JPH0355145A - 調心装置 - Google Patents
調心装置Info
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- JPH0355145A JPH0355145A JP18909689A JP18909689A JPH0355145A JP H0355145 A JPH0355145 A JP H0355145A JP 18909689 A JP18909689 A JP 18909689A JP 18909689 A JP18909689 A JP 18909689A JP H0355145 A JPH0355145 A JP H0355145A
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- Japan
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- axis
- stage
- axis stage
- main shaft
- detection sensor
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- Pending
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- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 23
- 230000005484 gravity Effects 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
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- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、調心装置に関し、特に施盤の主軸等の回転軸
に取付けられた対象ワークをその回転軸の回転に従い対
象ワーク上の所定の中心軸を中心に回転させる調心装置
に関する。
に取付けられた対象ワークをその回転軸の回転に従い対
象ワーク上の所定の中心軸を中心に回転させる調心装置
に関する。
第２図は従来の調心装置の一例を示す構成図である。
第２図に示す調心装置は、ベースに固定された軸受に水
平に軸支された中空の回転主軸５と、回転主軸５に取付
けられ可動方向が回転主軸５の中心軸に垂直なＸ軸ステ
ージ１と、Ｘ軸ステージ１の可動部分に取付けられ可動
方向が回転主軸５の中心軸およびＸ軸ステージ１の可動
方向に垂直なＹ＠ステージ２と、Ｘ軸ステージ１にとり
つけられて訃りＸ軸ステージ１の可動方向の変位を検出
するＸ軸変位検出センサ３と、Ｙ軸ステージ２にとりつ
けられてか＃）Ｙ軸ステージ２の可動方向の変位を検出
するＹ軸変位検出センサ４と、Ｙ軸ステージ２の可動部
分に固定され把持されるワークがほぼ回転主軸５の中心
軸上に〈るチャック８と、回転主軸５のＸ，Ｙステージ
１． ２と反対側の端面に接続してかり回転部分とベ
ース側の固定部分の電気的接続を行なうスリプグリング
６と、スリップリング６を介してＸ軸ステージ１とＹ軸
ステージ２に接続しているステージコントローラ１１と
、スリップリング６を介してＸ＠笈位検出センサ３とＹ
軸変位検出センサ４に接続しているセンサアンプ９と、
センサアンプ９からのＸＹ２軸の出力（Ｘ軸変位検出セ
ンサ３、Ｙ＄ｌＩ］変位検出センサ４の出力に対応）を
各々の目標値に一致させるようにステージコントローラ
ｌｌＶｃ指令を与える制御装置］Ｏとを含んでいる。
平に軸支された中空の回転主軸５と、回転主軸５に取付
けられ可動方向が回転主軸５の中心軸に垂直なＸ軸ステ
ージ１と、Ｘ軸ステージ１の可動部分に取付けられ可動
方向が回転主軸５の中心軸およびＸ軸ステージ１の可動
方向に垂直なＹ＠ステージ２と、Ｘ軸ステージ１にとり
つけられて訃りＸ軸ステージ１の可動方向の変位を検出
するＸ軸変位検出センサ３と、Ｙ軸ステージ２にとりつ
けられてか＃）Ｙ軸ステージ２の可動方向の変位を検出
するＹ軸変位検出センサ４と、Ｙ軸ステージ２の可動部
分に固定され把持されるワークがほぼ回転主軸５の中心
軸上に〈るチャック８と、回転主軸５のＸ，Ｙステージ
１． ２と反対側の端面に接続してかり回転部分とベ
ース側の固定部分の電気的接続を行なうスリプグリング
６と、スリップリング６を介してＸ軸ステージ１とＹ軸
ステージ２に接続しているステージコントローラ１１と
、スリップリング６を介してＸ＠笈位検出センサ３とＹ
軸変位検出センサ４に接続しているセンサアンプ９と、
センサアンプ９からのＸＹ２軸の出力（Ｘ軸変位検出セ
ンサ３、Ｙ＄ｌＩ］変位検出センサ４の出力に対応）を
各々の目標値に一致させるようにステージコントローラ
ｌｌＶｃ指令を与える制御装置］Ｏとを含んでいる。
チャック８にワークを・チャックし、圓転主軸５を回転
する。Ｘ軸変位検出センサ３とＹＩｌｌＩ変位検出セン
サ４の出力が回転主軸５の中空部分を通ってスリップリ
ング６に接続され、スリッグリンク６を介してセンサア
ンプ９から出力され、制｛ＩＫＩ装置１０Ｖ（入る。制
御装置１ｏはセンサアンプ９がらのＸＹ２軸の入力を各
々の目標直に一致させるようにステージコントローラ１
１に指令を与え、ステージコントローラｌ１はスリップ
リング６を介してＸ軸ステージ１とＹ軸ステージ２を制
御装置１０の指令通ジｒ（駆動する（Ｘ，Ｙ棚ステージ
１，２の駆動源は例えば圧電素子を用いる）。
する。Ｘ軸変位検出センサ３とＹＩｌｌＩ変位検出セン
サ４の出力が回転主軸５の中空部分を通ってスリップリ
ング６に接続され、スリッグリンク６を介してセンサア
ンプ９から出力され、制｛ＩＫＩ装置１０Ｖ（入る。制
御装置１ｏはセンサアンプ９がらのＸＹ２軸の入力を各
々の目標直に一致させるようにステージコントローラ１
１に指令を与え、ステージコントローラｌ１はスリップ
リング６を介してＸ軸ステージ１とＹ軸ステージ２を制
御装置１０の指令通ジｒ（駆動する（Ｘ，Ｙ棚ステージ
１，２の駆動源は例えば圧電素子を用いる）。
回転主４Ｉ！］５の回転により各ステージ１，２にかか
る重力による荷重方向が各ステージ１，２の可動方向に
対し相対的に変わるため各ステージ１．２の可動方向の
荷重によるたわみ量が汝化する。このたわみ量の変化を
センサ３，４で検出し、Ｘ，Ｙ軸ステージ１． ２を
駆動して桶正することによシワーク上の調心ざれる所定
の輸が一定の位置（目転主軸５の回転による回転中心）
に（４）定されるようにする。調心は制御装置１０に与
える目標匝を袈化させることによｆｉ、Ｘ，Ｙ軸ステー
ジ１，２を笈位させて行なう。
る重力による荷重方向が各ステージ１，２の可動方向に
対し相対的に変わるため各ステージ１．２の可動方向の
荷重によるたわみ量が汝化する。このたわみ量の変化を
センサ３，４で検出し、Ｘ，Ｙ軸ステージ１． ２を
駆動して桶正することによシワーク上の調心ざれる所定
の輸が一定の位置（目転主軸５の回転による回転中心）
に（４）定されるようにする。調心は制御装置１０に与
える目標匝を袈化させることによｆｉ、Ｘ，Ｙ軸ステー
ジ１，２を笈位させて行なう。
第３図はステージにかかる荷重とステージの変位の説明
図である。ステージ剛性のＸ軸ステージ１の可動方向、
Ｙ＠ステージ２の可動方向それぞれのものをＢ Ｘ ｒ
Ｂ Ｙ ｓステージにかかる荷重をＷｘ，ＷＹ とす
ると（ＷＸぱテヤック８、Ｙ軸ステージ２， Ｘ＠ｉｆ
ステージ１，Ｙ軸変位検出センサ４それそれの重量の和
、Ｗｙはチャック８， Ｙ軸ステーシ１それぞれのＭ
量の和）、）［１ステージのふれｂりｋｌｔ’ｌＢｚＷ
ｘ ｃｏｓθ，Ｙ軸ステージのふれ回υ童はＢｙＷｙｃ
ｏｓ（Ｂ−９０’） となる。
図である。ステージ剛性のＸ軸ステージ１の可動方向、
Ｙ＠ステージ２の可動方向それぞれのものをＢ Ｘ ｒ
Ｂ Ｙ ｓステージにかかる荷重をＷｘ，ＷＹ とす
ると（ＷＸぱテヤック８、Ｙ軸ステージ２， Ｘ＠ｉｆ
ステージ１，Ｙ軸変位検出センサ４それそれの重量の和
、Ｗｙはチャック８， Ｙ軸ステーシ１それぞれのＭ
量の和）、）［１ステージのふれｂりｋｌｔ’ｌＢｚＷ
ｘ ｃｏｓθ，Ｙ軸ステージのふれ回υ童はＢｙＷｙｃ
ｏｓ（Ｂ−９０’） となる。
このふれ回！）量をＯとするように袖正する。
−５
上述した従来の調心装置は、調心中、変位検出センサか
らの信号を一定に保つようにステージを制御し続けてい
るめで、サーボ特有の＆動が訃こるという欠点があった
。
らの信号を一定に保つようにステージを制御し続けてい
るめで、サーボ特有の＆動が訃こるという欠点があった
。
（課題を解決するための手段コ
本発明の調心装置は、中心軸が水平な回転主軸と、前記
回転主軸に取付けられ可動方向が前記一転主軸の中心軸
に垂直なＸ ＋ｌｌｌ＋ステージと、前記Ｘ軸ステージ
の川動部分に取付けられ可動方向が前記口転主軸の中心
軸および前記Ｘ軸ステージの可動力向Ｋ垂直で可動方向
に対する剛性と負荷されるｌｒ重の積が前記Ｘ軸ステー
ジと等しいＹＩＩＩＩステージと、前記Ｘ軸ステージの
可動方向の変位を検出するＸ軸変位倹出センサと、前記
Ｙ軸ステージのｏＴ動方向の変位を検出するＹ棚変位槓
出センサと、前記Ｙ軸ステージの可動部分に固定さｉ″
Ｌ把持するソークがほほ前記目転主軸の中心軸上にくる
チャックと、前記Ｘ軸変位検出センサふ・よび前記Ｙｓ
Ｉ変位検出センサそれぞれの出力が目標ｆ直に一致する
ように前記Ｘ軸ステージをよひ前記Ｙ軸スー６ 〜 転角を検出するエンコーダと、前記エンコーダからの信
号を受け前記Ｘ軸ステージが重力に対し中立となる前記
ｂ転主ＪＰｆ！Ｊの回転角の時の前記制御部が前記Ｘ軸
ステージを駆動する指令値を固定させ前Ｈｔ Ｙ軸ステ
ージが重力に対し中立となる前記回転主軸の一転角０時
Ｑノ前記制御部が前記Ｙ軸ステージをＪＡｓ 動する指
令１直を固定させるサーボオフ制御袈甑とを含んで構威
される。
回転主軸に取付けられ可動方向が前記一転主軸の中心軸
に垂直なＸ ＋ｌｌｌ＋ステージと、前記Ｘ軸ステージ
の川動部分に取付けられ可動方向が前記口転主軸の中心
軸および前記Ｘ軸ステージの可動力向Ｋ垂直で可動方向
に対する剛性と負荷されるｌｒ重の積が前記Ｘ軸ステー
ジと等しいＹＩＩＩＩステージと、前記Ｘ軸ステージの
可動方向の変位を検出するＸ軸変位倹出センサと、前記
Ｙ軸ステージのｏＴ動方向の変位を検出するＹ棚変位槓
出センサと、前記Ｙ軸ステージの可動部分に固定さｉ″
Ｌ把持するソークがほほ前記目転主軸の中心軸上にくる
チャックと、前記Ｘ軸変位検出センサふ・よび前記Ｙｓ
Ｉ変位検出センサそれぞれの出力が目標ｆ直に一致する
ように前記Ｘ軸ステージをよひ前記Ｙ軸スー６ 〜 転角を検出するエンコーダと、前記エンコーダからの信
号を受け前記Ｘ軸ステージが重力に対し中立となる前記
ｂ転主ＪＰｆ！Ｊの回転角の時の前記制御部が前記Ｘ軸
ステージを駆動する指令値を固定させ前Ｈｔ Ｙ軸ステ
ージが重力に対し中立となる前記回転主軸の一転角０時
Ｑノ前記制御部が前記Ｙ軸ステージをＪＡｓ 動する指
令１直を固定させるサーボオフ制御袈甑とを含んで構威
される。
〔実施例］
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す構戊図・である。
第１図に示す調心装置は、ベースに固定された軸受に水
平に軸支された回転主軸５と、回転主軸５に堆付けられ
可動方向が回転主軸５の中心軸に垂直なＸ軸ステージ１
と、Ｘ軸ステージｌの可動部分に取付けられ可動方向が
回転主軸５の中心軸釦よひＸｌｌｌステージ１の０］動
方向に垂直でステージの可動方向に対する剛性と負荷さ
れる荷重の槓ＢＹＷＹがＸ軸ステージ１の積Ｂｘｗｘ
と等しいＹ４４４１ステージ２と、Ｘ軸ステージ１にと
りつけられてかりＸ軸ステージ１の可動方向の変位を検
出するＸ軸変位検出センサ３と、Ｙ軸ステージ２にとう
つけられておｂＹ軸ステージ２の可動方向変位を検出す
るＹ軸変位検出センサ４と、Ｙ軸ステージ２の可動部分
に固定され把持されるワークがほぼ四転主軸５の中心軸
上にくるチャック８と、回転主軸５に接続してかυ目転
部分とペース側の固定部分の電気的接続を行なうスリッ
プリング６と、スリップリング６を介してＸ４４Ｉｌス
テージ１とＹ軸ステージ２に接続しているステージコン
トロ一２１１と、スリップリング６を介してＸ軸変位検
出センサ３とＹ軸変位検出センサ４に接続しているセン
サアンプ９と、セ／サアンプ９からのＸＹ２軸の出力を
各々の目標値に一致させるようにステージコントローラ
１１に指令を与える制御装置１０と、回転主軸５に接続
しており回転主軸５の回転角を検出するエンコーダ７と
、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２への指令値をそれぞ
れ別個にエンコーダ７からの信号より一定値に保つよう
制御装置１０に指令を与えるサーボオフ制御装置１２と
を含んで構或される。
平に軸支された回転主軸５と、回転主軸５に堆付けられ
可動方向が回転主軸５の中心軸に垂直なＸ軸ステージ１
と、Ｘ軸ステージｌの可動部分に取付けられ可動方向が
回転主軸５の中心軸釦よひＸｌｌｌステージ１の０］動
方向に垂直でステージの可動方向に対する剛性と負荷さ
れる荷重の槓ＢＹＷＹがＸ軸ステージ１の積Ｂｘｗｘ
と等しいＹ４４４１ステージ２と、Ｘ軸ステージ１にと
りつけられてかりＸ軸ステージ１の可動方向の変位を検
出するＸ軸変位検出センサ３と、Ｙ軸ステージ２にとう
つけられておｂＹ軸ステージ２の可動方向変位を検出す
るＹ軸変位検出センサ４と、Ｙ軸ステージ２の可動部分
に固定され把持されるワークがほぼ四転主軸５の中心軸
上にくるチャック８と、回転主軸５に接続してかυ目転
部分とペース側の固定部分の電気的接続を行なうスリッ
プリング６と、スリップリング６を介してＸ４４Ｉｌス
テージ１とＹ軸ステージ２に接続しているステージコン
トロ一２１１と、スリップリング６を介してＸ軸変位検
出センサ３とＹ軸変位検出センサ４に接続しているセン
サアンプ９と、セ／サアンプ９からのＸＹ２軸の出力を
各々の目標値に一致させるようにステージコントローラ
１１に指令を与える制御装置１０と、回転主軸５に接続
しており回転主軸５の回転角を検出するエンコーダ７と
、Ｘ軸ステージ１とＹ軸ステージ２への指令値をそれぞ
れ別個にエンコーダ７からの信号より一定値に保つよう
制御装置１０に指令を与えるサーボオフ制御装置１２と
を含んで構或される。
チャック８にワークをチャックし回転主軸５を回転する
。ＸＩｐｌＩＩ変位検出センサ３とＹ軸変位検出センサ
４の出力が回転主軸５の中空部分を通ってスリップリン
グ６に接続され、スリップリング６を介してセンサアン
プ９から出力され制御装置１ｏに入る。制御装置１０は
センサアンプ９からのＸＹ２軸の入力を各々の目標値に
一致させるようにステージコントローラー１に指令を与
え、ステージコントローラー１はスリップリング６を介
してＸ軸ステージ１とＹ軸ステージ２を制御装置１０の
指令通ルに駆動する。これによりＸ軸ステージ１とＹ軸
ステージ２を固定し、制御装置１ｏに与える目標値を変
化させることによりＸ軸ステージ１とＹ軸ステージ２を
変化させチャック８に把持したワークを調心する。
。ＸＩｐｌＩＩ変位検出センサ３とＹ軸変位検出センサ
４の出力が回転主軸５の中空部分を通ってスリップリン
グ６に接続され、スリップリング６を介してセンサアン
プ９から出力され制御装置１ｏに入る。制御装置１０は
センサアンプ９からのＸＹ２軸の入力を各々の目標値に
一致させるようにステージコントローラー１に指令を与
え、ステージコントローラー１はスリップリング６を介
してＸ軸ステージ１とＹ軸ステージ２を制御装置１０の
指令通ルに駆動する。これによりＸ軸ステージ１とＹ軸
ステージ２を固定し、制御装置１ｏに与える目標値を変
化させることによりＸ軸ステージ１とＹ軸ステージ２を
変化させチャック８に把持したワークを調心する。
その後Ｘ軸ステージ１が重力に対し中立の位置になるＩ
ＯＪ転主軸５の角度をエンコーダ７により検９ 出し、このときサーボオフ制御装置１２はＸ軸ステージ
のサーボを切りステージコントローラ１１のＸ軸ステー
ジ１への指令１直を以後一定値に保つようにステージコ
ントローラ１１を制御する。次にＹ軸ステージ２が重力
に対し中立の位置になる回転主軸５の角度をエンコーダ
７によｂ検出し、このときサーボオフ制御装置１２はＹ
軸ステージのサーボを切りステージコントローラ１１の
Ｙ軸ステージ２への指令値を以後一定直に保つようにス
テージコントローラ１ｌを制御する。Ｘ軸ステージ１と
Ｙ軸ステージ２の可動方向は９０°ずれてかり、Ｙ軸ス
テージ２が中立位置のとき先にサーボを切ったＸ軸ステ
ージｌはＢＸＷＸだけ変位する。この結果、ＸＹ軸ステ
ージ１．２トモ”）−−ボが切れ重力の影響によるふれ
まわυを釦こす。
ＯＪ転主軸５の角度をエンコーダ７により検９ 出し、このときサーボオフ制御装置１２はＸ軸ステージ
のサーボを切りステージコントローラ１１のＸ軸ステー
ジ１への指令１直を以後一定値に保つようにステージコ
ントローラ１１を制御する。次にＹ軸ステージ２が重力
に対し中立の位置になる回転主軸５の角度をエンコーダ
７によｂ検出し、このときサーボオフ制御装置１２はＹ
軸ステージのサーボを切りステージコントローラ１１の
Ｙ軸ステージ２への指令値を以後一定直に保つようにス
テージコントローラ１ｌを制御する。Ｘ軸ステージ１と
Ｙ軸ステージ２の可動方向は９０°ずれてかり、Ｙ軸ス
テージ２が中立位置のとき先にサーボを切ったＸ軸ステ
ージｌはＢＸＷＸだけ変位する。この結果、ＸＹ軸ステ
ージ１．２トモ”）−−ボが切れ重力の影響によるふれ
まわυを釦こす。
ステージの可動方向に対するＭ性と負荷される荷重の積
がＸ軸ステージＩＹ軸ステージ２について咎し〈なるよ
うに各ステージの剛性を決めてあるから、 ＢＸＷＸ−ＢＹＷＹ １０ このＸ軸Ｙ軸のふれ回ｂを合成すると第３図から、 Ｘ−−Ｂ ＸＷＸ ＣＯＳθｓｉｎθ−’Ｂ ｙＷ ｙ
ｃｏｓ （θ−９０°）ｓｉｎ（（／−９０°）ＢＸ
ＷＸＣＯＳθｓｉｎθ＋ＢｙＷｙｓｉｎθｃｏｓθ＝Ｏ Ｙ＝−ＢＸＷＸＣＯＳθｃｏｓＯ−ＢｙＷｙｃｏｓ（θ
−９０’）ｃｏｓ（（／−９０’）＝−Ｂ ＸＷＸ ｃ
ｏｓ＃ ｃｏｓＵ−Ｂ ｙＷｙ ｓ ｉｎ（／ ｓ ｉ
ｎＯ＝−ＢＸＷＸ （Ｘ，Ｙはワークの水平方向のたわみ量鮫よび垂直方向
のたわみ童、θはＸ軸ステージ１の可動方向と水平方向
の間の角度である） となう、ふれ回りがキャンセルされ、ワークは目標値に
より調心した位置よりステージにかかる重量分（ＢｘＷ
ｘ）だけ下がった位置で調心されることになる。回転主
軸５の中心軸とワークの回転の中心軸はずれるが、向転
に対してワークは調心されている。
がＸ軸ステージＩＹ軸ステージ２について咎し〈なるよ
うに各ステージの剛性を決めてあるから、 ＢＸＷＸ−ＢＹＷＹ １０ このＸ軸Ｙ軸のふれ回ｂを合成すると第３図から、 Ｘ−−Ｂ ＸＷＸ ＣＯＳθｓｉｎθ−’Ｂ ｙＷ ｙ
ｃｏｓ （θ−９０°）ｓｉｎ（（／−９０°）ＢＸ
ＷＸＣＯＳθｓｉｎθ＋ＢｙＷｙｓｉｎθｃｏｓθ＝Ｏ Ｙ＝−ＢＸＷＸＣＯＳθｃｏｓＯ−ＢｙＷｙｃｏｓ（θ
−９０’）ｃｏｓ（（／−９０’）＝−Ｂ ＸＷＸ ｃ
ｏｓ＃ ｃｏｓＵ−Ｂ ｙＷｙ ｓ ｉｎ（／ ｓ ｉ
ｎＯ＝−ＢＸＷＸ （Ｘ，Ｙはワークの水平方向のたわみ量鮫よび垂直方向
のたわみ童、θはＸ軸ステージ１の可動方向と水平方向
の間の角度である） となう、ふれ回りがキャンセルされ、ワークは目標値に
より調心した位置よりステージにかかる重量分（ＢｘＷ
ｘ）だけ下がった位置で調心されることになる。回転主
軸５の中心軸とワークの回転の中心軸はずれるが、向転
に対してワークは調心されている。
本発明の一心装置は、ステージの可動方向に対する剛性
とステージにかかる重量の積が等しいＸ軸ステージとＹ
軸ステージを用い、調心後、Ｘ，Ｙ軸ステージについて
タイミングをとってザーボを切ることにより、サーボ特
有の振動をさけて調心できるという効果がある。
とステージにかかる重量の積が等しいＸ軸ステージとＹ
軸ステージを用い、調心後、Ｘ，Ｙ軸ステージについて
タイミングをとってザーボを切ることにより、サーボ特
有の振動をさけて調心できるという効果がある。
第１国は本兄１９」の一実施例を示す構成図、第２図は
従来の調心装置を示す槙或図、鉛３圓はザボを切った場
合の第１図に示１゛ステージ１．２の動作を説明する図
である。 １・・・・・・Ｘ軸ステージ、２・・・・・・Ｙ軸ステ
ージ、３・・・・・・Ｘ軸変位検出センサ、４・・・・
・・Ｙｌｌ４１１ｆ位検出センサ、５・・・・・・−１
転主軸、６・・・・・・スリップリング、７・・・・・
・エンコータ、８・・・・・・チャック、９・・・・・
・センサアンプ、１０・・・・・・制御装置、１１・・
・・・・ステージコントローラ、１２・・・・・・サー
ボオフ制御装置。
従来の調心装置を示す槙或図、鉛３圓はザボを切った場
合の第１図に示１゛ステージ１．２の動作を説明する図
である。 １・・・・・・Ｘ軸ステージ、２・・・・・・Ｙ軸ステ
ージ、３・・・・・・Ｘ軸変位検出センサ、４・・・・
・・Ｙｌｌ４１１ｆ位検出センサ、５・・・・・・−１
転主軸、６・・・・・・スリップリング、７・・・・・
・エンコータ、８・・・・・・チャック、９・・・・・
・センサアンプ、１０・・・・・・制御装置、１１・・
・・・・ステージコントローラ、１２・・・・・・サー
ボオフ制御装置。
Claims (1)
- 中心軸が水平な回転主軸と、前記回転主軸に取付けられ
可動方向が前記回転主軸の中心軸に垂直なＸ軸ステージ
と、前記Ｘ軸ステージの可動部分に取付けられ可動方向
が前記回転主軸の中心軸および前記Ｘ軸ステージの可動
方向に垂直で可動方向に対する剛性と負荷される荷重の
積が前記Ｘ軸ステージと等しいＹ軸ステージと、前記Ｘ
軸ステージの可動方向の変位を検出するＸ軸変位検出セ
ンサと、前記Ｙ軸ステージの可動方向の変位を検出する
Ｙ軸変位検出センサと、前記Ｙ軸ステージの可動部分に
固定され把持するワークがほぼ前記回転主軸の中心軸上
にくるチャックと、前記Ｘ軸変位検出センサおよび前記
Ｙ軸変位検出センサそれぞれの出力が目標値に一致する
ように前記Ｘ軸ステージおよび前記Ｙ軸ステージを駆動
させる制御部と、前記回転主軸の回転角を検出するエン
コーダと、前記エンコーダからの信号を受け前記Ｘ軸ス
テージが重力に対し中立となる前記回転主軸の回転角の
時の前記制御部が前記Ｘ軸ステージを駆動する指令値を
固定させ前記Ｙ軸ステージが重力に対し中立となる前記
回転主軸の回転角の時の前記制御部が前記Ｙ軸ステージ
を駆動する指令値を固定させるサーボオフ制御装置とを
含むことを特徴とする調心装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18909689A JPH0355145A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 調心装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18909689A JPH0355145A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 調心装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0355145A true JPH0355145A (ja) | 1991-03-08 |
Family
ID=16235279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18909689A Pending JPH0355145A (ja) | 1989-07-20 | 1989-07-20 | 調心装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0355145A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200482377Y1 (ko) * | 2016-06-16 | 2017-01-17 | 한인복 | 자전거용 우산 및 양산 거치 장치 |
-
1989
- 1989-07-20 JP JP18909689A patent/JPH0355145A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR200482377Y1 (ko) * | 2016-06-16 | 2017-01-17 | 한인복 | 자전거용 우산 및 양산 거치 장치 |
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