JPH04182394A - 単結晶超電導体の製造方法 - Google Patents
単結晶超電導体の製造方法Info
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- JPH04182394A JPH04182394A JP2311912A JP31191290A JPH04182394A JP H04182394 A JPH04182394 A JP H04182394A JP 2311912 A JP2311912 A JP 2311912A JP 31191290 A JP31191290 A JP 31191290A JP H04182394 A JPH04182394 A JP H04182394A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)産業上の利用分野
本発明は、超電導デバイスにおける超電導基板として使
用することができる単結晶超電導体の製造方法に関する
。
用することができる単結晶超電導体の製造方法に関する
。
(ロ)従来の技術
超電導デバイスにおける超電導基板としては、単結晶基
板が望まれ、現在のところ、超電・淳焼結体のバルクを
スライスしたり、蒸着等による薄膜を形成することによ
り基板としている。
板が望まれ、現在のところ、超電・淳焼結体のバルクを
スライスしたり、蒸着等による薄膜を形成することによ
り基板としている。
しかし、超電導焼結体のバルクをスライスしたものは、
空孔が多く緻密のものが得られないので超電導基板とし
ては好ましくなく、また、薄膜により基板を形成するに
は時間を要し、量産には不向きである。
空孔が多く緻密のものが得られないので超電導基板とし
ては好ましくなく、また、薄膜により基板を形成するに
は時間を要し、量産には不向きである。
一方、酸化物超電導体の単結晶化において、半導体製造
に用いられているブリッジマン法及びチョコラルスキー
法による単結晶作成法は、酸化物超電導材料の性質、E
極めて困難であるとされている。そこで、超電導単結晶
体を得る技術としてフラックス法が開発されている。こ
れは、まず、ある1つの組成系(例えばBi 2src
acu20* )の酸化物超電導体の原料粉末(例えば
Bi、O,、SrCO3、CaC01及びCuO)をそ
の組成系の組成比(例えばB1:Sr:Ca:Cu=2
: 1 : ] : 2)に秤量してアルミナのルツ
ボに入れて混合する。その後、適当な温度条件で熱処理
する。例えば室温から1時間で1000℃に昇温しでそ
の温度を24時間保持して原料粉末を溶融し、その後7
50℃まで徐冷することにより、その系の超電導単結晶
を得る方法である。
に用いられているブリッジマン法及びチョコラルスキー
法による単結晶作成法は、酸化物超電導材料の性質、E
極めて困難であるとされている。そこで、超電導単結晶
体を得る技術としてフラックス法が開発されている。こ
れは、まず、ある1つの組成系(例えばBi 2src
acu20* )の酸化物超電導体の原料粉末(例えば
Bi、O,、SrCO3、CaC01及びCuO)をそ
の組成系の組成比(例えばB1:Sr:Ca:Cu=2
: 1 : ] : 2)に秤量してアルミナのルツ
ボに入れて混合する。その後、適当な温度条件で熱処理
する。例えば室温から1時間で1000℃に昇温しでそ
の温度を24時間保持して原料粉末を溶融し、その後7
50℃まで徐冷することにより、その系の超電導単結晶
を得る方法である。
(ハ)発明が解決しようとする課題
前述のフラックス法により得られる単結晶の大きさは高
々0.1〜3mm角程度のものしか得られないので、超
電導デバイス用基板として使用することができなく、利
用分野が大きく制限されるという問題がある。
々0.1〜3mm角程度のものしか得られないので、超
電導デバイス用基板として使用することができなく、利
用分野が大きく制限されるという問題がある。
本発明は、かかる点に鑑み発明さitたものにして、超
電導デバイス用基板として使用することができる少なく
とも5mm角以−にの大きさの超電導基板を形成するこ
とができる単結晶超電導体の製造方法を提案しようとす
るものである。
電導デバイス用基板として使用することができる少なく
とも5mm角以−にの大きさの超電導基板を形成するこ
とができる単結晶超電導体の製造方法を提案しようとす
るものである。
(ニ)課題を解決するための手段
かかる課題を解決するために、本発明による単結晶超電
導体の製造方法は、1つの組成系の酸化物超電導体の原
料粉末をその組成系の組成比に応じて秤量し、この秤量
した原料粉末50g当り、その組成系の酸化物超電導体
の種結晶を1〜]Ogの割合で混合し、その組成系の単
結晶析出温度1iii後の温度で溶融した後、用結晶超
、し導体を形成するものである。
導体の製造方法は、1つの組成系の酸化物超電導体の原
料粉末をその組成系の組成比に応じて秤量し、この秤量
した原料粉末50g当り、その組成系の酸化物超電導体
の種結晶を1〜]Ogの割合で混合し、その組成系の単
結晶析出温度1iii後の温度で溶融した後、用結晶超
、し導体を形成するものである。
(ホ)作用
ある1つの組成系の酸化O1超X1:i、専体の原料粉
末をその組成系の組成比に応じて秤量し、この秤量した
原料粉末50gに対して、その組成系の酸化物超電導体
の種結晶を1〜10gの割合で混合し、その組成系の単
結晶析出温度01j後の温lyで溶融した後、単結晶超
電導体を形成するので、前述の従来例で得らhるものよ
り大きい単結晶超電導1本が得られる。
末をその組成系の組成比に応じて秤量し、この秤量した
原料粉末50gに対して、その組成系の酸化物超電導体
の種結晶を1〜10gの割合で混合し、その組成系の単
結晶析出温度01j後の温lyで溶融した後、単結晶超
電導体を形成するので、前述の従来例で得らhるものよ
り大きい単結晶超電導1本が得られる。
前記秤量した原料粉末50 g !=、kt して、そ
のイ11成系の酸化物超電導体の種結晶を1gより少な
い割合で混合する場合には、この種結晶を混合しないと
きと同様に、高々3mi角以ドの大きさの6のしか得ら
れない。
のイ11成系の酸化物超電導体の種結晶を1gより少な
い割合で混合する場合には、この種結晶を混合しないと
きと同様に、高々3mi角以ドの大きさの6のしか得ら
れない。
一方、d11記種結晶を10gより多く混合するときに
は、種結晶が多いため結晶数が多くなり、単結晶にはな
らない。
は、種結晶が多いため結晶数が多くなり、単結晶にはな
らない。
くべ)実施例
本発明の一実施例として、1つの組成系がBi25rC
aCu、O,である単結晶超電導体の製造方法を説明す
る。
aCu、O,である単結晶超電導体の製造方法を説明す
る。
まず、この組成系の酸化物超電導体の原料粉末を、その
組成比に応じて秤量する。
組成比に応じて秤量する。
即ち、原料粉末として例えばBi、O,、S rco
s、CaCO5及びCuOを用い、これらの原料粉末を
その組成系の組成比Bi:Sr:Ca:Cu=2 :
1°1:2に秤量してアルミナのルツボに入れて混合す
る。
s、CaCO5及びCuOを用い、これらの原料粉末を
その組成系の組成比Bi:Sr:Ca:Cu=2 :
1°1:2に秤量してアルミナのルツボに入れて混合す
る。
具体的には、純度99.999%のBitO,を35.
Og、純度99.99%の5rCOsを22.1 g
、純度99.99%のCaC01を15.Og、純度9
9.99%のCuOを23.9 g、それぞれ秤量し、
これらの原料粉末を混合する。この混合物にエタノール
、メタノールなどの有機溶媒を加えてスタークにて撹拌
した後、有機溶媒を蒸発させ、乳鉢にてすりつぶして粉
末状とし、原料粉末を得る。
Og、純度99.99%の5rCOsを22.1 g
、純度99.99%のCaC01を15.Og、純度9
9.99%のCuOを23.9 g、それぞれ秤量し、
これらの原料粉末を混合する。この混合物にエタノール
、メタノールなどの有機溶媒を加えてスタークにて撹拌
した後、有機溶媒を蒸発させ、乳鉢にてすりつぶして粉
末状とし、原料粉末を得る。
次に、この原料粉末50g当り、従来の方法で得たBi
25rCaCut帆の種結晶を1−10gの割合でアル
ミナのルツボに入れて混合するっ具体的には原料粉末5
0g当り種結晶を5gの割合で、即ち前述の原料粉末の
量96gに対して種結晶を9.6g混合した。
25rCaCut帆の種結晶を1−10gの割合でアル
ミナのルツボに入れて混合するっ具体的には原料粉末5
0g当り種結晶を5gの割合で、即ち前述の原料粉末の
量96gに対して種結晶を9.6g混合した。
続いて、このルツボを電気炉に入れて熱処理する。図面
に熱処理時間に対する熱処理温度特性を示す。この図面
から明らかなように、ます室温から単結晶超電導体の析
出温度Tまで1〜5時間かけて昇温する。この析出温度
Tは、各原料粉末の溶融温度925℃より高く、950
℃より低い温度にされる。
に熱処理時間に対する熱処理温度特性を示す。この図面
から明らかなように、ます室温から単結晶超電導体の析
出温度Tまで1〜5時間かけて昇温する。この析出温度
Tは、各原料粉末の溶融温度925℃より高く、950
℃より低い温度にされる。
この析出温度Tの状態を2〜2・1時間保持して原料粉
末を全て溶融するとともに溶融原料を種結晶になじませ
て析出可能状態にする。
末を全て溶融するとともに溶融原料を種結晶になじませ
て析出可能状態にする。
その後、600〜800℃の温度まで30〜80時間か
けて徐冷する。この間に溶融していた原料が種結晶を核
として徐々に結晶化していき、結晶が成長する。この徐
冷の段階で温度の下げ方を2段階以−にに分けてもよい
。例えば、800℃まで40時間かけて降温し、その後
600℃まで5時間かけて降温を行うなどしてもよい。
けて徐冷する。この間に溶融していた原料が種結晶を核
として徐々に結晶化していき、結晶が成長する。この徐
冷の段階で温度の下げ方を2段階以−にに分けてもよい
。例えば、800℃まで40時間かけて降温し、その後
600℃まで5時間かけて降温を行うなどしてもよい。
その後、室温まで降温して電気炉からルツボを取り出し
、ルツボを割って単結晶超電導体を取り出す。この単結
晶超電導体はその大きさが直径10mmのものであり、
単結晶超電導基板として少なくとも7mm角のらのが得
られる。従って、単結晶襞間面上・\の電子デバイスの
バターニングが容易になる。
、ルツボを割って単結晶超電導体を取り出す。この単結
晶超電導体はその大きさが直径10mmのものであり、
単結晶超電導基板として少なくとも7mm角のらのが得
られる。従って、単結晶襞間面上・\の電子デバイスの
バターニングが容易になる。
次に、前述の秤量した原料粉末50gに対して種結晶を
1gの割合で混合して単結晶超電導体を形成したところ
、直径10mmのものが得られ、単結晶超電導基板とし
て少なくとも7mm角のものが得られる。
1gの割合で混合して単結晶超電導体を形成したところ
、直径10mmのものが得られ、単結晶超電導基板とし
て少なくとも7mm角のものが得られる。
同様に、前述の秤量した原料粉末50gに対して種結晶
を10gの割合で混合して単結晶超電導体を形成したと
ころ、直径7mmの6のが得られ、単結晶超電導基板と
して少なくとも5m1ll角のものが得られる。
を10gの割合で混合して単結晶超電導体を形成したと
ころ、直径7mmの6のが得られ、単結晶超電導基板と
して少なくとも5m1ll角のものが得られる。
これに対して、前述の秤量した原料粉末50gに対して
種結晶を0.5gの割合で混合して単結晶超電導体を形
成したところ、直径5mmのものが得られ、単結晶超電
導基板としては大きくても;)野角のものが得られるに
過ぎず、用結晶基板として1−分な大きさのものか得ら
れない。
種結晶を0.5gの割合で混合して単結晶超電導体を形
成したところ、直径5mmのものが得られ、単結晶超電
導基板としては大きくても;)野角のものが得られるに
過ぎず、用結晶基板として1−分な大きさのものか得ら
れない。
同様に、1tj述の秤量した原料粉末50g1:対して
種結晶をl1gの割合で混合シ、て超電導体を形成した
ところ、直径10mmのものが得られるが、種結晶が多
いため結晶数が多くなり、単結晶のものではなかった。
種結晶をl1gの割合で混合シ、て超電導体を形成した
ところ、直径10mmのものが得られるが、種結晶が多
いため結晶数が多くなり、単結晶のものではなかった。
以−ヒの結果から、秤量した原料粉末5(Igに対する
種結晶の混合割合は、1〜10gか適当である。
種結晶の混合割合は、1〜10gか適当である。
また、前述のようにして得た単結晶超電導体を種結晶に
用いて、−1−述した製造方法を繰り返すことにより、
さらに30%の大型化が可能である。
用いて、−1−述した製造方法を繰り返すことにより、
さらに30%の大型化が可能である。
以−Lの実施例においては、1つの組成系がB i 、
5rcacuz帆である場合について説明したが、L
nBa、CU、帆系(Lnは、)、Yb、Er、Eu、
No、Sm、\dの一種又は複数種からなる) 、]’
1BaCaCuO系あるいは実施例とは異なるB15r
CaCu(1,系等の単結晶超電導体の形成に本発明を
適用することかできる。
5rcacuz帆である場合について説明したが、L
nBa、CU、帆系(Lnは、)、Yb、Er、Eu、
No、Sm、\dの一種又は複数種からなる) 、]’
1BaCaCuO系あるいは実施例とは異なるB15r
CaCu(1,系等の単結晶超電導体の形成に本発明を
適用することかできる。
たとえば、LnBa+Cu5O,系に本発明を適用する
場合には、その原料粉末(例えばI2O3、BaC0,
、及びC110>を組成比Ln: Ba:Cu= 1
: 2°3.5に秤量して混合すればよく、単結晶超電
導体の析出温度Tを各原料粉末の溶融温度1000℃よ
り高く、1050℃より低い温度に設定すればよい。
場合には、その原料粉末(例えばI2O3、BaC0,
、及びC110>を組成比Ln: Ba:Cu= 1
: 2°3.5に秤量して混合すればよく、単結晶超電
導体の析出温度Tを各原料粉末の溶融温度1000℃よ
り高く、1050℃より低い温度に設定すればよい。
(ト)発明の効果
本発明による単結晶超電導体の製造方法は、ある1つの
組成系の酸化物超電導体の原料粉末をその組成系の組成
比に応じて秤量し、この秤量した原料粉末50g当り、
その組成系の酸化物超電導体の種結晶を1〜10gの割
合で混合し、その組成系の単結晶析出温度前後の温度で
溶融した後、単結晶超電導体を形成するものであるから
、従来例で得られるものより大きい単結晶超電導体を得
ることができ、超電導デバイス用基板として使用するこ
とができる少なくとも5mm角以]、の大きさの超電導
基板として利用することができる。
組成系の酸化物超電導体の原料粉末をその組成系の組成
比に応じて秤量し、この秤量した原料粉末50g当り、
その組成系の酸化物超電導体の種結晶を1〜10gの割
合で混合し、その組成系の単結晶析出温度前後の温度で
溶融した後、単結晶超電導体を形成するものであるから
、従来例で得られるものより大きい単結晶超電導体を得
ることができ、超電導デバイス用基板として使用するこ
とができる少なくとも5mm角以]、の大きさの超電導
基板として利用することができる。
図面は本発明の一実施例における単結晶超電導体を形成
する熱処理時間に対する熱処理温度特性を示す。
する熱処理時間に対する熱処理温度特性を示す。
Claims (1)
- (1)1つの組成系の酸化物超電導体の原料粉末をその
組成系の組成比に応じて秤量し、この秤量した原料粉末
50g当り、その組成系の酸化物超電導体の種結晶を1
〜10gの割合で混合し、その組成系の単結晶析出温度
前後の温度で溶融した後、単結晶超電導体を形成する単
結晶超電導体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2311912A JPH04182394A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 単結晶超電導体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2311912A JPH04182394A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 単結晶超電導体の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04182394A true JPH04182394A (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=18022917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2311912A Pending JPH04182394A (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 | 単結晶超電導体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04182394A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014139938A (ja) * | 2010-11-05 | 2014-07-31 | Hitachi High-Technologies Corp | イオンミリング装置 |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP2311912A patent/JPH04182394A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014139938A (ja) * | 2010-11-05 | 2014-07-31 | Hitachi High-Technologies Corp | イオンミリング装置 |
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