JPH0627674A

JPH0627674A - 露光装置

Info

Publication number: JPH0627674A
Application number: JP4115475A
Authority: JP
Inventors: Minoru Tanaka; 中稔田; Akira Nagai; 井章永; Katsuya Sannomiya; 宮勝也三; Wataru Sugano; 野渉菅; Atsushi Sakai; 井淳坂
Original assignee: Adtec Engineering Co Ltd; Canon Components Inc
Current assignee: Adtec Engineering Co Ltd; Canon Components Inc
Priority date: 1992-04-07
Filing date: 1992-04-07
Publication date: 1994-02-04

Abstract

(57)【要約】【目的】作業が簡単で精度の高い露光装置を提供する。【構成】ガラス板１に透明フィルム２がその周囲を気密
に固定され、この間に空気が導入されて、透明フィルム
２が膨らむ。フィルムマスク３は透明フィルム２の上に
吸着フレーム６により装脱着可能に設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】プリント配線基板の導体のパターンを形
成するために、近年ＩＣ等の製造に用いられるフォトリ
ソグラフィー法が用いられるようになってきている。こ
の方法は、形成すべきパターンを描いた原版を用いて、
これに光を投影露光することによりプリント配線基板に
原版と同一のパターンを描く方法である。ＩＣ等の製造
の際には高い精度を要求されるために、原版としてはガ
ラス板が用いられるが、プリント配線基板の場合には比
較的精度が低くて良いため、原版としてフィルムマスク
を用いるのが普通である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしフィルムマスク
を用いた場合、フィルムマスクとプリント配線基板の密
着が不十分であると投射された光が回り込みパターンの
幅が一定にならない問題を生じる。そのため、フィルム
マスクとプリント配線基板を密着させることが極めて重
要である。このフィルムマスクとプリント配線基板を密
着させるために、従来はフィルムマスクとプリント配線
基板を機械的に密着させた後に、フィルムマスクとプリ
ント配線基板の間を吸引して負圧にすることによりフィ
ルムマスクとプリント配線基板の密着を図っていたが、
この構造の場合フィルムマスクとプリント配線基板の間
の負圧を保つために構造が複雑になる上、十分な負圧を
得ることが難しく十分な密着性を得られない欠点があっ
た。このような従来の装置の欠点を解決するために、フ
ィルムマスクの背面側に流体を導入してフィルムマスク
を加圧し、この加圧によりフィルムマスクをプリント配
線基板に密着させる技術が本願出願人により提案済みで
ある。本発明はこの提案済みの発明に更に改良を加え
て、フィルムマスクの装着性の優れた露光装置を提供す
ることを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の露光装置は、露光波長を透過する支持基板
と、該支持基板に装着され、露光波長を透過する柔軟材
と、該柔軟材に装着されたフィルムマスクと、前記柔軟
材と支持基板の間に流体を導入して、該フィルムマスク
を被露光対象に対して加圧する加圧装置とを備えたこと
を特徴とする。

【０００５】

【作用】柔軟材と支持基板の間に流体が導入され、該柔
軟材がふくらむことにより、フィルムマスクを加圧して
被露光対象にフィルムマスクを密着させる。

【０００６】

【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１において作業対象物であるプリント配線基板Ｘ
はテ−ブルＹに載置されており、テ−ブルＹは上下方向
に移動可能で、フィルムマスク３にプリント配線基板Ｘ
を当接させることが出来るように構成されている。プリ
ント配線基板Ｘはテ−ブルＹにおいて位置合わせがなさ
れており、フィルムマスク３に形成されたパターンが光
源装置４からの露光によりプリント配線基板Ｘ上の適正
な位置に投影され焼き付けられるようになっている。

【０００７】ガラス板１は光源装置４からの露光の波長
に応じて該波長を透過する材質からなり、この実施例で
は紫外線を透過するように構成されている。このガラス
板１に透明フィルム２が装着され、該透明フィルム２の
上にフィルムマスク３が着脱容易に装着された構成にな
っている。

【０００８】ガラス板１はその周囲を固定フレーム９に
押えフレーム１０により固定されており、該押えフレー
ム１０は固定ネジ１２により固定フレーム９に締結され
ている。押えフレーム１０は同時に透明フィルム２の全
周囲をガラス板１に対して締結しており、該ガラス板１
と透明フィルム２の全周囲は気密状態を保つように該押
えフレーム１０により密着固定されている。透明フィル
ム２は柔軟性を保ち且つ露光波長を透過する必要があ
る。この実施例では光源装置４からの光が紫外線である
から、これを透過するために透明体とし、且つ柔軟性を
保つためにフィルム体としている。

【０００９】固定フレーム９にはスプリング１１がガラ
ス板１に対向して設けられており、このバネ力によりガ
ラス板１の固定力及び透明フィルム２のガラス板１に対
する密着力が決定されるように構成されている。このス
プリング１１により、ガラス板１が割れることがなく、
またガラス板１と透明フィルム２の間を気密状態に密着
させることが可能になる。該スプリング１１はガラス板
１の周囲に対応する位置に適宜の数設ければ良く、ガラ
ス板１の面積、後述する導入流体の圧力及び各スプリン
グ１１の強さに応じて決定すればよい。この実施例では
周囲に５５個のスプリング１１を設けている。

【００１０】ガラス板１と透明フィルム２の間には空気
等の流体が押圧装置５により導入されるように構成され
ている。固定フレーム９とガラス板１にはその厚さ方向
に給気孔５０が貫通し、該給気孔５０に空圧源５４から
空気が導入されるように構成されている。給気孔５０は
ガラス板１と透明フィルム２の隙間に開口しており、給
気孔５０から導入される空気により透明フィルム２は図
示するように膨らむようになっている。この膨みにより
フィルムマスク３をプリント配線基板Ｘに押圧するよう
に構成されている。

【００１１】空圧源５４と給気孔５０の間には圧力調整
弁５１と電磁開閉弁５２及び空調機５３が設けられてお
り、電磁開閉弁５２により空気の導入の制御を行うと共
に、圧力調整弁５１により圧力調整を行うようになって
いる。また空調機５３により導入する空気の温度と湿度
を制御できるようになっている。なお、固定フレーム９
とガラス板１の間の給気孔５０の周囲にはＯリング５５
が介装され、導入される空気が外部に漏れないように構
成されている。このように導入する空気の圧力と温度及
び湿度を適正に管理することによりフィルムマスク３の
伸びや縮みを生ずることがなく、フィルムマスク３に描
かれたパターンの寸法を一定に保つことが可能になる。

【００１２】フィルムマスク３は透明フィルム２の上に
吸着フレーム６により着脱可能に装着されている。吸着
フレーム６は断面凹字状のフレームであり、該凹部の空
気を電磁開閉弁６０を介して真空ポンプ６１により吸引
する構成になっている。フィルムマスク３の周囲は該吸
着フレーム６に押さえられ、その端部は該凹部近傍に位
置するようになっている。この状態で真空ポンプ６１に
より該凹部を吸引すると、フィルムマスク３と透明フィ
ルム２の間の空気がフィルムマスクの端部から吸引され
てフィルムマスク３と透明フィルム２が密着すると共
に、負圧により吸着フレーム６がガラス板１方向に押さ
れて、フィルムマスク３の周囲をガラス板１に押しつけ
て締結するように構成されている。このようにフィルム
マスク３は吸着フレーム６を装着して、電磁開閉弁６０
をオンすることにより簡単に透明フィルム２上に装着で
き、しかも真空ポンプ６１の吸引により透明フィルム２
とフィルムマスク３の間に隙間を生ずることなく密着す
ることが可能になる。

【００１３】図２はスプリング１１に代えてゴムプレー
ト１５を用いた実施例を示すものである。この構成の場
合ガラス板１と透明フィルム２の気密性をより高く保つ
ことができる利点がある。なお、この他に空気バネ等を
用いることも可能である。

【００１４】上記した構成において、プリント配線基板
Ｘをテ−ブルＹに載置し、アライメントを行ってプリン
ト配線基板Ｘとフィルムマスク３の位置を合わせる。そ
してテ−ブルＹを上昇し、プリント配線基板Ｘをフィル
ムマスク３に当接させ、空圧源５４から空調機５３と電
磁開閉弁５２及び圧力調整弁５１を介して所定の圧力で
空気を給気孔５０に送る。これにより透明フィルム２と
ガラス板１の間は大気圧より高圧の所定の圧力になり、
透明フィルム２がプリント配線基板Ｘ方向に膨らみ、こ
れに伴ってフィルムマスク３はプリント配線基板Ｘ上に
密着する。この状態で光源装置４よりガラス板１上面か
ら光を照射してフィルムマスク３のパターンをプリント
配線基板Ｘ上に焼き付ける。フィルムマスク３はプリン
ト配線基板Ｘに密着しているため、きわめて精度の高い
露光が実現できる。またガラス板１と透明フィルム２の
間に導入される空気は圧力調整弁５１により一定の圧力
に保たれ、また空調機５３によりその温度と湿度がコン
トロールされているため、フィルムマスク３に伸びや収
縮が生ずることなく、これによっても精度の高いパター
ンの焼付けが可能になる。露光が終了したら、テ−ブル
Ｙを下降させプリント配線基板Ｘを取り出して、このプ
リント配線基板Ｘを現像工程及びエッチング工程に送
る。

【００１５】以上説明した構成においては、空気などの
流体を導入するための透明フィルム２を別途設け、これ
を予めガラス板１に装着してあるため、フィルムマスク
３の装脱着は吸着フレーム６により簡単にしかも短時間
に行うことが可能になる。また、透明フィルム２は度々
取り外す必要がないため、空気漏れも減少し、透明フィ
ルム２とガラス板１の間にゴミが入ること等もない。ま
た吸着フレーム６の電磁開閉弁６０による吸引により透
明フィルム２とフィルムマスク３を密着させることがで
きるから、露光の精度を阻害することがない。更にスプ
リング１１やゴムプレート１５によりガラス板１を固定
しているため、ガラス板１を割ることがなく、しかもガ
ラス板１と透明フィルム２の周囲を気密に密着させるこ
とが可能になる。また、押圧装置５の圧力調整弁５１と
空調機５３により導入される空気の圧力と温度及び湿度
が所定の値に保たれるため、フィルムマスク３の伸びな
どが生ずることがない等の効果がある。

【００１６】

【発明の効果】以上説明したように本発明の露光装置
は、露光波長を透過する支持基板と、該支持基板に装着
され露光波長を透過する柔軟材と、該柔軟材に装着され
たフィルムマスクと、前記柔軟材と支持基板の間に流体
を導入して、該フィルムマスクを被露光対象に対して加
圧する加圧装置とを備えているため、簡単に精度の高い
露光を実現できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す立断面図。

【図２】本発明の他の実施例を示す立断面図。

【符号の説明】１：ガラス板、２：透明フィルム、３：フィルムマス
ク、４：光源装置、５：押圧装置、６：吸着フレーム、
９：固定フレーム、１０：押えフレーム、１１：スプリ
ング、１２：固定ネジ、１５：ゴムプレート、５０：給
気孔、５１：圧力調整弁、５２：電磁開閉弁、５３：空
調機、５４：空圧源、５５：Ｏリング、６０：電磁開閉
弁、６１：真空ポンプ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者三宮勝也東京都品川区南大井６丁目25番14号株式会社アドテックエンジニアリング内 (72)発明者菅野渉東京都品川区南大井６丁目25番14号株式会社アドテックエンジニアリング内 (72)発明者坂井淳東京都品川区南大井６丁目25番14号株式会社アドテックエンジニアリング内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】露光波長を透過する支持基板と、該支持基板に装着され、露光波長を透過する柔軟材と、該柔軟材に装着されたフィルムマスクと、前記柔軟材と支持基板の間に流体を導入して、該フィル
ムマスクを被露光対象に対して押圧する押圧装置と、を備えたことを特徴とする露光装置。
【請求項２】フィルムマスクの周囲を柔軟材に対して
押しつけるフレームを備え、該フレームとフィルムマス
クとの間を吸引することによりフィルムマスクを柔軟材
に装着する、請求項１に記載の露光装置。
【請求項３】前記流体の圧力と温度及び湿度を調整す
る手段を設けた、請求項１に記載の露光装置。
【請求項４】前記支持基板と柔軟材の周囲を弾性体を
介して固定フレームに締結した、請求項１に記載の露光装置。