JPH01131074A - 繊維強化セラミックス - Google Patents
繊維強化セラミックスInfo
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- JPH01131074A JPH01131074A JP62289530A JP28953087A JPH01131074A JP H01131074 A JPH01131074 A JP H01131074A JP 62289530 A JP62289530 A JP 62289530A JP 28953087 A JP28953087 A JP 28953087A JP H01131074 A JPH01131074 A JP H01131074A
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- JP
- Japan
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- sintering
- sintered body
- weight
- fiber
- sic
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/584—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
- C04B35/587—Fine ceramics
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は切削工具、耐摩耗性工具材料、セラミックバル
ブ等の自動車エンジン部材、ガスタービンロータ等の熱
機関部材、ベアリングボール等の構造部材などに用いる
のに適した耐摩耗性、耐欠損性、耐食性等に優れた繊維
強化セラミックスに関するものである。
ブ等の自動車エンジン部材、ガスタービンロータ等の熱
機関部材、ベアリングボール等の構造部材などに用いる
のに適した耐摩耗性、耐欠損性、耐食性等に優れた繊維
強化セラミックスに関するものである。
（従来の技術）
窒化珪素（Ｓｉ３Ｎ＊）を主成分とする窒化珪素系セラ
ミックスは強度、耐酸化性、耐摩耗性、耐熱衝撃性等に
優れているため、前述の利用分野で注目されている材料
であり、中でもβ−３ｉＪ４にＡβと０が置換固溶して
なるβ−サイアロン〔組成式５ｔｂ−ｚ Ａｊ２ｚ
Ｏ□Ｎ５−ｚ（ただし０＜２≦４．３である）〕は低硬
度だが高強度、高靭性を有し、またα−５ｉ３１’Ｌに
八ｌと０が置換固溶し、かつ格子間位置に他の元素が置
換固溶したα−サイアロン〔組成式Ｍｘ（Ｓｉ、八ａ）
＋ｚ（ｏ、Ｎ）１６（ただしＨはＭｇ、Ｃａ、Ｙおよび
希土類元素から選ばれた単独または混合物からなり、Ｏ
＜Ｘ≦２である。）〕は低靭性だが高硬度を有すること
から、特にサイアロンセラミックスは各種構造部材とし
て注目されている。また、炭化珪素（ＳｉＣ）ウィスカ
ーの如き繊維状（ひげ状）結晶をこれら窒化珪素系セラ
ミックスを母相として配合することにより電気的特性を
付与したり機械的特性を向上したりして、優れた特性の
複合材料を得ようとする試みがなされている。
ミックスは強度、耐酸化性、耐摩耗性、耐熱衝撃性等に
優れているため、前述の利用分野で注目されている材料
であり、中でもβ−３ｉＪ４にＡβと０が置換固溶して
なるβ−サイアロン〔組成式５ｔｂ−ｚ Ａｊ２ｚ
Ｏ□Ｎ５−ｚ（ただし０＜２≦４．３である）〕は低硬
度だが高強度、高靭性を有し、またα−５ｉ３１’Ｌに
八ｌと０が置換固溶し、かつ格子間位置に他の元素が置
換固溶したα−サイアロン〔組成式Ｍｘ（Ｓｉ、八ａ）
＋ｚ（ｏ、Ｎ）１６（ただしＨはＭｇ、Ｃａ、Ｙおよび
希土類元素から選ばれた単独または混合物からなり、Ｏ
＜Ｘ≦２である。）〕は低靭性だが高硬度を有すること
から、特にサイアロンセラミックスは各種構造部材とし
て注目されている。また、炭化珪素（ＳｉＣ）ウィスカ
ーの如き繊維状（ひげ状）結晶をこれら窒化珪素系セラ
ミックスを母相として配合することにより電気的特性を
付与したり機械的特性を向上したりして、優れた特性の
複合材料を得ようとする試みがなされている。
例えば、特公昭６０−３５３１６号公報の５ｉＪａ中に
５〜５０重量％の範囲で繊維状ＳｉＣ結晶を分散し高い
電気伝導性を有する放電加工可能なＳｉ３Ｎ４焼結体や
特公昭６０−５５４６９号公報の窒化珪素粉末の分散液
と繊維状炭化珪素結晶の分散液とを、前者に対し後者が
５〜５０重量％となるように混合し、成形、焼結する製
造方法や、特開昭５９−１０２８６２号公報の第■族、
第■族又は第■族元素の酸化物、窒化物又は炭化物を母
相とし、繊維状炭化珪素と導電性を有する炭化物、窒化
物又はホウ化物の粉末を分散含有せしめた複合焼結体や
、特開昭６０−２４６２６８号公報のウィスカー相にＳ
ｉＣ，Ｓｉ３Ｎ４．Ｂ４Ｃ，ＴｉＢ２を用い、Ｙ、Ｍｇ
、Ｃａ及び希土類金属と、Ａｎ。
５〜５０重量％の範囲で繊維状ＳｉＣ結晶を分散し高い
電気伝導性を有する放電加工可能なＳｉ３Ｎ４焼結体や
特公昭６０−５５４６９号公報の窒化珪素粉末の分散液
と繊維状炭化珪素結晶の分散液とを、前者に対し後者が
５〜５０重量％となるように混合し、成形、焼結する製
造方法や、特開昭５９−１０２８６２号公報の第■族、
第■族又は第■族元素の酸化物、窒化物又は炭化物を母
相とし、繊維状炭化珪素と導電性を有する炭化物、窒化
物又はホウ化物の粉末を分散含有せしめた複合焼結体や
、特開昭６０−２４６２６８号公報のウィスカー相にＳ
ｉＣ，Ｓｉ３Ｎ４．Ｂ４Ｃ，ＴｉＢ２を用い、Ｙ、Ｍｇ
、Ｃａ及び希土類金属と、Ａｎ。
Ｓｉ、Ｏ，Ｎと不可避不純物からなるガラス質相と、残
部がβ−サイアロンから成る焼結体などが知られている
。
部がβ−サイアロンから成る焼結体などが知られている
。
（発明が解決すべき問題点）
しかし上記従来例はＳｉＣウィスカーを分散した複合材
が焼結困難であることから、焼結はホットプレス法（Ｈ
Ｐ）や、１５００ｋｇ／ ｃＪ （１５００気圧）以上
の加圧雰囲気下における熱間静水圧プレス法（ＨＩＰ）
によって行われていた。しかしながら、ＨＰ法により焼
結されたＳｉＣウィスカー強化セラミックスは、ＳｉＣ
ウィスカーが特定の方向に配向しているため、特性に異
方性を生じ、しかも複雑形状品は得られないという問題
点があった。又ＨＩＰ法は装置が大型化し、ガス圧力が
高まるにつれて生産性が悪く、コストも高価となる上、
１５００ｋｇ／ｃｒＡ （１５００気圧）以上の加圧雰
囲気下でのＩ（ＩＰ法により焼結された焼結体の機械的
特性はＨＰ法により焼結された焼結体の特性よりも劣る
という問題点があった。本発明は上記実情に鑑みなされ
たものであり、焼結体特性に異方性が無く、高い強度、
及び靭性を有し、且つ複雑形状品の焼結が安価に得るこ
とができる繊維強化セラミックスを提供することを目的
とする。
が焼結困難であることから、焼結はホットプレス法（Ｈ
Ｐ）や、１５００ｋｇ／ ｃＪ （１５００気圧）以上
の加圧雰囲気下における熱間静水圧プレス法（ＨＩＰ）
によって行われていた。しかしながら、ＨＰ法により焼
結されたＳｉＣウィスカー強化セラミックスは、ＳｉＣ
ウィスカーが特定の方向に配向しているため、特性に異
方性を生じ、しかも複雑形状品は得られないという問題
点があった。又ＨＩＰ法は装置が大型化し、ガス圧力が
高まるにつれて生産性が悪く、コストも高価となる上、
１５００ｋｇ／ｃｒＡ （１５００気圧）以上の加圧雰
囲気下でのＩ（ＩＰ法により焼結された焼結体の機械的
特性はＨＰ法により焼結された焼結体の特性よりも劣る
という問題点があった。本発明は上記実情に鑑みなされ
たものであり、焼結体特性に異方性が無く、高い強度、
及び靭性を有し、且つ複雑形状品の焼結が安価に得るこ
とができる繊維強化セラミックスを提供することを目的
とする。
（問題点を解決するための手段）
本発明は前述の目的を達成するために、種々検討した結
果なされたものである。
果なされたものである。
本発明の概要を述べれば、以下のとおりである。
すなわち、ＳｉＣウィスカー５〜３０重量％と、Ｓｉ。
Ａ／！、Ｏ，Ｎと周期律表第１１ａ族もしくは第ＩＩＩ
ａ族の金属元素の１種以上を含むガラス相２０〜４０重
量％と、残部が主としてβ−サイアロンから成ることを
特徴とする繊維強化セラミックスである。
ａ族の金属元素の１種以上を含むガラス相２０〜４０重
量％と、残部が主としてβ−サイアロンから成ることを
特徴とする繊維強化セラミックスである。
本発明に係わる特性に異方性のないウィスカー強化セラ
ミックスは、Ｓｉ３Ｎ４粉末もしくはβ−サイアロン粉
末を出発原料として使用し、これに上記のＳｉＣウィス
カーおよび焼結助剤とを所定量添加混合して常圧焼結お
よびガス圧焼結することにより得られる。焼結助剤は、
Ａ ｎ ２０３とＡｌｌおよび周期律表第１［ａ族また
は第１［ｌａ族の金属元素の酸化物または複合酸化物の
うちの一種以上の組み合わせで構成される。第１１ａ族
および第ＩＩＩａ族の金属元素としてはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、Ｓｃ、Ｙおよび希土類元素が挙げられ、これらの酸
化物または複合酸化物１−常圧焼結およびガス圧焼結に
於いて後述するような作用効果に対して類似の挙動を示
す。
ミックスは、Ｓｉ３Ｎ４粉末もしくはβ−サイアロン粉
末を出発原料として使用し、これに上記のＳｉＣウィス
カーおよび焼結助剤とを所定量添加混合して常圧焼結お
よびガス圧焼結することにより得られる。焼結助剤は、
Ａ ｎ ２０３とＡｌｌおよび周期律表第１［ａ族また
は第１［ｌａ族の金属元素の酸化物または複合酸化物の
うちの一種以上の組み合わせで構成される。第１１ａ族
および第ＩＩＩａ族の金属元素としてはＭｇ、Ｃａ、Ｓ
ｒ、Ｓｃ、Ｙおよび希土類元素が挙げられ、これらの酸
化物または複合酸化物１−常圧焼結およびガス圧焼結に
於いて後述するような作用効果に対して類似の挙動を示
す。
これら焼結助剤として添加される化合物の大半は焼結過
程において前述のガラス相を形成し、また一部は５ｉＪ
４に固溶してβ−サイアロンを形成する。
程において前述のガラス相を形成し、また一部は５ｉＪ
４に固溶してβ−サイアロンを形成する。
又更にその一部の焼結助剤は配合組成や焼結条件によっ
て焼結後に５ｉＪａ ’Ｒｅ２０３（Ｒｅ：Ｙおよび
希土類元素） 、５ｉ２Ｎ２０，５ｉ２０ｔＪ２，５Ｙ
２０３ ・５ｉＪｎ ・八βｚ ０３，４Ｙ２０
３・５ｉＯ７・Ｓｉ３Ｎ４．ＹＳｉＯ□Ｎ、Ｓｉ３Ｎ４
・３Ｙ２０．などの化合物として焼結体中に存在するこ
とがあるが、特性に悪影響を及ぼさない範囲で焼結体中
に存在しても差支えない。
て焼結後に５ｉＪａ ’Ｒｅ２０３（Ｒｅ：Ｙおよび
希土類元素） 、５ｉ２Ｎ２０，５ｉ２０ｔＪ２，５Ｙ
２０３ ・５ｉＪｎ ・八βｚ ０３，４Ｙ２０
３・５ｉＯ７・Ｓｉ３Ｎ４．ＹＳｉＯ□Ｎ、Ｓｉ３Ｎ４
・３Ｙ２０．などの化合物として焼結体中に存在するこ
とがあるが、特性に悪影響を及ぼさない範囲で焼結体中
に存在しても差支えない。
上記の如き本発明の複合材料において、ＳｉＣウィスカ
ーはそれ事態常温から高温まで硬度や強度が高く、焼結
後もウィスカーの形状のままで残存し、組織内に均一に
分散していることによってセラミックの高温強度を向上
し、破壊靭性を大きくし、かつ硬くするものである。
ーはそれ事態常温から高温まで硬度や強度が高く、焼結
後もウィスカーの形状のままで残存し、組織内に均一に
分散していることによってセラミックの高温強度を向上
し、破壊靭性を大きくし、かつ硬くするものである。
本発明で用いられる出発原料としてのＳｉＣウィスカー
としては平均直径０．２〜５μｍ、平均長さ２〜５０μ
ｍでアスペクト比５〜２５０のものが望ましい。又、こ
のウィスカーは八ｎ、Ｃａ、とｇ ＋ Ｎ ｊ＋ Ｆ
ｅ ＋Ｍｎ、 Ｃｏ、 Ｃｒ等のカチオン不純物やＳｉ
Ｏ□含有量が１．０重量％以下で、クビレや枝分かれお
よび面欠陥等が少ないヒゲ状結晶のものが高靭性の緻密
な焼結体を得る上で好ましい。
としては平均直径０．２〜５μｍ、平均長さ２〜５０μ
ｍでアスペクト比５〜２５０のものが望ましい。又、こ
のウィスカーは八ｎ、Ｃａ、とｇ ＋ Ｎ ｊ＋ Ｆ
ｅ ＋Ｍｎ、 Ｃｏ、 Ｃｒ等のカチオン不純物やＳｉ
Ｏ□含有量が１．０重量％以下で、クビレや枝分かれお
よび面欠陥等が少ないヒゲ状結晶のものが高靭性の緻密
な焼結体を得る上で好ましい。
ＳｉＣウィスカーの添加量を５〜３０重量％とする理由
は、ＳｉＣウィスカーが５重量％より少ない場合はセラ
ミック焼結体にウィスカー添加の効果が殆どないため、
強度、靭性の向上が不十分で逆に３０重重量を越える場
合はウィスカーの異方性によって均一分散性が低下し、
焼結性も著しく低下するためである。
は、ＳｉＣウィスカーが５重量％より少ない場合はセラ
ミック焼結体にウィスカー添加の効果が殆どないため、
強度、靭性の向上が不十分で逆に３０重重量を越える場
合はウィスカーの異方性によって均一分散性が低下し、
焼結性も著しく低下するためである。
ガラス相の含有量は２０〜４０重景％と重量のが好まし
く、ガラス相の含有量が２０重千％より少ない場合は、
ＳｉＣウィスカー強化セラミックスの常圧焼結およびガ
ス圧焼結が極めて困難であり、又４０重重量を越える場
合には、セラミックスの強度や靭性や硬度および耐酸化
性や耐熱性等の特性に悪影響を及ぼすことになる。
く、ガラス相の含有量が２０重千％より少ない場合は、
ＳｉＣウィスカー強化セラミックスの常圧焼結およびガ
ス圧焼結が極めて困難であり、又４０重重量を越える場
合には、セラミックスの強度や靭性や硬度および耐酸化
性や耐熱性等の特性に悪影響を及ぼすことになる。
（実施例）
以下本発明の実施例について説明する。
実施例１
α率が９０％で、平均粒径０．６μｍ、純度９８％の５
４３Ｎ４粉末に、平均粒径１μｍのα−Ａ ＩＩ ２０
３粉末と、平均粒径０．５μｍのＡ６Ｎと、平均粒径２
μｍ以下の周期律表第Ｕａ族又は第■ａ族の金属元素の
酸化物の１種又は２種と、ＳｉＣウィスカー（ＡＲＣＯ
ケミカル社製５Ｃ−９）を第１表に示すような割合に配
合し、エタノール中で１６時間均一に分散混合した後、
５重量％のアクリル系バインダーを添加し、乾燥し、造
粒して素地粉末を得た。
４３Ｎ４粉末に、平均粒径１μｍのα−Ａ ＩＩ ２０
３粉末と、平均粒径０．５μｍのＡ６Ｎと、平均粒径２
μｍ以下の周期律表第Ｕａ族又は第■ａ族の金属元素の
酸化物の１種又は２種と、ＳｉＣウィスカー（ＡＲＣＯ
ケミカル社製５Ｃ−９）を第１表に示すような割合に配
合し、エタノール中で１６時間均一に分散混合した後、
５重量％のアクリル系バインダーを添加し、乾燥し、造
粒して素地粉末を得た。
この粉末を５０ｍＸ５０ｍｍＸ７ｍ＋＋の寸法に成形圧
１．５ｔ／ｃＪで一軸プレス成形して、８００℃にて１
時間窒素雰囲気中で脱脂後、第１表に示す条件で２時間
常圧焼結し、１次焼結体を得た。次にこの１次焼結体を
第１表に示す条件で２時間再焼結し、緻密な２次焼結体
を得た。得られた焼結体を４ ｖｘ Ｘ ３ ｗ Ｘ
４０ ｍｍの寸法に研磨加工した後、ＪＩＳ −Ｒ１６
０１により抗折強度、荷重３０ｋｇでビッカース硬度及
びインデンティションマイクロフラクチャー法により破
壊靭性を測定した。また、得られた焼結体を粉砕し、粉
末Ｘ線回折計により同定した結果、焼結体中の結晶相は
主としてβ−サイアロンとＳｉＣであることが確認でき
た。又、焼結１後も殆んどそのま＼残留していることが
確認された。
１．５ｔ／ｃＪで一軸プレス成形して、８００℃にて１
時間窒素雰囲気中で脱脂後、第１表に示す条件で２時間
常圧焼結し、１次焼結体を得た。次にこの１次焼結体を
第１表に示す条件で２時間再焼結し、緻密な２次焼結体
を得た。得られた焼結体を４ ｖｘ Ｘ ３ ｗ Ｘ
４０ ｍｍの寸法に研磨加工した後、ＪＩＳ −Ｒ１６
０１により抗折強度、荷重３０ｋｇでビッカース硬度及
びインデンティションマイクロフラクチャー法により破
壊靭性を測定した。また、得られた焼結体を粉砕し、粉
末Ｘ線回折計により同定した結果、焼結体中の結晶相は
主としてβ−サイアロンとＳｉＣであることが確認でき
た。又、焼結１後も殆んどそのま＼残留していることが
確認された。
焼結体中のガラス相の量については走査型電子顕微鏡に
より観察した結果について、２次元的に画像処理して求
めた。第１表にその結果を重量％に換算して示した。更
にＳｉＣウィスカーの配向度についてはＸ線回折および
光学顕微鏡による観察の結果殆んど無いことが判明した
。
より観察した結果について、２次元的に画像処理して求
めた。第１表にその結果を重量％に換算して示した。更
にＳｉＣウィスカーの配向度についてはＸ線回折および
光学顕微鏡による観察の結果殆んど無いことが判明した
。
得られた焼結体の特性値は第１表に示すとおりである。
なお同表には得られた焼結体を５ＮＧＮ４３２のチップ
形状に研磨加工して切削性能を評価した結果を併記した
。切削テストは下表の条件で行ない、フランク磨耗幅■
８を測定した。
形状に研磨加工して切削性能を評価した結果を併記した
。切削テストは下表の条件で行ない、フランク磨耗幅■
８を測定した。
切削条件 被削材 インコネル ７１８切削速度
２２０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．２璽璽／ｒｅｖ切り込み ０
．８龍 切削時間 １分 これによれば本発明の焼結体は高強度、高靭性な機械的
特性を有し、その特性には異方性が無く、また優れた切
削性能を有していることが判った。
２２０ｍ／ｍｉｎ 送り ０．２璽璽／ｒｅｖ切り込み ０
．８龍 切削時間 １分 これによれば本発明の焼結体は高強度、高靭性な機械的
特性を有し、その特性には異方性が無く、また優れた切
削性能を有していることが判った。
実施例２
出発原料としてＳｉ３Ｎ４粉末に代えて、予め所望のＺ
値に合成された平均粒径０，８μｍのβ−サイアロン粉
末を用いる以外は実施例１と同様にして焼結、評価をし
た。焼結条件は一次焼結が１７５０℃、３時間窒素雰囲
気中、二次焼結が１７８０′ｃ、３時間８０気圧窒素雰
囲気中とした。
値に合成された平均粒径０，８μｍのβ−サイアロン粉
末を用いる以外は実施例１と同様にして焼結、評価をし
た。焼結条件は一次焼結が１７５０℃、３時間窒素雰囲
気中、二次焼結が１７８０′ｃ、３時間８０気圧窒素雰
囲気中とした。
第２表に示す結果から、β−サイアロン粉末を出発物質
とした場合も同様に緻密なガス圧焼結体が得られ、破壊
靭性に異方性が無いことが認められた。
とした場合も同様に緻密なガス圧焼結体が得られ、破壊
靭性に異方性が無いことが認められた。
１゜
（発明の効果）
以上の比較試験から明らかなとおり本発明は常圧焼結お
よびガス圧焼結によりＳｉＣウィスカーの補強効果を方
向性なしに得られるとともに、適切な配合によって焼結
効果も十分で、強度、破壊靭性及び硬度等の機械的特性
に優れた繊維強化セラミックスを提供するものである。
よびガス圧焼結によりＳｉＣウィスカーの補強効果を方
向性なしに得られるとともに、適切な配合によって焼結
効果も十分で、強度、破壊靭性及び硬度等の機械的特性
に優れた繊維強化セラミックスを提供するものである。
Claims (1)
- 炭化珪素（ＳｉＣ）ウィスカー５〜３０重量％と、Ｓｉ
，Ａｌ，Ｏ，Ｎと周期律表第IIａ族もしくは第IIIａ族
の金属元素の１種以上を含むガラス相２０〜４０重量％
と、残部が主としてβ−サイアロンから成ることを特徴
とする繊維強化セラミックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289530A JP2557668B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 繊維強化セラミックス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62289530A JP2557668B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 繊維強化セラミックス |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01131074A true JPH01131074A (ja) | 1989-05-23 |
| JP2557668B2 JP2557668B2 (ja) | 1996-11-27 |
Family
ID=17744443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62289530A Expired - Fee Related JP2557668B2 (ja) | 1987-11-18 | 1987-11-18 | 繊維強化セラミックス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2557668B2 (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60246268A (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-05 | 三菱マテリアル株式会社 | サイアロン基セラミツクス |
-
1987
- 1987-11-18 JP JP62289530A patent/JP2557668B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60246268A (ja) * | 1984-05-23 | 1985-12-05 | 三菱マテリアル株式会社 | サイアロン基セラミツクス |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2557668B2 (ja) | 1996-11-27 |
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