JPH0567560A - Ｘ線照射装置 - Google Patents
Ｘ線照射装置Info
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- JPH0567560A JPH0567560A JP3227952A JP22795291A JPH0567560A JP H0567560 A JPH0567560 A JP H0567560A JP 3227952 A JP3227952 A JP 3227952A JP 22795291 A JP22795291 A JP 22795291A JP H0567560 A JPH0567560 A JP H0567560A
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- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
- G03F7/70808—Construction details, e.g. housing, load-lock, seals or windows for passing light in or out of apparatus
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- X-Ray Techniques (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、Ｘ線の透過を妨げずにＸ線の透過部
の機械的強度を向上することができるＸ線照射装置に関
し、十分にＸ線を透過させるためＸ線の透過部の透過隔
壁の膜厚を薄くした場合でも、機械的な強度を十分に保
持することができるＸ線照射装置の提供を目的とする。 【構成】減圧容器と、該減圧容器内のＸ線の発生部と、
前記減圧容器の壁を貫通する窓に前記減圧容器内部と外
部とを遮断するＸ線の透過隔壁が形成されたＸ線の透過
部とを有するＸ線照射装置であって、前記透過隔壁12ａ
の表面に補強材17ａが形成されていることを含み構成す
る。
の機械的強度を向上することができるＸ線照射装置に関
し、十分にＸ線を透過させるためＸ線の透過部の透過隔
壁の膜厚を薄くした場合でも、機械的な強度を十分に保
持することができるＸ線照射装置の提供を目的とする。 【構成】減圧容器と、該減圧容器内のＸ線の発生部と、
前記減圧容器の壁を貫通する窓に前記減圧容器内部と外
部とを遮断するＸ線の透過隔壁が形成されたＸ線の透過
部とを有するＸ線照射装置であって、前記透過隔壁12ａ
の表面に補強材17ａが形成されていることを含み構成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ線照射装置に関し、
更に詳しく言えば、Ｘ線の透過を妨げずにＸ線の透過部
の機械的強度を向上することができるＸ線照射装置に関
する。
更に詳しく言えば、Ｘ線の透過を妨げずにＸ線の透過部
の機械的強度を向上することができるＸ線照射装置に関
する。
【０００２】近年、超ＬＳＩは微細化のためサブミクロ
ン加工技術が必要になっている。このため、パターニン
グ手段としての露光法に用いる露光光源として照射強度
及び直進性に優れたＳＯＲ（Syncrotron Orbital Radia
tion）光が注目され、これを利用したＸ線照射装置が用
いられるようになっている。
ン加工技術が必要になっている。このため、パターニン
グ手段としての露光法に用いる露光光源として照射強度
及び直進性に優れたＳＯＲ（Syncrotron Orbital Radia
tion）光が注目され、これを利用したＸ線照射装置が用
いられるようになっている。
【０００３】
【従来の技術】図４（ａ）は、従来例のＳＯＲ光を利用
したＸ線照射装置の構成図、図４（ｂ）はＸ線照射装置
のＸ線の透過部の説明図である。
したＸ線照射装置の構成図、図４（ｂ）はＸ線照射装置
のＸ線の透過部の説明図である。
【０００４】図中符号１はＳＯＲ光の発生部、２は発生
したＳＯＲ光の短波長成分をカットする反射鏡、３は減
圧容器から大気中にＸ線を取り出すために、減圧容器の
一部に形成されたＸ線の透過部で、ＳＯＲ光を発生させ
る際に減圧容器内部を減圧する必要があり、減圧容器内
部と外部とを遮断するため、Ｂｅ薄膜からなる透過隔壁
４が形成されている。従って、透過隔壁４は外側から大
気圧程度の圧力を受けて、装置の使用時には透過隔壁４
は内側に向かって凹む。また、この透過隔壁４はＳＯＲ
光の長波長成分をカットする機能も有する。５は減圧容
器外部の露光部で、Ｘ線の透過部３から照射されるＳＯ
Ｒ光により露光マスク６を用いてウエハ７上にレジスト
パターンが形成される。
したＳＯＲ光の短波長成分をカットする反射鏡、３は減
圧容器から大気中にＸ線を取り出すために、減圧容器の
一部に形成されたＸ線の透過部で、ＳＯＲ光を発生させ
る際に減圧容器内部を減圧する必要があり、減圧容器内
部と外部とを遮断するため、Ｂｅ薄膜からなる透過隔壁
４が形成されている。従って、透過隔壁４は外側から大
気圧程度の圧力を受けて、装置の使用時には透過隔壁４
は内側に向かって凹む。また、この透過隔壁４はＳＯＲ
光の長波長成分をカットする機能も有する。５は減圧容
器外部の露光部で、Ｘ線の透過部３から照射されるＳＯ
Ｒ光により露光マスク６を用いてウエハ７上にレジスト
パターンが形成される。
【０００５】また、図５（ａ），（ｂ）は、上記のＸ線
の透過部の詳細を説明する正面図及び側面図である。図
５（ａ），（ｂ）において、８はＸ線の透過部の形成さ
れている、厚い膜厚の金属板の減圧容器に取り付けられ
るフランジで、横に長い長方形状の開口部３ａが開けら
れ、そこにＢｅ薄膜からなるＸ線の透過隔壁４が形成さ
れたものである。なお、透過隔壁４は開口部３ａに接着
剤により固定されている。
の透過部の詳細を説明する正面図及び側面図である。図
５（ａ），（ｂ）において、８はＸ線の透過部の形成さ
れている、厚い膜厚の金属板の減圧容器に取り付けられ
るフランジで、横に長い長方形状の開口部３ａが開けら
れ、そこにＢｅ薄膜からなるＸ線の透過隔壁４が形成さ
れたものである。なお、透過隔壁４は開口部３ａに接着
剤により固定されている。
【０００６】このような透過隔壁４は、装置の使用時に
は減圧容器の内側に向かって凹むため、ＳＯＲ光を透過
させるのには十分に薄く、かつ機械的な強度を保持する
のに十分に厚くなければならない。
は減圧容器の内側に向かって凹むため、ＳＯＲ光を透過
させるのには十分に薄く、かつ機械的な強度を保持する
のに十分に厚くなければならない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特に、感度を
上げるため透過隔壁４の膜厚を薄くした場合には、透過
隔壁４の張力による歪みに起因する亀裂等が透過隔壁４
に生じ、減圧容器内部の気密が保てなくなるという問題
がある。
上げるため透過隔壁４の膜厚を薄くした場合には、透過
隔壁４の張力による歪みに起因する亀裂等が透過隔壁４
に生じ、減圧容器内部の気密が保てなくなるという問題
がある。
【０００８】本発明は、かかる従来技術の問題点に鑑み
て創作されたものであり、十分にＸ線を透過させるため
Ｘ線の透過部の透過隔壁の膜厚を薄くした場合でも、機
械的な強度を十分に保持することができるＸ線照射装置
の提供を目的とする。
て創作されたものであり、十分にＸ線を透過させるため
Ｘ線の透過部の透過隔壁の膜厚を薄くした場合でも、機
械的な強度を十分に保持することができるＸ線照射装置
の提供を目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記課題は、第１に、減
圧容器内のＸ線の発生部と、Ｘ線の透過隔壁により減圧
容器内部と外部とが遮断されたＸ線の透過部とを有する
Ｘ線照射装置であって、前記透過隔壁の表面に補強材が
形成されていることを特徴とするＸ線照射装置によって
達成され、第２に、前記透過隔壁はベリリウム（Ｂｅ）
膜又はステンレス（ＳＵＳ）膜からなり、前記透過隔壁
の表面に形成された補強材は、格子状又は帯状のベリリ
ウム（Ｂｅ）材又はステンレス（ＳＵＳ）材であること
を特徴とする第１の発明に記載のＸ線照射装置によって
達成され、第３に、減圧容器内のＸ線の発生部と、透過
隔壁により前記減圧容器内部と外部とが遮断されたＸ線
の透過部とを有するＸ線照射装置であって、前記透過隔
壁は周辺部の膜厚が中央部の膜厚よりも厚くなっている
ことを特徴とするＸ線照射装置によって達成される。
圧容器内のＸ線の発生部と、Ｘ線の透過隔壁により減圧
容器内部と外部とが遮断されたＸ線の透過部とを有する
Ｘ線照射装置であって、前記透過隔壁の表面に補強材が
形成されていることを特徴とするＸ線照射装置によって
達成され、第２に、前記透過隔壁はベリリウム（Ｂｅ）
膜又はステンレス（ＳＵＳ）膜からなり、前記透過隔壁
の表面に形成された補強材は、格子状又は帯状のベリリ
ウム（Ｂｅ）材又はステンレス（ＳＵＳ）材であること
を特徴とする第１の発明に記載のＸ線照射装置によって
達成され、第３に、減圧容器内のＸ線の発生部と、透過
隔壁により前記減圧容器内部と外部とが遮断されたＸ線
の透過部とを有するＸ線照射装置であって、前記透過隔
壁は周辺部の膜厚が中央部の膜厚よりも厚くなっている
ことを特徴とするＸ線照射装置によって達成される。
【００１０】
【作 用】本願発明者の調査によれば、亀裂の発生部は
主としてＸ線の透過部の角部又は左右の側部（図５
（ａ）のＥ１部，Ｅ２部）であることが判明した。これ
は、この部分が透過隔壁への張力による歪みの最も集中
し易い部分であるためと考えられる。
主としてＸ線の透過部の角部又は左右の側部（図５
（ａ）のＥ１部，Ｅ２部）であることが判明した。これ
は、この部分が透過隔壁への張力による歪みの最も集中
し易い部分であるためと考えられる。
【００１１】本発明のＸ線照射装置においては、第１
に、透過部の透過隔壁の表面に補強材が形成されてい
る。例えば、Ｂｅ薄膜からなる透過隔壁に格子状又は帯
状のＢｅ材が一体的に形成されることにより、又は格子
状又は帯状のＢｅ材又はＳＵＳ材が別に張りつけられる
ことにより補強材が構成されている。
に、透過部の透過隔壁の表面に補強材が形成されてい
る。例えば、Ｂｅ薄膜からなる透過隔壁に格子状又は帯
状のＢｅ材が一体的に形成されることにより、又は格子
状又は帯状のＢｅ材又はＳＵＳ材が別に張りつけられる
ことにより補強材が構成されている。
【００１２】従って、十分にＸ線を透過させるためＸ線
の透過部の透過隔壁の膜厚を薄くした場合でも、補強材
により透過隔壁の凹みを防止し、透過隔壁への張力によ
る歪みの発生を防止することができる。これにより、Ｘ
線の透過を妨げることなく透過隔壁の機械的な強度を十
分に保持することができる。
の透過部の透過隔壁の膜厚を薄くした場合でも、補強材
により透過隔壁の凹みを防止し、透過隔壁への張力によ
る歪みの発生を防止することができる。これにより、Ｘ
線の透過を妨げることなく透過隔壁の機械的な強度を十
分に保持することができる。
【００１３】第２に、透過部の透過隔壁は周辺部の膜厚
が中央部の膜厚よりも厚くなっているような構造を有し
ている。従って、張力による歪みを最も受けやすい透過
隔壁の周辺部の膜厚を厚くして機械的な強度を向上し、
かつこれと独立にＸ線の透過率を左右する中央部の膜厚
を薄くしてＸ線の透過率を向上することができる。従っ
て、十分にＸ線を透過させるとともに、機械的な強度を
十分に保持することができる。
が中央部の膜厚よりも厚くなっているような構造を有し
ている。従って、張力による歪みを最も受けやすい透過
隔壁の周辺部の膜厚を厚くして機械的な強度を向上し、
かつこれと独立にＸ線の透過率を左右する中央部の膜厚
を薄くしてＸ線の透過率を向上することができる。従っ
て、十分にＸ線を透過させるとともに、機械的な強度を
十分に保持することができる。
【００１４】
（１）本発明の実施例のＸ線透過部を有するＸ線照射装
置 図１（ａ），（ｂ）は、本発明の実施例のＸ線透過部を
有するＸ線照射装置について説明する正面図及び側面図
である。
置 図１（ａ），（ｂ）は、本発明の実施例のＸ線透過部を
有するＸ線照射装置について説明する正面図及び側面図
である。
【００１５】図４（ａ），（ｂ）において、９は電子蓄
積リングを用いて電磁場により電子に軌道運動をさせて
ＳＯＲ光を発生させる減圧容器内のＳＯＲ光の発生部
（Ｘ線の発生部）、１０は発生したＳＯＲ光の短波長成
分をカットする減圧容器内の反射鏡、１１は減圧容器か
ら大気中にＸ線を取り出すために、減圧容器の一部に形
成されたＸ線の透過部で、ＳＯＲ光を発生させる際に減
圧容器内部を減圧する必要があり、減圧容器内部と外部
とを遮断するためＢｅ薄膜からなる透過隔壁１２が形成
されている。従って、透過隔壁１２は外側から大気圧程
度の圧力を受ける。また、この透過隔壁１２は長波長成
分をカットする機能も有する。１３は減圧容器外部の露
光部で、Ｘ線の透過部１１から照射されるＳＯＲ光によ
り露光マスク１４を用いてウエハ１５上にレジストパタ
ーンが形成される。
積リングを用いて電磁場により電子に軌道運動をさせて
ＳＯＲ光を発生させる減圧容器内のＳＯＲ光の発生部
（Ｘ線の発生部）、１０は発生したＳＯＲ光の短波長成
分をカットする減圧容器内の反射鏡、１１は減圧容器か
ら大気中にＸ線を取り出すために、減圧容器の一部に形
成されたＸ線の透過部で、ＳＯＲ光を発生させる際に減
圧容器内部を減圧する必要があり、減圧容器内部と外部
とを遮断するためＢｅ薄膜からなる透過隔壁１２が形成
されている。従って、透過隔壁１２は外側から大気圧程
度の圧力を受ける。また、この透過隔壁１２は長波長成
分をカットする機能も有する。１３は減圧容器外部の露
光部で、Ｘ線の透過部１１から照射されるＳＯＲ光によ
り露光マスク１４を用いてウエハ１５上にレジストパタ
ーンが形成される。
【００１６】（２）第１及び第２の実施例 次に、図１（ａ）は、上記のＸ線照射装置に形成された
第１の実施例のＸ線の透過部の詳細を説明する正面図、
図１（ｂ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
第１の実施例のＸ線の透過部の詳細を説明する正面図、
図１（ｂ）は、図１（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【００１７】図１（ａ），（ｂ）において、１６はＸ線
の透過部１１が形成された、厚い膜厚の金属板からなる
減圧容器の一部に取り付けられる直径約１５２ｃｍ、板
厚約２０ｍｍのＳＵＳからなるフランジで、このフラン
ジには１０×５５ｍｍの横に長い長方形状の開口部11ａ
が開けられ、そこに膜厚約２５μｍのＢｅ薄膜からなる
Ｘ線の透過隔壁12ａが形成されたものである。また、17
ａは透過隔壁12ａの表面に左右の側部から張り渡された
Ｂｅ又はＳＵＳからなる幅100 μｍ, 膜厚10μｍの帯状
の補強材で、透過隔壁12ａと別に作成され、接着剤によ
り透過隔壁12ａの表面に張りつけられている。この透過
隔壁12ａはＡｇロー等の接着剤により開口部11ａに固着
されている。
の透過部１１が形成された、厚い膜厚の金属板からなる
減圧容器の一部に取り付けられる直径約１５２ｃｍ、板
厚約２０ｍｍのＳＵＳからなるフランジで、このフラン
ジには１０×５５ｍｍの横に長い長方形状の開口部11ａ
が開けられ、そこに膜厚約２５μｍのＢｅ薄膜からなる
Ｘ線の透過隔壁12ａが形成されたものである。また、17
ａは透過隔壁12ａの表面に左右の側部から張り渡された
Ｂｅ又はＳＵＳからなる幅100 μｍ, 膜厚10μｍの帯状
の補強材で、透過隔壁12ａと別に作成され、接着剤によ
り透過隔壁12ａの表面に張りつけられている。この透過
隔壁12ａはＡｇロー等の接着剤により開口部11ａに固着
されている。
【００１８】また、図２（ａ）は本発明の第２の実施例
のＸ線の透過部の詳細を説明する正面図、図２（ｂ）
は、図１（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。第１の実施例
と異なるところは、Ｂｅ又はＳＵＳからなる帯状の補強
材17ｂが開口部11ｂの幅の狭い縦方向に透過隔壁12ｂの
表面に張り渡されていることである。この補強材17ｂも
透過隔壁12ｂと別に作成され、接着剤により透過隔壁12
ｂの表面に張りつけられている。
のＸ線の透過部の詳細を説明する正面図、図２（ｂ）
は、図１（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。第１の実施例
と異なるところは、Ｂｅ又はＳＵＳからなる帯状の補強
材17ｂが開口部11ｂの幅の狭い縦方向に透過隔壁12ｂの
表面に張り渡されていることである。この補強材17ｂも
透過隔壁12ｂと別に作成され、接着剤により透過隔壁12
ｂの表面に張りつけられている。
【００１９】以上のように、本発明の第１及び第２の実
施例のＸ線透過部を有するＸ線照射装置によれば、透過
部１１の透過隔壁12ａ，12ｂの表面に補強材17ａ，17ｂ
が形成されている。即ち、帯状のＢｅ材又はＳＵＳ材が
透過隔壁12ａ，12ｂと別に張りつけることにより形成さ
れているので、十分にＸ線を透過させるためＸ線の透過
部１１の透過隔壁12ａ，12ｂの膜厚を薄くした場合で
も、補強材17ａ，17ｂにより透過隔壁12ａ，12ｂの凹み
を防止し、凹みによる応力が集中し易い透過隔壁12ａ，
12ｂの周辺部への歪みの発生を防止することができる。
これにより、Ｘ線の透過を妨げることなく機械的な強度
を十分に保持することができる。
施例のＸ線透過部を有するＸ線照射装置によれば、透過
部１１の透過隔壁12ａ，12ｂの表面に補強材17ａ，17ｂ
が形成されている。即ち、帯状のＢｅ材又はＳＵＳ材が
透過隔壁12ａ，12ｂと別に張りつけることにより形成さ
れているので、十分にＸ線を透過させるためＸ線の透過
部１１の透過隔壁12ａ，12ｂの膜厚を薄くした場合で
も、補強材17ａ，17ｂにより透過隔壁12ａ，12ｂの凹み
を防止し、凹みによる応力が集中し易い透過隔壁12ａ，
12ｂの周辺部への歪みの発生を防止することができる。
これにより、Ｘ線の透過を妨げることなく機械的な強度
を十分に保持することができる。
【００２０】なお、第１及び第２の実施例では、帯状の
Ｂｅ材又はＳＵＳ材が透過隔壁12ａ，12ｂと別に形成さ
れ、これが透過隔壁12ａ，12ｂの表面に張りつけられる
ことにより補強材が構成されているが、例えばＢｅ膜を
エッチング等により選択的に除去し、帯状のＢｅ材がＢ
ｅ薄膜からなる透過隔壁12ａ，12ｂと一体的に形成され
ることにより補強材が構成されていてもよい。
Ｂｅ材又はＳＵＳ材が透過隔壁12ａ，12ｂと別に形成さ
れ、これが透過隔壁12ａ，12ｂの表面に張りつけられる
ことにより補強材が構成されているが、例えばＢｅ膜を
エッチング等により選択的に除去し、帯状のＢｅ材がＢ
ｅ薄膜からなる透過隔壁12ａ，12ｂと一体的に形成され
ることにより補強材が構成されていてもよい。
【００２１】（３）第３の実施例 図３（ａ）は、本発明の第３の実施例のＸ線の透過部を
有するＸ線照射装置について説明する正面図、図３
（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。
有するＸ線照射装置について説明する正面図、図３
（ｂ）は、図３（ａ）のＣ−Ｃ線断面図である。
【００２２】図３（ａ），（ｂ）において、図１
（ａ），（ｂ）及び図２（ａ），（ｂ）と異なるところ
は、透過隔壁12ａ，12ｂの表面に帯状の補強材17ａ，17
ｂが形成されるかわりに、特に応力が集中し易く、かつ
Ｘ線の透過に関係のない透過隔壁12ｃの周辺部の膜厚を
厚くし、Ｘ線の透過に関係する透過隔壁12ｃの中央部の
膜厚を薄くする構造にしていることである。
（ａ），（ｂ）及び図２（ａ），（ｂ）と異なるところ
は、透過隔壁12ａ，12ｂの表面に帯状の補強材17ａ，17
ｂが形成されるかわりに、特に応力が集中し易く、かつ
Ｘ線の透過に関係のない透過隔壁12ｃの周辺部の膜厚を
厚くし、Ｘ線の透過に関係する透過隔壁12ｃの中央部の
膜厚を薄くする構造にしていることである。
【００２３】従って、張力による歪みを最も受けやすい
透過隔壁12ｃの周辺部の膜厚を厚くして機械的な強度を
向上し、かつこれと独立にＸ線の透過率を左右する中央
部の膜厚を薄くしてＸ線の透過率を向上することができ
る。これにより、十分にＸ線を透過させるとともに、機
械的な強度を十分に保持することができる。
透過隔壁12ｃの周辺部の膜厚を厚くして機械的な強度を
向上し、かつこれと独立にＸ線の透過率を左右する中央
部の膜厚を薄くしてＸ線の透過率を向上することができ
る。これにより、十分にＸ線を透過させるとともに、機
械的な強度を十分に保持することができる。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明のＸ線照射装置に
おいては、第１に、透過部の透過隔壁の表面に補強材が
形成されている。例えば、Ｂｅ薄膜からなる透過隔壁に
格子状又は帯状のＢｅ材又はＳＵＳ材が一体的に、又は
別に張りつけることにより形成されている。
おいては、第１に、透過部の透過隔壁の表面に補強材が
形成されている。例えば、Ｂｅ薄膜からなる透過隔壁に
格子状又は帯状のＢｅ材又はＳＵＳ材が一体的に、又は
別に張りつけることにより形成されている。
【００２５】従って、十分にＸ線を透過させるためＸ線
の透過部の透過隔壁の膜厚を薄くした場合でも、補強材
によりＸ線の透過を妨げることなく透過隔壁の機械的な
強度を十分に保持することができる。
の透過部の透過隔壁の膜厚を薄くした場合でも、補強材
によりＸ線の透過を妨げることなく透過隔壁の機械的な
強度を十分に保持することができる。
【００２６】第２に、透過部の透過隔壁は周辺部の膜厚
が中央部の膜厚よりも厚くなっているような構造を有し
ている。従って、透過隔壁の機械的な強度を周辺部の膜
厚により、かつＸ線の透過率を中央部の膜厚により互い
に無関係に調整することができるので、十分にＸ線を透
過させるとともに、機械的な強度を十分に保持すること
ができる。
が中央部の膜厚よりも厚くなっているような構造を有し
ている。従って、透過隔壁の機械的な強度を周辺部の膜
厚により、かつＸ線の透過率を中央部の膜厚により互い
に無関係に調整することができるので、十分にＸ線を透
過させるとともに、機械的な強度を十分に保持すること
ができる。
【図１】本発明の第１の実施例のＸ線照射装置のＸ線の
透過部について説明する図である。
透過部について説明する図である。
【図２】本発明の第２の実施例のＸ線照射装置のＸ線の
透過部について説明する図である。
透過部について説明する図である。
【図３】本発明の第３の実施例のＸ線照射装置のＸ線の
透過部について説明する図である。
透過部について説明する図である。
【図４】Ｘ線照射装置について説明する構成図である。
【図５】従来例のＸ線照射装置のＸ線の透過部について
説明する図である。
説明する図である。
９ ＳＯＲ光の発生部（Ｘ線の発生部）、 １０ 反射鏡、 １１ Ｘ線の透過部、 11ａ〜11ｃ 開口部、 １２，12ａ〜12ｃ 透過隔壁、 １３ 露光部、 １４ マスク、 １５ ウエハ、 １６ フランジ、 17ａ，17ｂ 補強材。
Claims (3)
- 【請求項１】 減圧容器と、該減圧容器内のＸ線の発生
部と、前記減圧容器の壁を貫通する窓に前記減圧容器内
部と外部とを遮断するＸ線の透過隔壁が形成されたＸ線
透過部とを有するＸ線照射装置であって、前記透過隔壁
の表面に補強材が形成されていることを特徴とするＸ線
照射装置。 - 【請求項２】 前記透過隔壁はベリリウム（Ｂｅ）膜か
らなり、前記透過隔壁の表面に形成された補強材は、格
子状又は帯状のベリリウム（Ｂｅ）材又はステンレス
（ＳＵＳ）材であることを特徴とする請求項１記載のＸ
線照射装置。 - 【請求項３】 減圧容器と、該減圧容器内のＸ線の発生
部と、前記減圧容器の壁を貫通する窓に前記減圧容器内
部と外部とを遮断するＸ線の透過隔壁が形成されたＸ線
透過部とを有するＸ線照射装置であって、前記透過隔壁
は周辺部の膜厚が中央部の膜厚よりも厚くなっているこ
とを特徴とするＸ線照射装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227952A JPH0567560A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Ｘ線照射装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3227952A JPH0567560A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Ｘ線照射装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0567560A true JPH0567560A (ja) | 1993-03-19 |
Family
ID=16868842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3227952A Withdrawn JPH0567560A (ja) | 1991-09-09 | 1991-09-09 | Ｘ線照射装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0567560A (ja) |
-
1991
- 1991-09-09 JP JP3227952A patent/JPH0567560A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981203 |