JPH01119937A - 光情報記録媒体の製造方法 - Google Patents
光情報記録媒体の製造方法Info
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- JPH01119937A JPH01119937A JP62277698A JP27769887A JPH01119937A JP H01119937 A JPH01119937 A JP H01119937A JP 62277698 A JP62277698 A JP 62277698A JP 27769887 A JP27769887 A JP 27769887A JP H01119937 A JPH01119937 A JP H01119937A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C45/00—Injection moulding, i.e. forcing the required volume of moulding material through a nozzle into a closed mould; Apparatus therefor
- B29C45/16—Making multilayered or multicoloured articles
-
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- B29C45/1671—Making multilayered or multicoloured articles with an insert
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R43/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining, or repairing of line connectors or current collectors or for joining electric conductors
- H01R43/20—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing, assembling, maintaining, or repairing of line connectors or current collectors or for joining electric conductors for assembling or disassembling contact members with insulating base, case or sleeve
- H01R43/24—Assembling by moulding on contact members
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はＶ−デー光によって情報を記録再生することの
できる光情報記録媒体の製造方法に関し、さらに詳しく
は光情報記録媒体の記録膜の製造方法に関するものであ
る。
できる光情報記録媒体の製造方法に関し、さらに詳しく
は光情報記録媒体の記録膜の製造方法に関するものであ
る。
レーザー光によって情報を記録再生することのできる光
情報記録媒体の記録膜の製造法としては、近年再現性等
工業化技術としての優位性から、スパッタリング法が多
く用いられている。このスノ’？ツタリング法ではチャ
ンバーを排気して高真空′状態にして膜付けを行うが基
板その他から出てくる水分、酸素分子、モノマーに起因
する酸素が存在するため、記録薄膜中に酸素が含まれる
場合がある。特に近年光情報記録媒体の基板として、多
く用いられているプラスチックを使用した場合にはこの
酸素を完全に除去するのは難しい。
情報記録媒体の記録膜の製造法としては、近年再現性等
工業化技術としての優位性から、スパッタリング法が多
く用いられている。このスノ’？ツタリング法ではチャ
ンバーを排気して高真空′状態にして膜付けを行うが基
板その他から出てくる水分、酸素分子、モノマーに起因
する酸素が存在するため、記録薄膜中に酸素が含まれる
場合がある。特に近年光情報記録媒体の基板として、多
く用いられているプラスチックを使用した場合にはこの
酸素を完全に除去するのは難しい。
この膜中に入シ込んだ酸素は、Ｔｅ −Ｓｓ系系膜膜記
録材料とする追記型光ディスクや、希土類系合金薄膜を
記録材料とする光磁気ディスクの記録膜を酸化し、ＣＮ
比等の記録特性を劣化させることが知られている。
録材料とする追記型光ディスクや、希土類系合金薄膜を
記録材料とする光磁気ディスクの記録膜を酸化し、ＣＮ
比等の記録特性を劣化させることが知られている。
本発明の目的は上記の欠点のない記録膜の製造方法を提
供することにある。すなわち、スパッタリング時の記録
膜の酸化劣化を防止し、記録再生特性に優れた記録膜の
製造方法を提供することにある。
供することにある。すなわち、スパッタリング時の記録
膜の酸化劣化を防止し、記録再生特性に優れた記録膜の
製造方法を提供することにある。
本発明は、スパッタリングによって記録膜を形成する光
情報記録媒体の製造方法においてスパッタリングガス中
に水素を含むことを特徴としている。
情報記録媒体の製造方法においてスパッタリングガス中
に水素を含むことを特徴としている。
本発明における記録膜は酸化によって、その記録再生特
性が劣化するものを対象としている。従って追記型光デ
ィスクまたは消去可能型光ディスクのどちらの型の薄膜
の製造方法にも適用される。
性が劣化するものを対象としている。従って追記型光デ
ィスクまたは消去可能型光ディスクのどちらの型の薄膜
の製造方法にも適用される。
具体的には追記型の記録材料として、Ｔｏ系合金、例え
ばＴｅ−Ｂｅ、 Ｔｅ−Ａｓ） Ｔｅ−８ｂ、 Ｔｏ−
Ｉｎ。
ばＴｅ−Ｂｅ、 Ｔｅ−Ａｓ） Ｔｅ−８ｂ、 Ｔｏ−
Ｉｎ。
Ｔｅ −ａｎ 、 Ｔｅ −Ｐｂ ＳＴｅ −Ｂｉ 、
Ｔｓ −Ｓｓ −Ｔｉ。
Ｔｓ −Ｓｓ −Ｔｉ。
Ｔｅ −ａｓ −Ｔｉ −Ａｇ） Ｔｏ −Ａｓ、
Ｔｅ−Ｇｏ：Ｔｏの分散物、例えばＴｅ−Ｃ，Ｔｅ−
Ｃ８２：多層膜例えば・Ｓｂ −Ｓｅ ／ Ｂｉ −Ｔ
ｏ等を挙げることができる。
Ｔｅ−Ｇｏ：Ｔｏの分散物、例えばＴｅ−Ｃ，Ｔｅ−
Ｃ８２：多層膜例えば・Ｓｂ −Ｓｅ ／ Ｂｉ −Ｔ
ｏ等を挙げることができる。
また消去可能型記録材料としては、希土類−遷移金属合
金の光磁気材料例えばＴｂＦａ 、 ＴｂＦｅＣｏ 。
金の光磁気材料例えばＴｂＦａ 、 ＴｂＦｅＣｏ 。
ＧｄＴｂＦａ 、 ＮｄＤｙＦｅＣｏ等を挙げることが
できる。本発明におけるスフ９ツタリングガスは特・に
制限はないが、経済性や適切なス／Ｊツタレートが得ら
れることなどの理由からアルゴンが好適である。
できる。本発明におけるスフ９ツタリングガスは特・に
制限はないが、経済性や適切なス／Ｊツタレートが得ら
れることなどの理由からアルゴンが好適である。
スパッタリングガス中に含まれる水素は、スパッタチャ
ンバー内にスパッタリングガスと別ラインで導入されて
も、混合ガスとして導入されてもどちらでも良い。
ンバー内にスパッタリングガスと別ラインで導入されて
も、混合ガスとして導入されてもどちらでも良い。
スパッタリングガス中の水素濃度には特に制限はないが
酸化防止効果と適切なスフ４ツタＶ−）を得ることを両
立させるという点から、０．１％〜２０チが好適である
。
酸化防止効果と適切なスフ４ツタＶ−）を得ることを両
立させるという点から、０．１％〜２０チが好適である
。
実施例１．比較例１
巾０．６μ、深さ７００ Ｘ ｔピッチ１．６μのスノ
ぐイラル状案内溝を設けた直径１３０ｍ、厚み１．２圏
のポリカーボネイト基板上に、 ＡｒとＨ２ガスの流量
比が１：０．０１であるスパッタリングガス中で、ＤＣ
スノ臂フッタリング法よシ、Ｔａ 、 Ｓｓ 、 Ｔｉ
。
ぐイラル状案内溝を設けた直径１３０ｍ、厚み１．２圏
のポリカーボネイト基板上に、 ＡｒとＨ２ガスの流量
比が１：０．０１であるスパッタリングガス中で、ＤＣ
スノ臂フッタリング法よシ、Ｔａ 、 Ｓｓ 、 Ｔｉ
。
Ａｇからなる四元合金を膜付した追記型ディスクを作成
した。８３０ ｎｍの半導体レーザーを用いて出力６
ｍＷでＩ ＭＨｚの反復信号を線速６ｎ４／ｓｅｃで案
内。
した。８３０ ｎｍの半導体レーザーを用いて出力６
ｍＷでＩ ＭＨｚの反復信号を線速６ｎ４／ｓｅｃで案
内。
トラックのランド部に書き込み、出力１ ｍＷでＣＮ此
傭域３０ ｋＨｚ ）とジッターを測定し友。ＣＮ比５
１ ｄＢ 、ジッター（標準偏差） ７． Ｏａｔｒｅ
ｅが得られた。
傭域３０ ｋＨｚ ）とジッターを測定し友。ＣＮ比５
１ ｄＢ 、ジッター（標準偏差） ７． Ｏａｔｒｅ
ｅが得られた。
スパッタリングガスＫＡｒのみを用いる他は上記と全く
同条件の実験を行ない、ＣＮ比４７ ｄＢ 、ジッター
（標準偏差） １０．２ ｎ５ｅｅを得た。
同条件の実験を行ない、ＣＮ比４７ ｄＢ 、ジッター
（標準偏差） １０．２ ｎ５ｅｅを得た。
巾０．６μ、深さ７００Ｘ、ピッチ１．６μのスフ９イ
ラル状案内溝を設けた直径１３０■、厚さ１．２閣のポ
リカーボネイト基板上に、Ａｒガスを用いてＲＦマグネ
トロンスパッタリングにょシ、先ず無アルカリガラスで
あるコーニング７ｏ５９の層を５００Ｘ形成させ、次に
この上に水素を含むスパッタリングがス（流量比Ａｒ
： Ｈ２＝ １ ： ０．０１ ）と合金ターグツトを
用いてＴｂ２５Ｆ＠ｂｓｃＯｙの光磁気記録膜１０００
Ｘｔ−形成させ、さらにその上に上記と同じ方法でコー
ニング７０５９の層１０００ｉ、ｉ形成させ次。
ラル状案内溝を設けた直径１３０■、厚さ１．２閣のポ
リカーボネイト基板上に、Ａｒガスを用いてＲＦマグネ
トロンスパッタリングにょシ、先ず無アルカリガラスで
あるコーニング７ｏ５９の層を５００Ｘ形成させ、次に
この上に水素を含むスパッタリングがス（流量比Ａｒ
： Ｈ２＝ １ ： ０．０１ ）と合金ターグツトを
用いてＴｂ２５Ｆ＠ｂｓｃＯｙの光磁気記録膜１０００
Ｘｔ−形成させ、さらにその上に上記と同じ方法でコー
ニング７０５９の層１０００ｉ、ｉ形成させ次。
得られた光磁気ディスクのい比及びジッターを、８３０
ｎｍの半導体レーザーを用い、パワー６ｍＷ 、 ２
ＭＨｚ 、 ｄｕｔｙ ５０ Ｔｏ 、線速５゜２ｒｒ
ｙ’ｓｅｃでパルスを書込んだ後、１．ＯｍＷ、帯域３
０ ｋＨｚで測定したところｃ／Ｎ４６ ｄＢ 、ジッ
ター（標準偏差）５．３ｎ ｓｅｃが得られた。
ｎｍの半導体レーザーを用い、パワー６ｍＷ 、 ２
ＭＨｚ 、 ｄｕｔｙ ５０ Ｔｏ 、線速５゜２ｒｒ
ｙ’ｓｅｃでパルスを書込んだ後、１．ＯｍＷ、帯域３
０ ｋＨｚで測定したところｃ／Ｎ４６ ｄＢ 、ジッ
ター（標準偏差）５．３ｎ ｓｅｃが得られた。
記録膜形成にＡｒガスのみをスパッタリングガスとする
以外は同条件で、光磁気ディスクを製造。
以外は同条件で、光磁気ディスクを製造。
書き込み、読み出しを行なりたところＣ／Ｎ ４４ ｄ
Ｂ ｐジッター７、２ ｎ５ｅｃを得た。
Ｂ ｐジッター７、２ ｎ５ｅｃを得た。
上述の実施例によシ本発明の効果は明らかである。スパ
ッタリングガス中への水素の導入によシ、記録膜の重要
な特性であるＣＡとジッターが改善される。導入された
水素がプラズマ中で活性化され、スノＪ？ツタリング装
置の槽内に不純物として存在する酸素、酸素含有化合物
あるいはこれらのプラズマ中の反応中間生成物と反応し
てそれらを不活性化し、記録膜中への金属酸化物の混入
を防ぐと考えられる。勿論ここに考察されたメカニズム
、によシ本発明を限定するものではない。
ッタリングガス中への水素の導入によシ、記録膜の重要
な特性であるＣＡとジッターが改善される。導入された
水素がプラズマ中で活性化され、スノＪ？ツタリング装
置の槽内に不純物として存在する酸素、酸素含有化合物
あるいはこれらのプラズマ中の反応中間生成物と反応し
てそれらを不活性化し、記録膜中への金属酸化物の混入
を防ぐと考えられる。勿論ここに考察されたメカニズム
、によシ本発明を限定するものではない。
折Ｒ仮屑り人
Claims (3)
- （１）スパッタリングによって記録膜を形成する光情報
記録媒体の製造方法において、スパッタリングガス中に
水素を含むことを特徴とする光情報記録媒体の製造方法
。 - （２）上記記録膜がＴｅを含む薄膜であることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の光情報記録媒体の製造
方法。 - （３）上記記録膜が希土類金属と遷移金属の合金で構成
されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
の光情報記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277698A JPH01119937A (ja) | 1987-11-02 | 1987-11-02 | 光情報記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62277698A JPH01119937A (ja) | 1987-11-02 | 1987-11-02 | 光情報記録媒体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01119937A true JPH01119937A (ja) | 1989-05-12 |
Family
ID=17587061
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62277698A Pending JPH01119937A (ja) | 1987-11-02 | 1987-11-02 | 光情報記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01119937A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5466522A (en) * | 1992-06-26 | 1995-11-14 | Eastman Kodak Company | Cobalt platinum magnetic film and method of fabrication thereof |
-
1987
- 1987-11-02 JP JP62277698A patent/JPH01119937A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5466522A (en) * | 1992-06-26 | 1995-11-14 | Eastman Kodak Company | Cobalt platinum magnetic film and method of fabrication thereof |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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Effective date: 20040206 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20040210 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
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| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040407 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050405 |
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Effective date: 20050606 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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Effective date: 20050705 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
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