JPH02100625U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02100625U JPH02100625U JP682989U JP682989U JPH02100625U JP H02100625 U JPH02100625 U JP H02100625U JP 682989 U JP682989 U JP 682989U JP 682989 U JP682989 U JP 682989U JP H02100625 U JPH02100625 U JP H02100625U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- gas distribution
- gases
- distribution hole
- screw rotor
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
Description
第1図は本考案に係る圧力スイング吸着装置の
全体構成図、第2図は第1図中の真空ポンプの断
面図、第3図は第2図の吐出口側軸封部の下部の
部分拡大断面図、第4図は第2図の吸込口側軸封
部の下部の部分拡大断面図、第5図は第2図の真
空ポンプの吸込圧力の時間経過とともに変化する
状態を示す図、第6図はスクリユ式真空ポンプの
吸込圧力と所要動力との関係を示す図、第7図は
従来の圧力スイング吸着装置の全体構成図、第8
図は第1図中のガス精製部の構成図である。 1……真空ポンプ、3……ケーシング、4……
スクリユロータ、5……吸込口、6……吐出口、
8,9……軸封手段、10a,10b,11a,
11b……ガス流通孔、34……吸着剤、35…
…吸着器、41……第1開閉弁、42……第2開
閉弁、43……第3開閉弁、44……第4開閉弁
。
全体構成図、第2図は第1図中の真空ポンプの断
面図、第3図は第2図の吐出口側軸封部の下部の
部分拡大断面図、第4図は第2図の吸込口側軸封
部の下部の部分拡大断面図、第5図は第2図の真
空ポンプの吸込圧力の時間経過とともに変化する
状態を示す図、第6図はスクリユ式真空ポンプの
吸込圧力と所要動力との関係を示す図、第7図は
従来の圧力スイング吸着装置の全体構成図、第8
図は第1図中のガス精製部の構成図である。 1……真空ポンプ、3……ケーシング、4……
スクリユロータ、5……吸込口、6……吐出口、
8,9……軸封手段、10a,10b,11a,
11b……ガス流通孔、34……吸着剤、35…
…吸着器、41……第1開閉弁、42……第2開
閉弁、43……第3開閉弁、44……第4開閉弁
。
Claims (1)
- 特定のガスを吸着する吸着剤を内蔵する複数台
の並列配置した吸着器と、これらの吸着器に個別
に開閉弁を介して接続した真空ポンプとを備え、
適宜ガスを各吸着器内に交互に導いて、ここで上
記特定のガスと他のガスとを吸着により分離して
、高純度の精製ガスを真空ポンプにより吸引して
送り出す一方、このガスを導いている吸着工程以
外の間に吸着剤を再生するようにした圧力スイン
グ吸着装置において、上記真空ポンプを互いに噛
み合う雌雄一対のスクリユロータを用いたオイル
フリー形単段のスクリユ式のものにするとともに
、両スクリユロータの吸込口側および吐出口側の
軸部分の両軸封部のおのおのに2カ所ずつ上記ス
クリユロータを収納したケーシング外に通じるガ
ス流通孔を形成し、おのおのの軸封部において、
2カ所に設けたガス流通孔のうち、上記スクリユ
ロータに近い方のガス流通孔から他方のガス流通
孔に向けて上記精製ガスと同種の高純度ガスを流
通させるように形成したことを特徴とする圧力ス
イング吸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP682989U JPH02100625U (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP682989U JPH02100625U (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02100625U true JPH02100625U (ja) | 1990-08-10 |
Family
ID=31211323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP682989U Pending JPH02100625U (ja) | 1989-01-23 | 1989-01-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02100625U (ja) |
-
1989
- 1989-01-23 JP JP682989U patent/JPH02100625U/ja active Pending
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