JPH0497536A - ワイヤボンディング装置

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(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、ワイヤボンディング装置に関する。

〔従来の技術〕

従来の技術としては、例えば、公開特許公報子２−１７
６５４に示されているようなワイヤボンディング装置が
ある。

従来のワイヤボンディング装置は、キャピラリとキャピ
ラリ上方に設置された金線クランパとの間の金線のたる
みを除去するなめに、キャピラリの両側面を押圧するキ
ャピラリクランパを設けたことを特徴としている。

次に、従来のワイヤボンディング装置について図面を参
照して詳細に説明する。

第３図は従来例のワイヤボンディング装置を示す斜視図
、第４図は従来例のワイヤボンディング装置のキャピラ
リ先端部の部分拡大図である。

第３図、第４図において、従来のワイヤボンディング装
置は、キャピラリ１、スリット２、キャピラリクランパ
３、クランプアーム４、アームホルダ５、ホーン６、ソ
レノイド７、カム８、ローラ９、スライドシャフト１０
、バネ１１、金線１２、貫通孔１３より構成されている
。

ここで、カム８をソレノイド７により駆動し、ローラ９
を介してアームホルダ５に取り付けられたクランプアー
ム４を開閉する。

クランプアーム４の先端にはキャピラリクランパ３が固
着しており、クランプアーム４の開閉に伴ない、ホーン
６に取り付けられたキャピラリ１の両側面をキャピラリ
クランパ３が押圧する。

キャピラリ１にはスリット２が設けられており、キャピ
ラリクランパ３が押圧することにより貫通孔１３の径は
小さくなり、金線１２を把持する。

この際、クランプアーム４は、スライドシャフト１０に
案内されてスライドする。そして、バネ１１のバネ力に
よりカム８がクランプアーム１０を閉じるとき、すなわ
ち金線を把持するときの力が与えられている。

〔発明が解決しようとする課題〕

上述した従来のワイヤボンディング装置は、キャピラリ
にスリットが設けられているので、キャピラリの剛性が
弱くなり、キャピラリの寿命が低下すると共に、キャピ
ラリクランパを駆動する機構が複雑であるため高価にな
るという欠点がある。

〔課題を解決するための手段〕

本発明のワイヤボンディング装置は、先細筒形状のキャ
ピラリと、キャピラリの貫通孔の中心線を中心に貫通孔
の内径より外径を小さくし、かつ、内径を金線の外径と
ほぼ同一サイズにした複数個の扇形に分割した把持部材
と、把持部材に接続すると共に外端を前記貫通孔に接続
した複数個の圧電素子とを有している。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。

第１図は本発明の一実施例のワイヤボンディング装置の
斜視図、第２図は本発明の一実施例のワイヤボンディン
グ装置のキャピラリ先端部の部分拡大図である。

第１図、第２図において、本実施例のワイヤボンディン
グ装置は、キャピラリ１′と、その貫通孔１３の内部に
ある把持部材１６と、把持部材１６をキャピラリ１°の
内壁に接続する圧電素子１５と、圧電素子１５を駆動す
る電源１４とにより構成されている。

ここで、電源１４により圧電素子１５に通電すると、圧
電素子１５は伸縮する。それに応じて、把持部材１６は
、金線１２の中心線に関して径方向に移動するため把持
部材１６が金線１２に押しつけられたり、離れたりする
ので金線１２を把持したり、解放したりする。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明によれば、キャピラリの貫通
孔内部に圧電素子で接続した把持部材を設置することに
より、キャピラリの剛性が高くなり、キャピラリの寿命
が長くなると共に、クランパ機構を簡易できるので安価
になるという効果がある。

キャピラリクランパ、４・・・クランプアーム、５・・
・アームホルダ、６・・・ホーン、７・・・ソレノイド
、８・・・カム、９・・・ローラ、１０・・・スライド
シャフト、１１・・・バネ、１２・・・金線、１３・・
・貫通孔、１４・・・電源、１５・・・圧電素子、１６
・・・把持部材。