JPH01156845U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH01156845U JPH01156845U JP5364788U JP5364788U JPH01156845U JP H01156845 U JPH01156845 U JP H01156845U JP 5364788 U JP5364788 U JP 5364788U JP 5364788 U JP5364788 U JP 5364788U JP H01156845 U JPH01156845 U JP H01156845U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis direction
- axis
- stage
- laser beam
- lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 2
Landscapes
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Description
図面は本考案による移動ステージの直進ずれ補
正装置の１実施例を示し、第１図は平面図、第２
図及び第３図はそれぞれ直進ずれのない場合及び
ある場合を示し、それぞれのａは集光レンズ及び
全反射ミラーにおける光路説明用平面図、それぞ
れのｂは他分割フオトセンサの側面図である。 １……移動ステージ、３……Ｙ軸アクチユエー
タ、４……レーザ光源、８……多分割フオトセン
サ、９……集光レンズ、１０……全反射ミラー。
正装置の１実施例を示し、第１図は平面図、第２
図及び第３図はそれぞれ直進ずれのない場合及び
ある場合を示し、それぞれのａは集光レンズ及び
全反射ミラーにおける光路説明用平面図、それぞ
れのｂは他分割フオトセンサの側面図である。 １……移動ステージ、３……Ｙ軸アクチユエー
タ、４……レーザ光源、８……多分割フオトセン
サ、９……集光レンズ、１０……全反射ミラー。
Claims (1)
- Ｘ軸方向に直進する移動ステージと、該ステー
ジ上に配設されたレーザ光源と、前記ステージの
直進線上に固設されＸ軸方向の中心軸を有しＸ軸
方向に出射された前記レーザ光源の出射レーザビ
ームが入射する集光レンズ及び該レンズを透過し
たレーザビームを全反射する法線がＸ軸方向の全
反射ミラーと、前記ステージ上に配設され中心部
が前記出射レーザビームの光軸と一致し前記ミラ
ーで全反射されて前記レンズを透過した反射レー
ザビームを受光する多分割フオトセンサと、該セ
ンサの出力信号により駆動し前記反射レーザビー
ムの光軸が前記センサの中心軸に一致するように
前記ステージをＹ軸方向及びＺ軸方向に移動する
Ｙ軸アクチユエータ及びＺ軸アクチユエータとを
備えてなる移動ステージの直進ずれ補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5364788U JPH01156845U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5364788U JPH01156845U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01156845U true JPH01156845U (ja) | 1989-10-27 |
Family
ID=31279612
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5364788U Pending JPH01156845U (ja) | 1988-04-20 | 1988-04-20 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01156845U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001157951A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-12 | Univ Chuo | 逐次２点法による形状精度測定装置および逐次２点法による形状精度測定用レーザ変位計間隔測定方法 |
-
1988
- 1988-04-20 JP JP5364788U patent/JPH01156845U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001157951A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-12 | Univ Chuo | 逐次２点法による形状精度測定装置および逐次２点法による形状精度測定用レーザ変位計間隔測定方法 |