JPH02259517A - 面の形状測定装置 - Google Patents
面の形状測定装置Info
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- JPH02259517A JPH02259517A JP8124489A JP8124489A JPH02259517A JP H02259517 A JPH02259517 A JP H02259517A JP 8124489 A JP8124489 A JP 8124489A JP 8124489 A JP8124489 A JP 8124489A JP H02259517 A JPH02259517 A JP H02259517A
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- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 17
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
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Landscapes
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Lining Or Joining Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、面の形状測定装置に係わり、特に、建築物の
構造材であるパネルの接合面に好適に用いられる形状測
定装置に関するものである。
構造材であるパネルの接合面に好適に用いられる形状測
定装置に関するものである。
[従来の技術]
一般に、建築物の構造材として用いられているパネルは
、その端面どうしを突き合わせて、これらを接着等によ
り相互に接合することが行われている。
、その端面どうしを突き合わせて、これらを接着等によ
り相互に接合することが行われている。
ところで、このようなパネルの接合において、均一でか
つ強固な接合強度を得るには、接合されるパネル間を隙
間なく突き合わせるか、あるいは、前記隙間を均一にし
、かつ、極力狭めることが望まれ、これを達成するため
には、前記パネルの接合面の真直度をある範囲内に保持
することが必要となる。
つ強固な接合強度を得るには、接合されるパネル間を隙
間なく突き合わせるか、あるいは、前記隙間を均一にし
、かつ、極力狭めることが望まれ、これを達成するため
には、前記パネルの接合面の真直度をある範囲内に保持
することが必要となる。
そこで従来では、基準となるスケールをパネルの接合面
に当接させておき、これらのスケールとパネルとの間に
隙間ゲージを挿入することによって前記接合面の真直度
を測定し、この測定結果に基づきパネルの接合性の良否
を判断することが行われている。
に当接させておき、これらのスケールとパネルとの間に
隙間ゲージを挿入することによって前記接合面の真直度
を測定し、この測定結果に基づきパネルの接合性の良否
を判断することが行われている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、前述した従来の技術においては、次のよ
うな不具合を有している。
うな不具合を有している。
すなわち、接合面の真直度を測定するためには、スケー
ルと接合面との間に隙間ゲージを挿入しなければならな
いが、正確な隙間測定を行おうとすると、複数の隙間ゲ
ージを順次差し替えなければならず、作業が煩雑なもの
となる。
ルと接合面との間に隙間ゲージを挿入しなければならな
いが、正確な隙間測定を行おうとすると、複数の隙間ゲ
ージを順次差し替えなければならず、作業が煩雑なもの
となる。
また、−枚の隙間ゲージによって測定し得る範囲は、約
10数mmがせいぜいであり、2000m mにもおよ
ぶパネルの接合面の測定に適用すると、その作業性が一
層煩雑なものとなる。
10数mmがせいぜいであり、2000m mにもおよ
ぶパネルの接合面の測定に適用すると、その作業性が一
層煩雑なものとなる。
さらに、接合面の拡大とともに、スケールも長尺化し、
これに伴ってスケールが撓み易くなり、この結果、測定
精度の低下を招いてしまう。
これに伴ってスケールが撓み易くなり、この結果、測定
精度の低下を招いてしまう。
一方、前述のパネルのように相互に突き合わせて接合す
る場合、接合面の長さが異なると、接合面の端部におい
て断差が生じてしまうことから、その長さも均一に、し
てお(必要があり、そのための副長を行わなければなら
ないが、この作業を前記接合面の真直度の測定操作と独
立して行わなければならない。
る場合、接合面の長さが異なると、接合面の端部におい
て断差が生じてしまうことから、その長さも均一に、し
てお(必要があり、そのための副長を行わなければなら
ないが、この作業を前記接合面の真直度の測定操作と独
立して行わなければならない。
したがって、従来においてはこれらの不具合への対処が
望まれており、本発明は、このような従来の技術におい
て残されている課題を解決せんとするものである。
望まれており、本発明は、このような従来の技術におい
て残されている課題を解決せんとするものである。
[課題を解決するための手段]
本発明は、前述した課題を有効に解決し得る面の形状測
定装置を提供せんとするもので、この形状測定装置は、
特に、測定物の被検査面と交差する面に被検査面と平行
に載置されるガイドレールと、このガイドレールに平行
に張設された基準ワイヤと、前記ガイドレールにその長
さ方向に沿って移動可能に装着された走行基台と、この
走行基台に一体に設けられ、前記被検査面へ対向させら
れた凹凸センサ、基準ワイヤに対向させられた位置に設
けられ、基準ワイヤの前記被検査面と直交する方向にお
ける相対移動を検出する補正センサ、および、前記被検
査面の端部を検出する端部センサと、前記走行基台とガ
イドレールとの間に設けられて、走行基台の移動をなす
駆動機構と、前記走行基台の移動量を検出する距離セン
サとを備えていることを特徴とする。
定装置を提供せんとするもので、この形状測定装置は、
特に、測定物の被検査面と交差する面に被検査面と平行
に載置されるガイドレールと、このガイドレールに平行
に張設された基準ワイヤと、前記ガイドレールにその長
さ方向に沿って移動可能に装着された走行基台と、この
走行基台に一体に設けられ、前記被検査面へ対向させら
れた凹凸センサ、基準ワイヤに対向させられた位置に設
けられ、基準ワイヤの前記被検査面と直交する方向にお
ける相対移動を検出する補正センサ、および、前記被検
査面の端部を検出する端部センサと、前記走行基台とガ
イドレールとの間に設けられて、走行基台の移動をなす
駆動機構と、前記走行基台の移動量を検出する距離セン
サとを備えていることを特徴とする。
[作用]
本発明に係わる面の形状測定装置は、ガイドレールを測
定物の被検査面と平行に設置したのちに、走行基台を駆
動機構によってガイドレールに沿って移動させながら、
凹凸センサによって走行基台と被検査面との距離を測定
し、その変化量に基づき被検査面の凹凸を測定する。
定物の被検査面と平行に設置したのちに、走行基台を駆
動機構によってガイドレールに沿って移動させながら、
凹凸センサによって走行基台と被検査面との距離を測定
し、その変化量に基づき被検査面の凹凸を測定する。
また、補正センサにより、走行基台と基準ワイヤとの相
対移動が測定されて、この相対移動に伴う前記凹凸セン
サにおける距離の測定誤差が補正される。
対移動が測定されて、この相対移動に伴う前記凹凸セン
サにおける距離の測定誤差が補正される。
さらに、端部センサにより被検査面の各端部を検出し、
その領域において距離センサにより走行基台の移動量を
検出することにより、被検査面の長さを測定する。
その領域において距離センサにより走行基台の移動量を
検出することにより、被検査面の長さを測定する。
[実施例コ
以下、本発明の一実施例を、第1図ないし第3図に基づ
き説明する。
き説明する。
図面中、符号1は本実施例に係わる面の形状測定装置を
示し、この形状測定装置1は、測定物Wの被検査面Fと
交差する面(以下載置面と称す)Sに前記被検査面Fと
平行に載置されるガイドレール2と、このガイドレール
2に平行に張設された基準ワイヤ3と、前記ガイドレー
ル2にその長さ方向に沿って移動可能に装着された走行
基台4と、この走行基台4に一体に設けられ、前記被検
査面Fへ対向させられた凹凸センサ5、基準ワイヤ3に
対向させられた位置に設けられ、基準ワイヤ3の前記被
検査面Fと直交する方向における相対移動を検出する補
正センサ6、および、前記被検査面Fの端部を検出する
端部センサ7と、前記走行基台4とガイドレール2との
間に設けられて、走行基台4の移動をなす駆動機構(図
示路)と、この駆動機構に併設されて前記走行基台4の
移動量を検出する距離センサ9とを備えた概略構成とな
っている。
示し、この形状測定装置1は、測定物Wの被検査面Fと
交差する面(以下載置面と称す)Sに前記被検査面Fと
平行に載置されるガイドレール2と、このガイドレール
2に平行に張設された基準ワイヤ3と、前記ガイドレー
ル2にその長さ方向に沿って移動可能に装着された走行
基台4と、この走行基台4に一体に設けられ、前記被検
査面Fへ対向させられた凹凸センサ5、基準ワイヤ3に
対向させられた位置に設けられ、基準ワイヤ3の前記被
検査面Fと直交する方向における相対移動を検出する補
正センサ6、および、前記被検査面Fの端部を検出する
端部センサ7と、前記走行基台4とガイドレール2との
間に設けられて、走行基台4の移動をなす駆動機構(図
示路)と、この駆動機構に併設されて前記走行基台4の
移動量を検出する距離センサ9とを備えた概略構成とな
っている。
前記ガイドレール2は、長尺な平板状に形成され、その
下面(第2図および第3図において下方を下とし、上方
を上とする)には、前記載置面S上に当接させられる支
持脚10が、長さ方向に間隔をおいて複数垂設されてい
る。
下面(第2図および第3図において下方を下とし、上方
を上とする)には、前記載置面S上に当接させられる支
持脚10が、長さ方向に間隔をおいて複数垂設されてい
る。
また、ガイドレール2の両端部には、ステー11が上方
へ向かって突設され、これらのステー11間に、前記基
準ワイヤ3が張設されている。
へ向かって突設され、これらのステー11間に、前記基
準ワイヤ3が張設されている。
この基準ワイヤ3の一端部は、一方のステー11に係止
具12を介して係止され、また、他端部は、他方のステ
ー11に張力調整機構13を介して係止されている。
具12を介して係止され、また、他端部は、他方のステ
ー11に張力調整機構13を介して係止されている。
この張力調整機構13は、他方のステー11に回動可能
にかつ軸方向に移動可能に装着された調整ノブ14と、
この調整ノブ14と基準ワイヤ3の他端部との間に介装
されたテンションスプリング(図示路)とによって構成
され、前記調整ノブ14を回転操作することにより、前
記テンションスプリングを伸ばして基準ワイヤ3に所定
の張力を与え、これによって、基準ワイヤ3を直線状態
に保持するようになっている。
にかつ軸方向に移動可能に装着された調整ノブ14と、
この調整ノブ14と基準ワイヤ3の他端部との間に介装
されたテンションスプリング(図示路)とによって構成
され、前記調整ノブ14を回転操作することにより、前
記テンションスプリングを伸ばして基準ワイヤ3に所定
の張力を与え、これによって、基準ワイヤ3を直線状態
に保持するようになっている。
このガイドレール2に装着される走行基台4は、ガイド
レール2と略平行に配設された基部4aと、この基部4
aから被検査面Fと対向する位置まで垂設された測定部
4bとによって構成されており、前記基部4aの下面に
は、第2図に示すように、ガイドレール2の上面上を転
勤させられる複数の車輪15と、ガイドレール2の長さ
方向の両側縁部に転勤自在に係合させられた複数のガイ
ドローラ16とが設けられ、上面には前記補正センサ6
が装着されている。
レール2と略平行に配設された基部4aと、この基部4
aから被検査面Fと対向する位置まで垂設された測定部
4bとによって構成されており、前記基部4aの下面に
は、第2図に示すように、ガイドレール2の上面上を転
勤させられる複数の車輪15と、ガイドレール2の長さ
方向の両側縁部に転勤自在に係合させられた複数のガイ
ドローラ16とが設けられ、上面には前記補正センサ6
が装着されている。
前記凹凸センサ5は、本実施例においては、レーザ光を
用いたセンサが用いられ、レーザ光を被検査面Fに照射
して反射面の距離によって異なる反射光の角度を測定す
ることにより、凹凸センサ5と被検査面Fとの距離L2
が計測されるようになっ℃いる。
用いたセンサが用いられ、レーザ光を被検査面Fに照射
して反射面の距離によって異なる反射光の角度を測定す
ることにより、凹凸センサ5と被検査面Fとの距離L2
が計測されるようになっ℃いる。
また、前記補正センサ6は、ラインセンサが用いられ、
前記基準ワイヤ3と直交する方向に沿って配設された多
数の受光器17と、これらの受光器17へ向けて平行光
線を照射する投光器18とによって構成されており、こ
れらの投光1i!18と受光器17との間に前記基準ワ
イヤ3が非接触状態で挿通されている。
前記基準ワイヤ3と直交する方向に沿って配設された多
数の受光器17と、これらの受光器17へ向けて平行光
線を照射する投光器18とによって構成されており、こ
れらの投光1i!18と受光器17との間に前記基準ワ
イヤ3が非接触状態で挿通されている。
そして、この補正センサ6は、投光器18からの照射光
が基準ワイヤ3によって遮られた受光器17の位置によ
って、前記基準ワイヤ3と補正センサ6の基準位置との
距離L3が計測されるようになっている。
が基準ワイヤ3によって遮られた受光器17の位置によ
って、前記基準ワイヤ3と補正センサ6の基準位置との
距離L3が計測されるようになっている。
そして、この平行光線と前記凹凸センサ5から照射され
るレーザ光とが、同一面上において照射されるように、
前記両センサ5・6の位置およびそれぞれの照射方向が
設定されている。
るレーザ光とが、同一面上において照射されるように、
前記両センサ5・6の位置およびそれぞれの照射方向が
設定されている。
前記端部センサ7は、本実施例においては、前記走行基
台4の基部4aの下面に設けられた投光器19と、前記
測定部4bの、前記凹凸センサ5の下方に設けられた受
光器20とによって構成されており、これらの投光器1
9および受光器20は、前記投光器19によって照射さ
れる光線が、前記測定物Wの被検査面Fと載置面Sとに
よって形成される角部によって遮蔽されるような位置関
係のもとに設置されている。
台4の基部4aの下面に設けられた投光器19と、前記
測定部4bの、前記凹凸センサ5の下方に設けられた受
光器20とによって構成されており、これらの投光器1
9および受光器20は、前記投光器19によって照射さ
れる光線が、前記測定物Wの被検査面Fと載置面Sとに
よって形成される角部によって遮蔽されるような位置関
係のもとに設置されている。
そして、この端部センサ7は、走行基台4の移動に伴い
、前記測定物Wの角部によって投光器19と受光器20
との間の光の授受が遮断させられた時点で、前記被検査
面Fの一端部を検出するとともに、測定開始位置信号を
出力し、また、再度前記光の授受が行われた時点で、被
検査面Fの他端部を検出するとともに、測定終了位置信
号を出力するようになっている。
、前記測定物Wの角部によって投光器19と受光器20
との間の光の授受が遮断させられた時点で、前記被検査
面Fの一端部を検出するとともに、測定開始位置信号を
出力し、また、再度前記光の授受が行われた時点で、被
検査面Fの他端部を検出するとともに、測定終了位置信
号を出力するようになっている。
前記距離センサ9は、前記ガイドレール2の下面に平行
に、かつ、はぼ全長に亙って取り付けられたラック21
と、前記走行基台4の基部4aに取り付けられたエンコ
ーダ22と、このエンコーダ22の回転軸23に一体に
取り付けられ、前記ラック21へ噛合させられるビニオ
ン24とによって構成されており、走行基台4の走行に
伴ってビニオン24が回転させられるとともに、このビ
ニオン24の回転量がエンコーダ22において電気信号
に変換されて出カされる。
に、かつ、はぼ全長に亙って取り付けられたラック21
と、前記走行基台4の基部4aに取り付けられたエンコ
ーダ22と、このエンコーダ22の回転軸23に一体に
取り付けられ、前記ラック21へ噛合させられるビニオ
ン24とによって構成されており、走行基台4の走行に
伴ってビニオン24が回転させられるとともに、このビ
ニオン24の回転量がエンコーダ22において電気信号
に変換されて出カされる。
ソシて、このエンコーダ22からの出力信号に基づき、
前記走行基台4の移動量が検出されるようになっている
。
前記走行基台4の移動量が検出されるようになっている
。
一方、前記駆動機構は、前述のように図示を省略したが
、その具体例としては、前記走行基台4の基部4aに電
動モータを装着しておき、この電動モータによって前記
ピニオン24を回転させることが考えられる。
、その具体例としては、前記走行基台4の基部4aに電
動モータを装着しておき、この電動モータによって前記
ピニオン24を回転させることが考えられる。
また、前記各センサ5・6・7・9からの出力信号は形
状測定装置1と別途設けられたコントロールユニットへ
電気的に接続されて、それぞれにおける測定結果がコン
トロールユニットへ入力されるようになっている。
状測定装置1と別途設けられたコントロールユニットへ
電気的に接続されて、それぞれにおける測定結果がコン
トロールユニットへ入力されるようになっている。
次いで、このように構成された本実施例の形状測定装置
1の作用について説明する。
1の作用について説明する。
まず、測定物Wの載置面S上に支持脚10を載置して、
ガイドレール2を被検査面Fと平行に配置するとともに
、走行基台4をガイドレール2の一端部に移動させ、さ
らに、基準ワイヤ3に張力調整機構13によって所定の
張力を与えてお(。
ガイドレール2を被検査面Fと平行に配置するとともに
、走行基台4をガイドレール2の一端部に移動させ、さ
らに、基準ワイヤ3に張力調整機構13によって所定の
張力を与えてお(。
この状態において、基準ワイヤ3は前記被検査面Fに対
して略平行に保持され、かつ、端部センサ7が被検査面
Fの一端部から外方側へずれて位置させられている。
して略平行に保持され、かつ、端部センサ7が被検査面
Fの一端部から外方側へずれて位置させられている。
これより、各センサ5・6・7・9を起動するとともに
、走行基台4をガイドレール2に沿って他端部へ向けて
移動させる。
、走行基台4をガイドレール2に沿って他端部へ向けて
移動させる。
そして、前記凹凸センサ5が被検査面Fの端部へ対向さ
せられる位置まで走行基台4が移動させられた時点で、
測定操作が開始される。
せられる位置まで走行基台4が移動させられた時点で、
測定操作が開始される。
すなわち、走行基台4が前記位置まで移動させられると
、端部センサ7の投光器19と受光器20との間が測定
物Wによって遮られることにより、被検査面Fの端部が
検出され、その検出信号がコントロールユニットに出力
され、この信号に基づき凹凸センサ5、補正センサ6、
および、距離センサ9における測定が開始される。
、端部センサ7の投光器19と受光器20との間が測定
物Wによって遮られることにより、被検査面Fの端部が
検出され、その検出信号がコントロールユニットに出力
され、この信号に基づき凹凸センサ5、補正センサ6、
および、距離センサ9における測定が開始される。
ここで、前記凹凸センサ5においては、被検査面Fへ照
射するレーザ光の反射面の距離によって異なる反射光の
角度により、被検査面Fの端部と凹凸センサ5との距離
L2が測定され、補正センサ6においては、その基準点
と基準ワイヤ3との距1IIIL3が測定され、さらに
、距離センサ9においては、距離測定の基準位置が検出
される。
射するレーザ光の反射面の距離によって異なる反射光の
角度により、被検査面Fの端部と凹凸センサ5との距離
L2が測定され、補正センサ6においては、その基準点
と基準ワイヤ3との距1IIIL3が測定され、さらに
、距離センサ9においては、距離測定の基準位置が検出
される。
次いで、この測定操作を走行基台5をガイドレール4に
沿って移動させつつ連続的に行うことにより、前記距離
L2・L3が被検査面Fの全長に亙って測定され、この
測定操作は、走行基台4が被検査面Fの他端部まで移動
させられて、測定物Wによる端部センサ7の遮断が解除
された時点で停止させられる。
沿って移動させつつ連続的に行うことにより、前記距離
L2・L3が被検査面Fの全長に亙って測定され、この
測定操作は、走行基台4が被検査面Fの他端部まで移動
させられて、測定物Wによる端部センサ7の遮断が解除
された時点で停止させられる。
このような測定操作により、被検査面Fの全長に亙って
、その凹凸状態すなわち真直度が測定され、かつ、被検
査面Fの長さが測定される。
、その凹凸状態すなわち真直度が測定され、かつ、被検
査面Fの長さが測定される。
詳述すれば、走行基台4の移動により、凹凸センサ5と
被検査面Fとの距離L2が連続して測定されているから
、被検査面Fに例えば凸部が存在すると、前記距離L2
が減少した形で測定され、また、凹部が存在すると、前
記距離L2が増加した形で測定され、これらの相対的な
変化により、凹凸形状およびその大きさが測定される。
被検査面Fとの距離L2が連続して測定されているから
、被検査面Fに例えば凸部が存在すると、前記距離L2
が減少した形で測定され、また、凹部が存在すると、前
記距離L2が増加した形で測定され、これらの相対的な
変化により、凹凸形状およびその大きさが測定される。
そして、距離センサ9により走行基台4の被検査面Fに
対する移動位置が測定されているから、凹凸センサ5の
出力と距離センサ9との出力とにより、凹凸の位置まで
即座に測定される。
対する移動位置が測定されているから、凹凸センサ5の
出力と距離センサ9との出力とにより、凹凸の位置まで
即座に測定される。
さらに、測定の継続により、端部センサ7によって被検
査面Fの他端部が検出されて、その信号が距離センサ9
へ出力される。
査面Fの他端部が検出されて、その信号が距離センサ9
へ出力される。
この時点における距離センサ9の測定値と前記基準値と
の差に基づき、被検査面Fの両端部間の距離、すなわち
、被検査面F(測定物W)の長さが測定される。
の差に基づき、被検査面Fの両端部間の距離、すなわち
、被検査面F(測定物W)の長さが測定される。
一方、何らかの原因で、走行基台4が移動中にガイドレ
ール2に対してずれた場合、被検査面Fに凹凸がない状
態においても、凹凸センサ5からの距離検出値が変化し
てしまい、あたかも被検査面Fに凹凸部が存在するかの
ような検出結果が出力される。
ール2に対してずれた場合、被検査面Fに凹凸がない状
態においても、凹凸センサ5からの距離検出値が変化し
てしまい、あたかも被検査面Fに凹凸部が存在するかの
ような検出結果が出力される。
しかしながら、この走行基台4にずれが生じると、その
ずれ量が次のようにして補正されて、前述の誤出力が防
止される。
ずれ量が次のようにして補正されて、前述の誤出力が防
止される。
すなわち、例えば、走行基台4の測定部4bが被検査面
Fから離間する方向にずれたとすると(このずれ量をD
とする)、凹凸センサ5によって検出される距離L2°
は、被検査面Fに凹部が存在することを示す出力となる
。
Fから離間する方向にずれたとすると(このずれ量をD
とする)、凹凸センサ5によって検出される距離L2°
は、被検査面Fに凹部が存在することを示す出力となる
。
ここで、凹凸センサ5と補正センサ6が走行基台4に一
体に取り付けられて、補正センサ6の基準点と凹凸セン
サ5との距離L1が一定に保持され、かつ、基準ワイヤ
3がガイドレール2に取す付けられているとともに、前
記補正センサ6に非接触状態に挿通されていることから
、走行基台4のずれにより、補正センサ7においても同
等のずれ量りを含んだ距離L3’ が出力される。
体に取り付けられて、補正センサ6の基準点と凹凸セン
サ5との距離L1が一定に保持され、かつ、基準ワイヤ
3がガイドレール2に取す付けられているとともに、前
記補正センサ6に非接触状態に挿通されていることから
、走行基台4のずれにより、補正センサ7においても同
等のずれ量りを含んだ距離L3’ が出力される。
これらの関係を示せば、次の(1)式となる。
L3−L3’工L2°−L2=D ・・・・・・・
・(1)これを変形すると、 L2’ = D + L2 ・・・・
・・・・・(2)L3’ = L3− D
・・・・・・・・・(3)となる。
・(1)これを変形すると、 L2’ = D + L2 ・・・・
・・・・・(2)L3’ = L3− D
・・・・・・・・・(3)となる。
ここで、被検査面Fに凹凸がない状態で、かつ、走行基
台4のずれがない状態であると、基準ワイヤ3と被検査
面Fとの距ML4が一定であることがら、次の(4)式
が成り立つ。
台4のずれがない状態であると、基準ワイヤ3と被検査
面Fとの距ML4が一定であることがら、次の(4)式
が成り立つ。
L2+ L3+ L4= LL ・・・・
・・・・・(4)また、走行基台4がずれた状態におい
ては次の(5)式が成り立つ。
・・・・・(4)また、走行基台4がずれた状態におい
ては次の(5)式が成り立つ。
L2’ + L3°+L4=LL ・・・・
・・・・・(5)そして、これらの(2)(3)(4)
(5)式とから次の(6)式が得られる。
・・・・・(5)そして、これらの(2)(3)(4)
(5)式とから次の(6)式が得られる。
L2°+L3°+L4= D +L2+L3− D +
L4= L2+ L3+L4 =LL ・・・・・・・・(9)これによっ
て(4)式=(5)式となって、前記走行基台4のずれ
による誤出力が防止され、正確な距離情報、すなわち、
被検査面Fの表面形状の正確な情報が得られる。
L4= L2+ L3+L4 =LL ・・・・・・・・(9)これによっ
て(4)式=(5)式となって、前記走行基台4のずれ
による誤出力が防止され、正確な距離情報、すなわち、
被検査面Fの表面形状の正確な情報が得られる。
また、これらの各情報は、電気信号として得られること
から、後処理工程へのフィードバックや管理情報として
の蓄積活用が容易となる。
から、後処理工程へのフィードバックや管理情報として
の蓄積活用が容易となる。
さらに、ガイドレール2を測定物Wの載置面S上へ設置
するのみで測定可能な状態にセットできるから、例えば
、パネルの製造ライン中への組み込みも容易に行える。
するのみで測定可能な状態にセットできるから、例えば
、パネルの製造ライン中への組み込みも容易に行える。
なお、前記実施例において示した各構成部材の諸形状や
寸法等は一例であって、適用する部材の形状や設計要求
等に基づき種々変更可能である。
寸法等は一例であって、適用する部材の形状や設計要求
等に基づき種々変更可能である。
[発明の効果]
以上説明したように、本発明に係わる面の形状測定装置
によれば、次のような優れた効果を奏する。
によれば、次のような優れた効果を奏する。
走行基台を被検査面に沿って移動させつつ凹凸センサに
よって被検査面の凹凸状態を連続的に検出して、被検査
面の真直度の検出を容易にかつ迅速に実施することがで
きる。
よって被検査面の凹凸状態を連続的に検出して、被検査
面の真直度の検出を容易にかつ迅速に実施することがで
きる。
また、被検査面と基準ワイヤとを平行に保持して、凹凸
センサからの出力と補正センサからの出力との比較によ
り、走行基台のずれに基づく誤出力を補正して、高精度
の真直度測定を行うことができる。
センサからの出力と補正センサからの出力との比較によ
り、走行基台のずれに基づく誤出力を補正して、高精度
の真直度測定を行うことができる。
しかも、前記真直度の測定と同時に、距離センサによる
被検査面の長さ測定を行うことができ、全体形状の測定
が容易に実施できる。
被検査面の長さ測定を行うことができ、全体形状の測定
が容易に実施できる。
さらに、測定物0載置面に設置するのみて測定可能な状
態にセットでき、被検査面を有するワークの搬送経路中
への組み込みが行え、自動化への応用が容易に行える。
態にセットでき、被検査面を有するワークの搬送経路中
への組み込みが行え、自動化への応用が容易に行える。
図面は本発明の一実施例を示すもので、第1図は平面図
、第2図は第1図の、11−A線に沿う矢視断面図、第
3図は第1図のB−B線に沿う矢視図である。 1・・・(面の)形状測定装置、 2・・・ガイドレール、 4・・・走行基台、 6・・・補正センサ、 9・・・距離センサ、 S・・・載置面、 3・・・基準ワイヤ、 5・・・凹凸センサ、 7・・・端部センサ、 F・・・被検査面、 W・・・測定物。
、第2図は第1図の、11−A線に沿う矢視断面図、第
3図は第1図のB−B線に沿う矢視図である。 1・・・(面の)形状測定装置、 2・・・ガイドレール、 4・・・走行基台、 6・・・補正センサ、 9・・・距離センサ、 S・・・載置面、 3・・・基準ワイヤ、 5・・・凹凸センサ、 7・・・端部センサ、 F・・・被検査面、 W・・・測定物。
Claims (1)
- 測定物の被検査面と交差する面に被検査面と平行に載置
されるガイドレールと、このガイドレールに平行に張設
された基準ワイヤと、前記ガイドレールにその長さ方向
に沿って移動可能に装着された走行基台と、この走行基
台に一体に設けられ、前記被検査面へ対向させられた凹
凸センサ、基準ワイヤに対向させられた位置に設けられ
、基準ワイヤの前記被検査面と直交する方向における相
対移動を検出する補正センサ、および、前記被検査面の
端部を検出する端部センサと、前記走行基台とガイドレ
ールとの間に設けられて、走行基台の移動をなす駆動機
構と、前記走行基台の移動量を検出する距離センサとを
備えていることを特徴とする面の形状測定装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8124489A JPH0749958B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 面の形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8124489A JPH0749958B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 面の形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02259517A true JPH02259517A (ja) | 1990-10-22 |
| JPH0749958B2 JPH0749958B2 (ja) | 1995-05-31 |
Family
ID=13741000
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8124489A Expired - Lifetime JPH0749958B2 (ja) | 1989-03-31 | 1989-03-31 | 面の形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0749958B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106323209A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | 一种可加负载导轨检测装置 |
| CN106323161A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | 一种导轨检测台 |
| CN112013806A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-01 | 周团结 | 一种建筑用平面度检测装置及其使用方法 |
| CN115230149A (zh) * | 2021-04-23 | 2022-10-25 | 精工爱普生株式会社 | 三维造型装置及三维造型物的制造方法 |
| CN119779200A (zh) * | 2024-12-19 | 2025-04-08 | 浙江威肯特智能机械有限公司 | 一种直线导轨平整度检测装置 |
-
1989
- 1989-03-31 JP JP8124489A patent/JPH0749958B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106323209A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | 一种可加负载导轨检测装置 |
| CN106323161A (zh) * | 2016-08-23 | 2017-01-11 | 江门市弘程精密制造有限公司 | 一种导轨检测台 |
| CN112013806A (zh) * | 2020-09-08 | 2020-12-01 | 周团结 | 一种建筑用平面度检测装置及其使用方法 |
| CN115230149A (zh) * | 2021-04-23 | 2022-10-25 | 精工爱普生株式会社 | 三维造型装置及三维造型物的制造方法 |
| CN119779200A (zh) * | 2024-12-19 | 2025-04-08 | 浙江威肯特智能机械有限公司 | 一种直线导轨平整度检测装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0749958B2 (ja) | 1995-05-31 |
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