JPH01236914A - 濃縮酸素回収方法 - Google Patents

濃縮酸素回収方法

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JPH01236914A JP63065197A JP6519788A JPH01236914A JP H01236914 A JPH01236914 A JP H01236914A JP 63065197 A JP63065197 A JP 63065197A JP 6519788 A JP6519788 A JP 6519788A JP H01236914 A JPH01236914 A JP H01236914A
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上田　侃二
Masahiro Inoue
雅裕 井上
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野〉 本発明は窒素、酸素混合ガスよりプレッシャースイング
法（以下ＰＳＡ法という）により、酸素を濃縮回収する
方法に関するものである。ＰＳＡ法により得られる酸素
は、酸素を連続的に多量に使用する産業、具体的には電
炉製鋼、水処理用酸素曝気、パルプ漂白、溶融炉、オゾ
ン発生装置等の分野で利用され、安価で手軽に酸素を供
給する方法として近年増々普及している。
（従来の技術） （発明が解決しようとする問題点） ＰＳＡ法により酸素を濃縮する従来の技１ホｊとしては
吸着槽を３槽もしくは４槽設け、吸橘２回収。
脱着、胃圧等の各工程を順次くりかえすことにより濃縮
酸素か高い回収率で１寄られる様工夫された方法が主流
を占めており、一定量の濃縮酸素を発生させる為の吸着
剤の量を少なくし、装置を簡略化したいという希望はあ
りなから実際には昌だ困Ｈなことであった。
そこで吸着槽を２槽にしたＰＳＡ法の例としては特開昭
５９−１９９５０３号公報に見られる様に均圧操作を組
み込んで酸素回収率を３５％程度と比較的高くする方法
が知られているが、この場合製品画素濃度が４５％と低
く、逆に製品酸素濃度を９０％と高くすると回収率が２
０％にまで下り、酸素濃度の高いものを高い回収率で得
ることは２槽弐ＰＳＡ法では限界があるとされていた。
その理由として２槽式は３槽式または４槽式に比へて吸
着工程の前準備として吸着圧力に相当する圧力にまで濃
縮酸素で昇圧させる昇圧工程に充分な時間を割くことが
できないという時間制限があった。その結果昇圧の圧力
が充分に上昇しないうらに原料混合ガスが吸着槽へ供給
される為流入速度が速くなり、従って吸着剤への窒素ガ
スの吸着が不充分となって破過しやすい状態を作り出し
ていた。その対策として前記特開昭５９−１９９５０３
号公報に見られる様に原料ガスの供給速度を０．５ない
し１．５Ｎｒｒｔ３／ＨＫ３吸着剤に制限する様な方法
か採用されていだが、原料ガスのみで昇圧することには
基本的に無理があり、この方法で操作する限り窒素ガス
の吸着剤に対する吸着破過は避けられない問題であった
。
本発明者らはこの様な状況に鑑み経済的に有利な２槽式
において上記の問題を解決する為種々検討を重ねた結果
吸着槽のガス出口側に濃縮酸素のガス溜め槽を設け、ガ
ス回収や原料混合ガスの導入時に濃縮酸素の一部をこの
ガス溜め槽より逆流させることにより、前記窒素ガスの
吸着破過を未然に防ぐ方法を見出し本発明に到達した。
（問題点を解決する為の手段） 本発明は従来困難とされていた２槽式において９０％以
上の濃縮酸素を高い回収率で得る方法を提供することを
目的とするものであり、その要旨は ［窒素ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスよりプレ
ッシャースイング法により酸素を濃縮する方法にあいて
、吸着剤としてビオライトモレキュラーシーブを充填し
たＡ、Ｂ２槽の吸着槽とその出口側に２漕共有の１農縮
酸素ガス溜め槽を設けれた酸素を蓄える吸着工程。
混合）ｊスをＡ（凸に導入吸るさせ、Ｂ槽を減圧脱着さ
せるに際し、 ■　Ａ槽の入口端よりａ合ガスを導入して窒素ガスを選
択眼るさせながら出口端より濃縮された酸素を蓄える吸
着工程、 ■　Ｂ槽の人口端より窒素ガスを脱るする脱着工程、 ■　脱着を続けるＢ槽の出口端へ濃縮酸素の一部を逆流
させる洗浄工程、 ■　Ａｌｆｉへの混合ガスの導入を停止して出口端より
槽内の残ガスの一部をＢ槽の出口端に導入する回収工程
、 ■　Ａ槽の出口端より槽内の残ガスを脱６の終了したＢ
槽の入口端に導入してガスを回収すると共にＢ槽の出口
端へ濃縮酸素の一部を逆流させる蓄圧工程、 ■　濃縮酸素の一部をＢ槽出口端に逆流させながら入口
端に混合ガスを導入する昇圧工程、以上の６工程を逐次
Ａ、Ｂ各槽受槽交互りかえすことを特徴とする濃縮酸素
回収方法。」である。
Ａ、Ｂ２１１の吸着槽のガス出口側に設ける２槽共有の
濃縮酸素ガス溜め槽は通常１槽であるが複数漕であって
もよく、その全容量が吸る槽１槽当りの容量に等しいか
それ以上の大きざを持っていることが必要である。蓄圧
工程と背圧工程でこの濃縮酸素ガス溜めに蓄えられた濃
縮酸素の一部を短時間に吸着槽へ逆流させることによっ
て吸着槽出口部の窒素ガスの破過を防ぎ、これによって
製品酸素濃度を上昇ざぜることができるのが本発明の大
ぎな特徴である。ざらに吸４工程の終了した槽の出口槽
より脱着の終了した槽の入口端へ残留酸素を回収する蓄
圧工程では、この濃縮酸素ガス溜め槽より′濃縮酸素の
一部を逆流させ窒素ガスの吸る運出口部への移動を抑え
る触ぎを持たせることができたので、ガスの均圧回収を
充分に行なわせて濃縮酸素の回収率を高めることができ
るのも本発明の大ぎな特徴である。
本発明においては実際上混合ガスを大気圧以上２に９／
ｃｎｉＧ未満の圧力で吸る槽に導入し、１００ｍＩｎＨ
ｇ以上４００ｍｔ−ＩＩ以下の圧力で減圧肌着する低圧
法と２８Ｉ／ＣｉＧ以上８に３／ｃｒｊＧ以下の圧力で
吸着槽に導入し、大気圧にまで放圧して脱着を行なう高
圧法のいずれかで行なうのが有利である。
具体的にこの方法を説明すると窒素ガスを選択的に吸着
するゼオライトモレキュラーシーブの如き吸着剤を充填
したＡ、Ｂ２槽の吸着槽とその出口側に２僧兵通に導管
で接続された濃縮酸素ガス溜め槽を１槽以上設け、窒素
ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスをブロアーもし
くは圧縮機で胃圧して一方の槽（例えばＡ槽）に導入す
る。この場合低圧法では混合ガスを大気圧以上２ＫＦＩ
／ｃ屑未満の圧力にまで昇圧し他の槽（例えばＢ　ｌ仙
）を真空ポンプで１０Ｃ）ｓＨ（１以上４００ｍｌ−Ｉ
ｇ以下の圧力にまで減圧脱着させることによって脱着再
生を行なう。高圧法では混合ガスを２Ｋｇ／ｃｒＡＧ以
上８Ｋｇ／ｃ屑Ｇ以下の圧力にまで胃圧し、△漕に導入
して吸着を行ない、Ｂ漕は大気へ放出して脱６再生する
。いずれの操作においてもこの脱着工程の末期、］Ｏ秒
〜３０秒間濃縮酸素ガス溜め槽より蓄えられた濃縮酸素
の一部を逆流させる。その流ｌｓよガス溜め槽より製品
ガスとして央き出される濃縮酸素ガス量の１．２・〜３
．５倍が適当でおる。少なすぎると脱着再生が不充分と
なり濃縮酸素の濃度が低下し、逆に多すぎると製品とし
ての濃縮酸素量が減少してしまうので好ましくない。
次に吸着の終了したＡ槽の出口端と減圧脱るを行なって
いるＢ槽の出口端を接続し△槽上部の残菌酸素ガスを８
槽に回収する。この場合適度な回収が必要であり、過度
に回収を行なうと製品としての濃縮酸素ガス中の酸素８
度が低下する。最大の回収率を得る為にはＢ槽の上昇圧
力が低圧法では１５０ｓ日０以下、高圧法ではＱ、５８
ｇ／ＣＩＡ以下であることか必要である。
しかしながらこの回収工程は必ずしも必要でなく省略す
ることも可能であり回収率がそれ程低下しない場合もあ
る。一般に高圧法の場合の方が低下率が少ないので工程
を簡略化する為にこの回収工程を省くことかある。
次の工程としてＡ槽の出口端より槽内の残留ガスを放出
し続けてＢ槽の入口端にガスを回収すると共にＢ槽の出
口端へ濃縮酸素ガス溜から濃縮酸素の一部を逆流させて
Ｂ槽の蓄圧を行なう。この工程で低圧法でも高圧法でも
最大の回収率を得る為には共に２槽の圧力がほぼ等しく
なる。即ち圧力差が実質的に零になる迄回収することが
必要である。
次にＢ槽の入口端より混合ガスを導入して吸着を開始す
る。この時Ｂ槽の圧力はまだ最大吸看圧力より低い圧力
であるので、）捏合ガスが急激に槽内へ流入し吸着槽内
で窒素ガスが充分成層されず一部吸着されないよ）出口
側へ破過し出口ガス中の酸素′ａ度を低下させることに
なる。これを防ぐ為に前の蓄圧工程に引き続き濃縮酸素
ガス溜め１ａより濃縮酸素ガスの一部をＢ槽出口端へ逆
流させながら入口端Ｊ：り背圧する。次第に昇圧してＢ
（曹内が濃縮酸素ガス溜め槽の圧力と等しくなって始め
て出口端から濃縮酸素ガス溜め槽の方へ流出する。この
操作は本発明にとって最も重要な工程の一つであり、こ
れまでこのように逆流を続けながら昇圧して行く操作は
行なわれていない。この場合逆流される濃縮酸素ガスは
ガス溜め槽の圧力と吸＠槽の圧力が等しくなるまで流れ
続けるわけであるかこの量はガス溜め槽の大きざによっ
て異なってくる。
従ってこの性能を最大限に発揮する為にはこの濃縮酸素
ガス溜め槽の大きざが吸着槽１槽と同容量以上であるこ
とが必要である。この容量が吸着槽１槽に相等する容量
より小さい場合はガス溜め槽より吸着槽へ逆流する濃縮
酸素量が減少し、混合ガスか導入された場合吸描剤層内
での窒素ガスの破過量が増加し濃縮酸素の酸素濃度を低
下させることになるので好ましくない。逆に大き過ぎて
もさしたる効果は無いので同容聞か若干大きい程度にす
る。
本発明の窒素ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスは
通常空気を対象とするが、酸素濃度の比較的高い廃ガス
から濃縮酸素を回収する場合にも適用できる。
（作用） 本発明の実施態様を具体的な流れ図として真空ポンプを
用いる低圧法の場合は図−１に、真空ポンプを用いない
高圧法の場合は図−２に掲げ、それぞれの操作工程を図
−３及び図−４に示す。以下本発明の実施態様の例を低
圧法と高圧法に分は図に基いて工程順に説明する。
（１）低圧法 工程−１ 図−１２図−３においてブロアー１により）捏合ガスを
５００ｍ水柱まで胃圧し、弁３を通じて、ゼオライトモ
レキュラーシーブを充１眞した吸−？Ｓ　１１　Ａに導
入し、窒素ガスを吸る除去して酸素ガスを濃縮し、弁９
を通じて濃縮酸素ガス溜めＩＷＣに苔える。一方吸着の
終った吸着槽Ｂは弁７を通じて真空ポンプ２にて１８０
ｍＨｇの圧力にまで減圧脱着し吸着剤を再生する。
工程−２ 吸着槽Ｂの脱着工程の末期の約１０〜３０秒間、ガス溜
め槽Ｃより濃縮酸素ガスの一部を製品ガスとして夫ぎ出
される濃縮酸素ガス量の１．２〜３．５倍の流量で弁１
３及び弁１２を通じて逆流させ吸着槽Ｂを洗浄する。
工程−３ 吸着の終了した吸着槽Ａ内の残留酸素ガスの一部を弁１
０と弁１２に通じて吸着槽Ｂの出口端へ回収する。この
時、吸着槽Ｂは未だ真空ポンプ２で脱霜を続けている。
この回収の程度として、吸着槽Ｂ槽の上昇圧力は１８０
ｍｍ　Ｈｇから１５０ｍ！−１３上貸した３３０ｍＨｇ
以下に抑える必要がある。この場合１５０ｍＨＯを超え
た圧力上昇となるまで回収を行なうとＡ槽より窒素が流
入し、吸橘槽Ｂの出口端に近い部分の吸着剤に窒素が吸
着され汚染されることになり、後の工程で濃縮酸素ガス
の濃度低下を起す結果となるので好ましくない。
工程−４ 吸着槽Ａ内に残留する酸素ガスを弁１０．弁８を通じて
吸＠槽Ｂの入口端へ回収する。同ｕ５に濃縮酸素ガス溜
め槽Ｃより弁コ］を通じて濃縮酸素の一部を吸着槽Ｂの
出口端へ逆流させる。この時吸着槽Ａでは入口端より弁
４を通じて真空ポンプによる減圧脱着を開始しており、
やがてこの２槽間の圧力差は零に近づく。
工程−５ ガス溜め槽Ｃより濃縮酸素の逆流を続は吸る槽Ｂ内の吸
着剤の中で窒素ガスが出口側へ破過しない様に抑えなが
ら、吸着槽Ａよりのガス回収が終了した時点で吸着槽Ｂ
の入口端にブロワ−１，弁６を通じて混合ガスを導入し
吸着工程の準備として背圧を行なう。
以上の工程を１／２サイクルとじ−Ｃ約５０秒〜７０秒
にて繰返し行なう。
（２）高圧法 工程−１ 図−２９図−４において圧縮機１により混合ガスを４に
３／ｃｒｊＧまで昇圧し、弁２を通じてゼオライトモレ
キュラーシーブを充填した吸着槽Ａに導入し、窒素ガス
を吸る除去して酸素ガスを濃縮し弁８を通じて濃縮酸素
ガス溜め槽Ｃに蓄える。一方吸着の終った吸る槽Ｂは弁
６を通じて大気圧まで放圧脱着し吸る剤を再生する。
工程−２ 吸着槽Ｂの脱着工程の末期の約１０〜２０秒間、ガス溜
め槽Ｃより濃縮酸素ガスの一部を、製品ガスとして央き
出される濃縮酸素ガス量の１．２〜３．５倍の流量で弁
１２及び弁１コを通じて逆流させ吸着槽Ｂを洗浄する。
工程−３ 吸着の終了した吸６槽Ａ内の残留酸素ガスの一部を弁９
．弁１１を通じて吸着槽Ｂの出口端へ回収する。この時
吸着槽Ｂは未だ放圧脱着を続けており、この回収の程度
として吸着ＪＷＢの１冑圧力は大気圧より０．５Ｋｇ／
ｃ肩上弄した０、　５　Ｋ３／　ｃｍＧ以下の圧力に抑
える必要が必る。この場合０．５１ｆｆ／ｃ屑Ｇを超え
た圧力上昇となるまで回収をおこなうとＡ槽より窒素が
流入し、吸着槽Ｂの出口端に近い部分の吸着剤を窒素で
汚染されることになり、後の工程で濃縮酸素ガスの濃度
低下を起す結果となるので好ましくない。
工程−４ 吸着櫓Ａ内に残留する酸素ガスを弁９．弁７を通じて吸
着槽Ｂの入口端へ回収する。同時に濃縮酸素ガス溜め槽
Ｃより弁１０を通じて濃縮酸素の一部を吸着槽Ｂの出口
端へ逆流させる。この時吸る櫓へでは入口端より弁３を
通じて大気へ放出脱着を開始しており、やがてこの２槽
間の圧力差は零に近づく。
工程−５ ガス溜め槽Ｃより濃縮酸素の逆流を続（ブ、吸着槽Ｂ内
の吸着剤の中で窒素ガスが出口側へ破過しない様に抑え
ながら吸着槽Ａよりのガス回収が終了した時点で吸着Ａ
（０３の入口端に圧縮機１．弁５を通じて混合ガスを導
入し吸着工程の準備として背圧を行なう。
以上の工程を１／２サイクルとして約５０〜７０秒にて
繰り返えし行なう。低圧法、高圧法のいずれも工程−３
の回収を省略する場合のあることは既に説明したとおり
でおる。
以下実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。
（実施例） 実施例１ 直径８０ｍ高さ１２００ｍの吸る槽２槽に各々西独バイ
エル社製　５Ａ型１２オライドモレキユラーシーブを充
填し、吸着槽出口側に吸着槽と同容量の直径８０ｍ、高
さ１２００ｍのガス溜槽を１槽設けた。プロ１ノーで５
００ａｎＨ２０の圧力に背圧した空気を吸も槽に導入し
、図−３に示す工程に従って操作した。
工程−１１９秒 工程−２２０秒 工程−３３秒 工程−４３秒 工程−５１５秒 計　　　　　　　６０秒 の時間配分で１サイクル当り６０秒Ｘ２＝１２０秒で操
作を行なった。脱着は真空ポンプで６０秒間に１８０＃
Ｈ（ｌの圧力まで行ない、工程−２では３７ＯＮ、ｆ）
／Ｉ＋の濃縮酸素をガス溜め槽より脱着をおこなってい
る吸着槽に逆流させて２０秒間洗浄した。工程−３にお
いては脱着を続ける吸着槽の上界圧力は２８０ｍ１−Ｉ
ＣＩに工程−４においては２槽の吸着槽の圧力はほぼ等
しい５３０＃Ｈ（］に到達させた。この結果濃縮酸素♀
は９３．３％０２ｉａ度にて１３１　リ／１１得られ酸
素回収率は５５．２％となった。
比較例−１ 実施例−１と同じ吸着槽と吸着剤を使用して、ガス溜め
槽を組み込まずに実施例−１と同じ操作方法で操作した
。脱着は真空ポンプで６０秒間に１８０＃Ｈ（］の圧力
まで行ない工程−２では３７２ＮｆＪ／１１の濃縮酸素
を、配管の途中より脱着している吸着槽に逆流ざぜて２
ｏ秒間洗浄した。
工程−３においては脱着を続ける吸着槽の上界圧力は２
８０＃Ｈｇになったが、工程−４においてはガス溜め槽
よりの濃縮酸素の逆流が無い為減圧側は６１０＃Ｈｇ、
’ＲＫ側は４６ｏ＃Ｈｇとなり実施例−１のように等し
くならなかった。その結果濃縮酸素濃度は９１．２％に
低下し、酸素量は１２０　ＮｆＪ／Ｉ＋に減少して酸素
回収率は４９％となった。
実施例−２ 直径８０ｍ、ｉｆｆざ１２００ｍの吸着槽２槽に各々西
独バイエル社Ｍ５Ａ型ビオライトモレキュラーシーブを
充填し、吸る検出口側に吸着槽と同容量の直径８０ｍ、
高さ１２００ｍのガス溜め槽を１槽設けた。４．０Ｋｇ
／ｃｉＧの圧力にまで背圧した空気を導入し図−４に示
す工程に従って操作した。
工程−１２２秒 工程−２２０秒 工程−３０，５秒 工程−４２，５秒 工程−５１５秒 計　　　　　　６０秒 の時間配分で１サイクル当り６０秒Ｘ２＝１２０秒で操
作を行なった。脱るは吸着槽下部の弁を１ケ開放するこ
とで大気へ放出した。工程−２では２８２ＮＪｌ／Ｉ＋
の濃縮酸素量をガス溜め槽より脱着している吸着槽に逆
流させて２０秒間洗浄した。
工程−３においては脱着を続ける吸着槽の上界圧力が０
．２　Ｋ９／　ｃｒｉＧに工程−４においては２槽の吸
＠僧の圧力がほぼ等しい２．０　Ｋｇ／　ｃｎｉＧに到
達させた。この結果濃縮酸素量は９３．５％０２ａ度に
て９５８、！！／Ｉ＋得られ酸素回収率は２５％となっ
た。
比較例−２ 実施例−２と同じ吸着槽と吸着剤を使用してガス溜め槽
を組み込まずに実施例−２と同じ操作方法で操作した。
脱着は吸着槽下部の弁を１ケ開敢することで人気へ放出
した。工程−２では２８２Ｎｕ　／Ｉ＋の濃縮酸素量を
配管の途中より、脱るしている吸着槽に逆流させて２０
秒間洗浄した。工程−３においては脱橘を続ける吸着槽
の上昇圧力が０．２　Ｋ！Ｊ／　ｃｒｉＧになったが工
程−４においてはガス溜め槽よりの濃縮酸素の逆流が無
い為２槽の吸着槽の圧力は等しくならず、減圧側は２．
４Ｋｇ／ｃＩ７ｉＧ、　ｆｆ圧側は１．２　Ｋ’ｊ／　
ｃｒｉＧとなった。この結果、濃縮酸素濃度が８８．５
％に低下し濃縮酸素間は９ＯＮρ／［１となり酸素回収
率は２１％に減少した。
実施例−３ 直径８０ｍ、高さ１２００ｍの吸着槽２槽西独バイ工ル
社ｉ１　５ＡＷｔ’オライドモレキユラーシーブを充填
し、吸着槽出口側に吸着槽と同容量の直径８０ｍ、高さ
１２００ｍのガス溜め槽を１槽設けた。４．　Ｑ　ＫＣ
Ｉ／　ｃｎｉＧの圧力にまで昇圧した空気を導入し、図
−４に示す操作方法の内工程−３を省略して下記の如く
工程１．２．４．５にて工程〜１　　　２２．５秒 工程−２２０秒 工程−４２，５秒 工程−５１５秒 計　　　　　　６０　　秒 の時間配分で１サイクル当り６０秒Ｘ２＝１２０秒で操
作を行なった。脱着は成層槽下部の弁８１ケ開放するこ
とで大気へ放出した。工程−２では２８２す／１１の濃
縮酸素をガス溜め槽より脱着している吸着槽に逆流させ
て２０秒間洗浄した。
工程−４においては２槽の吸着槽の圧力がほぼ笠しい２
．０Ｋｇ／ｃ屑Ｇに到達させた。この結果濃縮酸素量は
９３．６％の酸素濃度にて９１　リ／１１得られ回収率
は２４％となった。
（発明の効果） 従来のＰＳＡ法による技術では９０％以上の）型線酸素
を高い回収率で得るには吸る槽を３槽以上必要としてい
たが、本発明により２槽でも可能となり装置が簡略化で
きた。また吸る剤の量も２／３に減少させることか出来
、従って装置費。
経費共大巾に削減することができるので該工業に寄与す
る所大である。特に吸着槽を２槽用いた従来の技術たる
特聞１１１ｆｉ　５９−１９９５０３号の発明に比べる
と酸素濃度は４５％が９３％に回収率は３５％が５５％
にと飛躍的に向上した。
【図面の簡単な説明】
図−１は本ざで明の低圧法の装置のガス流れ図、図−２
は同じく高圧法の場合を示したもの、図−３は図−１の
ガス流れに相当する操作工程を、図−４は図−２のガス
流れに相当する操作工程の５１明図である。 出願人　　　製鉄化学工業株式会社 代表者増田裕治 固−Ａ 胆−２ １・・・　アロアー　　　　ハ、６・・・−咀着樗■−
３（賢／）１’）

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）窒素ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスより
    、プレッシャースイング法により酸素を濃縮する方法に
    あいて、吸着剤としてゼオライトモレキユラーシーブを
    充填したＡ、Ｂ２槽の吸着槽とその出口側に２槽共有の
    濃縮酸素ガス溜め槽を設け、前記混合ガスをＡ槽に大気
    圧以上 ２ｋｇ／ｃｍ＾２Ｇ未満の圧力で導入吸着させ、Ｂ槽を
    １００ｍｍＨｇ以上４００ｍｍＨｇ以下の圧力にまで減
    圧脱着させるに際し、 ［１］Ａ槽の入口端より混合ガスを導入して窒素ガスを
    選択吸着させながら出口端より濃縮された酸素を濃縮酸
    素ガス溜めに蓄える吸着工程、 ［２］Ｂ槽の入口端より真空ポンプにて窒素ガスを減圧
    脱着する脱着工程、 ［３］減圧脱着を続けるＢ槽の出口端へ濃縮酸素ガス溜
    め槽より濃縮酸素の一部を逆流させる洗浄工程、 ［４］Ａ槽への混合ガスの導入を停止して出口端より槽
    内の残ガスの一部を減圧脱着を続けるＢ槽の出口端に導
    入してガスを回収する回収工程、 ［５］Ａ槽の出口端より槽内の残ガスを減圧脱着の終了
    したＢ槽の入口端に導入してガスを回収すると共にＢ槽
    の出口端へ濃縮酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部を逆
    流させる蓄圧工程、 ［６］濃縮酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部をＢ槽出
    口端に逆流させながら入口端に混合ガスを導入する昇圧
    工程、 以上の６工程を逐次Ａ、Ｂ各槽交互にくりかえすことを
    特徴とする濃縮酸素回収方法。
  2. （２）回収工程におけるＢ槽の上昇圧力が１５０ｍｍＨ
    ｇ以下であり、蓄圧工程終了後のＡ、Ｂ各槽の圧力差が
    実質的に零である特許請求の範囲（１）記載の方法。
  3. （３）窒素ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスより
    プレッシャースイング法により酸素を濃縮する方法にお
    いて、吸着剤としてゼオライトモレキユラーシーブを充
    填したＡ、Ｂ２槽の吸着槽とその出口側に２槽共有の濃
    縮酸素ガス溜め槽を設け、前記混合ガスをＡ槽に２Ｋｇ
    ／ｃｍ＾２Ｇ以上８Ｋｇ／ｃｍ＾２Ｇ以下の圧力で導入
    吸着させ、Ｂ槽を大気圧圧力にまで脱着させるに際し、 ［１］Ａ槽の入口端より混合ガスを導入して窒素ガスを
    選択吸着させながら出口端より濃縮された酸素を濃縮酸
    素、ガス溜め槽に蓄える吸着工程、 ［２］Ｂ槽の入口端より窒素ガスを大気へ放出して脱着
    する脱着工程、 ［３］大気へ放出され脱着を続けるＢ槽の出口端へ濃縮
    酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部を逆流させる洗浄工
    程、 ［４］Ａ槽への混合ガスの導入を停止して出口端より槽
    内の残ガスの一部を脱着を続けるＢ槽の出口端に導入し
    てガスを回収する回収工程、 ［５］Ａ槽の出口端より槽内の残ガスを脱着の終了した
    Ｂ槽の入口端に導入してガスを回収すると共にＢ槽の出
    口端へ濃縮酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部を逆流さ
    せる蓄圧工程、 ［６］濃縮酸素ガス溜め槽より濃縮酸素の一部をＢ槽出
    口端に逆流させながら入口端に混合ガスを導入する昇圧
    工程、 以上の６工程を逐次Ａ、Ｂ各槽交互にくりかえすことを
    特徴とする濃縮酸素回収方法。
  4. （４）回収工程におけるＢ槽の上昇圧力が０．５Ｋｇ／
    ｃｍ＾２Ｇ以下であり、蓄圧工程終了後のＡ、Ｂ各槽の
    圧力差が実質的に零である特許請求の範囲（３）記載の
    方法。
  5. （５）窒素ガスと酸素ガスを主成分とする混合ガスが空
    気である特許請求の範囲（１）〜（４）記載の方法。
  6. （６）濃縮酸素ガス溜めが１槽でありその容量が少なく
    とも吸着槽１槽分である特許請求の範囲（１）または（
    ３）記載の方法。
  7. （７）所望により［４］の回収工程を省略する特許請求
    の範囲（１）または（３）記載の方法。
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