JPH01155638A - 光入力デバイスのウエハテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、光入力デバイスのウェハテスト装置に関す
るものである。

〔従来の技術〕

第２図（−）はグローブカードとステージとからなる従
来の光入力デバイスのウェハテスト装置を示す断面図で
ある。図において、（１］はステージ、（２ｊは被測定
ウェハ＆（３）はグローブカードｈ（４１は光の入幻信
号である。

また、第２図（ｂ）は被測定光入力デバイスの分光特性
を示Ｔ。

次に動作について説明する。

従来のウェハテスト装置では、光のへカ信号（４（を琳
純に被測定ウェハ（２）に入射して行なっていた。

このよりな条件下ではシリコンチップ二の表面保護膜（
Ｓ＋０１や５ｉＮ）のために光の多重反射がおこり、受
光素子部のシリコンへ入射する光の強度は波長依存性を
持ち、結果として被測定光入力デバイスの分光特性は第
２図（ｂ）のように入射波長により感度が大きく変化す
る。

〔発明が解決しようとする問題点〕

従来の光入力デバイスのウェハテスト装置は以上のよう
に構成されているので、光入力の長面保護膜での多重反
射により、被測定ウェハ（２１の分光感度特性が著しく
乱れるといり問題点があった。

この発明は二記のような問題点を解消するためになされ
たもので被測定光入力デバイスの分光感度特性にベラツ
キが生じるのを防止できる光入力デバイスの９エバテス
ト装置を得ることを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

この発明に係る光入力デバイスのウェハテスト装置は、
ウェハの光入力部分に光拡散板を設けたものである＠ 〔作　用〕 この発明における光入力デバイスのウェハテスト装置は
グローブカードｔに設けられた光拡散板により分光感度
特性のバラツキが防止され、ウェハテストの精度が向ｔ
する。

〔実施列〕

以Ｆ、この発明の実施例を図について説明する。

ｍ１図（ａ）は、この発明の一実施例による光入力デバ
イスのウェハテスト装置を示す断面図である。

図において、（１）はステージ、（２）は被測定９エバ
、（３）はグローブカード、（４）は光の入力信号、（
５）は光拡散仮である。また、第１図（ｂ）は光拡散仮
（５１を通した後の光入力デバイスの分光感度特性を示
す。

第１図（ａ）のような構成からなる光入力デバイスのウ
ェハテスト装置では、光入力（４）は光拡散板（５）に
よって拡散され被測定ウェハ（２）には。拡散された光
入力（６）が当るので、第１図（ｂ）のようなバラツキ
のない分光感度特性を得る事ができる。

〔発明の効果〕

以二のように、この発明の光入りデバイスのウェハテス
ト装置に工れば、グローブカードｔＫ表面を凹凸化した
光拡散板を設けたので１分光感度特性にバラツキが生じ
るのを防止でき、９エバテストの精度向上と、それによ
る歩留り向ｔが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、及び（ｂ）はこの発明の実施例による光
入力デバイスの９エバテスト装置の断面図、及び被測定
先入カデ／イイスの分光感度特性を示す図、第２図（ａ
）、及び（ｂ）は従来例による光入力デバイスのウェハ
テスト装置の断面図、及び被測定光入力デバイスの分光
感度特性を示す図である。 図において（１）はステージ、（２）は被測定９エバ。 （３１はグローブカード、（４は光の入力信号、（５）
は光拡散板、（６）は拡散された光入力である。 なお２図中同一符号は同−又は相尚部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　シリコンウェハ内に形成された受光素子を有する光入
   力デバイスのウェハテスト装置において、テスト用光源
   と光入力デバイスの間に光拡散板を設けたことを特徴と
   する光入力デバイスのウェハテスト装置。