JPH03156953A - 回転式ストッカーの固定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、例えばシリコン等の円柱状結晶体を薄く輪切
りにした円板状でＩＣやトランジスタの基板となるウェ
ハキャリヤを収納した回転式ストッカーを洗浄装置等の
処理装置に固定する回転式ストッカーの固定装置に関す
る。

［従来の技術］ 従来のウェハキャリヤの洗浄装置においては、搬入側と
搬出側とに例えば２列３行に６個のウェハキャリヤＣ（
第１１図）を格納する搬入側格納装置と搬出側格納装置
とが設けられ、洗浄装置の把持搬送装置は搬入側格納装
置からウェハキャリヤＣを１個ずつ取り出して内部に投
入し、洗浄の終了したウェハキャリヤＣを内部から取り
出し搬入側格納装置に格納すようにしている。この輸送
装置Ａ１は、キャスタ３１を備えた床面を移動自在なケ
ーシング４２に複数（図示の例では６個）の仕切室４３
を画成し、各仕切室４３にそれぞれ２個のウェハキャリ
ヤＣを格納している。

そして、この輸送装置Ａ１を洗浄装置の近くに移動し、
ウェハキャリヤＣを１個ずつ取り出して搬入側格納装置
に格納し、また搬出側格納装置のウェハキャリヤＣを１
個ずつ持ち上げて輸送装置Ａ１の仕切室４３に格納する
ようにしていた。

したがって、人手を要して搬送効率が悪く、また、キャ
リヤＣを人手で移動する間に、キャリヤＣが汚染される
おそれがある。

そこで本出願人は、別に搬送効率を向上したつエバキャ
リヤの格納と輸送を兼ねた回転式ストッカーを提案した
。

これを第１０図を参照して説明すると、ストッカーＡ１
の複数のキャスタ２を備え床面上を移動自在な台車１の
ベースプレート３の一側には、手押し用の手すり４が立
設され、中央部には円板６が回転自在に設けられている
。

この円板６の軸線上には、６角枠状の支柱８が立設され
、その支柱８の各面には、面直な５対のハンガー９．９
が高さ方向に等間隔で突設されている。

それぞれのハンガー９．９には、ウェハキャリヤＣがフ
ランジ部Ｃ１、ｃｌを介して載置格納されるようになっ
ている。したがって、キャリヤｃ１Ｃ・・・は円板６の
軸線から等距離の位置に保持されている。

［発明が解決しようとする課題］ この回転式ストッカーＡをを洗浄装置の搬入側及び搬出
側にセットし、キャリヤＣの搬入、搬出を行うには、ス
トッカーＡの正確な位置決めと、回転方向の正確な割り
出しとが必要となる。

本発明は、回転式ストッカーの処理装置に対する正確な
位置決めと回転方向の正確な割り出しとを行う回転式ス
トッカーの固定装置を提供することを目的としている。

［課題を解決するための手段］ 本発明によれば、回転式ストッカーの搬入を検出する搬
入検出手段と、該ストッカーを固定する固定手段と、該
ストッカーを回転させる駆動手段と、回転した該ストッ
カーを位置決めする位置決め手段及び位置決めした位置
を検出する位置決め検出手段と、前記諸手段の制御手段
とを設けている。

上記回転式ストッカーは、キャスタを備え床面上を移動
自在な台車のベースプレートに回転自在な円板を設け、
該円板の軸線上に６角枠状の支柱を立設し、該支柱の各
面に面直な複数対のハンガーを突設し、ベースプレート
の前部に搬入検出用の一対の凹部を形成し、円板に割出
しストップ用の６個のストッパを突設し、また、円板の
周縁部に下方に向けたフランジ部を形成し、該フランジ
部とベースプレートとの間に後記する下方に回動した位
置にあるクランプ用ホイール及びその支持アームが収ま
る隙間を形成するのが好ましい。

また、搬入検出手段は、ストッカーの前記した一対の凹
部を検出して閉じる搬入検出リミットスイッチで構成す
るのが好ましい。

また、固定手段は、駆動用ホイールと、該ホイールと共
にストッカーの円板のフランジ部を挟持固定するクラン
プ用ホイールと、該クランプ用ホイールを上下に回動す
るエスケープ用エアシリンダ及び前後進するクランプ用
エアシリンダとで構成するのが好ましい。

また、駆動手段は、駆動用ホイール、該ホイールと同軸
のタイミングプーリ、ブレーキ付モータ、ドライブプー
リ及び両プーリ間に張設したベルトで構成するのが好ま
しい。

また、位置決め手段は、ストッカーの円板の前記ストッ
パを係止するストップ機構と、該機構を前後進させるス
トップ用エアシリンダとで構成するのが好ましい。

また、位置決め位置検出手段は、ストップ機構の先端部
に設けた割出し確認リミットスイッチで構成するのが好
ましい。

また、制御手段は、マイクロコンピュータで構成し、各
スイッチ及び各シリンダの伸長、収縮ソレノイドを接続
するのが好ましい。

［作用］ 上記のように構成された回転式ストッカーの固定装置に
おいて、ストッカーの固定装置へのセツティングに際し
制御装置は、搬入検出スイッチがＯＮになると、エスケ
ープ用シリンダを伸長作動して下方位置にあるクランプ
用ホイールを上方に回動したのち、クランプ用シリンダ
を伸長作動して後退し、駆動用シリンダと協働し円板の
フランジ部を挟持して固定する。次いで、モータを作動
して駆動用ホイールにより円板を回転し、ストップ用シ
リンダを伸長作動してストップ機構を前進し、ストッパ
を介して円板を係止し、割出しを行う。

また、ストッカーを固定装置から解除する際は、ストッ
プ用シリンダを収縮作動し、ストップ機構を後退して円
板のロックを解除し、クランプ用シリンダを収縮作動し
てクランプ用ホイールをフランジ部から離したのち、エ
スケープ用シリンダを収縮作動してクランプ用ホイール
を下方に回動し、円板をフリーにして、ストッカーを移
動する。

［実施例］ 以下図面を参照して本発明の詳細な説明する。

第９図には、本発明に使用される回転式ストッカーＡが
示されている。

図において、ベースプレート６の手すり４に対向する側
すなわちストッカーＡの移動方向前側には、下方にガイ
ドバー１０が突設され、左右には位置決めの基準となる
凹部５．５が形成され、円板６には、支柱８の各面の中
心線に対向する位置に６個のストッパ７が突設され、ま
た、円板６の周縁部には下方に向けてフランジ部６ａ（
第５図）が形成され、その下縁部とベースプレート３と
の間には、後記する下方に回動した位置すにあるクラン
プ用ホイール２３及びアーム２７（第４図）が収まる程
度の隙間Ｓが形成されており、他は第１０図と同様に構
成されている。

第１図ないし第３図において、全体を符号Ｂで示す固定
装置の本体２０は一方の側面の中央部に台形状断面の凹
部２１が形成され、第１図において右側面が図示しない
洗浄装置の搬入側に取付けられ、又は、左側面が搬出側
に取付けられるようになっている。そして、床面Ｆには
、凹部２１の中心線上に凹部２１内に突出してストッカ
ーＡのガイドバー１０をガイドするガイドレール４０が
設けられている。

前記本体２０の凹部２１の両側の部分には、搬入検出手
段Ｄ１、Ｄｌが設けられ、凹部２１の斜面部には、固定
手段Ｄ２、Ｄ２が設けられ、右側の固定手段Ｄ２には駆
動手段Ｄ３が設けられ、凹部２１の略中央部には、位置
決め手段Ｄ４及び位置決め位置検出手段Ｄ５がそれぞれ
設けられ、左側の固定手段Ｄ２の付近には、位置決め補
助手段である６分割停止用スイッチ３９が設けられてお
り、これらの手段はそれぞれ制御手段である図示しない
制御装置に接続されている。

前記搬入検出手段Ｄ１は、ストッカーＡの凹部５を検出
して閉じ、ストッカーＡが略所定位置にあることを確認
する搬入検出リミットスイッチ２２で構成されている。

第４図をも参照して固定手段Ｄ２は、クランプ用ホイー
ル２３と、該クランプ用ホイール２３と共に円板６のフ
ランジ部６ａを挟持する駆動用ホイール２４と、エスケ
ープ用エアシリンダ２５と、クランプ用エアシリンダ２
６と、アーム２７及びフレーム２８とからなっている。

すなわち、本体２０には下向きコ字状のフレーム２８が
枢着され、フレーム２８に固設されたクランプ用エアシ
リンダ２６の下部には、Ｌ字状のアーム２７がスライド
自在に設けられている。このアーム２７の短辺部はエア
シリンダ２６の作動ロッド２６ａに連結され、長辺部の
端部上面には、クランプ用ホイール２３が軸支されてい
る。また、フレーム２８の一方の上端部には、ブラケッ
ト２９を介してニスケープ用エアシリンダ２５の作動ロ
ッド２５ａが枢着され、そのシリンダ２６は、ブラケッ
ト３０を介して本体２０に枢着されている。そして、駆
動用ホイール２４は、ブラケット３１を介してケース２
０に軸支されている。したがって、エスケープ用エアシ
リンダ２５を収縮作動すると、クランプ用ホイール２３
は鎖線の位置ａに向って下方に回動され、該シリンダ２
５を伸長作動すると、ホイール２３は鎖線の位置すに向
って上方に回動され、クランプ用シリンダ２６を伸長作
動すると、クランプ用ホイール２３は実線の位置に後退
し、駆動ホイール２４と協働し円板６のフランジ部６ａ
を挟持して固定するようになっている。また、駆動手段
Ｄ３は、駆動用ホイール２４と、そのホイール２４と同
軸のタイミングプーリ３２と、ブレーキ付モータ３３と
、モータ３３に固設されたドライブプーリ３４と、両プ
ーリ３２．３４間に張設されたベルト３５とからなって
いる。

第５図をも参照し、位置決め手段Ｄ４は、６分割停止用
スイッチ３９が第１図において矢印方向０ に回転する円板６が所定位置にあることを検出して出力
する所定位置信号に基づいて伸長作動するストップ用エ
アシリンダ３６と、そのシリンダ３６の作動ロッドに設
けられ、円板６のストッパ７を係止するストップ機構３
７とからなっている。

また、位置決め位置検出手段Ｄ５は、ストップ機構３７
の先端部に設けられた割出し確認リミットスイッチ３８
で構成されている。そして、このスイッチ３８からの信
号に基づき、モータ３３は回転を停止し、内蔵したブレ
ーキでストッカーＡを停止位置に保持するようになって
いる。

制御装置はマイクロコンピュータで構成され、セット検
出リミットスイッチ２２、クランプ用ホイール２３の図
示しない上昇端、下降端、前進端及び後退端リミットス
イッチ、エスケープ用エアシリンダ２５、クランプ用エ
アシリンダ２６及びストップ用エアシリンダ３６の図示
しない伸長及び収縮用ソレノイド、モータ３３、ストッ
プ機構３７の図示しない後退端リミットスイッチ、割出
し確認リミットスイッチ、６分割停止用スイッチ１ ３９及び図示しないセット完了ランプ、割出し完了ラン
プ、アンクランプランプがそれぞれ接続されている。

以下、第６図ないし第８図を参照して作動を説明する。

ストッカーＡの固定装置Ｂへのセツティングに際し制御
装置は第６図に示すように、搬入検出リミットスイッチ
２２．２２がＯＮになると（ステップＳ、）、エスケー
プ用エアシリンダ２５の伸長ソレノイドをＯＮしてクラ
ンプ用ホイール２３を上昇しくステップＳ２）、クラン
プ用ホイール上昇端リミットスイッチがＯＮになると（
ステップＳ３）、クランプ用エアシリンダ２６の伸長ソ
レノイドをＯＮしてクランプ用ホイール２３を後退する
（ステップＳ４）。そして、クランプ用ホイール後退端
リミットスイッチがＯＮになり駆動用ホイール２４と協
働して円板６をフランジ部６ａを介して固定すると（ス
テップＳ、）、モータ３３を作動して円板６を時計方向
に回動する（ステップＳ６）。そして、６分割停止用ス
イッチ３２ ９がＯＮになると（ステップＳ７）、ストップ用エアシ
リンダ３６の伸長ソレノイドをＯＮし、ストップ機構３
７を前進してストッパ７を介して円板８の回転を停止す
る（ステップＳ８）。そして、割出し確認リミットスイ
ッチ３８がＯＮになると（ステップＳ、）、モータ３３
の作動を停止しくステップＳ、。）、セット完了ランプ
を点灯して（ステップＳ、１）、制御を終る。

回転式ストッカーＡの割出しに際し制御装置は第７図に
示すように、ストップ用エアシリンダ３６の収縮ソレノ
イドをＯＮＬ、てストップ機構３７を後退し、該機構に
よるストッパ７を介しての円板６のロックを解除しくス
テップＳ２．）、ストップ機構後退端リミットスイッチ
がＯＮになると（ステップＳ２□）、モータ３３を作動
して円板６を時計方向に回動する（ステップ５２３）。

そして、６分割停止用スイッチ３９がＯＮになると（ス
テップＳ２１．）、ストップ用エアシリンダ３６の伸長
ソレノイドをＯＮＬ、ストップ機構３７を前進してスト
ッパ７を介して円板８の回転を停止する３ （ステップ５２５）。そして、割出し確認リミットスイ
ッチ３８がＯＮになると（ステップ５２６）、モータ３
３の作動を停止しくステップ５２７）、割出し完了ラン
プを点灯して（ステップ８２Ｆ１）、制御を終る。

ストッカーＡのアンクランプ、すなわち固定装置Ｂへの
セットを解除する際に制御装置は第８図に示すように、
ストップ用エアシリンダ３６の収縮ソレノイドをＯＮし
てストップ機構３７を後退し、該機構によるストッパ７
を介しての円板６のロックを解除しくステップＳ３．）
、ストップ機構後退端リミットスイッチがＯＮになると
（ステップＳ３゜）、クランプ用エアシリンダ２６の収
縮ソレノイドをＯＮしてクランプ用ホイール２３を前進
しくステップ５３３）、クランプ用ホイール前進端リミ
ットスイッチがＯＮになると（ステップ５３４）、エス
ケープ用エアシリンダ２５の収縮ソレノイドをＯＮして
クランプ用ホイール２３を下方に回動する（ステップＳ
３．）。そして、クランプ用ホイール下降端リミットス
イッチがＯＮになる４ と（ステップ５３６）、クランプ用ホイール２３の回動
を停止し、アンクランプを点灯して（ステップＳ３□）
、制御を終る。

［発明の効果］ 本発明は、以上説明したように構成されているので、回
転式ストッカーの固定装置に対する正確な位置決めと回
転方向の正確な割出しとを行い、キャリヤの搬入、搬出
効率を向上することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す内部の上面図、第２図
及び第３図は正面図及び側面図、第４図は第１図のＡ−
Ａ線矢視断面図、第５図は第１図のＢ−Ｂ線矢視断面図
、第６図、第７図及び第８図はセツティング時、割出し
時及びアンクランプ時の制御フローチャート図、第９図
は本発明に使用する回転式ストッカーを示す斜視図、第
１０図は本出願人に係る回転式ストッカーを示す斜視図
、第１１図は従来の装置を示す斜視図である。 Ａ・・・回転式ストッカー　　Ｂ・・・固定装置５

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 回転式ストッカーの搬入を検出する搬入検出手段と、該
   ストッカーを固定する固定手段と、該ストッカーを回転
   させる駆動手段と、回転した該ストッカーを位置決めす
   る位置決め手段及び位置決めした位置を検出する位置決
   め検出手段と、前記諸手段の制御手段とを設けたことを
   特徴とする回転式ストッカーの固定装置。