JPH04131929U - 縮小投影露光装置 - Google Patents

縮小投影露光装置

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Publication number
JPH04131929U
JPH04131929U JP3841491U JP3841491U JPH04131929U JP H04131929 U JPH04131929 U JP H04131929U JP 3841491 U JP3841491 U JP 3841491U JP 3841491 U JP3841491 U JP 3841491U JP H04131929 U JPH04131929 U JP H04131929U
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JP
Japan
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illuminance
stage
meter
center coordinates
illumination
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Pending
Application number
JP3841491U
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English (en)
Inventor
学 白木原
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】ステージに取付けられている照度計を使用し、
照度のデータから照度計の中心座標を簡単に測定する。 【構成】ＸＹステージの現在位置を計るレーザ干渉測長
器（１）（２），ＸＹステージ（３)(４），照度を測定
する照度計（５），縮小レンズ（６），照明光源（７),
ステージの現在位置を格納するメモリ（８）から構成さ
れている。 【効果】ステージ上にある照度計を利用して、照度計の
中心座標を簡単に求める。

Description

【考案の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】
本考案は縮小投影露光装置に係り、特に縮小投影露光装置の照度を測定するた めの照度計の中心座標を自動計測するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来の照度計中心座標を求める方法は仮の照度計の中心座標をＸＹ方向にずら して照度分布を測定し、その測定結果から最適な座標を求めていた。
【０００３】
【考案が解決しようとする課題】
従来の方法では照度計の中心座標を求めるためには、照度分布の測定中心座標 を少しずつずらして測定するため、数回にわたり照度分布を測定する必要があり 照度計の中心座標を求めるのが大変であった。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、仮の中心座標からある値シフトした座標から仮の 中心座標方向にステージを移動し照度計により照度データを測定する。
【０００５】 測定開始点は、照度データが検出できない量だけ仮の中心座標からシフトして いるため、照度データが最初に検出された座標と最後に検出された座標の中心を 照度計の中心座標とすることにより照度計の中心座標を求める様にしたものであ る。
【０００６】
【作用】
照度光源によって照射される範囲は縮小レンズの大きさで決まっており、その 照射範囲はステージを長距離移動し照度計により照度データを検出すると、照度 データの発生パターンはデータのある部分とない部分に区分けすることが出来る 。照度計の取付け誤差は数ミリであるため、仮の中心座標付近で照度データを必 ず検出される。
【０００７】
【実施例】
図１に装置の構成図を示す。
【０００８】 ステージの現在位置は、Ｘ，Ｙ軸のレーザ干渉測長器（１），（２）により測 定することができる。
【０００９】 仮の中心座標を基準にＸ軸方向に数十ミリステージ（３）を移動し、その位置 から中心方向に照度計検出範囲の送りでステージ（３）を移動し照度データを測 定する。
【００１０】 最初の照度データは照度の範囲領域を越えているため検出できないが、仮の中 心座標近くになると照度データが検出される。
【００１１】 この時、最初に照度が検出されたステージの座標をメモリ（８）の１番目に格 納しその後、照度データが検出できなくなった座標をメモリ（８）の２番目の格 納する。
【００１２】 照度計（５）のＸ軸中心座標はメモリ（８）の１，２番目に格納されている座 標の中心として求められる。
【００１３】
【数１】 Ｓｘ＝(ｍ１＋ｍ２)／２ Ｓｘ：照度計Ｘ軸中心座標 ｍ１：メモリ１番目のデータ ｍ２：メモリ２番目のデータ また、Ｙ軸の中心座標も同様に仮中心座標を基準にＹ軸方向に数十ミリステー ジ（４）を移動し、その位置から中心方向に照度計検出範囲の送りでステージ （４）を移動し照度データを測定する。
【００１４】 最初の照度データは照度の範囲領域を越えているため検出できないが、仮の中 心座標近くになると照度データが検出される。
【００１５】 この時、最初に照度が検出されたステージ（４）の座標をメモリの１番目に格 納しその後、照度データが検出できなくなった座標をメモリの２番目に格納する 。照度計（５）のＹ軸中心座標はメモリ（８）の１，２番目に格納されている座 標から求められる。
【００１６】
【数２】 Ｓｙ＝(ｍ１＋ｍ２)／２ Ｓｙ：照度計Ｙ軸中心座標 ｍ１：メモリ１番目のデータ ｍ２：メモリ２番目のデータ
【００１７】
【考案の効果】
本考案によれば、ステージ上の照度計の中心座標を簡単に見つけることができ る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本考案の実施例に用いた縮小投影露光装置の全
体図である。
【図２】この処理を行うための概略処理フローチャート
図である。
【符号の説明】
１…Ｘ軸レーザ干渉測長器、２…Ｙ軸レーザ干渉測長
器、３…Ｘ軸ステージ、４…Ｙ軸ステージ、５…照度
計、６…縮小レンズ、７…照明光源、８…ステージ座標
格納メモリ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 【請求項１】照明光源と縮小レンズと照度計及びＸＹス
    テージを具備した縮小投影露光装置において、照度計の
    中心位置を正確に求める方法として、照度計を用いて中
    心座標を自動計測する機能を有したことを特徴とする縮
    小投影露光装置。
JP3841491U 1991-05-28 1991-05-28 縮小投影露光装置 Pending JPH04131929U (ja)

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JP3841491U JPH04131929U (ja) 1991-05-28 1991-05-28 縮小投影露光装置

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JPH04131929U true JPH04131929U (ja) 1992-12-04

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