JPH01502764A - 空気圧又は液圧システムにおける圧力変更装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 空気圧又は液圧システムにおける圧力変更方法と装置本発明は、空気圧又は液圧 システムにおける圧力変更装置に関し、特に（これに限定するものではないが） 請求の範囲第１項の導入部に記載した種類の圧縮空気式隔膜ポンプ内の圧力を変 更する方法に関する。本発明は更に、上記の方法を実行するための装置であって 、機構に関する独立クレームの導入部に記載の種類の装置に関する。

本発明は特に、全圧力を即座に印加すべきではない機械その他の装置に、加圧が なされた媒体を急激に供給した場合に生じる欠点を克服する方法と装置を揚供す ることを意図するものである。このように圧力のかかった流動媒体を急激に供給 するための大口弁が開くと、圧力の急上昇によって衝撃が発生し機械及び周辺機 器に損傷を与える場合がある。液圧システムではこの衝撃は水撃作用と呼ばれ、 また空気圧システムでは圧縮空気衝撃と呼ばれる。しかし、本発明は下流側の機 械の保護に限定されるものではなく、圧力システムを空にしたり通気する場合に も応用可能である。

空気圧システムに関してはシステムの急激すぎる通気を避けることについて言及 がなされる。

空気圧システムは数多くのカテゴリーに分類可能であるが、特に静圧システムと 動圧システムとに区分される。静圧システムは特に種々のシリンダ機構からなり 、一方動圧システムはたとえば圧縮空気隔膜ポンプのような回転又は循環式機械 のように空気を消費する機械からなっている。静圧式の空気圧システムの場合、 所与の圧力がシステム内に当初から確立されており、且つそれぞれのピストン− シリンダ装置又はこれに類する装置が死点の位置を占めるときに大口弁が開いて いる限りは充分に機能する弁が市販されている。この弁がシステム内の振動と衝 撃を防止する。

しかし、これらの公知の弁はたとえば全圧力動作条件が可能になる前に圧力を確 立することができないポンプのような空気消費型機械では充分に機能しない。な ぜならば、圧力のかかった空気が入口供給弁を通過しそして機械に入ると同時に 、機械が動作を開始するからである。このことは特に圧縮空気式隔膜ポンプの場 合に該当する。このようなポンプには種々の容量があり、供給される空気の容積 及び空気圧に応じてゼロ容量から１００％容量までスムーズに動作する。その結 果、ポンプ内に圧力をゆっくりと印加しようとすると、ポンプは圧力上昇するこ となく緩速で動作するに過ぎない。

空気消費型機械の供給管又は入口管は閉鎖弁に加えて、主圧力を所望の降下した 動作圧すなわち２次圧力に降下させ、且つこの２次圧力を一定のレベルに維持す るための圧力調整器を組み込んでいることが多い。この種の公知の圧力調整器の 一つは隔膜と連結された弁心棒を有する座席弁を埋設した供給管路を備えている 。隔膜の片側の隔室は孔を経て圧力調整器の出口側と連通ずる。隔膜の別の側は ばねにより付勢されている。ばねによる付勢は調整用つまみ又はハンドルにより 調整され、これと共に圧力調整器の出口側に必要な圧力も調整される。しかし、 この種の弁は一定の最大圧をつくり出すために使用可能であるだけで、圧力をゆ っくりと上昇させつつ空気を機械に供給するために利用することはできない。

ＥＰ　０１２６２９１号はばね付勢された複動ピストンを開陳し、図示している 。ピストンの両側は制御弁を介して入口に連結されている。

更に、ピストンのそれぞれの側に形成された隔室は制御弁を組み込んだ配管を介 して大気へ開放可能である。しかし、ピストンのどの側も弁の出口側には連結さ れておらず、弁の設置は出口側の圧力とはかかわりなく行われる。

Ｓ　Ｅ　７２０２６６７−９号は弁体又はプラグが弁心棒を介して隔膜によって 作動される弁を開陳し図示している。今後弁プラグと称する弁体もばねによって その開放方向に作動される。弁の入口側には弁開口の入口側の中間スペースの境 界を定める調整自在のコイルばねが配置されている。入口側から中間スペースに 届く流体の流れはばねの圧縮を修正することにより円滑、且つ可変的に絞り調整 可能である。

入口は管を介して隔膜と連通しているので入口管にかかる圧力によって弁は閉鎖 方向に移動する。中間スペースも別の管を介して隔膜と連通しており、弁は中間 スペースにかかる圧力によって開放方向に作動される。

この弁は圧力調整器とは別の構造であり、圧力調整器と同様には機能しない。圧 力調整器の弁プラグは、特に弁のばねと入口管の圧力によって反対方向に作用を 受け、且つ移動する。圧力調整器にはおらず対応する効果を達成するものでもな い。

従って本発明の目的は、空気圧又は液圧システムの圧力を変更するため、上述の 欠点に煩わされず、動的な空気圧または液圧システム内の入口の圧力をゆっくり と上昇させることが可能な方法を提供することである。更に、別の目的は圧力を ゆっくりと上昇し、且つ弁の出口側の圧力上昇率に対して弁の設定を調整するこ とである。

本発明の別の目的は、前記の方法を実施可能な機構を提供することである。

この目的を達成するため、本発明に基づく方法は装置に関する第１のクレームの 特徴記載部分に記載された機構を主な特徴としている。

前述の刊行物は弁心棒を介して隔膜又はピストンにより動作又は制御される弁を 教示している。隔膜又はピストンの互いに反対側の面にできる隔室は、管を介し また場合により制御弁を介して弁の入口経路と連通ずる。しかしこれらの公知の 弁は出口経路にかかる圧力による作用は受けない。その結果、公知の弁は弁の出 口側に生ずる圧力上昇率に適応することには役立たない。

さて、本発明の実施例を添付図面を参照しつつ、より詳細に説明する。

第１図は本発明に基づく機構の概略的な断面・図である。

第２図は第１図の機構に対応し、且つ隔膜の形式の補正装置を含む機構を示す。

第３図は第１図の機構に対応し、且つ出口の圧力を制限する圧力調整器を組み込 んだ機構である。

第４図は第１図の機構に対応し、且つ最大流路開口を制限する調整ねじを組み込 んだ機構である。

第５図は第１図の機構に対応し、且つ第２図に基づく隔膜と、第４図に基づく調 整ねじを組み込んだ機構である。

第６図は第２図の機構に対応し、且つ第３図に基づく圧力調整器と第４図に基づ く調整ねじを組み込んだ機構である。

第７図は第６図の機構に対応し、且つ別個の圧力媒体源から圧力調整器へと圧力 媒体を供給するための供給管路を組み込んだ機構である。

第８図は第３図及び第６図に示す圧力調整器及び調整器に近接して位置する部品 の断面詳細図である。

図示したそれぞれの機構の相互に対応する部品は同一の参照符号で呼称した。図 解の目的のため機構のハウジング又は本体１は単一体のブロックからなるように 図示した。しかし、ハウジングはたとえば管接合によって相互に連結されたいく つかの異なる部品からなることもできることが了解されよう。従って、ハウジン グの外部構造は任意に図示したにすぎず、図示した機構の機能的な原理を表すも のではない。それぞれの図面では多くの部品を極めて概略的に示している。従っ て、ハウジングは隔膜、弁及び他の部品の据付け／取外し用に各様の空洞部の位 置で分割され、又は開放可能であることが理解されよう。

第１図は本発明に基づく機構の基本型を示し、入口２４側と出口２６側とを有す る供給管路と、その供給管路内に位置し、その入口側と出口側とを分離する弁機 構とを含んでいる。入口は圧力下にある気体、ないし圧力のかかった気体が搬送 される配管に連結され、この配管には圧力がかかった空気又は気体を発生する装 置が連結されている。あるいは、圧力がかかった気体はガスびん又はコンテナか ら供給してもよい。弁の出口はたとえば隔膜ポンプのような空気消費型機械と連 結されている。

第１図は圧力変更機構の閉鎖、休止位置の状態を示す。入口２４から入る加圧空 気は弁座９と弁プラグ１０と弁パツキン１０“とからなる弁に誘導される。弁プ ラグ１０は圧力ばね１４とパツキンシール１１．１２とを設けた弁フード１３に よってハウジング１内の定位置に保持されている。入口２４は３方向弁１５と絞 り弁の弁座１８と、これと連結した絞り弁の弁心棒１７とを組み込んだ管路又は 連結流路２２を経て隔室６と連通している。隔室６は隔膜板３．４に保持された 隔膜２からなる隔膜機構によって下方の境界が定められている。隔膜板は弁プラ グ１０と公知の方法で連結された（詳細には図示せず）弁心棒７に取付けられて いる。

加圧された空気が入口２４を通して供給されると、空気の流れの一部は管路２２ を通過して隔室６に入る。その結果隔室６内の圧力が上昇すると隔膜機構は下降 して、空気−弁心棒７と弁プラグ１０を押し下げる。このようにして弁座９とパ ツキン１０°の間には空隙が形成されるので加圧空気は出口２６から出ることが できる。出口２６から出る空気の一部は管路又は均圧経路２５を通過することが でき、隔膜２の下部にある隔室５に入る。この空気の流れの一部は隔膜に逆圧を 加え、この逆圧によって隔膜は上方に移動し、よって弁の開口寸法を縮小させる 出口２６に圧力が急激に形成される場合、出口の圧力と等しい隔室５内の圧力は 隔室６内の圧力よりも急激に上昇する。隔室５内の圧力が隔室６内の圧力と等し い場合は弁はばね１４によって閉じられ、隔膜２はその平衡位置又は休止位置に 戻る。弁と隔膜は隔室６内の圧力が隔室５内にかかる圧力以上の値に再び上昇可 能になって弁が開くまでそれぞれの閉鎖位置に留まる。圧力のこのような急激な 形成は出口２６の閉鎖又は作動中の機械内での動作圧の形成の結果である場合が ある。これに対して出口２６での圧力形成が極めて緩速である場合は、隔室６と 隔室５の間の圧力差は対応して大きくなる。そこで隔膜にはより大きな力がかか り、弁はより広く開かれ、その結果、出口側の圧力が追いつき弁の開口が対応す る程度に縮小するまで圧力はより急激に上昇する。その結果、出口２６側の圧力 は出口側の条件にかかわらず、隔室６内の圧力とほぼ同じ割合で円滑に上昇する 。

出口側が圧縮空気消費型機械と接続され、負荷が緩速に上昇する場合は、圧力は 隔室６内でゆっくりと上昇し、僅かな遅れで隔室５と出口２６とほぼ同じ値まで 上昇する。差異は弁用りに関する圧力降下にある。隔室６を全動作圧にするのに 必要な時間は絞り弁１７．１８によって定められる。この時間は負荷時間、すな わち空気消費型機械の始動の最初の瞬間から入口圧が全動作圧まで上昇するまで の時間と対応する。

空気消費型機械は３方向弁１５を用いて遮断され、この３方向弁１５はそのため 隔室６が出口管路２３に接続される位置に調整される。その結果、絞り弁と並行 に連結され、弁座１９と弁プラグ２０と保持ばね２１とからなるもどり止め弁を 介して隔室６が急激に通気される。勿論、同時に気体の一部は絞り弁１７．１８ を経て外に出る。空気が隔室６を出ると、隔室５内の圧力は隔室６内の圧力より も大きくなり、引き続いて弁プラグ１０は弁の閉鎖位置へと移動する。その抜弁 は閉鎖状態に留まる。機械が再び始動すると、３方向弁１５は図示の設定位置に 調整され、もって前述の通り円滑な再始動状態になる。この３方向弁１５はたと えば手動弁、電磁弁又は空気圧弁でよい。空気圧弁は遠隔側御弁にしてもよい。

上述の圧力変更機構は、たとえば絞り弁の弁心棒１７の周囲に設けたパツキンシ ール１６のような多数のシールを配設している。空気弁の弁心棒７を囲むシール ８は基本的に密封の目的に必要なものではなく、むしろ弁心棒７の移動を案内す る機能を果たす。弁フード１３の中央部には弁プラグが入る空洞が設けである。

この空洞は主に弁への圧器の過度な圧力降下を防止するために密封されている。

というのは、そうしないと弁プラグの下表面全体に入口圧力の全体がかかるので 、弁を開くのに、より大きな力を必要とするからである。

負荷時間、すなわち隔室６を所望の動作圧にするために要する時間は基本的には 絞り弁１６．１７を用いて制御されるが、隔室６の容積を相応に修正することに よっても変えることができる。

本発明に基づき図示した圧力変更機構の隔膜２はピストン及び密封システムによ って代替可能である。ピストンを使用することにより、より小さな外寸法の隔室 ５，６でより長い工程を達成可能である。しかしピストンを使用すると密封上の 問題が生じるので、隔膜は多くの用途で最も簡便で安価な解決策であろう。

第１図に示した機構の場合、所定の圧力降下は常に弁に作用し、ひいてはばね１ ４による力に応じて入口２４側と出口２６側の圧力差に作用を及ぼす。これは第 ２図に示すように弁に関連の隔室３２と３３を有する更に別の隔膜システム２９ ．３０．３１を備えることによって防止することができる。この機構では、隔膜 の上面に作用する力は、全動作圧が２つの下方に運動する隔室６と３２にかかる ため、隔膜の下面に作用する力よりもかなり大きい。上向きの全動作圧は隔室５ にもかかる。他方、隔膜システム２９の下表面は隔室３３が管路３４を介して周 囲環境と連通しているので、周囲の大気圧にさらされている。機構の上部弁心棒 ２７には隔室６を隔室３３と密封するシール２８が設けである。

ばね１４によってかけられる力は隔膜システム２９．３０．３１に作用する力に 打ち負かされる。このようにして円滑な始動期間に引き続いて弁を越える圧力降 下は実質的に存在せず、反面では同時に緩速な圧力上昇を伴う円滑な始動が可能 である弁機構が得られる。

３方向弁１５を用いることによって需要な利点がもたらされる。すなわち、それ によって極めて小型の３方向弁で極めて大量の気体の流れを制御することが可能 であるからである。たとえば、２ｍｍの直径の貫通流路を有する３方向弁はたと えば直径１５０−２００　ｍｍの供給管路又は主貫通流路を有する弁を作動させ るのに利用可能である。

何らかの別の方法で入口２４の上流の流れを遮断し、流れが遮断された位置の下 流でシステムを真空にすれば３方向弁１５と管路２３は省くことができる。これ はたとえば、入口２４の上流に３方向弁を設けることにより達成可能であり、こ の３方向弁は閉じられると、弁の下流のシステムを排気する。

第１図及び第２図に示した機構は始動中、圧力の緩速な上昇を可能にするが、シ ステムの最大圧を制限することができない。従ってこの機構はたとえば、上流位 置等のシステムの別の位置に圧力調整器を配設することを前提とするか、又は最 大圧を制限する必要のないことを前提としたものである。

第３図は圧力の出口側での制限も可能である本発明の実施例を示している。第３ 図に示すシステムは第１図に示したシステムと対応するが、異なるのは３方向弁 １５の上流の管路２２内に従来型の圧力調整器３７を設け、これによって隔室６ 内の最大圧は入口２４にかかる圧力以下に制限することができる点である。それ により出口２６の圧力は対応して同時に制限される。圧力調整器３７は第８図を 参照しつつ詳細に説明する。

圧力調整器３７は好適に小さい貫流口を備えた超小型のもので、低容量のものに することができる。なぜならば、隔室６の容積は小さく、その内部の圧力上昇は ゆるやかな始動を達成するため、緩速に行われるからである。その半面、実際の 緩速始動弁９．１０の貫流口、すなわち容量は極めて大きくてもよい。圧力調整 器３７はハウジング１内に組み込む必要はなく、たとえば制御盤その他のような ハウジングから離れた位置に配設してもよい。制御盤には３方向弁１５の位置設 定調整用の装置を組み入れてもよく、また実際の３方向弁自体を組み込むことさ えできる。この場合、圧力調整器３７は管又は圧力ホースによってハウジング１ 内の管路２２に連結される。

第４図は第１図に示した機構と対応する本発明の実施例を示すが、相違点は第１ 図の実施例の弁フード１３の代わりに調整ねじ３６を受納するねじ付き中心孔を 設けた弁フード３５を使用していることである。

この調整ねじは弁プラグ１０の下方向への運動、ひいては弁を開放できる範囲を 限定するのに有効であり、それによって弁座９とパツキンシール１０°の間を通 過する空気量を制限しつつ、且つ制御する。

このように、主流を最初に絞り、同時に最大動作圧力を維持できる緩速始動弁が 得られる。ねじ３６を最大範囲まで下方へと締め付けると、媒体は弁を通過でき ず、安価な閉鎖弁が得られる。

第５図は第２図と第４図の実施例とを組み合わせた実施例を示す。

第５図に示す実施例は前述の各実施例と同様に動作し、対応する利点を備えてい る。

第６図は第３図と第４図に示した実施例を組み合わせた本発明に基づ〈実施例を 示している。

第７図に示す実施例は第６図に示した実施例とほぼ同一であるが、圧力調整器３ ７に加圧気体を別個に供給する点が異なっている。この気体は制御用空気として 機能し、管３８を経て圧力調整器３７に供給され、空気経路２２に対応する流路 ３９を経て圧力調整器３７から連続している。このシステムは圧力調整される主 流が液体、懸濁液又は高価。

有毒性、爆発性又は不燃性のガスである場合に用いることができる。

第１図乃至第６図を参照して説明した実施例の全てに別個の加圧気体源から制御 用空気を供給可能であることが理解されよう。

第８図は第３図及び第６図の実施例に基づき圧力調整器３７を経路２２内に配設 した本発明の実施例の一部を示している。圧力調整器３７は入口管路５１と出口 管路５２を設けたハウジング５０からなり、前記管路は弁座５３と弁プラグ５４ とからなる弁によって分離されている。弁プラグは弁フード５６と接触するスラ ストばね５５によって付勢されている。弁心棒５７は中心に孔を有する下部隔膜 板５８と接触している。

隔膜板５８は隔膜５９と上部隔膜板６０とに取付けられている。隔膜板６０はば ね６１の負荷を受け、その偏位は初期張力は調整つまみ又はハンドル６２を用い て調整可能である。隔膜の下側に位置する隔室６３は経路６４を経て出口管路５ ２と連通している。

出口側で必要な圧力は調整つまみ６２によって設定可能である。隔膜と弁プラグ は下方に押圧され、その結果弁は開かれる。そこで加圧された媒体は出口に通過 可能であり、経路６４を経て隔室６３へと通過し、そこで媒体は隔膜に逆圧をか け、それにより弁は閉鎖方向への作用を受ける。所望の出口側圧力に達すると、 隔室６３内の圧力は弁の閉鎖方向への所定はね圧と拮抗する。出口側の圧力が高 すぎる場合は、隔膜と下部隔膜は弁心棒５７から持ち上げられ、隔膜板内の中心 孔を露出させる。そこで加圧ガスは出口側が所望の所定の圧力に再び達するまで 中心孔を介して排気可能である。

システム内の圧力を制御するため、機構の入口側２４に圧力検出用の圧力計を取 付けることができる。

２次圧力を出口２６の位置又は隔室６内で検出可能であるが、それはその位置の 圧力が実際的に出口圧と等しいからである。

第３図、第６図及び第７図に示した実施例の場合は、２次圧力の測定は圧力調整 器３７と３方向弁１５との間の位置で行うことが好適である。なぜならば、所望 の２次圧力は、３方向弁１５を開くことにより機構の主供給管路が開く前に圧力 調整器３７を用いて設定可能だからである。

本発明に基づく機構の前述の実施例は弁プラグと対向弁座を備える弁を含んでい る。勿論本発明はこのような特定種類の弁に限定されるものではなく、流路面積 を縮小し、ひいては管内の圧力を降下するため、任意の適宜の種類の弁又は調整 装置を使用できることが了解されよう。隔膜２の運動が機械的に弁に伝達される 態様は、弁の動作態様たとえば、ゴム−スリーブ部の直線運動９回転運動又は液 圧絞りに適用されるものである。

本発明に基づく弁には、また第８図の実施例のばね６１に対応するばねを隔室６ 内に設けてもよい。このばねは弁がその休止位置で部分的に開°く状態にてばね １４の対抗作用を行う。このことは本発明に基づく圧力変更機構が採用されるあ る種の用途には必要である。しかし、この実施例は弁システムが好適には弁の上 流に別個の閉鎖装置を設けていることを前提したものである。

本発明に基づく機構の用途は動圧、空気圧又は液圧式機械に限定されるものでは ない。なぜならば、この機構はたとえば加圧システムの減圧又は真空化の場合の ように全圧力へのゆっくりした圧力上昇が必要な別の領域にも利用可能であるか らである。

本発明に基づく機構は主管路又は供給管路内で気体と液体の双方を搬送するため に利用可能である。他方では、加圧媒体すなわち、気体は所望どおりゆっくりと した圧力上昇を達成するため、絞り弁１７、１８を経て隔室６へと送られる必要 がある。あるいは隔室６に同一効果をもたらし得る所定量の気体を封入してもよ い。この気体は好適には、特に加熱システムにおける密閉膨張容器で用いられる 種類のゴム袋等に封入される。

本発明は以下の請求の範囲内で修正が可能であるので、上述の実施例に限定され るものではない。

ＦＩＧＵＲ７ ＩＧＵＲ２ ＦＩＧＵＲ３ １６１”７　ｔＱ　ウ０ Ｆ／ＧＵＲ６

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. １．空気圧又は液圧システム、特に加圧空気式隔膜ポンプ内の圧力を変更する方 法であって、前記ポンプ内には加圧媒体が供給管路を経て供給され、前記供給管 路は入口２４及び出口２６及び前記入口と出口の間に位置し、これらを相互に分 離し、且つ加圧媒体の圧力を制御する作用を有する閉鎖及び絞り装置９，１０と を設けており、且つ前記ポンプ内ではたとえば、弁心棒７のような設定手段を介 して閉鎖及び絞り装置が隔膜２，ピストン又は何らかの対応する装置によって作 動され、前記装置はその一方の側で開放方向に作用を受け、且つ他方の側では前 記他方の側の隔室５が経路２５を経て前記出口２６と連通するようにさせ、且つ 出口圧と同じ圧力を有する加圧媒体を送ることにより閉鎖方向に作用を受けるよ うにされている方法において、 隔膜２，ピストン又は対応する装置は連結経路２２，３９を経て加圧媒体源２４ ，３８からの加圧媒体を前記一方の側の隔室６に供給することによって前記一方 の側で空気圧又は液圧的に作動され、前記連結経路は前記隔室６と前記加圧媒体 源２４，３８との間の時間的遅延を伴う均圧化を行う機能を果たすたとえば、絞 り弁１７，１８のような流動制限部品を設けていることを特徴とする方法。
2. ２．加圧媒体は前記入口２４又は別個の加圧媒体入口３８から供給され、且つ／ 又は弁閉鎖運動をもたらす隔室６は３方向弁１５を介して周囲の大気へと排気さ れ、それと共に加圧媒体は好適により速い速度で流動制限部１７，１８及びこれ と並置された戻り止め弁１９−２１を通して隔室６から流出するようにされるこ とを特徴とする請求の範囲第１項記載の方法。
3. ３．入口２４と出口２６及び前記入口と出口の間に位置し、これらを相互に分離 し且つ加圧媒体の圧力を制御する作用を有するようにされ且つたとえば、弁心棒 ７のような設定手段を介して隔膜２，ピストン又は何らかの対応する装置によっ て作動可能である閉鎖及び絞り装置９，１０を設けた供給管路を具備しており、 前記隔膜２，ピストン又はこれに対応する装置はその一方の側で開放方向に作用 を受け、且つ他方の側では前記他方の側の隔室５が経路２５を経て前記出口２６ と連通するようにさせ、且つ出口圧と同じ圧力を有する加圧媒体を送ることによ り、閉鎖方向に作用を受けることが可能である特に加圧空気式隔膜ポンプにおけ る請求の範囲第１項又は第２項記載の方法を実施するための装置において、 隔膜２，ピストン又は対応する装置の一方の側に、隔膜２，ピストン又は対応す る装置に作用する空気圧又は液圧式の加圧媒体を収納するための公知の隔室６が 配設され、且つ前記加圧媒体を誘導するための連結経路２２，３９は加圧媒体源 ２４，３８からの前記加圧媒体の供給を遅延させるためのたとえば、絞り弁のよ うな流動制限部品を設けていることを特徴とする装置。
4. ４．前記流動制限部は好適に調整可能な絞り弁１７，１８及び／又は連結経路２ ２，３９内の狭い部分の形式の永久的なくびれ部分及び／又は全長の少なくとも 一部に沿って極めて小さな流路面積を有する連結経路の形式の永久くびれ部を備 えることを特徴とする請求の範囲第３項記載の装置。
5. ５．隔室６は前記連結経路２２を経て入口２４に連結されることを特徴とする請 求の範囲第３項又は第４項記載の装置。
6. ６．連結経路２２，３９は第１位置に設定されるとき隔膜２の一方の側の隔室６ と入口２４又は別個の加圧媒体入口３８とを接続し、且つ第２位置では隔膜の一 方の側の隔室６が出口２６を経てたとえば大気に排気可能であるようにする３方 向弁１５を設けていることを特徴とする請求の範囲第３項乃至第５項のいずれか に記載の装置。
7. ７．隔膜２の前記一方の側の隔室６と３方向弁１５との間には、前記隔膜の一方 の側に位置する隔室６内の圧力を速やかに逃がすため、たとえば、絞り弁１７， １８のような流動制限部と並置して戻り止め弁１９−２１が配設されていること を特徴とする請求の範囲第３項乃至第６項の少なくとも一つに記載の装置。
8. ８．圧力調整器３７が連結経路２２，３９内に配置され、且つ／又は隔室６は連 結経路３９を経て別個の加圧媒体源からの加圧媒体入口３８と連結されているこ とを特徴とする請求の範囲第３項乃至第７項の少なくとも一つに記載の装置。
9. ９．閉鎖及び絞り弁の閉鎖体１０の最大開放位置は調整自在の設定ねじ３６によ って定められ、且つ／又は閉鎖体１０の位置はもう一つの隔膜２９によって定め られ、それと共に前記隔膜２９の一方の側の隔室３２は入口側２４と連通し、且 つ反対側の隔室３３は周囲の大気と自由に連通することを特徴とする請求の範囲 第３項乃至第８項の少なくとも一つに記載の装置。
10. １０．前記装置はその出口側２６の圧力を定める手段及び／又は隔室６又はその 連結経路２２，３９内の圧力を定める手段を含み、且つ／又は前記装置は３方向 弁１５及び／又は圧力調整器３７を遠隔制御する手段を含むことを特徴とする請 求の範囲第３項乃至第９項の少なくとも一つに記載の装置。