JPH02100625U - - Google Patents

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JPH02100625U
JPH02100625U JP682989U JP682989U JPH02100625U JP H02100625 U JPH02100625 U JP H02100625U JP 682989 U JP682989 U JP 682989U JP 682989 U JP682989 U JP 682989U JP H02100625 U JPH02100625 U JP H02100625U
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gas
gas distribution
gases
distribution hole
screw rotor
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JP682989U
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  • Separation Of Gases By Adsorption (AREA)

Description

【図面の簡単な説明】
第1図は本考案に係る圧力スイング吸着装置の
全体構成図、第2図は第1図中の真空ポンプの断
面図、第3図は第2図の吐出口側軸封部の下部の
部分拡大断面図、第4図は第2図の吸込口側軸封
部の下部の部分拡大断面図、第5図は第2図の真
空ポンプの吸込圧力の時間経過とともに変化する
状態を示す図、第6図はスクリユ式真空ポンプの
吸込圧力と所要動力との関係を示す図、第7図は
従来の圧力スイング吸着装置の全体構成図、第8
図は第1図中のガス精製部の構成図である。 1……真空ポンプ、3……ケーシング、4……
スクリユロータ、5……吸込口、6……吐出口、
8,9……軸封手段、10a,10b,11a,
11b……ガス流通孔、34……吸着剤、35…
…吸着器、41……第1開閉弁、42……第2開
閉弁、43……第3開閉弁、44……第4開閉弁

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 特定のガスを吸着する吸着剤を内蔵する複数台
    の並列配置した吸着器と、これらの吸着器に個別
    に開閉弁を介して接続した真空ポンプとを備え、
    適宜ガスを各吸着器内に交互に導いて、ここで上
    記特定のガスと他のガスとを吸着により分離して
    、高純度の精製ガスを真空ポンプにより吸引して
    送り出す一方、このガスを導いている吸着工程以
    外の間に吸着剤を再生するようにした圧力スイン
    グ吸着装置において、上記真空ポンプを互いに噛
    み合う雌雄一対のスクリユロータを用いたオイル
    フリー形単段のスクリユ式のものにするとともに
    、両スクリユロータの吸込口側および吐出口側の
    軸部分の両軸封部のおのおのに2カ所ずつ上記ス
    クリユロータを収納したケーシング外に通じるガ
    ス流通孔を形成し、おのおのの軸封部において、
    2カ所に設けたガス流通孔のうち、上記スクリユ
    ロータに近い方のガス流通孔から他方のガス流通
    孔に向けて上記精製ガスと同種の高純度ガスを流
    通させるように形成したことを特徴とする圧力ス
    イング吸着装置。
JP682989U 1989-01-23 1989-01-23 Pending JPH02100625U (ja)

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JP682989U JPH02100625U (ja) 1989-01-23 1989-01-23

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JPH02100625U true JPH02100625U (ja) 1990-08-10

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