JPH063417A - Circuit board inspection device - Google Patents

Circuit board inspection device

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Publication number
JPH063417A
JPH063417A JP4187406A JP18740692A JPH063417A JP H063417 A JPH063417 A JP H063417A JP 4187406 A JP4187406 A JP 4187406A JP 18740692 A JP18740692 A JP 18740692A JP H063417 A JPH063417 A JP H063417A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
probe
image
circuit board
terminal
picture
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP4187406A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Sanefumi Irikida
実文 入木田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Graphtec Corp
Original Assignee
Graphtec Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Graphtec Corp filed Critical Graphtec Corp
Priority to JP4187406A priority Critical patent/JPH063417A/en
Publication of JPH063417A publication Critical patent/JPH063417A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To enable a probe to be easily brought into contact with a measuring terminal by moving a curcor with a mouse to point out the picture image of desired terminal and controlling automatic operation so that a probe position will coicide with the terminal position. CONSTITUTION:After an picture image of a measuring objective board 4 is measured by a CCD camera 32 while moving a carriage 30, the output is A/D converted and the positions of picture elements are stored as addresses in a picture memory 7. By a picture read-out signal from a host computer 1, the picture signal from the memory 7 is read out and is indicated on a display 9. A cursor position is displayed on the display 9 by using a mouse 10. After the cursor is removed until it is placed on the picture image of desired terminal and a signal is sent from the mouse 10, an automatic alignment mechanism is activated, so that the position of the probe 31 is coicided with that of the desired terminal. At this position, a solenoid is energized to lower the probe 31 so as to measure the terminal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は回路基板検査装置に関す
るものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a circuit board inspection device.

【0002】[0002]

【従来の技術】本発明の先行技術としては、本願出願人
が昭和62年3月5日「ファンクションテスタ」と題し
て出願した特願昭62−050574号(特開昭63−
215976号、以下、先出願という)がある。図4は
先出願の構成を示す斜視図で、図において3は測定対象
基板が装着されるX−Yテーブル、30はキャリッジ、
31はプローブ、33はY軸バー、35はY軸モータ、
36はX軸バー、37はX軸モータ、38はソレノイド
である。X−Yテーブルの平面がX−Y平面であるX−
Y−Z直交座標において、X軸バー36は座標のX軸に
平行に設けられ、Y軸バー33は座標のY軸に平行に設
けられ、X軸モータ37はY軸バー33をX軸バー36
上の任意の位置に駆動する。またY軸モータ35はキャ
リッジ30をY軸バー上の任意の位置に駆動する。従っ
て、キャリッジ30に搭載されているプローブ31は、
X−Y平面内で任意の位置に移動可能となる。
2. Description of the Related Art As a prior art of the present invention, Japanese Patent Application No. 62-050574 (Japanese Patent Laid-Open No. 63-05074) filed by the applicant of the present application on March 5, 1987 entitled "Function Tester".
No. 215976, hereinafter referred to as prior application). FIG. 4 is a perspective view showing the configuration of the prior application, in which 3 is an XY table on which a substrate to be measured is mounted, 30 is a carriage,
31 is a probe, 33 is a Y-axis bar, 35 is a Y-axis motor,
36 is an X-axis bar, 37 is an X-axis motor, and 38 is a solenoid. The plane of the XY table is the XY plane X-
In the YZ orthogonal coordinates, the X-axis bar 36 is provided parallel to the X-axis of the coordinate, the Y-axis bar 33 is provided parallel to the Y-axis of the coordinate, and the X-axis motor 37 connects the Y-axis bar 33 to the X-axis bar. 36
Drive to any position above. The Y-axis motor 35 drives the carriage 30 to an arbitrary position on the Y-axis bar. Therefore, the probe 31 mounted on the carriage 30 is
It becomes possible to move to any position in the XY plane.

【0003】また、X軸モータ37,Y軸モータ35に
は、パルスモータが使用される場合が多く、パルスモー
タの場合は入力したパルス数の代数的(正転パルスを+
とし、逆転パルスを−とする)積算値が移動量となるの
で、プローブ31の移動量は簡単に検出することがで
き、したがってプローブ31の位置座標は容易に検出す
ることができる。パルスモータ以外のモータを使用する
場合にも公知の方法によりプローブ31の位置座標を検
出することができる。さらに、与えられた位置座標に合
致するように、プローブ31の位置を自動制御すること
も公知の方法で可能である。
A pulse motor is often used as the X-axis motor 37 and the Y-axis motor 35. In the case of a pulse motor, the input pulse number is algebraic (the forward rotation pulse is +
Since the integrated value is the moving amount, the moving amount of the probe 31 can be easily detected, and thus the position coordinate of the probe 31 can be easily detected. Even when a motor other than the pulse motor is used, the position coordinates of the probe 31 can be detected by a known method. Furthermore, it is also possible to automatically control the position of the probe 31 so as to match the given position coordinates by a known method.

【0004】先出願の装置ではX−Yテーブル3に基準
基板(図示せず)を載置して所定の端子に順次プローブ
を接触させてデータを取り、このデータを記憶手段(図
3には図示せず)に記憶させておき、次に検査対象基板
をX−Yテーブル3上に載値し上記所定の端子に順次プ
ローブを接触させてデータをとり、このデータを記憶手
段に記憶した標準基板のデータと比較して良否を決定し
た。
In the apparatus of the prior application, a reference substrate (not shown) is placed on the XY table 3, probes are sequentially brought into contact with predetermined terminals to obtain data, and this data is stored in a storage means (see FIG. 3). (Not shown), the substrate to be inspected is then placed on the XY table 3, probes are sequentially brought into contact with the predetermined terminals to obtain data, and this data is stored in the storage means. The quality was determined by comparing with the data of the substrate.

【0005】この場合、プローブ31を正確に所望の端
子位置に(X−Y平面内での)一致させることが面倒な
作業になる。例えば、特開昭61−262671号公報
に開示されているような従来の装置では、別に回路基板
の原図をディジタイザ上に載置して、その原図について
ディジタイザにより所望の端子の位置座標を求め、求め
た位置座標に関しX−Yテーブル上でプローブの位置制
御を行うという面倒な操作を行っている。上述の先出願
に係る発明では、この面倒な操作を避けるため、キャリ
ッジ30に集束光源(図示せず)を設け、この集束光源
により所望の端子を照射すると、プローブが当該端子上
に自動位置制御されるようにした。
In this case, accurately aligning the probe 31 with a desired terminal position (in the XY plane) is a troublesome work. For example, in a conventional device as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 61-262671, an original drawing of a circuit board is separately placed on a digitizer, and the digitizer determines the position coordinates of a desired terminal for the original drawing. With respect to the obtained position coordinates, the troublesome operation of controlling the position of the probe on the XY table is performed. In the invention according to the above-mentioned prior application, in order to avoid this troublesome operation, a focusing light source (not shown) is provided on the carriage 30, and when a desired terminal is irradiated by this focusing light source, the probe automatically controls the position on the terminal. I was made to do it.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記のような先出願の
発明では、集束光源で所望の端子を照射することは比較
的容易な作業とできるが、それでもキャリッジを精密に
移動させる面倒な操作が残るという問題点があった。
In the invention of the prior application as described above, it is a relatively easy operation to irradiate a desired terminal with a focusing light source, but still, a troublesome operation of precisely moving the carriage is required. There was a problem that it remained.

【0007】この発明はかかる問題点を解決するために
なされたものであり、測定すべき端子へプローブを容易
に接触させることができる回路基板検査装置を提供する
ことを目的としている。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a circuit board inspecting apparatus capable of easily bringing a probe into contact with a terminal to be measured.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明に係わる回路基板
検査装置は、対象基板の画像イメージを表示装置上に表
示させ、この表示装置の表示面上にカーソル位置を表示
させ、マウスによりカーソル位置を移動させて所望の端
子の画像イメージと合致させたとき、プローブ位置が当
該端子位置に一致するように自動制御した。
A circuit board inspection apparatus according to the present invention displays an image of a target board on a display device, displays a cursor position on the display surface of the display device, and moves the cursor position with a mouse. When was moved to match the image of the desired terminal, the probe position was automatically controlled so as to match the terminal position.

【0009】[0009]

【作用】表示装置の表示面上では対象回路基板の一部分
を拡大表示することができるので、マウスによりカーソ
ル位置を動かして精密位置合わせをすることが容易であ
る。
Since a part of the target circuit board can be enlarged and displayed on the display surface of the display device, it is easy to move the cursor position with the mouse for precise positioning.

【0010】[0010]

【実施例】図1は、本発明の一実施例を示すブロック図
であって、図1において、図4と同一符号は同一または
相当部分を示し1はホストコンピュータ、2は記憶手
段、4は測定対象基板、5はキーボード、6は画像入出
力回路、7は画像メモリ、8は処理部、9は表示装置、
10はマウス、32はTVカメラである。図2は図1の
等価回路を示す回路図で図1と同一符号は同一部分を表
し、TVカメラ32をCCDカメラとした実施例を示
す。図3はキャリッジ30の周辺を示す斜視図で、図
1、図4と同一符号は同一部分を示す。
1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. In FIG. 1, the same reference numerals as those in FIG. 4 denote the same or corresponding parts, 1 is a host computer, 2 is a storage means, and 4 is Substrate to be measured, 5 keyboard, 6 image input / output circuit, 7 image memory, 8 processing unit, 9 display device,
10 is a mouse and 32 is a TV camera. FIG. 2 is a circuit diagram showing an equivalent circuit of FIG. 1, and the same reference numerals as those in FIG. 1 represent the same parts and show an embodiment in which the TV camera 32 is a CCD camera. FIG. 3 is a perspective view showing the periphery of the carriage 30, and the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 4 denote the same parts.

【0011】以下、図1〜図3を参照して本発明の装置
の動作を説明する。TVカメラ32としては通常小形の
CCDカメラ32が使用され、従って測定対象基板4の
全表面からの画像イメージを一時に撮影することはでき
ないので、キャリッジ30をX方向及びY方向に移動さ
せながら測定対象基板4の画像イメージを測定し、出力
をディジタル信号に変換し、その画素(pixel)の
位置をアドレスとして画像入出力回路6を経て画像メモ
リ7に格納する。図3に示すように、プローブ31とT
Vカメラ32との間には、位置のオフセットが存在する
ので、画像イメージが画像メモリ7に格納される場合の
アドレスはプローブ31の中心点を基準位置とするアド
レスで行う。
The operation of the apparatus of the present invention will be described below with reference to FIGS. A small CCD camera 32 is usually used as the TV camera 32, and therefore it is not possible to take an image image from the entire surface of the substrate 4 to be measured at a time. Therefore, the carriage 30 is moved in the X and Y directions for measurement. The image of the target substrate 4 is measured, the output is converted into a digital signal, and the position of the pixel is stored in the image memory 7 via the image input / output circuit 6 as an address. As shown in FIG. 3, the probe 31 and the T
Since there is a position offset between the V camera 32 and the V camera 32, the address when the image image is stored in the image memory 7 is an address with the center point of the probe 31 as the reference position.

【0012】ホストコンピュータ1からの画像読み出し
信号が画像入出力回路6に伝えられると、画像メモリ7
からの画像信号が読み出されて画像入出力回路6,処理
部8,ホストコンピュータ1を経て、表示装置9に表示
される。すなわち、表示装置9に表示される画像は測定
対象基板4の表面と相似する画像となる。マウス10か
らホストコンピュータ1を経て表示装置9上にカーソル
位置を表示する。このカーソル位置はマウス10の操作
によって自由に移動することができる。カーソル位置を
移動して所望の端子の画像イメージに合致させた上でマ
ウス10からホストコンピュータ1に信号を送ると、自
動位置合わせ機構(ホストコンピュータ1内に構成され
る)が動作してプローブ31のX−Y平面内位置を上記
所望の端子の位置に合致させる。この位置でソレノイド
38を付勢してプローブ31を下降させ当該端子につい
ての測定を行う。表示装置9の表示面で端子の画像イメ
ージを見ながら、マウス10を操作してカーソル位置を
端子の画像イメージに合致させることは容易な作業であ
る。
When the image read signal from the host computer 1 is transmitted to the image input / output circuit 6, the image memory 7
The image signal is read out and is displayed on the display device 9 through the image input / output circuit 6, the processing unit 8 and the host computer 1. That is, the image displayed on the display device 9 is an image similar to the surface of the measurement target substrate 4. The cursor position is displayed on the display device 9 from the mouse 10 via the host computer 1. This cursor position can be moved freely by operating the mouse 10. When the cursor position is moved to match the image of the desired terminal and then a signal is sent from the mouse 10 to the host computer 1, an automatic alignment mechanism (configured in the host computer 1) operates to operate the probe 31. The position in the XY plane of is matched with the position of the desired terminal. At this position, the solenoid 38 is urged to lower the probe 31 and measure the terminal. It is an easy task to operate the mouse 10 to match the cursor position with the image of the terminal while observing the image of the terminal on the display surface of the display device 9.

【0013】最初に基準回路基板をX−Yテーブル3に
載置して所定の端子についてプローブ31を用いて測定
し、その測定結果を記憶手段2に格納し、合否判定の許
容範囲などのデータは、キーボード5からホストコンピ
ュータ1を経て記憶手段2に格納しておく。検査対象回
路基板をX−Yテーブル3に載置して基準回路基板につ
いて測定した端子と同一端子についてプローブ31を用
いて測定し、その測定値と記憶手段2に記憶されている
数値とを対比して回路基板の良否を決定する。端子の電
圧が交流の時は適当なサンプリング周期でサンプルして
ディジタル信号として記憶する。どのようなサンプリン
グ周期を用いるかはキーボード5から予めホスコンピュ
ータ1に入力しておけばよい。
First, the reference circuit board is placed on the XY table 3 and a predetermined terminal is measured by using the probe 31, and the measurement result is stored in the storage means 2 to obtain data such as an acceptable range of pass / fail judgment. Is stored in the storage means 2 from the keyboard 5 via the host computer 1. The circuit board to be inspected is placed on the XY table 3 and the same terminal as that measured on the reference circuit board is measured using the probe 31, and the measured value is compared with the numerical value stored in the storage means 2. Then, the quality of the circuit board is determined. When the terminal voltage is AC, it is sampled at an appropriate sampling period and stored as a digital signal. The sampling cycle to be used may be input to the host computer 1 from the keyboard 5 in advance.

【0014】[0014]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、回
路基板検査装置において測定すべき端子へプローブを接
触する操作を容易にできるという効果がある。
As described above, according to the present invention, it is possible to facilitate the operation of contacting the probe with the terminal to be measured in the circuit board inspecting device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.

【図2】図1の等価回路を示す接続図である。FIG. 2 is a connection diagram showing an equivalent circuit of FIG.

【図3】図1のキャリッジの部分を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a portion of the carriage shown in FIG.

【図4】従来の装置を示す斜視図ある。FIG. 4 is a perspective view showing a conventional device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ホストコンピュータ 2 記憶手段 3 X−Yテーブル 4 測定対象基板 6 画像入出力回路 7 画像メモリ 9 表示装置 10 マウス 30 キャリッジ 31 プローブ 32 TVカメラ 1 Host Computer 2 Storage Means 3 XY Table 4 Measurement Target Substrate 6 Image Input / Output Circuit 7 Image Memory 9 Display Device 10 Mouse 30 Carriage 31 Probe 32 TV Camera

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 測定の対象となる回路基板が載置される
X−Yテーブル、 このX−Yテーブルの基板載置平面をX−Y平面とする
X−Y−Z直交座標に関し、X−Y平面上の位置を任意
に制御することができ、且つその位置座標を検出するこ
とができるように構成されたキャリッジ、 このプローブをZ軸方向に駆動するプローブ上下機構、 上記X−Yテーブル上に載置された回路基板の画像イメ
ージを撮像し、この撮像した画像イメージを当該画像の
X−Y平面上の座標位置をアドレスとして画像メモリに
記憶する撮像手段、 上記画像メモリに記憶した回路基板の画像イメージを読
み出して表示装置上に表示する手段、 当該回路基板が表示された表示装置上に指標マークを表
示し、この指標マークを当該回路基板の所定の測定点に
一致させることができるよう操作によって該指標マーク
の表示位置を変化させる指標マーク制御手段、上記表示
装置上の指標マーク位置に相当する当該回路基板の座標
位置を記憶する記憶手段、 該記憶手段から当該回路基板の座標位置を読み出し、上
記プローブを当該回路基板の座標位置に合致させるよう
上記キャリッジを移動させる位置合わせ機構を備え、 該位置合わせ機構により上記プローブを当該回路基板の
測定点に位置合わせした後、上記プローブ上下機構によ
り上記プローブを当該測定点に接触させる回路基板検査
装置。
1. An XY table on which a circuit board to be measured is mounted, and an XY table in which the board mounting plane of the XY table is an XY plane, and the A carriage configured so that the position on the Y plane can be arbitrarily controlled and the position coordinates thereof can be detected, a probe up-and-down mechanism for driving this probe in the Z-axis direction, on the XY table Image pickup means for picking up an image image of the circuit board placed on the image pickup circuit and storing the picked-up image image in the image memory by using the coordinate position of the image on the XY plane as an address; Means for reading out the image image of and displaying it on a display device, displaying an index mark on the display device displaying the circuit board, and aligning the index mark with a predetermined measurement point on the circuit board. Index mark control means for changing the display position of the index mark by an operation so that it can be operated, storage means for storing the coordinate position of the circuit board corresponding to the index mark position on the display device, and the circuit board from the storage means Is provided with a positioning mechanism for moving the carriage so as to match the probe with the coordinate position of the circuit board, and after aligning the probe with the measurement point of the circuit board by the positioning mechanism, A circuit board inspection device in which the probe is brought into contact with the measurement point by the probe lifting mechanism.
JP4187406A 1992-06-23 1992-06-23 Circuit board inspection device Pending JPH063417A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004251915A (en) * 2004-05-26 2004-09-09 Hitachi Ltd Probe device
CN104131138A (en) * 2014-07-21 2014-11-05 东北大学 Blowing calcium steam method and device for calcium treatment on molten steel

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