JPH0479407B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0479407B2 JPH0479407B2 JP58106244A JP10624483A JPH0479407B2 JP H0479407 B2 JPH0479407 B2 JP H0479407B2 JP 58106244 A JP58106244 A JP 58106244A JP 10624483 A JP10624483 A JP 10624483A JP H0479407 B2 JPH0479407 B2 JP H0479407B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- harmful gas
- valve
- detector
- normally open
- monitoring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
- G01N1/02—Devices for withdrawing samples
- G01N1/22—Devices for withdrawing samples in the gaseous state
- G01N1/26—Devices for withdrawing samples in the gaseous state with provision for intake from several spaces
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体工場や化学工場等において多
数の製造室等の監視領域での不慮の事故による有
害ガス発生を検知するための有害ガス警報器に関
する。
数の製造室等の監視領域での不慮の事故による有
害ガス発生を検知するための有害ガス警報器に関
する。
従来の上記警報器としては、監視領域夫々に接
続した通気路に対し、各通気路ごとに有害ガス検
知器を設けたものとか、あるいは、監視領域夫々
に接続した通気路夫々を、有害ガス検知器を介在
させた１本の探査用流路に接続するとともに、通
気路夫々に開閉弁を設け、それら開閉弁を、例え
ば５分おき等、所定時間ずつ順に択一的に開いて
いくものがあつた。
続した通気路に対し、各通気路ごとに有害ガス検
知器を設けたものとか、あるいは、監視領域夫々
に接続した通気路夫々を、有害ガス検知器を介在
させた１本の探査用流路に接続するとともに、通
気路夫々に開閉弁を設け、それら開閉弁を、例え
ば５分おき等、所定時間ずつ順に択一的に開いて
いくものがあつた。
ところが、前者の場合、監視領域が多くなるに
連れ、備えるべき検知器の個数が多くなり、高価
につく欠点があつた。他方、後者の場合、開閉弁
を開いてサンプリングした後、次にサンプリング
するまでに時間を要し、殊に監視領域が多くなれ
ばなる程、非サンプリング時間が長くなり、その
途中で有害ガスが発生していてもそのことを検出
できず、有害ガス発生の検知に遅れを生じ、安全
性に欠ける欠点があつた。
連れ、備えるべき検知器の個数が多くなり、高価
につく欠点があつた。他方、後者の場合、開閉弁
を開いてサンプリングした後、次にサンプリング
するまでに時間を要し、殊に監視領域が多くなれ
ばなる程、非サンプリング時間が長くなり、その
途中で有害ガスが発生していてもそのことを検出
できず、有害ガス発生の検知に遅れを生じ、安全
性に欠ける欠点があつた。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもの
で、その目的とするところは、複数の監視領域に
おける有害ガスの発生を単一の有害ガス検知器に
よつて検出することができると共に、その発生箇
所を特定できるようにした有害ガス警報器を提供
することにある。
で、その目的とするところは、複数の監視領域に
おける有害ガスの発生を単一の有害ガス検知器に
よつて検出することができると共に、その発生箇
所を特定できるようにした有害ガス警報器を提供
することにある。
上述の目的を達成するため、本発明に係る有害
ガス警報器は、複数の監視領域のそれぞれに接続
された通気路のそれぞれを、有害ガス検知器を介
在させた１本の探査用流路に接続し、前記通気路
のそれぞれに各別に常開型開閉弁を設けると共
に、前記常開型開閉弁を選択的に閉じ操作する選
択操作機構を設け、常時は、全ての監視領域のガ
スを同時に混合状態で検知器に流入させるように
する一方、前記有害ガス検知器によつて有害ガス
検出した場合には、前記選択操作機構によつて前
記常開型開閉弁を選択的に閉じ操作することによ
り、有害ガスの発生している監視領域を特定する
ようにしている。
ガス警報器は、複数の監視領域のそれぞれに接続
された通気路のそれぞれを、有害ガス検知器を介
在させた１本の探査用流路に接続し、前記通気路
のそれぞれに各別に常開型開閉弁を設けると共
に、前記常開型開閉弁を選択的に閉じ操作する選
択操作機構を設け、常時は、全ての監視領域のガ
スを同時に混合状態で検知器に流入させるように
する一方、前記有害ガス検知器によつて有害ガス
検出した場合には、前記選択操作機構によつて前
記常開型開閉弁を選択的に閉じ操作することによ
り、有害ガスの発生している監視領域を特定する
ようにしている。
上記特徴的構成によれば、常時は、全ての監視
領域のガスを同時に混合状態で単一の検知器に流
入させるようにしているので、何れかの監視領域
で有害ガスが発生した場合、これを直ちに検出す
ることができる。従つて、複数の監視領域に対し
て単一の検知器を設けるだけで有害ガスの発生を
検出することができるので安価である。
領域のガスを同時に混合状態で単一の検知器に流
入させるようにしているので、何れかの監視領域
で有害ガスが発生した場合、これを直ちに検出す
ることができる。従つて、複数の監視領域に対し
て単一の検知器を設けるだけで有害ガスの発生を
検出することができるので安価である。
そして、前記監視領域の何れかで有害ガスが発
生した場合には、その検知後において、常開型開
閉弁を選択的に閉じ操作することにより、有害ガ
スが発生している監視領域を検出（特定）するこ
とができるから、設定時間ずつ開閉弁を択一的に
開操作する従来のものと比べて、開閉弁の操作時
間を大幅に短縮することができ、それだけ、有害
ガスの発生している監視領域を早く特定すること
ができ、安全性を向上させることができる。
生した場合には、その検知後において、常開型開
閉弁を選択的に閉じ操作することにより、有害ガ
スが発生している監視領域を検出（特定）するこ
とができるから、設定時間ずつ開閉弁を択一的に
開操作する従来のものと比べて、開閉弁の操作時
間を大幅に短縮することができ、それだけ、有害
ガスの発生している監視領域を早く特定すること
ができ、安全性を向上させることができる。
以下、本発明の実施例を図面を基にして説明す
る。
る。
半導体工場、化学工場等における製造室等の監
視領域１，１，１夫々に通気路２が接続されると
ともに、それら通気路２…のすべてが、有害ガス
検知器３を介在させた１本の探査用流路４に接続
され、かつ、前記通気路２…夫々に電磁式の第１
ないし第３常開型開閉弁５ａ，５ｂ，５ｃが設け
られるとともに、前記検知器３に連係の選択操作
機構６によつて開閉弁５…を選択的に閉じ操作す
るように構成され、有害ガスの発生している監視
領域１…を検知する有害ガス警報器が構成されて
いる。
視領域１，１，１夫々に通気路２が接続されると
ともに、それら通気路２…のすべてが、有害ガス
検知器３を介在させた１本の探査用流路４に接続
され、かつ、前記通気路２…夫々に電磁式の第１
ないし第３常開型開閉弁５ａ，５ｂ，５ｃが設け
られるとともに、前記検知器３に連係の選択操作
機構６によつて開閉弁５…を選択的に閉じ操作す
るように構成され、有害ガスの発生している監視
領域１…を検知する有害ガス警報器が構成されて
いる。
前記通気路２…夫々に、吸引ポンプ７、流量計
８及び流量調整弁９が設けられ、監視領域１…
夫々から互いに必要量のガスを吸引して検知器３
に供給するように調整可能に構成されている。
８及び流量調整弁９が設けられ、監視領域１…
夫々から互いに必要量のガスを吸引して検知器３
に供給するように調整可能に構成されている。
前記選択操作機構６は、検知器３からの信号を
入力する制御回路１０と、その制御回路１０から
の指令信号により前記開閉弁５ａ，５ｂ，５ｃを
閉じ操作する駆動回路１１とから構成され、検知
器３による有害ガス発生の検知に伴つて開閉便５
ａ，５ｂ，５ｃを選択的に閉じ操作し、有害ガス
の発生している監視領域１…を検出するように構
成されている。
入力する制御回路１０と、その制御回路１０から
の指令信号により前記開閉弁５ａ，５ｂ，５ｃを
閉じ操作する駆動回路１１とから構成され、検知
器３による有害ガス発生の検知に伴つて開閉便５
ａ，５ｂ，５ｃを選択的に閉じ操作し、有害ガス
の発生している監視領域１…を検出するように構
成されている。
具体的には、前記制御回路１０は、開閉弁５
ａ，５ｂ，５ｃを例えば次のように閉じ操作す
る。
ａ，５ｂ，５ｃを例えば次のように閉じ操作す
る。
即ち、前記検知器３が有害ガスの発生を検知し
たとき、 ○イ 先ず第２及び第３開閉弁５ｂ，５ｃを閉じ
る。
たとき、 ○イ 先ず第２及び第３開閉弁５ｂ，５ｃを閉じ
る。
○ロ 次に、第２開閉弁５ｂを開くと共に、第１開
閉弁５ａを閉じる。
閉弁５ａを閉じる。
○ハ 最後に、第３開閉弁５ｃを開くと共に第２開
閉弁５ｂを閉じる。
閉弁５ｂを閉じる。
以上の操作をもつて、どの監視領域１で有害ガ
スが発生しているかを検知することができるので
あり、勿論、２箇所の監視領域で同時に有害ガス
が発生していても、その事態を検知できる。
スが発生しているかを検知することができるので
あり、勿論、２箇所の監視領域で同時に有害ガス
が発生していても、その事態を検知できる。
第２図は、監視領域１が多数の場合の実施例を
示し、監視領域１…をグループＧ…分けし、その
グループＧ…ごとの中間流路１２…夫々を介して
通気路２…が探査用流路４に接続されると共に、
中間流路１２…夫々に電磁式の常開型開閉弁１３
が設けられ、選択操作機構６により、上述実施例
におけると同様の手順で、先ず、有害ガスを発生
しているグループＧを検出し、その後、有害ガス
が発生されているグループＧに対して上述と同様
の手順で第１ないし第３開閉弁５ａ，５ｂ，５ｃ
を開閉操作して、最終的に有害ガスの発生源であ
る監視領域１を検出するように構成されている。
示し、監視領域１…をグループＧ…分けし、その
グループＧ…ごとの中間流路１２…夫々を介して
通気路２…が探査用流路４に接続されると共に、
中間流路１２…夫々に電磁式の常開型開閉弁１３
が設けられ、選択操作機構６により、上述実施例
におけると同様の手順で、先ず、有害ガスを発生
しているグループＧを検出し、その後、有害ガス
が発生されているグループＧに対して上述と同様
の手順で第１ないし第３開閉弁５ａ，５ｂ，５ｃ
を開閉操作して、最終的に有害ガスの発生源であ
る監視領域１を検出するように構成されている。
尚、通気路２の本数が多い場合には、マイコン
により前記選択操作機構６を構成するようにして
も良い。
により前記選択操作機構６を構成するようにして
も良い。
また、前記吸引ポンプ７を探査用流路４の排出
側に設けても良い。
側に設けても良い。
図面は本発明の有害ガス警報器の実施例を示
し、第１図はフローシート、第２図は他の実施例
を示すフローシートである。 １……監視領域、２……通気路、３……検出
器、４……探査用流路、５……常開型開閉弁、６
……選択操作機構。
し、第１図はフローシート、第２図は他の実施例
を示すフローシートである。 １……監視領域、２……通気路、３……検出
器、４……探査用流路、５……常開型開閉弁、６
……選択操作機構。
Claims (1)
- １ 複数の監視領域のそれぞれに接続された通気
路のそれぞれを、有害ガス検知器を介在させた１
本の探査用流路に接続し、前記通気路のそれぞれ
に各別に常開型開閉弁を設けると共に、これらの
常開型開閉弁を選択的に閉じ操作する選択操作機
構を設け、常時は、全ての監視領域のガスを同時
に混合状態で検知器に流入させるようにする一
方、前記有害ガス検知器によつて有害ガスを検出
した場合には、前記選択操作機構によつて前記常
開型開閉弁を選択的に閉じ操作することにより、
有害ガスの発生している監視領域を特定するよう
にしたことを特徴とする有害ガス警報器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10624483A JPS59230138A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 有害ガス警報器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10624483A JPS59230138A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 有害ガス警報器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59230138A JPS59230138A (ja) | 1984-12-24 |
| JPH0479407B2 true JPH0479407B2 (ja) | 1992-12-15 |
Family
ID=14428696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10624483A Granted JPS59230138A (ja) | 1983-06-11 | 1983-06-11 | 有害ガス警報器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59230138A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103411802A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-27 | 哈尔滨东方报警设备开发有限公司 | 带有声光报警和流量显示及调节功能的防爆抽气泵 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0713212Y2 (ja) * | 1987-03-05 | 1995-03-29 | フイガロ技研株式会社 | 半導体工業での有機溶剤蒸気の検出装置 |
| JP6442754B2 (ja) * | 2013-11-11 | 2018-12-26 | 新コスモス電機株式会社 | 環境監視システム |
| JP2022075334A (ja) * | 2020-11-06 | 2022-05-18 | 三菱電機株式会社 | 環境調査装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5441518A (en) * | 1977-09-09 | 1979-04-02 | Nippon Kokan Kk | Method of constructing reinforced concrete |
-
1983
- 1983-06-11 JP JP10624483A patent/JPS59230138A/ja active Granted
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103411802A (zh) * | 2013-08-14 | 2013-11-27 | 哈尔滨东方报警设备开发有限公司 | 带有声光报警和流量显示及调节功能的防爆抽气泵 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59230138A (ja) | 1984-12-24 |
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