JPH0369235U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0369235U JPH0369235U JP13120789U JP13120789U JPH0369235U JP H0369235 U JPH0369235 U JP H0369235U JP 13120789 U JP13120789 U JP 13120789U JP 13120789 U JP13120789 U JP 13120789U JP H0369235 U JPH0369235 U JP H0369235U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silicon chip
- marker
- defective
- chuck
- wafer
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例の不良マーカー構成
図である。 １……マーカー本体、２……オーバードライプ
用スプリング、３……チヤツクトツプ、４……シ
リコンウエハー。
図である。 １……マーカー本体、２……オーバードライプ
用スプリング、３……チヤツクトツプ、４……シ
リコンウエハー。
Claims (1)
- 駆動及び位置調整機構をもたない固定したマー
カーに対し、ウエハーの乗つたチヤツクトツプの
上昇によりシリコンチツプへの不良マークの打点
を行うことを特徴とするシリコンチツプへの不良
マーカー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13120789U JPH0369235U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13120789U JPH0369235U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0369235U true JPH0369235U (ja) | 1991-07-09 |
Family
ID=31678729
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13120789U Pending JPH0369235U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0369235U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002322031A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-08 | Pola Chem Ind Inc | マスカラ用の化粧料 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13120789U patent/JPH0369235U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002322031A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-08 | Pola Chem Ind Inc | マスカラ用の化粧料 |