JPH03111746A - 表面状態検出装置 - Google Patents

表面状態検出装置

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JPH03111746A
JPH03111746A JP25005589A JP25005589A JPH03111746A JP H03111746 A JPH03111746 A JP H03111746A JP 25005589 A JP25005589 A JP 25005589A JP 25005589 A JP25005589 A JP 25005589A JP H03111746 A JPH03111746 A JP H03111746A
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JP
Japan
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image
histogram
camera
detection device
picked
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Pending
Application number
JP25005589A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoichi Sato
洋一 佐藤
Masashi Miyagawa
宮川 正志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
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  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、表面に存在するキズ、ごみ、ざらつき、色む
ら(色調の濃淡)等、表面状態を検出する表面状態検出
装置に関する。
[従来の技術] 従来、表面キズ検出装置として、被検査体の表面にHe
 −Neレーザー光を照射し、これがキズの凹凸によっ
て、散乱される程度により、表面におけるキズの存在を
検出するものがある。
[発明が解決しようとする課題] 然しなから、上記従来の光照肚−散乱方式による表面キ
ズ検出装置には、下記■〜■の問題点がある。
■光学系が複雑であり、装置が大型となる。
0表面の凹凸をともなわない色むら等の表面状態は検出
できない。
■検出結果と、人間の目でとらえた感覚が必ずしも一致
しない。
本発明は、コンパクトな装置構成により、色むら等も含
めた表面状態を、人間に近い感覚で検出することを目的
とする。
[課題を解決するための手段] 請求項1に記載の本発明は、被検査体の表面を撮像する
撮像装置と、撮像装置の撮像結果に基づいて被検査体の
表面状態を検定する検定装置と、検定装置の検定結果を
出力する出力装置とを有して構成される表面状態検出装
置てあっって、検定装置は、撮像装置か撮像した画像デ
ータに対する濃度ヒストグラムn (K)を求め、該濃
度ヒストクラムn (K)に対する正規分布に従う各濃
度の理論度数g(に)を求め、上記ヒストグラムn(に
)と上記理論度数g (K)との差に相当する適合係数
Fを求め、該適合係数Fを今回検定対象としての表面状
態に対応して予め設定しておいたしきい値データと比較
することにより、被検査体の表面状態を検定するもので
ある。
請求項2に記載の本発明は、前記しきい値データが、同
種表面状態の等級区分に応じて存在するようにしたもの
である。
請求項3に記載の本発明は、前記しきい値データが、各
種表面状態の種類数と同数存在するようにしたものであ
る。
[作用] 請求項1に記載の本発明によれば、下記■、■の作用が
ある。
■テレビカメラ等の汎用性のある搬像装置を用いて表面
状態を検出でき、装置構成をコンパクトにできる。
0表面の濃度分布状態により表面状態を検出するもので
あるため、色むら等も含めた表面状態を人間に近い感覚
で検出できる。
請求項2に記載の本発明によれば、下記■の作用がある
■しきい値αを1つ用いて表面状態を2等級評価(正常
/異常等)するだけでなく、例えばしきい値αを2つ用
いて表面状態を3等級評価(良/可/不可等)すること
もできる。
請求項3に記載の本発明によれば、下記■の作用がある
■しきい値αを表面状態の種類(表面あれ、色むら等)
の数(P)と同数用意することにより、各種表面状態を
検出できる。
[実施例] 第1図は本発明の検出装置の一例を示すブロック図、第
2図は画像データを示す模式図、第3図は本発明による
異常検出手順を示す流れ図、第4図はヒストグラムと理
論度数の関係を示す模式図である。
表面状態検出装置1は、テレビカメラ10(撮像装置)
と、検定装置20と、出力装置3oとを有し、被検査体
である例えば熱可塑性発泡体シートの表面の異常の有無
を検査する。
表面状態検出装置1の基本的動作は下記(1)〜(4)
である。
(1)テレビカメラ10により、発泡体シートの表面を
撮像する。
テレビカメラ10は、画素単位でサンプリングした多値
画像を検定装置20に転送する。
(2)検定装置20は、テレビカメラ10の撮像データ
をA/D変換機21で例えば8ビツト(256附調)に
て量子化し、MXN画素のデジタル画像を作り、これを
画像メモリ22に入力する。
(3)検定装置20は、画像メモリ22に入力された画
像に基づいて、CPL123により表面の異常の有無を
検定する。
(4)出力装置30は、検定装置2oの検定結果を表示
し、必要により警報を発生せしめる。
尚、撮像装置(10)としては、テレビカメラの代わり
に、M個の空間分解能を持つラインセンサを用いても良
く、この場合には、ラインセンサと被検査体とを相対移
動させ、得られるN個群のデータを画像メモリに蓄える
検定装置20は、必ずしも画像メモリ22を用いず、A
/D′RtA器21の出力データを直接的にCPU23
に入力しても良い。
然るに、上記検定装置20による検定動作は下記■〜■
の如くなされる(第3図参照)。
■MXN画素の画像データに対して、濃度ヒストグラム
n (k)を求める(k:濃度値、n:度数)。
この濃度ヒストグラムn (k)の作成に際しては、被
検査体において予め予想される異常部分の大きさ、或い
はテレビカメラ10によるサンプリング密度によっては
、検定装置20に入力されたMXN画素全てを使わなく
とも、その中のmXn(95M、n≦N)画素(第2図
(A)参照)や、又例えばNが偶数の画素(第2図(B
)参照)のようにMXN画素の一部を用いても良い。
■ヒストグラムを滑らかにするため各濃度値を隣同士て
平均化する。例えば、濃度値にの度数n’  (K)を n′(K) ” [n (k−2) + 2 n (に
−1)+ 3 n (K) + 2 n (K+1)+
 n (k+2) ] / 9     ・・・(1)
て置き換える。
■上記平均化した濃度ヒストグラムn′(に)に基づき
、その平均値μ、分散σ2を求め、その正規分布N(μ
、σ2)に従う各濃度の理論度数g(に)を算出する。
Σに−n’(K) μ − Σn′(K)          ・・・(2)Σn’
(K)               ・・・(3)■
濃度ヒストグラムn′(K)と理論度数g (K)との
差に相当する適合係数Fを下記(4)式又は(5)式に
より求める。但し、この適合係数Fは、g (K)≠0
の濃度値について求め、又(4)式と(5)式において
βビット量子化ならばL= 2 ff−1である。
g (K) ・・・(4) g (K)             ・−(5)■適
合係数Fを今回検定対象としての表面状態に対応して予
め設定しておいたしきい値データαと比較し、 F≦a   異常なし・ F〉α   異常あり       ・・・(6)と検
定し、結果を出力する。
この時、しきい値データαは、同種表面状態の等級区分
(正常/異常)に応じて1つ存在するものであっても良
いが、等級区分(良/可/不可)に応じて2つ存在する
ものであっても良い。
又、しきい値αは、異常の種類(P)と同数存在するの
で、 α1≦α2≦・・・≦α2     ・・・(7)なら
ば、今回検出した異常に合わせて α=α+(1=1.・・・、P)    ・・・(8)
と設定すれば良い。そして、各種異常を同時に検出しよ
うとする場合には、今回検出したい各種異常に対応する
各種αLのうちの最小のαlを採用すれば足りる。
第4I21は発泡体シートについて上記検出装置1によ
り表面の異常を検出した結果である。第4図(A)は良
品の例でありFくαであり、第4図(B、)は不良品の
例てありF〉αである。尚、第4図において、黒塗り部
分はテレビカメラ10の画像データに対する平均化した
ヒストグラムn”(K)てあり、白丸部分は各濃度の理
論度数g (K)である。
次に、上記実施例の作用について説明する。
■テレビカメラ10等の汎用性のある撮像装置を用いて
表面状態を検出でき、装置構成をコンパクトにてきる。
又、処理内容か単純であって、表面状態を短時間で検定
でき被検査体の搬送ライン上でも検査を完了てきる。
0表面の濃度分布状態により表面状態を検出するもので
あるため、色むら等も含めた表面状態を、人間に近い感
覚で検出できる。
■しきい値αを1つ用いて表面状態を2等級評価(正常
/異常等)するだけでなく、例えばしきい値αを2つ用
いて表面状態を3等級評価(良/可/不可等)すること
もてきる。
■しきい値αを表面状態の種類(表面あれ、色むら等)
の数(P)と同数用意することにより、各種表面状態を
検出できる。
尚、本発明は、表面の異常検出のみでなく、清面状態の
等級分類等のために広く利用できる。
[発明の効果] 以上のように本発明によれば、コンパクトな装置構成に
より、色むら等も含めた表面状態を、入間に近い感覚で
検出できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の検出装置の一例を示すブロック図、第
2図は画像データを示す模式図、第3区・は本発明によ
る異常検出手順を示す流れ図、第4図はヒストグラムと
理論度数の関係を示す模式図である。 10・・・撮像装置、 20・・・検定装置、 30・・・出力装置。

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)被検査体の表面を撮像する撮像装置と、撮像装置
    の撮像結果に基づいて被検査体の表面状態を検定する検
    定装置と、検定装置の検定結果を出力する出力装置とを
    有して構成される表面状態検出装置であっって、検定装
    置は、撮像装置が撮像した画像データに対する濃度ヒス
    トグラムn(K)を求め、該濃度ヒストグラムn(K)
    に対する正規分布に従う各濃度の理論度数g(K)を求
    め、上記ヒストグラムn(K)と上記理論度数g(K)
    との差に相当する適合係数Fを求め、該適合係数Fを今
    回検定対象としての表面状態に対応して予め設定してお
    いたしきい値データと比較することにより、被検査体の
    表面状態を検定するものである表面状態検出装置。
  2. (2)前記しきい値データが、同種表面状態の等級区分
    に応じて存在する請求項1記載の表面状態検出装置。
  3. (3)前記しきい値データが、各種表面状態の種類数と
    同数存在する請求項1又は2記載の表面状態検出装置。
JP25005589A 1989-09-26 1989-09-26 表面状態検出装置 Pending JPH03111746A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04343049A (ja) * 1991-05-20 1992-11-30 Sekisui Chem Co Ltd シート状体のシート面監視装置
JP2004101214A (ja) * 2002-09-05 2004-04-02 Dainippon Screen Mfg Co Ltd パターン検査装置、歩留管理システム、パターン検査方法、基板製造方法およびプログラム

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0293871A (ja) * 1988-09-30 1990-04-04 Toshiba Corp 均一性検査方法

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