JPH03172204A - 荷保管設備 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、たとえば半導体のような塵埃を１［ｉ端にき
らう製品の保管に採用される荷保管設備に関するもので
ある。

従来の技術 従来、この種の設備としては、たとえば実開昭６３−６
７５０５号公報に見られる構造が堤供されている。

すなわち従来構成は、箱状の本体内に、前面と後面とが
開放しかつ多数の収納空間を形成した棚を設け、この棚
の後面側にフィルタを配設するとともに、このフィルタ
の後方に流路を形成し、そして棚の下方に設けた送風機
の吐出部を前記流路に連通している。このようにして構
成された荷保管装置は、その本体の外面を相当接させた
状態で複数個が並設され、そして前件管装置群に共用の
搬人出装置を設けている。

この従来形式によると、送風機は本体内の下部から吸引
したエアを流路内に供給し、そして供給されたエアはフ
ィルタを通ってクリーンエアとなり、このクリーンエア
が棚内を前面側に流れることで本体内のクリーン度を高
く保っている。また前面側に流出したクリーンエアは本
体内の下部へと流れ、前述したように送風機に吸引され
て循環使用される。

その際に前件管装置は、たとえば第６図に示すように、
フィルタ１０１を取付けた本体１０２の側板１０３どう
しを相当接させて、下部のクリーンユニットにおける本
体に固定したのち、その接合部１０４の後端にコーキン
グを施工していた。

発明が解決しようとする課題 上記の従来形式によると、側板１０３どうじが当接する
接合部１０４は密な当接状態になりにくく、しかもコー
キングによるシールも充分でないことから、外部の汚れ
たエアＡが側板１０３間を通って収納空間内に入ること
になる。

本発明の目的とするところは、汚れたエアが前件管装置
の接合部から流入することを防止した荷保管設備を堤供
する点にある。

課題を解決するだめの手段 上記目的を達成するために本発明における荷保管設備は
、矩形の枠本体と、この枠本体の前部側に取付けられ、
かつ前面と後面とを開放した荷収納部と、この荷収納部
のｔ＆面側で前記枠本体内に取付けたフィルタと、前記
枠本体の後端に取付けられ、かつフィルタの後方にエア
供給路を形成する外板と、前記エア供給路に吐出部が連
通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部から
吸引自在な送風機とにより前件管装置を構成し、この前
件管装置の複数個を、前記枠本体の側板間を当接して並
設し、前記側板の合わせ面間に上下方向のエア回ａ路を
形成するとともに、このエア回収路を、前記送風機を配
設した区画室に連通している。

作用 かかる本発明の構成によると、送風機の吐出部からの送
気はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることで
クリーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面
側から供給される。したがって荷収納部内は、後面から
前面へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維
持し得る。荷収納部を通ったクリーンエアは再び送風機
に吸引されて循環使用される。その際に送風機の吸引力
はエア回収路にも作用して、このエア回収路を陰圧化（
負圧化）しており、したがって外部から当接した側板間
を通って荷収納部側へ流れる汚れたエアは、まずエア回
収路に入り込み、そして吸引力によりエア回収路を下降
して区画室に速やかに流れ込むことになり、荷収納部へ
流出することはない。

実施例 以下に本発明の一実施例を第１図〜第５図に基づいて説
明する。

１はクリーンルームで、天井側（あるいは側壁側）から
フィルタ２を通してクリーンエア３を下吹きし、下降す
るクリーンエア３をメツシュ形式の床４を通して床下に
吸引するように構成しである。５は密閉式の前件管装置
で、矩形の枠本体６は、左右一対の側板７と、天板８と
、底板９とによって前後が開放した箱状に形成される。

前記側板７は、その前面が外側はど前方に突出する傾斜
面１Ｇに形成され、そして傾斜面１０には斜め前方に開
放した第１蟻渭部１１が上下方向に形成されている。さ
らに前部には、左右方向の内側に開放した第２蟻渭部１
２と、この第２蟻清部１２よりも少し後方において、内
面からは前方に向く突条１４が上下方向に形成されてい
る。さらに側板７の後端には、段部１６と、後方に開放
した第３！１１に溝部１７とが、それぞれ上下方向に形
成されている。そして枠本体６の前部で相対向した側板
７の内面間には、中間部材２１が上下方向に複数本設け
られ、これら中間部材２１の前面で上下の縁部からは前
方に向く突条２２が、また突条２２間において前方に開
放した第４蟻溝部２３が左右方向に形成されている。前
記枠本体６内の前部にはフィルタ２５が組み込まれる。

すなわち矩形状のフィルタ２５の外周には［１＋材２６
が装着され、枠本体６に対して前方からフィルタ２５を
嵌め込む際に緩衝材２６を突条１４．２２に当接させる
。そして窓枠状部材２７と中間当て部材２８とからなる
当て枠体２９を前方から嵌め込んでフィルタ２５に当接
させたのち、第２蟻溝部１２や第４蟻？！４部２３内に
配設した板ナツト体３０．３１に、当て枠体２９に外側
から通したビス３２やボルト３３をら合し、締め付ける
ことで、フィルタ２５は周囲をシールした状態で枠本体
６に組み込まれる。前記窓枠状部材２７の前面は外側は
ど前方に突出する傾斜面３４に形成され、この傾斜面３
４の延長線上に前記傾斜面１０が位置すべく配設される
。なお中間当て部材２８の前面は山形傾斜面３５に形成
される。

前記側板７の前部でかつ外面には凹溝状のエア回収路３
６が形成され、そしてエア回収Ｆ＃１３６の下端を閉塞
状の底板９には上下方向の連通孔３７が形成されている
。

前記枠本体６の後端部には本体外板４５が配設され、以
って前記フィルタ２５との間にエア供給路４１を形成す
る。前記本体外板４５は複数枚を並べた状態で骨組体４
７にビスなどで固定され、そして側縁の折り返し部に後
面側から通したビス４８を、第３蟻湧部１７内に配設し
た板ナツト板４９にら合し締め付けることで枠本体６に
固定される。

前記フィルタ２５の前方には荷収納部（ＩＩ）５４が設
けられる。すなわち両側板７の前面から前方へ支持ブラ
ケット５５が配設され、この支持ブラケット５５は基端
が傾斜面１０に当接されるとともに、この基端に前面側
から通したビス５６を、第１ｆｉ渭部１１内に配設した
板ナツト板５７にら合し、締め付けることで側板７に固
定される。前記支持ブラケット５５は側板７に対して上
下方向で複数固定され、そして左右で対向する支持ブラ
ケット５５間に棚板５８をセットすることで、前後方向
で開放した収納空間５９を上下方向に複数形成する。

前記枠本体６の下方には、内部を区画室６０とした箱枠
体６１が配設され、この箱枠体６１の天板と前記枠本体
６の床板９とがボルト・ナツトなどを介して一体化され
る。前記区画室６０内には、その吐出部６２が前記エア
供給路４１に連通し、かつ吸引部６３が区画室６０に開
放した送風機６４が設けられ、そして前記荷収納部５１
を通って前方に流出したクリーンエアロ５を区画室６０
を介して吸引すべく、この区画室６０を形成する前面壁
に多孔板６６を使用している。

上記のように構成された前件管装置５は複数個（実施例
では２個）が並設され、そして枠本体６の側板７どうじ
が相当接される。この相当接した接合部７０のシールを
行うべく、前端間ならびに後端間にはコーキング７１．
７２が施工され、また前端のコーキング７１とエア回収
路３６との間にはパツキン材７３が介在される。さらに
並設した前件管装置５群の左右両端を覆う側部カバー７
５が配設されるとともに上述と同様にして結合され、ま
た上方を覆う大部カバー７６が配設されるとともに固定
され、以って前件管段ｍ７９を構成する。

前記荷保管設備７９は、その前面を相対向させて並置さ
れ、そして矩形箱状の囲壁枠体８０を介在し相互に連結
することで王者は一体化される。前記囲壁枠体８０内に
形成される通路８１には搬人出装置８２が設けられる。

この搬人出装置８２は、床レール８３と、この床レール
８３に車輪８４を介して支持案内され、かつ荷収納部５
１の前面に沿った一定経路８５上を走行自在な台ＪｉＬ
８６と、この台車８６上から立設した支持枠８１と、こ
の支持枠８７内に配設したガイド体に案内される昇降台
８８と、この昇降台８８上に横方向移動自在に設けた受
は渡し装置８９と、支持枠８７の上部を案内する天井レ
ール９０などから構成される９片側の荷保管設備７９に
おいて、荷収納部５１の下部一箇所には、本体外板４５
や隔壁４０を切欠くとともにカバー板９３で覆うことに
よって前後方向の貫通路９４が形成され、この貫通路９
４内には荷９５の入庫や出庫を行う荷捌き装置９６が設
けられる。

前記荷９５は製品を収納自在なケース形状であって、上
部の両側面には、前記受は渡し装置８９が下方から係説
自在な被係止突条などが設けられる。

次に上記実施例の作用を説明する。

前件管装置５においては常に高いクリーン度が保たれて
いる。すなわち送風ｆｉ６４の稼動によって吐出部６２
から吐出される送気はエア供給路４１内を上昇し、そし
てフィルタ２５を通ってクリーン度の高いクリーンエア
ロ５となり、荷収納部５４に対して後面側から供給され
る。したがって荷収納部５４内は、後面から前面へと流
れるクリーンエアロ５によって高クリーン度が維持され
ている。荷収納部５４を通ったクリーンエアロ５は通路
８１内に流入し、その一部は貫通路９４を通ってクリー
ンルーム１内に流出するが、はとんどは多孔板６６を通
って区画室６０に流入して送風機６４に吸引され、循環
使用される。

前記送風機６４の吸引力は連通孔３７を通してエア回収
Ｎ３６に作用し、このエア回収路３６を陰圧（負圧）化
している。したがってクリーンルーム１側から接合部７
０を通って荷収納部５４側へ流れるクリーンエア３は、
まずエア回収路３６に入り込み、そして吸引力によりエ
ア回収路３６を下降し、連通孔３７を通って区画室６０
へと速やかに流れ込み、送風機６４に吸引されたのちエ
ア供給路４１に供給される。

たとえば自走車により搬送されてきた入庫しようとする
荷９５は、貫通路９４を通して荷開き装置９６に受は取
られ、そして搬人出装置８２における台車８６の走行動
と、昇降台８８の昇降動と、受は渡し装置８９の受は渡
し動との組合せ動作によって、荷捌き装置９６から目的
とする収納空間５９に納められる。

また逆作動によって、目的とする収納空間５９の荷９５
を出庫し得る。

発明の効果 上記構成の本発明によると、送風機の吐出部がらの送気
はエア供給路内を流れ、そしてフィルタを通ることでク
リーン度の高いクリーンエアとなって荷収納部に後面側
から供給でき、したがって荷収納部内は、後面から前面
へと流れるクリーンエアによって高クリーン度を維持す
ることができる。そして荷収納部を通ったクリーンエア
は再び送風機で吸引してＷｉ環使用することができる。

その際に送風機の吸引力がエア回収路に作用して、この
エア回収路を陽圧化（負圧化）することになり、したが
って当接した側板間を通って外部から荷収納部側へ流れ
ようとする汚れたエアは、エア回収路に入れたのち吸引
力で下降させることができ、そして区画室に速やかに流
れ込ませることができる。これにより汚れたエアが荷収
納部へ流出することを防止できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第５図は本発明の一実施例を示し、第１図は縦
断正面図、第２図は接合部の横断平面図、第３図は第１
図における要部拡大図、第４図は第２図における要部拡
大図、第５図は全体の概略横断面図、第６図は従来例を
示す要部の横断面図である。 １・・・クリーンルーム、５・・・前件管装置、６・・
・枠本体、７・・・側板、９・・・床板、１６・・・段
部、２５・・・フィルタ、３６・・・エア回収路、３７
・・・連通孔、４１・・・エア供給路、４５・・・本体
外板、５４・・・荷収納部、５５・・・支持ブラケット
、５８・・・棚板、５９・・・収納空間、６０・・・区
画室、６１・・・箱枠体、６２・・・吐出部、６３・・
・吸引部、６４・・・送風機、６５・・・クリーンエア
、６６・・・多孔板、７０・・・接合部、７９・・・荷
保管設備、８０・・・囲壁枠体、８２・・・搬入出装置
、８９・・・受は渡し装置、９４・・・貫通路、９５・
・・荷、９６・・・荷捌き装置。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、矩形の枠本体と、この枠本体の前部側に取付けられ
   、かつ前面と後面とを開放した荷収納部と、この荷収納
   部の後面側で前記枠本体内に取付けたフィルタと、前記
   枠本体の後端に取付けられ、かつフィルタの後方にエア
   供給路を形成する外板と、前記エア供給路に吐出部が連
   通し、かつ荷収納部を通ったクリーンエアを吸引部から
   吸引自在な送風機とにより荷保管装置を構成し、この荷
   保管装置の複数個を、前記枠本体の側板間を当接して並
   設し、前記側板の合わせ面間に上下方向のエア回収路を
   形成するとともに、このエア回収路を、前記送風機を配
   設した区画室に連通したことを特徴とする荷保管設備。