JPH0427168Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0427168Y2 JPH0427168Y2 JP1986198922U JP19892286U JPH0427168Y2 JP H0427168 Y2 JPH0427168 Y2 JP H0427168Y2 JP 1986198922 U JP1986198922 U JP 1986198922U JP 19892286 U JP19892286 U JP 19892286U JP H0427168 Y2 JPH0427168 Y2 JP H0427168Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- holder
- motor
- nut member
- capillary
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10W—GENERIC PACKAGES, INTERCONNECTIONS, CONNECTORS OR OTHER CONSTRUCTIONAL DETAILS OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10W72/00—Interconnections or connectors in packages
- H10W72/071—Connecting or disconnecting
- H10W72/0711—Apparatus therefor
- H10W72/07141—Means for applying energy, e.g. ovens or lasers
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本考案は特にワイヤが挿通されたキヤピラリを
上下動させる装置に改良を施したワイヤボンデイ
ング装置に関する。
上下動させる装置に改良を施したワイヤボンデイ
ング装置に関する。
（従来の技術）
従来のワイヤボンデイング装置におけるキヤピ
ラリ上下動装置としては、第３図に示すようなも
のがある。
ラリ上下動装置としては、第３図に示すようなも
のがある。
即ち、XYテーブル３１上に立設したブロツク
３２にはモータ３３が固定されるとともに、モー
タ回転軸３４の軸線と平行にボールねじ軸３５が
軸受３６，３７により支持されている。モータ回
転軸３４には歯付プーリ３８が固定され、ボール
ねじ軸３５には歯付プーリ３９が固定され、これ
らのプーリ３８とプーリ３９とにはタイミングベ
ルト４０が張設されている。ボールねじ軸３５に
ボールを介して螺合するナツト部材４１に固定さ
れた突出部４２にはベアリング４３が回転自在に
取付けてある。
３２にはモータ３３が固定されるとともに、モー
タ回転軸３４の軸線と平行にボールねじ軸３５が
軸受３６，３７により支持されている。モータ回
転軸３４には歯付プーリ３８が固定され、ボール
ねじ軸３５には歯付プーリ３９が固定され、これ
らのプーリ３８とプーリ３９とにはタイミングベ
ルト４０が張設されている。ボールねじ軸３５に
ボールを介して螺合するナツト部材４１に固定さ
れた突出部４２にはベアリング４３が回転自在に
取付けてある。
一方、先端部にワイヤＷが挿通されたキヤピラ
リ４４を取付けたボンデイングアーム、本例では
超音波振動子を他端に備えたホーン４５がホルダ
４６に保持され、該ホルダ４６はXYテーブル３
１に固定したブロツク４７に揺動可能に軸４８支
されている。ホルダ４６に固定された２個のガイ
ド板４９及び５０の対向面間に前記ベアリング４
３が嵌合している。
リ４４を取付けたボンデイングアーム、本例では
超音波振動子を他端に備えたホーン４５がホルダ
４６に保持され、該ホルダ４６はXYテーブル３
１に固定したブロツク４７に揺動可能に軸４８支
されている。ホルダ４６に固定された２個のガイ
ド板４９及び５０の対向面間に前記ベアリング４
３が嵌合している。
５１は前工程において既にリードフレーム５２
上にボンデイングされた半導体チツプである。
上にボンデイングされた半導体チツプである。
作用を述べると、リードフレーム５２が送られ
て来て定位置に停止すると、図示省略したパター
ン認識装置によりボンデイング点の位置認識が行
なわれ、この位置認識に基く補正量だけXYテー
ブル３１が移動し、キヤピラリ４４先端がボンデ
イング点の真上に位置する。するとモータ３３に
所定のパルス信号が印加され、モータ回転軸３４
がパルスに応じて所定角度だけ回転する。モータ
回転軸の回転即ちプーリ３８の回転はベルト４０
を介してプーリ３９及びボールねじ軸３５に伝達
され、ナツト部材４１を所定量だけ上昇させる。
ナツト部材４１が上昇することによりベアリング
４３も上昇し、これがガイド板４９を押し上げる
ため、ホルダ４６及びこれに固定されたホーン４
５は軸４８を中心として時計方向に揺動する。し
たがつてホーン４５の先端部に取付けられたキヤ
ピラリ４４は下降して半導体チツプ５１上の第１
ボンド点にボンデイングを施す。
て来て定位置に停止すると、図示省略したパター
ン認識装置によりボンデイング点の位置認識が行
なわれ、この位置認識に基く補正量だけXYテー
ブル３１が移動し、キヤピラリ４４先端がボンデ
イング点の真上に位置する。するとモータ３３に
所定のパルス信号が印加され、モータ回転軸３４
がパルスに応じて所定角度だけ回転する。モータ
回転軸の回転即ちプーリ３８の回転はベルト４０
を介してプーリ３９及びボールねじ軸３５に伝達
され、ナツト部材４１を所定量だけ上昇させる。
ナツト部材４１が上昇することによりベアリング
４３も上昇し、これがガイド板４９を押し上げる
ため、ホルダ４６及びこれに固定されたホーン４
５は軸４８を中心として時計方向に揺動する。し
たがつてホーン４５の先端部に取付けられたキヤ
ピラリ４４は下降して半導体チツプ５１上の第１
ボンド点にボンデイングを施す。
（考案が解決しようとする問題点）
しかしながら、上記のごとき装置においては、
モータ回転軸３４とボールねじ軸３５とをタイミ
ングベルト４０で連結しているので、高速回転時
に追従性が悪くなり、またベルト、プーリ間の摩
擦のためベルトが摩耗し易く、さらにモータ回転
軸３４の軸線及びボールねじ軸３５の軸線が鉛直
方向となつているため、重心が高くなつてXYテ
ーブル３１の高速化に伴ない、XYテーブルの高
速発進や高速停止時において好ましくない振動が
生じ、それがホーン４５を伝わつてキヤピラリ４
４に至り、キヤピラリを使用して行なうボンデイ
ング結果に悪影響を与えるという問題点があつ
た。
モータ回転軸３４とボールねじ軸３５とをタイミ
ングベルト４０で連結しているので、高速回転時
に追従性が悪くなり、またベルト、プーリ間の摩
擦のためベルトが摩耗し易く、さらにモータ回転
軸３４の軸線及びボールねじ軸３５の軸線が鉛直
方向となつているため、重心が高くなつてXYテ
ーブル３１の高速化に伴ない、XYテーブルの高
速発進や高速停止時において好ましくない振動が
生じ、それがホーン４５を伝わつてキヤピラリ４
４に至り、キヤピラリを使用して行なうボンデイ
ング結果に悪影響を与えるという問題点があつ
た。
（問題点を解決するための手段）
本考案は上記した問題点を解決するためになさ
れたものである。即ち本考案に係るワイヤボンデ
イング装置は、モータをその回転軸軸線が平行と
なるようにテーブル上に固定し、該モータ回転軸
に雄ねじ軸を整合させて一体的に連結するととも
にこれを軸受で支持し、側方にローラを回転自在
に取付けたナツト部材を前記雄ねじ軸に回転不能
に螺合させる一方、先端部にキヤピラリを取付け
たボンデイングアームを、側方にガイド部が設け
られたホルダにて保持し、そのホルダを前記テー
ブル上にて揺動可能に軸支し、前記ナツト部材に
取付けたローラと前記ホルダに設けたガイド部と
を、ナツト部材の水平方向移動をホルダの揺動運
動に変換できるように係合せしめたことを特徴と
するものである。
れたものである。即ち本考案に係るワイヤボンデ
イング装置は、モータをその回転軸軸線が平行と
なるようにテーブル上に固定し、該モータ回転軸
に雄ねじ軸を整合させて一体的に連結するととも
にこれを軸受で支持し、側方にローラを回転自在
に取付けたナツト部材を前記雄ねじ軸に回転不能
に螺合させる一方、先端部にキヤピラリを取付け
たボンデイングアームを、側方にガイド部が設け
られたホルダにて保持し、そのホルダを前記テー
ブル上にて揺動可能に軸支し、前記ナツト部材に
取付けたローラと前記ホルダに設けたガイド部と
を、ナツト部材の水平方向移動をホルダの揺動運
動に変換できるように係合せしめたことを特徴と
するものである。
（作用）
モータに所定のパルス信号を印加すると、モー
タが所定角度だけ回転し、これによりナツト部材
が水平方向に前進し、ナツト部材に取付けられた
ローラも前進するのでホルダ及びこれに取付けら
れたホーンは固定軸を中心として揺動し、キヤピ
ラリが下降し、その先端に突出しているワイヤ部
分をボンド点に挿しつけてボンデイングを行な
う。
タが所定角度だけ回転し、これによりナツト部材
が水平方向に前進し、ナツト部材に取付けられた
ローラも前進するのでホルダ及びこれに取付けら
れたホーンは固定軸を中心として揺動し、キヤピ
ラリが下降し、その先端に突出しているワイヤ部
分をボンド点に挿しつけてボンデイングを行な
う。
（実施例）
以下、図面により本考案を説明する。
第１図は本考案の一実施例を示す平面図、
第２図は第１図の側面図である。
XYテーブル１上に立設したブロツク２には、
モータ３が固定されるとともに、モータ回転軸４
に整合するごとくに雄ねじ軸、本例ではボールね
じ軸５が軸受６及び７に軸支されている。モータ
回転軸４とボールねじ軸５とはカプリング８によ
り一体的に連結されている。ボールねじ軸５には
ナツト部材９が図示省略した廻り止め手段により
回転不能に螺合されている。ナツト部材９と一体
の上方延長部９ａの側方には横方向に突出したピ
ン１０が固定され、そのピン１０にはローラ１０
ａが回転自在に取付けられている。
モータ３が固定されるとともに、モータ回転軸４
に整合するごとくに雄ねじ軸、本例ではボールね
じ軸５が軸受６及び７に軸支されている。モータ
回転軸４とボールねじ軸５とはカプリング８によ
り一体的に連結されている。ボールねじ軸５には
ナツト部材９が図示省略した廻り止め手段により
回転不能に螺合されている。ナツト部材９と一体
の上方延長部９ａの側方には横方向に突出したピ
ン１０が固定され、そのピン１０にはローラ１０
ａが回転自在に取付けられている。
一方、XYテーブル１上に固定されたブロツク
１１には、ホルダ１２が揺動可能に軸１３支さ
れ、そのホルダ１２には超音波振動子１４を取付
けたボンデイングアーム、本例ではホーン１５が
固定されており、ホーン１５の先端部には、図示
しないワイヤスプールから繰り出されたワイヤＷ
を挿通したキヤピラリ１６が固定されている。ホ
ルダ１２の側方には案内部、本実施例では縦方向
に延びるガイド溝１７が設けてあり、この溝に前
記ローラ１０ａが嵌合している。上記ナツト部材
９、ローラ１０ａ、ホルダ１２、軸１３、縦方向
のガイド溝１７等をもつて、ナツト部材９の水平
方向の移動をホルダ１２の揺動運動に変換する装
置を構成している。なお２１はリードフレーム、
２２はリードフレーム上に既にダイボンドされた
半導体チツプである。
１１には、ホルダ１２が揺動可能に軸１３支さ
れ、そのホルダ１２には超音波振動子１４を取付
けたボンデイングアーム、本例ではホーン１５が
固定されており、ホーン１５の先端部には、図示
しないワイヤスプールから繰り出されたワイヤＷ
を挿通したキヤピラリ１６が固定されている。ホ
ルダ１２の側方には案内部、本実施例では縦方向
に延びるガイド溝１７が設けてあり、この溝に前
記ローラ１０ａが嵌合している。上記ナツト部材
９、ローラ１０ａ、ホルダ１２、軸１３、縦方向
のガイド溝１７等をもつて、ナツト部材９の水平
方向の移動をホルダ１２の揺動運動に変換する装
置を構成している。なお２１はリードフレーム、
２２はリードフレーム上に既にダイボンドされた
半導体チツプである。
作用を述べると、リードフレーム２１が送られ
て来て所定位置に停止すると、従来例で述べたと
同様なパターン認識が行なわれ、XYテーブル１
が動作してキヤピラリ１６の先端が第１ボンド点
の真上に来る。するとモータ３にパルス信号が印
加され、モータ回転軸４が所定角度だけ回転し、
これによりナツト部材９及びこれに一体の上方延
長部９ａが前進（図で右行）し、ローラ１０ａを
介してガイド溝１７が図で右方に押されるのでホ
ルダ１２及びこれに固定されたホーン１５は時計
方向に揺動させられる。するとホーン１５の先端
部に固定されたキヤピラリ１６が下降して半導体
チツプ２２上の第１ボンド点にワイヤボンドを施
す。ボンデイング中、超音波振動子１４の作用に
よりホーン１５を介してキヤピラリ１６に超音波
振動エネルギを与えてボンデイングを行なうこと
は従来と同じである。
て来て所定位置に停止すると、従来例で述べたと
同様なパターン認識が行なわれ、XYテーブル１
が動作してキヤピラリ１６の先端が第１ボンド点
の真上に来る。するとモータ３にパルス信号が印
加され、モータ回転軸４が所定角度だけ回転し、
これによりナツト部材９及びこれに一体の上方延
長部９ａが前進（図で右行）し、ローラ１０ａを
介してガイド溝１７が図で右方に押されるのでホ
ルダ１２及びこれに固定されたホーン１５は時計
方向に揺動させられる。するとホーン１５の先端
部に固定されたキヤピラリ１６が下降して半導体
チツプ２２上の第１ボンド点にワイヤボンドを施
す。ボンデイング中、超音波振動子１４の作用に
よりホーン１５を介してキヤピラリ１６に超音波
振動エネルギを与えてボンデイングを行なうこと
は従来と同じである。
第１ボンド完了後、モータに所定のパルスが印
加されてモータ回転軸は所定角度だけ逆向きに回
転し、ナツト部材９及びこれに一体の上方延長部
９ａを所定量だけ後退（図で左行）させ、ローラ
ベアリング１０ａを介してガイド溝１７を左方に
押しホルダ１２及びこれに固定されたホーン１５
を反時計方向に所定角度だけ揺動させることによ
りキヤピラリ１６を所定量だけ上昇させるととも
に、XYテーブル１を動作させてキヤピラリ１６
をリードフレーム２１上の第２ボンド点の真上ま
で運び、再びモータ３に所定のパルスを印加する
ことによりキヤピラリ１６を降下させて第２ボン
ドを行なう。
加されてモータ回転軸は所定角度だけ逆向きに回
転し、ナツト部材９及びこれに一体の上方延長部
９ａを所定量だけ後退（図で左行）させ、ローラ
ベアリング１０ａを介してガイド溝１７を左方に
押しホルダ１２及びこれに固定されたホーン１５
を反時計方向に所定角度だけ揺動させることによ
りキヤピラリ１６を所定量だけ上昇させるととも
に、XYテーブル１を動作させてキヤピラリ１６
をリードフレーム２１上の第２ボンド点の真上ま
で運び、再びモータ３に所定のパルスを印加する
ことによりキヤピラリ１６を降下させて第２ボン
ドを行なう。
第２ボンド終了後、再びモータを逆転してキヤ
ピラリ１６を上昇させ、その途中で図示省略した
ワイヤクランパを閉じてワイヤＷを第２ボンド点
直上部で切断し、次の第１ボンドに備える。
ピラリ１６を上昇させ、その途中で図示省略した
ワイヤクランパを閉じてワイヤＷを第２ボンド点
直上部で切断し、次の第１ボンドに備える。
以上の動作を繰返すことにより、順次ボンデイ
ング加工を行なう。
ング加工を行なう。
モータとしては直流サーボモータのほか交流サ
ーボモータまたはパルスモータを使用できる。
ーボモータまたはパルスモータを使用できる。
（考案の効果）
以上述べたように、本考案に係るワイヤボンデ
イング装置は、モータをその回転軸軸線が平行と
なるようにテーブル上に固定し、該モータ回転軸
に雄ねじ軸を整合させて一体的に連結するととも
にこれを軸受で支持し、側方にローラを回転自在
に取付けたナツト部材を前記雄ねじ軸に回転不能
に螺合させる一方、先端部にキヤピラリを取付け
たボンデイングアームを、側方にガイド部が設け
られたホルダにて保持し、そのホルダを前記テー
ブル上にて揺動可能に軸支し、前記ナツト部材に
取付けたローラと前記ホルダに設けたガイド部と
を係合させて、ナツト部材の水平方向移動をホル
ダの揺動運動に変換させるようにしたものである
から、テーブル上に設置するキヤピラリ上下動装
置全体の重心を従来の装置に比較して著しく低く
することができ、したがつてXYテーブルの高速
発進、高速停止等によつて生じていた振動が軽減
されるとともに、ナツト部材、ローラ、ガイド部
を含むホルダ等で構成される運動方向変換装置の
構成が簡潔であることから、モータの回転に対す
るホルダ及びボンデイングアームの追従性が良く
なり、以上のことから高速運転を行なつても確
実、良好なボンデイング加工を行なうことができ
るという効果がある。
イング装置は、モータをその回転軸軸線が平行と
なるようにテーブル上に固定し、該モータ回転軸
に雄ねじ軸を整合させて一体的に連結するととも
にこれを軸受で支持し、側方にローラを回転自在
に取付けたナツト部材を前記雄ねじ軸に回転不能
に螺合させる一方、先端部にキヤピラリを取付け
たボンデイングアームを、側方にガイド部が設け
られたホルダにて保持し、そのホルダを前記テー
ブル上にて揺動可能に軸支し、前記ナツト部材に
取付けたローラと前記ホルダに設けたガイド部と
を係合させて、ナツト部材の水平方向移動をホル
ダの揺動運動に変換させるようにしたものである
から、テーブル上に設置するキヤピラリ上下動装
置全体の重心を従来の装置に比較して著しく低く
することができ、したがつてXYテーブルの高速
発進、高速停止等によつて生じていた振動が軽減
されるとともに、ナツト部材、ローラ、ガイド部
を含むホルダ等で構成される運動方向変換装置の
構成が簡潔であることから、モータの回転に対す
るホルダ及びボンデイングアームの追従性が良く
なり、以上のことから高速運転を行なつても確
実、良好なボンデイング加工を行なうことができ
るという効果がある。
第１図は本考案の一実施例の平面図、第２図は
第１図の側面図、第３図は従来例を示す側面図で
ある。 １……XYテーブル、３……モータ、４……モ
ータ回転軸、５……ボールねじ軸（雄ねじ軸）、
６……軸受、７……軸受、９……ナツト部材、１
０ａ……ローラ、１２ａ……ホルダ、１３……
軸、１５……ホーン（ボンデイングアーム）、１
６……キヤピラリ、１７……ガイド棒（ガイド
部）。
第１図の側面図、第３図は従来例を示す側面図で
ある。 １……XYテーブル、３……モータ、４……モ
ータ回転軸、５……ボールねじ軸（雄ねじ軸）、
６……軸受、７……軸受、９……ナツト部材、１
０ａ……ローラ、１２ａ……ホルダ、１３……
軸、１５……ホーン（ボンデイングアーム）、１
６……キヤピラリ、１７……ガイド棒（ガイド
部）。
Claims (1)
- モーターをその回転軸軸線が水平となるように
テーブル上に固定し、該モータ回転軸に雄ねじ軸
を整合させて一体的に連結するとともにこれを軸
受で支持し、側方にローラを回転自在に取付けた
ナツト部材を前記雄ねじ軸に回転不能に螺合させ
る一方、先端部にキヤピラリを取付けたボンデイ
ングアームを、側方にガイド部が設けられたホル
ダにて保持し、そのホルダを前記テーブル上にて
揺動可能に軸支し、前記ローラと前記ガイド部と
を、ナツト部材の水平方向移動をホルダの揺動運
動に変換できるように係合せしめたことを特徴と
するワイヤボンデイング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986198922U JPH0427168Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986198922U JPH0427168Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63106136U JPS63106136U (ja) | 1988-07-08 |
| JPH0427168Y2 true JPH0427168Y2 (ja) | 1992-06-30 |
Family
ID=31160066
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986198922U Expired JPH0427168Y2 (ja) | 1986-12-27 | 1986-12-27 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0427168Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2509365Y2 (ja) * | 1990-11-30 | 1996-09-04 | 関西日本電気株式会社 | ワイヤボンディング装置 |
-
1986
- 1986-12-27 JP JP1986198922U patent/JPH0427168Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63106136U (ja) | 1988-07-08 |
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