JPH07142786A - ガスレーザ発振器 - Google Patents
ガスレーザ発振器Info
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- JPH07142786A JPH07142786A JP14664693A JP14664693A JPH07142786A JP H07142786 A JPH07142786 A JP H07142786A JP 14664693 A JP14664693 A JP 14664693A JP 14664693 A JP14664693 A JP 14664693A JP H07142786 A JPH07142786 A JP H07142786A
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- Japan
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- chamber
- discharge electrode
- laser oscillator
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 チャンバーを小形化し、機器構成を簡素化す
ることで装置全体を小形化し、かつ品質の良いレーザ光
を得ることのできるガスレーザ発振器を提供することを
目的とする。 【構成】 従来、チャンバーの外に設けていた共振器板
を支持する支持部材１０を、チャンバー１の内部を通す
ようにし、さらに放電電極４の一部をアース電位とする
ことで、チャンバー１と共振器板９を小形化して、外力
に対する強度を上げ、チャンバー１内が負圧時になった
際に発生するチャンバー１の変形により生ずる折り返し
ミラー８の角度位置の変化に起因するレーザ光のモード
変化を極めて小さくすることができる。
ることで装置全体を小形化し、かつ品質の良いレーザ光
を得ることのできるガスレーザ発振器を提供することを
目的とする。 【構成】 従来、チャンバーの外に設けていた共振器板
を支持する支持部材１０を、チャンバー１の内部を通す
ようにし、さらに放電電極４の一部をアース電位とする
ことで、チャンバー１と共振器板９を小形化して、外力
に対する強度を上げ、チャンバー１内が負圧時になった
際に発生するチャンバー１の変形により生ずる折り返し
ミラー８の角度位置の変化に起因するレーザ光のモード
変化を極めて小さくすることができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ガスレーザ発振器の機
器構成に関するものである。
器構成に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の一般的なガスレーザ発振器の構成
を図５により説明する。図５において、１はチャンバー
であり、気密性があり真空力等により変形の少ない筺体
構造をした容器である。チャンバー１内にはレーザガス
２を循環させるための送風機３と、レーザガス２を放電
電極４の放電部５に導く風胴６と、レーザガス流路中に
位置し、放電により加熱されたレーザガス２を冷却する
ための熱交換器７が配置されている。
を図５により説明する。図５において、１はチャンバー
であり、気密性があり真空力等により変形の少ない筺体
構造をした容器である。チャンバー１内にはレーザガス
２を循環させるための送風機３と、レーザガス２を放電
電極４の放電部５に導く風胴６と、レーザガス流路中に
位置し、放電により加熱されたレーザガス２を冷却する
ための熱交換器７が配置されている。
【０００３】このように、チャンバー１内には、送風機
３、放電電極４、風胴６、熱交換器７の機器を包含して
いる。また、このチャンバー１の放電電極４の長手方向
（紙面に垂直方向）の両側には、レーザ光を折り返して
共振させるための折り返しミラー８を有する共振器板９
が対向して配置されている。
３、放電電極４、風胴６、熱交換器７の機器を包含して
いる。また、このチャンバー１の放電電極４の長手方向
（紙面に垂直方向）の両側には、レーザ光を折り返して
共振させるための折り返しミラー８を有する共振器板９
が対向して配置されている。
【０００４】そして、共振器板９は複数本の支持部材１
０（例えばインバー等の材質）により、その間隔を一定
に保ちながらチャンバー１に支持されている。矢印１１
は、レーザガス２の流れる方向を示し、チャンバー１は
図示しない排気装置により負圧にすることができる。
０（例えばインバー等の材質）により、その間隔を一定
に保ちながらチャンバー１に支持されている。矢印１１
は、レーザガス２の流れる方向を示し、チャンバー１は
図示しない排気装置により負圧にすることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】以上のように構成され
た従来のガスレーザ発振器の場合、レーザ発振に必要な
レーザガス２の循環を行なう送風機３、風胴６、熱交換
器７等をチャンバー１内に収納する必要から、チャンバ
ー１が大型になる。そのため、チャンバー１の外部に対
向して設置される共振器板９と、それらを固定する支持
部材１０も同時に大形化する必要が生じる。この傾向は
レーザ出力の大きな発振器になる程顕著となる。
た従来のガスレーザ発振器の場合、レーザ発振に必要な
レーザガス２の循環を行なう送風機３、風胴６、熱交換
器７等をチャンバー１内に収納する必要から、チャンバ
ー１が大型になる。そのため、チャンバー１の外部に対
向して設置される共振器板９と、それらを固定する支持
部材１０も同時に大形化する必要が生じる。この傾向は
レーザ出力の大きな発振器になる程顕著となる。
【０００６】また、チャンバー１が大形になると、小形
のチャンバーに比較し、チャンバー１の内部を負圧にす
る時に、チャンバー１の内外の圧力差によりチャンバー
１が変形し、微妙な形状及び寸法の変化を誘因する原因
ともなる。このチャンバー１の変形が生じると、チャン
バー１の外部に設置されている支持部材１０及び共振器
板９へも外力が作用し、結果として共振器板に設けられ
たミラー８の位置角度が変化し、レーザ光のモード変化
が生じるという問題が発生する。
のチャンバーに比較し、チャンバー１の内部を負圧にす
る時に、チャンバー１の内外の圧力差によりチャンバー
１が変形し、微妙な形状及び寸法の変化を誘因する原因
ともなる。このチャンバー１の変形が生じると、チャン
バー１の外部に設置されている支持部材１０及び共振器
板９へも外力が作用し、結果として共振器板に設けられ
たミラー８の位置角度が変化し、レーザ光のモード変化
が生じるという問題が発生する。
【０００７】また、放電を連続して行う場合、レーザガ
ス２温度が上昇し、チャンバー１あるいは支持部材１０
に熱歪などが生じて、ミラー８の位置角度変化によりレ
ーザ光のモード変化が発生するとういう問題点もある。
ス２温度が上昇し、チャンバー１あるいは支持部材１０
に熱歪などが生じて、ミラー８の位置角度変化によりレ
ーザ光のモード変化が発生するとういう問題点もある。
【０００８】さらに、放電電力を大きくすると、放電電
極４とチャンバー１、熱交換器７等の他の機器との間に
も放電が生じやすくなり、電極間隔の数倍以上の距離が
電極とチャンバー、熱交換器等の間に必要であり、放電
電極４の上部電極４ａと、下部電極４ｂの位置関係にお
いて、電極の上側と下側に電極間隔の数倍以上の空間が
必要であった。
極４とチャンバー１、熱交換器７等の他の機器との間に
も放電が生じやすくなり、電極間隔の数倍以上の距離が
電極とチャンバー、熱交換器等の間に必要であり、放電
電極４の上部電極４ａと、下部電極４ｂの位置関係にお
いて、電極の上側と下側に電極間隔の数倍以上の空間が
必要であった。
【０００９】このことはチャンバー１の容積を大きく
し、装置の大形化をもたらすとうい問題点を有してい
た。本発明は以上の問題点を解決するためになされたも
のであり、チャンバーを小形化し、また機器構成を簡素
化しつつ、レーザ光の品質の良いガスレーザ発振器を提
供することを目的としている。
し、装置の大形化をもたらすとうい問題点を有してい
た。本発明は以上の問題点を解決するためになされたも
のであり、チャンバーを小形化し、また機器構成を簡素
化しつつ、レーザ光の品質の良いガスレーザ発振器を提
供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】以上の目的を達成するた
めに、請求項１記載の発明では、気密性のあるチャンバ
ー内に対向配置された放電電極と、前記放電電極に高電
圧を印加する電源と、前記対向配置された放電電極の間
にレーザ媒質を循環させる送風手段と、高電圧が印加さ
れた前記放電電極により励起されたレーザ光を折り返す
折り返しミラーと、前記折り返しミラーを取り付ける対
向した端板と、前記チャンバーの内部に組み込まれ、前
記端板間を支持する支持部材とを備えたことを特徴とす
るものである。
めに、請求項１記載の発明では、気密性のあるチャンバ
ー内に対向配置された放電電極と、前記放電電極に高電
圧を印加する電源と、前記対向配置された放電電極の間
にレーザ媒質を循環させる送風手段と、高電圧が印加さ
れた前記放電電極により励起されたレーザ光を折り返す
折り返しミラーと、前記折り返しミラーを取り付ける対
向した端板と、前記チャンバーの内部に組み込まれ、前
記端板間を支持する支持部材とを備えたことを特徴とす
るものである。
【００１１】また、請求項２記載の発明では、請求項１
記載のガスレーザ発振器において、放電電極と支持部材
を兼用したことを特徴とするものである。さらに、請求
項３記載の発明では、請求項１記載のガスレーザ発振器
において、放電電極と支持部材を兼用し、かつ、放電電
極の熱歪等の影響が支持部材に伝わらないように放電電
極を支持部材の軸方向に変位可能な構成とすることを特
徴とするものである。
記載のガスレーザ発振器において、放電電極と支持部材
を兼用したことを特徴とするものである。さらに、請求
項３記載の発明では、請求項１記載のガスレーザ発振器
において、放電電極と支持部材を兼用し、かつ、放電電
極の熱歪等の影響が支持部材に伝わらないように放電電
極を支持部材の軸方向に変位可能な構成とすることを特
徴とするものである。
【００１２】請求項４記載の発明では、請求項１記載の
ガスレーザ発振器において、折り返しミラーを取り付け
る対向した端板をなくし、放電電極の両端に設けられた
支持部材に直接折り返しミラーを固定したことを特徴と
するものである。
ガスレーザ発振器において、折り返しミラーを取り付け
る対向した端板をなくし、放電電極の両端に設けられた
支持部材に直接折り返しミラーを固定したことを特徴と
するものである。
【００１３】
【作用】従来、チャンバーの外に設けていた端板を支持
する支持部材をチャンバーの内部を通すことで、端板を
小形化することが可能となり、また折り返しミラーを有
する端板を支持する間隔を従来に比べて狭くすることが
できるので、端板に外力が加った場合でも端板の変形を
抑えることにより、端板に設けた折り返しミラーの角度
位置の変化を防止する。
する支持部材をチャンバーの内部を通すことで、端板を
小形化することが可能となり、また折り返しミラーを有
する端板を支持する間隔を従来に比べて狭くすることが
できるので、端板に外力が加った場合でも端板の変形を
抑えることにより、端板に設けた折り返しミラーの角度
位置の変化を防止する。
【００１４】また、支持部材の表面に放電電極を設けた
ことにより、支持部材と放電電極を兼用することで、装
置の構成を簡素化する。さらに、放電の際に発生する熱
により、放電電極が支持部材上で軸方向に変位するた
め、支持部材に与える放電電極の変形の影響を防止し、
支持部材に支持された端板に設けた折り返しミラーの角
度位置の変化を防ぐ。レーザ光を折り返す折り返しミラ
ーを取り付ける端板をなくし、放電電極の両端に設けら
れた支持部材に直接折り返しミラーを固定し、構成を簡
素化する。
ことにより、支持部材と放電電極を兼用することで、装
置の構成を簡素化する。さらに、放電の際に発生する熱
により、放電電極が支持部材上で軸方向に変位するた
め、支持部材に与える放電電極の変形の影響を防止し、
支持部材に支持された端板に設けた折り返しミラーの角
度位置の変化を防ぐ。レーザ光を折り返す折り返しミラ
ーを取り付ける端板をなくし、放電電極の両端に設けら
れた支持部材に直接折り返しミラーを固定し、構成を簡
素化する。
【００１５】
【実施例】本発明によるガスレーザ発振器の実施例を図
面を参照して説明する。図１は第１の実施例であるガス
レーザ発振器の側面から見た断面図であり、図２は図１
をＢ方向から見た断面図である。
面を参照して説明する。図１は第１の実施例であるガス
レーザ発振器の側面から見た断面図であり、図２は図１
をＢ方向から見た断面図である。
【００１６】図１、２において、１はチャンバーであ
り、その中にはレーザガス２を循環させる送風機３、風
胴６、熱交換器７及び放電電極４が内包されている。放
電電極４は高圧側４ａとアース側４ｂに分けられ、高電
圧が放電電極４に印加され放電部５が発生し、その放電
空間でレーザガス２が励起される。
り、その中にはレーザガス２を循環させる送風機３、風
胴６、熱交換器７及び放電電極４が内包されている。放
電電極４は高圧側４ａとアース側４ｂに分けられ、高電
圧が放電電極４に印加され放電部５が発生し、その放電
空間でレーザガス２が励起される。
【００１７】チャンバー１の外には、対向した共振器板
９が配置され、その共振器板９にはミラー８が備えられ
ている。そして、対向した共振器板９とチャンバー１を
連結している支持部材１０は、チャンバー１の内部を貫
通するように構成されて、チャンバー１との間は図示し
ないシール機構により外気とシールされている。つまり
前述の放電電極４のアース側４ｂと支持部材１０は兼用
されており、支持部材１０の表面に放電電極４をコーテ
ィングしている。
９が配置され、その共振器板９にはミラー８が備えられ
ている。そして、対向した共振器板９とチャンバー１を
連結している支持部材１０は、チャンバー１の内部を貫
通するように構成されて、チャンバー１との間は図示し
ないシール機構により外気とシールされている。つまり
前述の放電電極４のアース側４ｂと支持部材１０は兼用
されており、支持部材１０の表面に放電電極４をコーテ
ィングしている。
【００１８】また、チャンバー１は図示しない排気装置
により負圧することができる。以上のように構成された
ガスレーザ発振器の作用を以下に説明する。送風機３に
よりレーザガス２はチャンバー１内を循環し、風胴６を
通り放電電極４の間に導入され、この間で放電励起され
る。そして対向するミラー８により共振されレーザ光と
なる。なお、加熱されたレーザガス２は下流に送風さ
れ、熱交換器７により冷却され再び送風機３により放電
電極４の間へ送風される。
により負圧することができる。以上のように構成された
ガスレーザ発振器の作用を以下に説明する。送風機３に
よりレーザガス２はチャンバー１内を循環し、風胴６を
通り放電電極４の間に導入され、この間で放電励起され
る。そして対向するミラー８により共振されレーザ光と
なる。なお、加熱されたレーザガス２は下流に送風さ
れ、熱交換器７により冷却され再び送風機３により放電
電極４の間へ送風される。
【００１９】ここでチャンバー１内を貫通する共振器板
９の支持部材１０が設けられているので、従来の装置の
ようにチャンバー１外に共振器板９の支持部材１０を設
けるのに比較し、装置を小形化することができる。ま
た、この支持部材１０は放電電極４のアース側４ｂと兼
用されているため、機器を構成する要素を減らすことが
できる。
９の支持部材１０が設けられているので、従来の装置の
ようにチャンバー１外に共振器板９の支持部材１０を設
けるのに比較し、装置を小形化することができる。ま
た、この支持部材１０は放電電極４のアース側４ｂと兼
用されているため、機器を構成する要素を減らすことが
できる。
【００２０】また、放電電力を大きくすると、電極とチ
ャンバー、熱交換器との間にも放電が生じやすくなるの
で、電極間隔の数倍以上の距離が電極とチャンバー、熱
交換器との間に必要であったが、本発明では電極の一部
をアース電位としたので無駄な空間をなくし、チャンバ
ーの小形化を図ることができる。
ャンバー、熱交換器との間にも放電が生じやすくなるの
で、電極間隔の数倍以上の距離が電極とチャンバー、熱
交換器との間に必要であったが、本発明では電極の一部
をアース電位としたので無駄な空間をなくし、チャンバ
ーの小形化を図ることができる。
【００２１】また、従来の装置ではレーザ光を共振させ
るミラー８とチャンバー１は同気圧下にあり、レーザ発
振に必要な気圧までチャンバー１内の気圧を下げていく
と、チャンバー１の微妙な変形がミラー８の角度位置を
変位させ、レーザ光のモード等に影響を及していた。し
かし、本実施例では前述した通り、チャンバー１内に支
持部材１０を通したため、共振器板９自体が小形されて
いるため、共振器板９の強度を上げることができ、チャ
ンバー１負圧時の変形による折り返しミラー８の変形に
よる悪影響を極めて小さくすることができる。
るミラー８とチャンバー１は同気圧下にあり、レーザ発
振に必要な気圧までチャンバー１内の気圧を下げていく
と、チャンバー１の微妙な変形がミラー８の角度位置を
変位させ、レーザ光のモード等に影響を及していた。し
かし、本実施例では前述した通り、チャンバー１内に支
持部材１０を通したため、共振器板９自体が小形されて
いるため、共振器板９の強度を上げることができ、チャ
ンバー１負圧時の変形による折り返しミラー８の変形に
よる悪影響を極めて小さくすることができる。
【００２２】電極の一部をアース電位としているので、
チャンバーを小形化することができるため、従来の装置
に比較し、チャンバー１の強度が向上し、チャンバー１
負圧時の変形を抑えることができる。よって、チャンバ
ー１負圧時の変形による折り返しミラー８の角度位置の
変位が少なくなり、レーザ光のモードを安定化すること
ができる。
チャンバーを小形化することができるため、従来の装置
に比較し、チャンバー１の強度が向上し、チャンバー１
負圧時の変形を抑えることができる。よって、チャンバ
ー１負圧時の変形による折り返しミラー８の角度位置の
変位が少なくなり、レーザ光のモードを安定化すること
ができる。
【００２３】図３は、本発明による第２の実施例を示す
ガスレーザ発振器であり、図３において、支持部材１０
の表面に熱膨脹率の低い材料１２を重ね、その上に放電
電極４ｂを設ける。このような構成にすると放電により
熱が発生し、放電電極４ｂが熱変化しても、材料１２の
上を軸方向に膨脹するため、支持部材１０に与える影響
を小さくすることができる。
ガスレーザ発振器であり、図３において、支持部材１０
の表面に熱膨脹率の低い材料１２を重ね、その上に放電
電極４ｂを設ける。このような構成にすると放電により
熱が発生し、放電電極４ｂが熱変化しても、材料１２の
上を軸方向に膨脹するため、支持部材１０に与える影響
を小さくすることができる。
【００２４】本実施例においては、放電電極部で発生す
る熱による歪などの変形が支持部材に伝わらないよう
に、放電電極を支持部材上で軸方向にスライド可能の構
成とすることで、レーザ光のモードの改善が達成でき
る。
る熱による歪などの変形が支持部材に伝わらないよう
に、放電電極を支持部材上で軸方向にスライド可能の構
成とすることで、レーザ光のモードの改善が達成でき
る。
【００２５】図４は、本発明による第３の実施例を示す
ガスレーザ発振器であり、端板を無くし、支持部材に折
り返しミラーを直接固定した構成である。図４におい
て、熱膨脹率の低い材料１２を支持部材１０と放電電極
４ｂの両端の間に挿入し、放電部で発生する熱の影響を
放電電極４ｂのみの膨脹で逃がし、支持部材１０に作用
する影響を少なくしている。また支持部材１０の末端に
直接折り返しミラーが固定されている。
ガスレーザ発振器であり、端板を無くし、支持部材に折
り返しミラーを直接固定した構成である。図４におい
て、熱膨脹率の低い材料１２を支持部材１０と放電電極
４ｂの両端の間に挿入し、放電部で発生する熱の影響を
放電電極４ｂのみの膨脹で逃がし、支持部材１０に作用
する影響を少なくしている。また支持部材１０の末端に
直接折り返しミラーが固定されている。
【００２６】本実施例においては、放電電極部で発生す
る熱による歪などの変形が支持部材に伝わらないよう
に、放電電極を支持部材上で軸方向にスライド可能の構
成とすることで、レーザ光のモードの改善が達成でき
る。更にレーザ光を折り返すミラーを取り付ける対向し
た端板をなくし、放電電極の両端に設けられた支持部材
に直接折り返しミラーを固定したので、装置の小形化を
図ることができる。
る熱による歪などの変形が支持部材に伝わらないよう
に、放電電極を支持部材上で軸方向にスライド可能の構
成とすることで、レーザ光のモードの改善が達成でき
る。更にレーザ光を折り返すミラーを取り付ける対向し
た端板をなくし、放電電極の両端に設けられた支持部材
に直接折り返しミラーを固定したので、装置の小形化を
図ることができる。
【００２７】以上の実施例では、片側の共振器板を支持
する支持部材を２本として説明したが、３本、４本など
の複数で構成されていても同様な効果を得ることができ
る。また、実施例における折り返しミラーは、レーザ光
の一部または全部を折り返すミラーである。
する支持部材を２本として説明したが、３本、４本など
の複数で構成されていても同様な効果を得ることができ
る。また、実施例における折り返しミラーは、レーザ光
の一部または全部を折り返すミラーである。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
チャンバー内に端板を支持する支持部材を組み込んだの
で、折り返しミラーを有する端板を小形化することがで
きる。そのため、従来の装置に比較し、端板の強度が増
し、チャンバー負圧時の変形により発生する折り返しミ
ラーの角度位置の変化に起因するレーザ光のモード変化
を極めて小さくすることができる。端板を小形化すこと
で、装置の小形化を図ることができる。
チャンバー内に端板を支持する支持部材を組み込んだの
で、折り返しミラーを有する端板を小形化することがで
きる。そのため、従来の装置に比較し、端板の強度が増
し、チャンバー負圧時の変形により発生する折り返しミ
ラーの角度位置の変化に起因するレーザ光のモード変化
を極めて小さくすることができる。端板を小形化すこと
で、装置の小形化を図ることができる。
【００２９】また、放電電極と端板の支持部材とを兼用
することにより、機器を構成する要素を減らし、装置の
小形化を図ることができる。さらに、放電電極で発生す
る熱による歪などの変形が支持部材に伝わらないように
放電電極を支持部材上で軸方向にスライド自在としたの
で、折り返しミラー角度位置の変化を防止するので、レ
ーザ光のモードを安定化させることができる。 折り返
しミラーを取り付ける端板をなくして、放電電極の両端
に設けられた支持部材に直接折り返しミラーを固定した
ことで、ガスレーザ発振器の構成を簡素化し、小形化で
きる。
することにより、機器を構成する要素を減らし、装置の
小形化を図ることができる。さらに、放電電極で発生す
る熱による歪などの変形が支持部材に伝わらないように
放電電極を支持部材上で軸方向にスライド自在としたの
で、折り返しミラー角度位置の変化を防止するので、レ
ーザ光のモードを安定化させることができる。 折り返
しミラーを取り付ける端板をなくして、放電電極の両端
に設けられた支持部材に直接折り返しミラーを固定した
ことで、ガスレーザ発振器の構成を簡素化し、小形化で
きる。
【図１】本発明による第１の実施例であるガスレーザ発
振器を示す断面図である。
振器を示す断面図である。
【図２】図１のＢ方向矢視図である。
【図３】本発明による第２の実施例であるガスレーザ発
振器を示す断面図である。
振器を示す断面図である。
【図４】本発明による第３の実施例であるガスレーザ発
振器を示す断面図である。
振器を示す断面図である。
【図５】従来のガスレーザ発振器を示す図である。
１…チャンバー， ２…レーザガス，
３…送風機， ４…放電電極，４
ａ…高圧側電極， ４ｂ…アース側電
極，５…放電部， ６…風胴，７
…熱交換器， ８…折り返しミラ
ー，９…共振器板， １０…支持部
材，１１…ガスの流れ， １２…低熱膨
張率材料。
３…送風機， ４…放電電極，４
ａ…高圧側電極， ４ｂ…アース側電
極，５…放電部， ６…風胴，７
…熱交換器， ８…折り返しミラ
ー，９…共振器板， １０…支持部
材，１１…ガスの流れ， １２…低熱膨
張率材料。
Claims (4)
- 【請求項１】 気密性のあるチャンバー内に対向配置さ
れた放電電極と、 前記放電電極に高電圧を印加する電源と、 前記対向配置された放電電極の間にレーザ媒質を循環さ
せる送風手段と、 高電圧が印加された前記放電電極により励起されたレー
ザ光を折り返す折り返しミラーと、 前記折り返しミラーを取り付ける対向した端板と、 前記チャンバーの内部に組み込まれ、前記端板間を支持
する支持部材とを備えたことを特徴とするガスレーザ発
振器。 - 【請求項２】 請求項１記載のガスレーザ発振器におい
て、放電電極と支持部材を兼用したことを特徴とするガ
スレーザ発振器。 - 【請求項３】 請求項１記載のガスレーザ発振器におい
て、放電電極と支持部材を兼用し、かつ、放電電極の熱
歪等の影響が支持部材に伝わらないように放電電極を支
持部材の軸方向に変位可能な構成とすることを特徴とす
るガスレーザ発振器。 - 【請求項４】 請求項１記載のガスレーザ発振器におい
て、折り返しミラーを取り付ける対向した端板をなく
し、放電電極の両端に設けられた支持部材に直接折り返
しミラーを固定したことを特徴としたガスレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14664693A JPH07142786A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ガスレーザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14664693A JPH07142786A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ガスレーザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07142786A true JPH07142786A (ja) | 1995-06-02 |
Family
ID=15412443
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14664693A Pending JPH07142786A (ja) | 1993-06-18 | 1993-06-18 | ガスレーザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07142786A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008091444A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器及びレーザ加工システム |
-
1993
- 1993-06-18 JP JP14664693A patent/JPH07142786A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008091444A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Mitsubishi Electric Corp | ガスレーザ発振器及びレーザ加工システム |
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