JPH02240807A - 磁気ヘッド及び磁気ヘッドのギャップ深さ測定方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、ＶＴＲ（ビデオテープレコーダ）やＦＤＤ
　（フロッピーディスク装置）等に使用する磁気ヘッド
及び磁気ヘッドのギャップ深さ測定方法に関するもので
ある。

［従来の技術］ 一般に、磁気記録装置であるＦＤＤに使用される磁気ヘ
ッドとしては、Ｒ／Ｗ　（読出し／Ｗ込み）用磁気コア
とイレーズ（消去）用磁気コアとを接着剤にて一体化し
た構造のものが多数知られている。

第４図は、例えば特開昭６１−８２３０７号公報に開示
された従来の磁気ヘッドの構成を示す斜視図である。図
において、１はＲ／Ｗ用ヘッド部、２はイレーズ用ヘッ
ド部、３はＲ／Ｗ用ヘッド部ｌにおける第１コアブロッ
ク４．第２コアブロック５．第３コアブロツク６の３つ
を結合して構成した枠状の磁気コア、７は第１．第２コ
アブロック４，５の接合部中央に形成したＲ／Ｗ磁気ギ
ャップ、８は第２コアブロツク５に巻回したコイル、９
はイレーズ用ヘッド部２における第１コアプロツク１０
．第２コアブロック１１．第３コアブロツク１２の３つ
を結合して構成した枠吠の磁気コア、１３は第１．第２
コアブロック１０，１１の接合部両側に形成した２つの
イレーズ磁気ギャップ、１４は第２コアブロツク１１に
巻回したコイルである。磁気コア３と磁気コア９の各々
の第１コアブロック４，１００背面は、ガラス１５を介
して非磁性基板１６の両面にはさみつけ接合されている
。

第５図は第４図の磁気ヘッドにおいて、Ｒ／Ｗ磁気ギャ
ップの断面を示す拡大図である。図において、４は第１
コアブロツク、５は第２コアブロツク、７はＲ／Ｗ磁気
ギャップ、１７はＲ／Ｗ磁気ギャップ７のギャップ深さ
である。第５図に示す構成から明らかなように、第２コ
アブロツク５はＲ／Ｗ磁気ギャップに近くなる程断面積
が小さくなり、記録効率が良くなるようにテーパ構造と
なっている。また、ギャップ深さ１７は磁気ヘッドの記
録・再生効率を決定する重要なパラメータであり、この
寸法精度を良く管理する必要がある。

ところで、上記第４図に示すように構成された磁気コア
３，９は、さらにセラミックホルダと組み合わされて磁
気へラドスライダに構成される。

第６図は、例えば特開昭６３−１７５２１０号公報に開
示された従来の磁気へラドスライダの構成を示す分解斜
視図である。図において、２１は磁気コア、２２．２３
はセラミックから成る第１ホルダ、第２ホルダ、２４は
バック磁気コアである。

磁気コア２１は、ｆｉ４摩耗性を良くするために第１ホ
ルダ２２．第２ホルダ２３ではさみ込み、エポキシ系接
着剤で接着して磁気へラドスライダを構成する。この場
合に、バック磁気コア２４は別に用意しておき、後工程
で磁気コア２１に接着する。さらに磁気へラドスライダ
は、これを構成する接着加工後に平面度を出すために、
ラップ盤等により研磨される。この際、最終的なギャッ
プ深さを正確に仕上げるには、ギャップ深さを測定しな
がら行うのが理想的であるが、ギャップ深さは第１ホル
ダ２２．第２ホルダ２３ではさまれているために顕微鏡
等では見ることができず、磁気コア２１の高さ等から推
定して加工処理しているのが現状である。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来の磁気ヘッドにおいて、例えはＲ／Ｗ
磁気ギャップ７を構成する第２コアブロツク５は、Ｒ／
Ｗ磁気ギャップ７に近くなる程断面積が小さくなるテー
パ構造となっており、そのために、Ｒ／Ｗ磁気ギャップ
７のギャップ深さ１７を超音波を用いて測定することは
不可能である。

すなわち、第２コアブロツク５の上方部から超音波を照
射しても、第２コアブロツク５のテーパ構造を成すテー
パ部における超音波の乱反射により、その反射波は検出
することができず、Ｓ／Ｎ比が悪化するためにギャップ
深さ１７の正確な測定は困難であるという問題点があっ
た。

また、Ｒ／Ｗ磁気ギャップ７のギャップ深さ１７を測定
しながら、Ｒ／Ｗ磁気ギャップ７の摺動面を研磨するこ
とができないため、ギャップ深さ１７の歩留りが低下し
、コストが高くなるという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、磁気ヘッドのギャップ深さを超音波により測
定できる磁気コア構造を備え、さらに非破壊でギャップ
深さの測定が可能な磁気ヘッド及び磁気ヘッドのギャッ
プ深さ測定方法を得ることを目的とする。

［課題を解決するための手段］ この発明に係る磁気ヘッドは、この磁気ヘッドの磁気ギ
ャップを構成する磁気コアが上記磁気ギャップに接する
テーパ部に、長さ３μＩｎ以上で断面積が一定な、かつ
上記磁気ギャップの摺動面に平行な平坦部を設けて成る
構成としたものである。

また、この発明に係る磁気ヘッドのギャップ深さ測定方
法は、磁気ギャップに接する磁気コアのテーパ部に設け
た断面積が一定な平坦部に、超音波を照射してその反射
波を解析し、その解析結果に基づいて磁気ヘッドのギャ
ップ深さを測定する測定方法を得るものである。

［作用］ この発明における磁気ヘッドは、磁気ギャップに接する
磁気コアのテーパ部に設けた断面積が一定な平坦部は、
磁気コアの上方部から照射した超音波を乱反射すること
なく反射する。また、反射された超音波は磁気ヘッドの
ギャップ深さによって変化するので、磁気ヘッドを非破
壊のままでギャップ深さの測定が可能になる。

［実施例］ 以下、この発明を実施例について説明する。第１図はこ
の発明の実施例である磁気ヘッドにおいて、Ｒ／Ｗ磁気
ギャップの断面を示す拡大図である。図において、４は
第１コアブロツク、５は第２コアブロツク、７はＲ／Ｗ
磁気ギャップ、１７はＲ／Ｗ磁気磁気ギャップ溝ャップ
深さ、１８はＲ／Ｗ磁気磁気ギャップ溝する第２コアブ
ロツク５に設けた平坦部であり、この平坦部１８は、長
さ３μｍ以上で断面積が一定な、かつＲ／Ｗ磁気磁気ギ
ャップ溝動面に平行となるように構成される。１９は超
音波反射部の長さ、２０はＲ／Ｗ磁気磁気ギャップ溝方
部からｒｉ射する超音波入射方向を示す矢印である。

上記第１図に示すようにＲ／Ｗ磁気磁気ギャップ溝成す
る第２コアブロツク５の磁気ギャップ近傍部に設けた平
坦部１８が存在すると、上方部から入射された超音波は
、Ｒ／Ｗ磁気磁気ギャップ溝ャップ深さ１７の上面と下
面とで反射して干渉現象を起こす。この場合、超音波の
反射波における周波数スペクトルの一例を第２図に示し
ている。

第２図に示す周波数スペクトルの特性曲線から明らかな
ように、ギャップ深さ１７に応じたデイツプが観測され
、このデイツプ周波数を測定することによりギャップ深
さ１７を算出することが可能となる。

上記超音波反射部の長さ１９は、試験結果に基づく検出
感度から３μｍ以上が要求され、その上限値は測定上無
限大で良いが、磁気ヘッドの記録・再生性能からおのず
から制限されるものである。

次に、上記第２コアブロツク５の加工方法について述べ
る。第３図（ａ）及び（ｂ）は第１［！ｌのＲ／Ｗ磁気
ギャップを構成する第２コアブロツクの加工方法を示す
説明図である。図において、５は第２コアブロツク、６
は第３コアブロツク、Ｉ８は平坦部である。まず機械加
工により、第３図（ａ）に示すように従来の加工方法に
よる場合と同様な形吠に加工した後、スライサやダイサ
等の加工機械によって、磁気ギャップに接する第２コア
ブロツク５に平坦部１８を加工形成する。その加工工程
の後、従来の加工方法と同様な加工工程を経ることによ
り、上記第６図とほぼ同じ外観の磁気ｌ＼ラッドライダ
が得られる。

この発明によって得られた磁気へラドスライダについて
、その磁気ギャップのギャップ深さを超音波を利用して
測定した測定結果を示すと、下記の第１表のようになる
。

第　　１　　表 ここで破壊検査とは、磁気へラドスライダを破壊し、磁
気コアだけが見えるようにし、その上でギャップ深さを
顕微鏡で測定することを云う。上記第１表で明らかなよ
うに、両者の測定値は良い一致を示しており、これによ
り、この発明によってギャップ深さの非破壊測定が可能
となった。

上記のようにギャップ深さの非破壊ｊｕｌ定により、ギ
ャップ深さを測定しながら磁気へラドスライダを研磨し
た場合と、ギャップ深さを測定することなく、磁気へラ
ドスライダの高さをもとにその研磨をした場合とについ
て、ギャップ深さの歩留りを比較すると、下記の第２表
のようになる。

第　　２　　表 上記第２表で明らかなように、ギャップ深さを測定しな
がら磁気へラドスライダを研必することにより、ギャッ
プ深さの歩留りは飛躍的に向上することが分かる。

［発明の効果コ 以上のように、この発明の磁気ヘッドによれば、この磁
気ヘッドの磁気ギャップを構成する磁気コアが上記磁気
ギャップに接するテーパ部に、長さ３μｍ以上で断面積
が一定な、かつ上記磁気ギャップの摺動面に平行な平坦
部を設けて成る構成としたので、磁気ヘッドのギャップ
深さを超音波により容易に測定できる磁気コア構造が得
られる効果がある。

また、この発明の磁気ヘッドのギャップ深さ測定方法に
よれば、磁気ギャップに接する磁気コアのテーパ部に設
けた断面積が一定な平坦部に、超音波を照射してその反
射波を解析し、その解析結果に基づいて磁気ヘッドのギ
ャップ深さを測定する測定方法としたので、超音波を利
用して非破壊でギャップ深さが測定可能になり、さらに
ギャップ深さを測定しながら磁気へラドスライダを研磨
できるために、ギャップ深さの歩留りが向上し、コスト
を低下し得るなどの効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の実施例である磁気ヘッドにおいて、
Ｒ／Ｗ磁気ギャップの断面を示す拡大図、第２図は第１
図のＲ／Ｗ磁気ギャップにおいて、超音波による反射波
の周波数スペクトルの一例を示す図、第３図（ａ）及び
（ｂ）は第１図のＲ／Ｗ磁気ギャップを構成する第２コ
アブロツクの加工方法を示す説明図、第４図は従来の磁
気ヘッドの構成を示す斜視図、第５図は第４図の磁気ヘ
ッドにおいて、Ｒ／Ｗ磁気ギャップの断面を示す拡大図
、第６図は従来の磁気へラドスライダの構成を示す分解
斜視図である。 図において、１・・・Ｒ／Ｗ用ヘッド部、２・・・イレ
ーズ用ヘッド部、３，９．２１・・・磁気コア、４゜ｌ
Ｏ・・・第１コアブロツク、５，１１・・・第２コアブ
ロツク、６，１２・・・第３コアブロツク、７・・・Ｒ
／Ｗ磁気ギャップ、８，１４・・・コイル、１３・・・
イレーズ磁気ギャップ、１５・・・ガラス、１６・・・
非磁性基板、１７・・・ギャップ深さ、１８・・・平坦
部、１９・・・超音波反射部の長さ、２０・・・超音波
入射方向を示す矢印、２２・・・第１ホルダ、２３・・
・第２ホルダ、２４・・・バック磁気コア　である。 なお、図中、同一符号は同一　又は相当部分を示す。 第　　５　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、少なくとも一つの磁気ギャップを有し、この磁気ギ
   ャップをはさむ二つの磁気コアの少なくとも一つが、上
   記磁気ギャップに近付くに従ってテーパ部を形成して断
   面積が小さくなる構造の磁気ヘッドにおいて、上記磁気
   ギャップに接する上記磁気コアのテーパ部に、長さ３μ
   ｍ以上で断面積が一定な、かつ上記磁気ギャップの摺動
   面に平行な平坦部を設けたことを特徴とする磁気ヘッド
   。 ２、断面積が一定な平坦部に超音波を照射し、その反射
   波を解析することによって、磁気ヘッドのギャップ深さ
   を非破壊で測定することを特徴とする請求項１記載の磁
   気ヘッドのギャップ深さ測定方法。