JPH01134234U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH01134234U JPH01134234U JP3062988U JP3062988U JPH01134234U JP H01134234 U JPH01134234 U JP H01134234U JP 3062988 U JP3062988 U JP 3062988U JP 3062988 U JP3062988 U JP 3062988U JP H01134234 U JPH01134234 U JP H01134234U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- metal diaphragm
- casing
- planar
- disposed
- pressure sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
第１図は本考案の圧力センサの縦断面図、第２
図は従来の圧力センサの縦断面図、第３図は他の
従来の圧力センサの縦断面図である。 １，１１，２１……ケーシング、２……第１の
金属ダイアフラム、３，１８……オイル、４……
第２の金属ダイアフラム、５……樹脂基板、６，
１５，２４……ゲージ抵抗、７，１２ａ……溶接
、８，１９，２５……導線、１２，２２……金属
ダイアフラム、１３……固定板、１４，２３……
シリコン基板、１６……電極、１７……シール箔
。
図は従来の圧力センサの縦断面図、第３図は他の
従来の圧力センサの縦断面図である。 １，１１，２１……ケーシング、２……第１の
金属ダイアフラム、３，１８……オイル、４……
第２の金属ダイアフラム、５……樹脂基板、６，
１５，２４……ゲージ抵抗、７，１２ａ……溶接
、８，１９，２５……導線、１２，２２……金属
ダイアフラム、１３……固定板、１４，２３……
シリコン基板、１６……電極、１７……シール箔
。
Claims (1)
- 受圧部であるケーシングの開口部に第１の金属
ダイアフラムを配設し、前記ケーシング内に、平
面状の第２の金属ダイアフラムを配設して、前記
第１の金属ダイアフラム前記第２の金属ダイアフ
ラムとの間にオイルを充填し、前記平面状の第２
の金属ダイアフラムにケージ抵抗を埋め込んだ樹
脂基板を配設したことを特徴とする圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062988U JPH01134234U (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3062988U JPH01134234U (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01134234U true JPH01134234U (ja) | 1989-09-13 |
Family
ID=31255856
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3062988U Pending JPH01134234U (ja) | 1988-03-08 | 1988-03-08 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01134234U (ja) |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55103441A (en) * | 1979-02-01 | 1980-08-07 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Pressure converter |
-
1988
- 1988-03-08 JP JP3062988U patent/JPH01134234U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55103441A (en) * | 1979-02-01 | 1980-08-07 | Yokogawa Hokushin Electric Corp | Pressure converter |
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