JPH0292467A - プラズマトーチに於ける電極破壊検知方法及び装置並びにプラズマトーチ - Google Patents
プラズマトーチに於ける電極破壊検知方法及び装置並びにプラズマトーチInfo
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- JPH0292467A JPH0292467A JP24076688A JP24076688A JPH0292467A JP H0292467 A JPH0292467 A JP H0292467A JP 24076688 A JP24076688 A JP 24076688A JP 24076688 A JP24076688 A JP 24076688A JP H0292467 A JPH0292467 A JP H0292467A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は溶接又は切断に用いられるプラズマトーチに於
ける電極破壊検知方法及び装置並びにプラズマトーチに
関するものである。
ける電極破壊検知方法及び装置並びにプラズマトーチに
関するものである。
〈従来の技術〉
今日、鉄鋼或いはステンレス鋼等の被加工材をプラズマ
アークによって溶接或いは切断することが行われている
。
アークによって溶接或いは切断することが行われている
。
プラズマアークを発生するためのプラズマトーチに於け
る電極は、永久的に使用し得るものでは無く、使用時間
に応じて消耗するものである。前記電極が消耗した場合
、該電極と被加工材との間で発生するメインアークの外
に、電極からチップを介してアークが発生する所謂ダブ
ルアーク或いはシリースアークと呼ばれる現象が発生す
る。
る電極は、永久的に使用し得るものでは無く、使用時間
に応じて消耗するものである。前記電極が消耗した場合
、該電極と被加工材との間で発生するメインアークの外
に、電極からチップを介してアークが発生する所謂ダブ
ルアーク或いはシリースアークと呼ばれる現象が発生す
る。
前記ダブルアークの状態が継続すると、電極及びチップ
が非、常に高温となり、これ等が溶損し且つ場合によっ
てはトーチそのものが溶損して破壊することがある。
が非、常に高温となり、これ等が溶損し且つ場合によっ
てはトーチそのものが溶損して破壊することがある。
このため電極の消耗を事前に検知して交換することが望
ましく、一般には経験的に電極の使用時間を定め、この
使用時間を管理することで電極の交換を行っている。
ましく、一般には経験的に電極の使用時間を定め、この
使用時間を管理することで電極の交換を行っている。
また電極の破壊を自動的に検知するための技術が提案さ
れている(特開昭61−269975号、同62−26
7087号)、これ等の技術は、プラズマアーク電圧或
いはプラズマアーク電流等を常時検出し、この検出値が
基準値よりも変動が大きくなったときに、電極が破壊し
たことを検知するものである。
れている(特開昭61−269975号、同62−26
7087号)、これ等の技術は、プラズマアーク電圧或
いはプラズマアーク電流等を常時検出し、この検出値が
基準値よりも変動が大きくなったときに、電極が破壊し
たことを検知するものである。
〈発明が解決しようとする課題〉
然し、上記各技術にあっては、電極破壊を検知するため
の制御回路が複雑であり、且つ高価なものとなっている
。
の制御回路が複雑であり、且つ高価なものとなっている
。
本発明の目的は、プラズマトーチに於ける電極破壊を容
易に検知することが出来る検知方法と、安価な検知1a
置を提供することにある。
易に検知することが出来る検知方法と、安価な検知1a
置を提供することにある。
<t*mを解決するための手段〉
上記課題を解決するために本発明のプラズマトーチに於
ける電極破壊検知方法は、電極を内部から冷却するため
の冷却流体の戻り圧力を検出し、該戻り圧力が基準圧力
よりも低下したときに、前記電極が破壊したことを認識
することを特徴としたものである。
ける電極破壊検知方法は、電極を内部から冷却するため
の冷却流体の戻り圧力を検出し、該戻り圧力が基準圧力
よりも低下したときに、前記電極が破壊したことを認識
することを特徴としたものである。
また検知装置は、電極内部及びトーチ内部を冷却するた
めの冷却流体通路を形成したプラズマトーチと、前記冷
却流体の戻り圧力を検出するための検出手段と、前記戻
り圧力が基準圧力よりも低下したときに信号を発生する
信号発生手段とを有して構成されるものである。
めの冷却流体通路を形成したプラズマトーチと、前記冷
却流体の戻り圧力を検出するための検出手段と、前記戻
り圧力が基準圧力よりも低下したときに信号を発生する
信号発生手段とを有して構成されるものである。
更に、プラズマトーチは、電極内部を冷却するための冷
却流体通路を有するプラズマトーチに於いて、前記電極
よりも下流側の冷却流体通路に該通路を流通する冷却流
体の圧力を検出するための圧力検出孔を設けて構成され
るものである。
却流体通路を有するプラズマトーチに於いて、前記電極
よりも下流側の冷却流体通路に該通路を流通する冷却流
体の圧力を検出するための圧力検出孔を設けて構成され
るものである。
く作用〉
上記検知方法に於いて、電極を冷却するために該電極内
部を流通する冷却流体の戻り圧力、即ち前配電掻よりも
下流側に於ける冷却流体の圧力を検出すると、電極が破
壊されていない場合には、戻り圧力は冷却流体の供給圧
力を一定とすれば常に一定値となる。そして電極が消耗
しダブルアークが発生して、1を橿が溶損破壊した場合
には、この溶損部から冷却流体が流出し、戻り圧力が低
下する。
部を流通する冷却流体の戻り圧力、即ち前配電掻よりも
下流側に於ける冷却流体の圧力を検出すると、電極が破
壊されていない場合には、戻り圧力は冷却流体の供給圧
力を一定とすれば常に一定値となる。そして電極が消耗
しダブルアークが発生して、1を橿が溶損破壊した場合
には、この溶損部から冷却流体が流出し、戻り圧力が低
下する。
従って、プラズマトーチに破壊されていない電極を取り
付け、このときの冷却流体の戻り圧力を基準圧力として
設定し、作業中に於ける戻り圧力を検出して、この検出
圧力が基準圧力よりも低下したときに電極破壊として認
識することが出来る。
付け、このときの冷却流体の戻り圧力を基準圧力として
設定し、作業中に於ける戻り圧力を検出して、この検出
圧力が基準圧力よりも低下したときに電極破壊として認
識することが出来る。
また上記検知装置を、電極内部及びトーチ内部を冷却す
るための冷却流体通路を形成したプラズマトーチと、前
記冷却流体の戻り圧力を検出するための検出手段と、前
記戻り圧力が基準圧力よりも低下したときに信号を発生
する信号発生手段とにより構成したので、電極及びトー
チ内部を冷却するための冷却流体の戻り圧力を検出し、
この戻り圧力が基準圧力よりも低下したときに信号を発
生し、該信号によって電極が破壊したことを検知するこ
とが出来る。
るための冷却流体通路を形成したプラズマトーチと、前
記冷却流体の戻り圧力を検出するための検出手段と、前
記戻り圧力が基準圧力よりも低下したときに信号を発生
する信号発生手段とにより構成したので、電極及びトー
チ内部を冷却するための冷却流体の戻り圧力を検出し、
この戻り圧力が基準圧力よりも低下したときに信号を発
生し、該信号によって電極が破壊したことを検知するこ
とが出来る。
従って、例えば前記信号によりプラズマ発生装置の電源
を制御すれば、電極が破壊したときにプラズマアークを
停止させることが出来る。
を制御すれば、電極が破壊したときにプラズマアークを
停止させることが出来る。
更に、プラズマトーチは、冷却流体によって冷却される
電極よりも下流側の冷却流体通路に、該通路を流通する
冷却流体の圧力を検出するための圧力検出孔を設けたの
で、前記圧力検出孔と戻り圧力の検知手段とを接続する
ことで、冷却流体の戻り圧力を検知することが出来る。
電極よりも下流側の冷却流体通路に、該通路を流通する
冷却流体の圧力を検出するための圧力検出孔を設けたの
で、前記圧力検出孔と戻り圧力の検知手段とを接続する
ことで、冷却流体の戻り圧力を検知することが出来る。
〈実施例〉
以下上記手段を適用したプラズマ発生装置の一実施例に
ついて図を用いて説明する。
ついて図を用いて説明する。
第1図はプラズマトーチの断面説明図、第2図は電極破
壊検知の説明図、第3図はプラズマ発生装置のブロック
図である。
壊検知の説明図、第3図はプラズマ発生装置のブロック
図である。
先ず第1図によりプラズマトーチAの構成を説明すると
、このプラズマトーチAの軸心上の所定位置には、電極
lが電極台2に着脱可能に取り付けられている。前記電
極1の内部には冷却流体を2d通させて該電極lを冷却
するための孔1aが穿設されている。
、このプラズマトーチAの軸心上の所定位置には、電極
lが電極台2に着脱可能に取り付けられている。前記電
極1の内部には冷却流体を2d通させて該電極lを冷却
するための孔1aが穿設されている。
前記電極台2の端部には導管2aが設けられており、プ
ラズマトーチAの外部に設けた冷却流体供給部9から冷
却流体が供給されている。また電極台2の内部には、先
端が前記電極lに穿設した孔1aの深さと略等しい突出
部を有する内部管2bが設けられている。この電極台2
の外周所定位置には、二つのグループ2c、2dが形成
されている。前記グループ2Cはスリット2eによって
電極lの外周面と後述するチップ5の内周面とで形成す
るプラズマガスの噴出孔7と連結されており、またグル
ープ2dは通孔2fによって電極台2の内部と連結され
ている。
ラズマトーチAの外部に設けた冷却流体供給部9から冷
却流体が供給されている。また電極台2の内部には、先
端が前記電極lに穿設した孔1aの深さと略等しい突出
部を有する内部管2bが設けられている。この電極台2
の外周所定位置には、二つのグループ2c、2dが形成
されている。前記グループ2Cはスリット2eによって
電極lの外周面と後述するチップ5の内周面とで形成す
るプラズマガスの噴出孔7と連結されており、またグル
ープ2dは通孔2fによって電極台2の内部と連結され
ている。
前記電極台2の外周には絶縁カラー3が嵌着されている
。この絶縁カラー3の前記電極台2に形成した二つのグ
ループ2c、2dと対向した位置には、通孔3a、3b
が穿設されている。
。この絶縁カラー3の前記電極台2に形成した二つのグ
ループ2c、2dと対向した位置には、通孔3a、3b
が穿設されている。
前記絶縁カラー3の外周にはチップ台4が嵌着されてい
る。このチップ台4の先端には、ノズル5aを有するチ
ップ5が着脱可能に取り付けられている。またチップ台
4にはキャップ6が着脱可能に取り付けられている。
る。このチップ台4の先端には、ノズル5aを有するチ
ップ5が着脱可能に取り付けられている。またチップ台
4にはキャップ6が着脱可能に取り付けられている。
前記チップ台4には、プラズマガスの通孔4aと冷却流
体の通孔4bが夫々穿設されている。前記通孔4aは導
管4Cを介してプラズマガス供給部15と連結されてい
る。また前記通孔4bは、端がチップ5とキャップ6と
によって構成された冷却流体の噴出孔8と連結し、他端
は導管4dを介して戻り圧力検知部10と連結している
。
体の通孔4bが夫々穿設されている。前記通孔4aは導
管4Cを介してプラズマガス供給部15と連結されてい
る。また前記通孔4bは、端がチップ5とキャップ6と
によって構成された冷却流体の噴出孔8と連結し、他端
は導管4dを介して戻り圧力検知部10と連結している
。
前記チップ台4の内周面には、前記電極台2に形成した
二つのグループ2c、’ldと対向して二つのグループ
4e、4(が穿設されている。
二つのグループ2c、’ldと対向して二つのグループ
4e、4(が穿設されている。
尚、本実施例に於いて、冷却流体としては加圧エアを用
いている。またプラズマガスとしては、被加工材の種類
或いは作業内容によって、酸素ガス、窒素ガス或いはエ
ア等を選択的に用いている。
いている。またプラズマガスとしては、被加工材の種類
或いは作業内容によって、酸素ガス、窒素ガス或いはエ
ア等を選択的に用いている。
上記の如く構成したプラズマトーチAに於いて、所定圧
力に調整された冷却エアは、導管2aを介して電極台2
に供給される。そして内部管2bを通って電極1に供給
され、該電極1を冷却する。
力に調整された冷却エアは、導管2aを介して電極台2
に供給される。そして内部管2bを通って電極1に供給
され、該電極1を冷却する。
その後内部管2bの外周に沿って電極台2の内部を通り
、通孔2fからグループ2d、4rを通過して通孔4b
に至る。更に、チップ5とキャップ6とで構成する噴出
孔8を通って、チップ5とキャップ6を冷却してプラズ
マトーチAの外部に噴出する。このとき、前記通孔4b
に於ける冷却エアの圧力は、圧力検出孔となる導管4d
を介して戻り圧力検知部10に導かれて検出される。
、通孔2fからグループ2d、4rを通過して通孔4b
に至る。更に、チップ5とキャップ6とで構成する噴出
孔8を通って、チップ5とキャップ6を冷却してプラズ
マトーチAの外部に噴出する。このとき、前記通孔4b
に於ける冷却エアの圧力は、圧力検出孔となる導管4d
を介して戻り圧力検知部10に導かれて検出される。
前述の如く、導管4dを介して検出される戻り圧力は、
導管2aから電極台2.電極1.絶縁カラー3に於ける
冷却エアの降下圧力を検出するものである。従って、こ
の戻り圧力は、個々のプラズマトーチAによる個性はあ
るものの、冷却エアの供給圧力が一定であれば、該供給
圧力に応じた一定の圧力が検出される。
導管2aから電極台2.電極1.絶縁カラー3に於ける
冷却エアの降下圧力を検出するものである。従って、こ
の戻り圧力は、個々のプラズマトーチAによる個性はあ
るものの、冷却エアの供給圧力が一定であれば、該供給
圧力に応じた一定の圧力が検出される。
次に、上記の如く構成したプラズマトーチAの電極lの
破壊検知方法と装置について説明する。
破壊検知方法と装置について説明する。
プラズマトーチAに於いて、電極lと被加工材との間に
プラズマアークを発生すると、作業時間(アークタイム
)に応じて電極1が消耗することが良く知られている。
プラズマアークを発生すると、作業時間(アークタイム
)に応じて電極1が消耗することが良く知られている。
そして消耗した電極lを使用していると、該電IIと被
加工材との間で発生するメインアークの外に、チップ5
を介して電極1と被加工材との間にアークが発生する所
謂ダブルアーク現象となることも良(知られている。
加工材との間で発生するメインアークの外に、チップ5
を介して電極1と被加工材との間にアークが発生する所
謂ダブルアーク現象となることも良(知られている。
前記ダブルアーク現象が発生すると、電極l及びチップ
5の温度が急激に上昇して溶損に至り、最悪の場合には
電極台2やチップ台4が溶損し、プラズマトーチAが使
用に耐えなくなる。
5の温度が急激に上昇して溶損に至り、最悪の場合には
電極台2やチップ台4が溶損し、プラズマトーチAが使
用に耐えなくなる。
本発明の電極破壊検知方法は、電極lが溶損して破壊し
た場合、この電極1には溶損部に於いて内部の孔1aに
達する貫通孔が形成されていることに着目している。
た場合、この電極1には溶損部に於いて内部の孔1aに
達する貫通孔が形成されていることに着目している。
即ち、電極lが溶…すると、咳溶…により電極1には内
部に形成した孔1aとの間に貫通孔が形成され、この貫
通孔を通して冷却エアが流出することで、導管2aから
電極台2.電極1.°絶縁カラー3に形成された冷却エ
ア通路に於ける流量が変化し、このため導管4dを介し
て検出される戻り圧力が急激に、且つ大幅に低下する。
部に形成した孔1aとの間に貫通孔が形成され、この貫
通孔を通して冷却エアが流出することで、導管2aから
電極台2.電極1.°絶縁カラー3に形成された冷却エ
ア通路に於ける流量が変化し、このため導管4dを介し
て検出される戻り圧力が急激に、且つ大幅に低下する。
従って、この戻り圧力を検出することにより、電極lの
破壊を検知することが可能となる。
破壊を検知することが可能となる。
第2図はプラズマトーチAを用い、上記方法によって電
極破壊を検知するための模式説明図である。
極破壊を検知するための模式説明図である。
図に於いて、プラズマトーチAに供給される冷却エアの
供給圧力P1は、冷却エフ供給部9に於いて所定圧力に
調整されて供給される。また戻り圧力pgは、戻り圧力
検出手段及び信号発生手段となる戻り圧力検知部10に
供給されている。前記戻り圧力検知部10は、後述する
基準圧力に設定された公知の圧力スイッチによって構成
されている。従って、この圧力スイッチlOには常に戻
り圧力P!が作用しており、該戻り圧力P、が基準圧力
以下になると電気信号を発生するように構成されている
。
供給圧力P1は、冷却エフ供給部9に於いて所定圧力に
調整されて供給される。また戻り圧力pgは、戻り圧力
検出手段及び信号発生手段となる戻り圧力検知部10に
供給されている。前記戻り圧力検知部10は、後述する
基準圧力に設定された公知の圧力スイッチによって構成
されている。従って、この圧力スイッチlOには常に戻
り圧力P!が作用しており、該戻り圧力P、が基準圧力
以下になると電気信号を発生するように構成されている
。
ここで前記プラズマトーチAに新品の電極と、軽度に破
壊された電極と、重度に破壊された電極とを取り付けた
ときの供給圧力P、に応じた戻り圧力Pヨの測定結果を
表1に示す。
壊された電極と、重度に破壊された電極とを取り付けた
ときの供給圧力P、に応じた戻り圧力Pヨの測定結果を
表1に示す。
表1
上記表1に明らかなように、冷却エアの供給圧力PIを
一定とした場合、破壊されていない電極と破壊された電
極とでは、検出された戻り圧力P、に0、7kg/−以
上の圧力降下が発生している。
一定とした場合、破壊されていない電極と破壊された電
極とでは、検出された戻り圧力P、に0、7kg/−以
上の圧力降下が発生している。
このためプラズマトーチAに新品の電極を取り付け、こ
のときの戻り圧力P8を検出して該検出圧力、或いは安
全値を見越した前記検出圧力よりも若干低い圧力を基準
圧力として設定し、プラズマトーチAによる作業中に継
続して冷却エアの戻り圧力を検出して該圧力が基準圧力
よりも降下したときに、電極が破壊したとして認識する
ことが可能である。
のときの戻り圧力P8を検出して該検出圧力、或いは安
全値を見越した前記検出圧力よりも若干低い圧力を基準
圧力として設定し、プラズマトーチAによる作業中に継
続して冷却エアの戻り圧力を検出して該圧力が基準圧力
よりも降下したときに、電極が破壊したとして認識する
ことが可能である。
即ち、前述したように、戻り圧力P!を戻り圧力検知手
段となる圧力スイッチlOに導入すると共に該圧力スイ
ッチ10の設定圧力を前記基準圧力に設定することによ
って、プラズマトーチAからの戻り圧力P2を常に検出
することが可能であり、且つ戻り圧力P、が基準圧力よ
りも低下したときに電気信号を発生することが可能とな
る。
段となる圧力スイッチlOに導入すると共に該圧力スイ
ッチ10の設定圧力を前記基準圧力に設定することによ
って、プラズマトーチAからの戻り圧力P2を常に検出
することが可能であり、且つ戻り圧力P、が基準圧力よ
りも低下したときに電気信号を発生することが可能とな
る。
このため、プラズマ発生装置を前記電気信号の発生に応
じて電源を停止し得るように構成すれば、電極破壊を検
知すると同時にプラズマ発生装置を停止することが可能
となり、これによりプラズマトーチの破壊の進行が停止
される。
じて電源を停止し得るように構成すれば、電極破壊を検
知すると同時にプラズマ発生装置を停止することが可能
となり、これによりプラズマトーチの破壊の進行が停止
される。
このように本発明にあっては、冷却流体の戻り圧力P8
を検出して、該検出圧力を基準圧力と比較することで電
極の破壊を検知することが出来、また戻り圧力P8の検
出及び基準圧力との比較を行うためには、公知の圧力ス
イッチを用いることが出来るため、従来のアーク電圧又
はアーク電流を測定して電極破壊を検知する方法と比較
して安価な装置によって容易に電極の破壊を検知するこ
とが可能である。
を検出して、該検出圧力を基準圧力と比較することで電
極の破壊を検知することが出来、また戻り圧力P8の検
出及び基準圧力との比較を行うためには、公知の圧力ス
イッチを用いることが出来るため、従来のアーク電圧又
はアーク電流を測定して電極破壊を検知する方法と比較
して安価な装置によって容易に電極の破壊を検知するこ
とが可能である。
次に、上記の如く構成した電極破壊検知装置を適用した
プラズマ発生装置について第3図により説明する。
プラズマ発生装置について第3図により説明する。
図に於いて、ドライバ回路11によって駆動される直流
it源部12と電極1、及びチップ5.被加工材Bとの
間が夫々電気的に接続されている。前記ドライバ回路l
!は制御部13によって制御されている。そしてスイッ
チ14の操作によって操作開始信号が発生し、この信号
によって、ドライバ回路11゜プラズマガス供給部15
及び冷却流体供給部9が夫々制御部13によって制御さ
れ、所定の動作を実施し得るように構成されている。
it源部12と電極1、及びチップ5.被加工材Bとの
間が夫々電気的に接続されている。前記ドライバ回路l
!は制御部13によって制御されている。そしてスイッ
チ14の操作によって操作開始信号が発生し、この信号
によって、ドライバ回路11゜プラズマガス供給部15
及び冷却流体供給部9が夫々制御部13によって制御さ
れ、所定の動作を実施し得るように構成されている。
即ち、1桑作開始信号によって、冷却流体供給部9を構
成する電磁弁が開放されて冷却流体がプラズマトーチA
に供給され、またプラズマガス供給部15を構成する電
磁弁が開放されて酸素ガス、窒素ガス、エア等のプラズ
マガスがトーチAに供給される。また、圧力検知手段1
0を構成する圧カスインチに操作電源が供給されプラズ
マトーチAからの冷却流体の戻り圧力P2の検出を開始
する。更に、ドライバ回路11を介して直流電源部12
が駆動され電極1.チップ5.被加工材Bに所定の電圧
が印加されてプラズマアークが発生する。そしてプラズ
マトーチAを被加工材B上に走査させることで、所定の
作業を実施することが出来る。
成する電磁弁が開放されて冷却流体がプラズマトーチA
に供給され、またプラズマガス供給部15を構成する電
磁弁が開放されて酸素ガス、窒素ガス、エア等のプラズ
マガスがトーチAに供給される。また、圧力検知手段1
0を構成する圧カスインチに操作電源が供給されプラズ
マトーチAからの冷却流体の戻り圧力P2の検出を開始
する。更に、ドライバ回路11を介して直流電源部12
が駆動され電極1.チップ5.被加工材Bに所定の電圧
が印加されてプラズマアークが発生する。そしてプラズ
マトーチAを被加工材B上に走査させることで、所定の
作業を実施することが出来る。
プラズマトーチAにより被加工材Bに対し所定作業実施
中に、電極lが消耗し該電極1が溶損すると、戻り圧力
P2が急激に低下する。この低下した戻り圧力P、が圧
カスイノチlOにより検出され、該圧力が予め設定され
た基準圧力以下になると、圧力スイッチ10に於いて電
気信号が発生する。
中に、電極lが消耗し該電極1が溶損すると、戻り圧力
P2が急激に低下する。この低下した戻り圧力P、が圧
カスイノチlOにより検出され、該圧力が予め設定され
た基準圧力以下になると、圧力スイッチ10に於いて電
気信号が発生する。
前述した如く、前記電気信号は電極1が破壊されたこと
を検知したものである。この電気信号を制御部13に伝
達し、該制御部13によって、冷却流体供給部9.プラ
ズマガス供給部15.ドライバ回路11を制御して、冷
却流体及びプラズマガスの供給を停止すると共に、プラ
ズマアークを停止させる。
を検知したものである。この電気信号を制御部13に伝
達し、該制御部13によって、冷却流体供給部9.プラ
ズマガス供給部15.ドライバ回路11を制御して、冷
却流体及びプラズマガスの供給を停止すると共に、プラ
ズマアークを停止させる。
このように、電極1を冷却するための冷却流体の戻り圧
力を検出し、検出圧力を基準圧力と比較して該検出圧力
が基準圧力よりも低下した場合に発生する信号によって
プラズマアークを制御するように構成すれば、電極lの
破壊が検知された時点でプラズマアークを停止させるこ
とが可能となり、従って電極lの破壊を進行させること
がない。
力を検出し、検出圧力を基準圧力と比較して該検出圧力
が基準圧力よりも低下した場合に発生する信号によって
プラズマアークを制御するように構成すれば、電極lの
破壊が検知された時点でプラズマアークを停止させるこ
とが可能となり、従って電極lの破壊を進行させること
がない。
尚、前述の実施例に於いて、冷却流体として加圧エアを
用いた場合について説明したが、この冷却流体としては
前記エアに限定されるものではなく、加圧水等の冷却液
体を用いることも可能である。加圧水を用いる場合には
、チップ5とキャンプ6とで形成される噴出孔8を閉鎖
して該加圧水がプラズマトーチ内を循環し得るように構
成することが必要である。
用いた場合について説明したが、この冷却流体としては
前記エアに限定されるものではなく、加圧水等の冷却液
体を用いることも可能である。加圧水を用いる場合には
、チップ5とキャンプ6とで形成される噴出孔8を閉鎖
して該加圧水がプラズマトーチ内を循環し得るように構
成することが必要である。
〈発明の効果〉
以上詳細に説明したように、本発明の電極破壊検知方法
によれば、電極を冷却するための冷却流体の戻り圧力を
検出することで、容易に該電極の破壊を検知することが
出来る。
によれば、電極を冷却するための冷却流体の戻り圧力を
検出することで、容易に該電極の破壊を検知することが
出来る。
また本発明の電極破壊検知装置は、戻り圧力を検出する
検出手段と、戻り圧力が基準圧力よりも低下したときに
信号を発生する信号発生手段とにより構成したので、冷
却流体の戻り圧力を検出しつつ基準圧力と比較し、該戻
り圧力が基準圧力よりも低下したときに電気信号を発生
することが出来る。従って、前記電気信号をプラズマ発
生装置の制御部に接続した場合には、該電気信号の発生
に応してプラズマ発生装置を停止することが可能となり
、このためプラズマトーチの破壊を進行させることがな
い。
検出手段と、戻り圧力が基準圧力よりも低下したときに
信号を発生する信号発生手段とにより構成したので、冷
却流体の戻り圧力を検出しつつ基準圧力と比較し、該戻
り圧力が基準圧力よりも低下したときに電気信号を発生
することが出来る。従って、前記電気信号をプラズマ発
生装置の制御部に接続した場合には、該電気信号の発生
に応してプラズマ発生装置を停止することが可能となり
、このためプラズマトーチの破壊を進行させることがな
い。
また本発明のプラズマトーチによれば、電極を冷却する
ための冷却流体の戻り圧力を、該圧力の検出手段に導く
ことが出来る等の特徴を有するものである。
ための冷却流体の戻り圧力を、該圧力の検出手段に導く
ことが出来る等の特徴を有するものである。
第1図はプラズマトーチの断面説明図、第2図は電極破
壊検知の説明図、第3図はプラズマ発生装置のブロック
図である。 Aはプラズマトーチ、Bは被加工材、lは電極、2は電
極台、2aは導管、3は絶縁カラー、4はチップ台、5
はチップ、6はキャップ、9は冷却流体供給部、lOは
圧力スイッチ、11はドライバ回路、12は直流電源部
、13は制御部、14はスイッチ、15はプラズマガス
供給部である。 特許出願人 小池酸素工業株式会社
壊検知の説明図、第3図はプラズマ発生装置のブロック
図である。 Aはプラズマトーチ、Bは被加工材、lは電極、2は電
極台、2aは導管、3は絶縁カラー、4はチップ台、5
はチップ、6はキャップ、9は冷却流体供給部、lOは
圧力スイッチ、11はドライバ回路、12は直流電源部
、13は制御部、14はスイッチ、15はプラズマガス
供給部である。 特許出願人 小池酸素工業株式会社
Claims (3)
- (1)電極を内部から冷却するための冷却流体の戻り圧
力を検出し、該戻り圧力が基準圧力よりも低下したとき
に、前記電極が破壊したことを認識することを特徴とし
たプラズマトーチに於ける電極破壊検知方法。 - (2)電極内部及びトーチ内部を冷却するための冷却流
体通路を形成したプラズマトーチと、前記冷却流体の戻
り圧力を検出するための検出手段と、前記戻り圧力が基
準圧力よりも低下したときに信号を発生する信号発生手
段とを有することを特徴としたプラズマトーチに於ける
電極破壊検知装置。 - (3)電極内部を冷却するための冷却流体通路を有する
プラズマトーチに於いて、前記電極よりも下流側の冷却
流体通路に該通路を流通する冷却流体の圧力を検出する
ための圧力検出孔を設けたことを特徴としたプラズマト
ーチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63240766A JP2563832B2 (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | プラズマトーチに於ける電極破壊検知方法及び装置並びにプラズマトーチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63240766A JP2563832B2 (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | プラズマトーチに於ける電極破壊検知方法及び装置並びにプラズマトーチ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0292467A true JPH0292467A (ja) | 1990-04-03 |
| JP2563832B2 JP2563832B2 (ja) | 1996-12-18 |
Family
ID=17064393
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63240766A Expired - Lifetime JP2563832B2 (ja) | 1988-09-28 | 1988-09-28 | プラズマトーチに於ける電極破壊検知方法及び装置並びにプラズマトーチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2563832B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117506105A (zh) * | 2023-11-27 | 2024-02-06 | 盐城芯丰微电子有限公司 | 金钯铜共晶焊接上层控制台用预防性维护装置 |
-
1988
- 1988-09-28 JP JP63240766A patent/JP2563832B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN117506105A (zh) * | 2023-11-27 | 2024-02-06 | 盐城芯丰微电子有限公司 | 金钯铜共晶焊接上层控制台用预防性维护装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2563832B2 (ja) | 1996-12-18 |
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