688U patent/JPH01114677U/ja active Pending