JPH07144903A - オゾン発生濃縮装置 - Google Patents
オゾン発生濃縮装置Info
- Publication number
- JPH07144903A JPH07144903A JP5313959A JP31395993A JPH07144903A JP H07144903 A JPH07144903 A JP H07144903A JP 5313959 A JP5313959 A JP 5313959A JP 31395993 A JP31395993 A JP 31395993A JP H07144903 A JPH07144903 A JP H07144903A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ozone
- oxygen
- generator
- carrier gas
- adsorption tower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 吸着塔で濃縮したオゾンを酸素で稀釈するこ
となく処理部へ供給できるようにする。 【構成】 空気から酸素Ｏ2 を製造するようにした酸素
発生装置１４を、オゾン発生器１に接続する。オゾン発
生器１で発生させたオゾンＯ3 を吸着剤に吸着させて濃
縮する吸着塔２ａ，２ｂを設ける。酸素発生装置１４と
吸着塔２ａ，２ｂの間にキャリアガス供給ライン１５を
接続する。酸素発生装置１４で発生した排ガスとしての
窒素Ｎ2 を、キャリアガス供給ライン１５を通しキャリ
アガスとして吸着塔２ａ，２ｂに送り、オゾンＯ3 を脱
着させて処理部へ供給する。
となく処理部へ供給できるようにする。 【構成】 空気から酸素Ｏ2 を製造するようにした酸素
発生装置１４を、オゾン発生器１に接続する。オゾン発
生器１で発生させたオゾンＯ3 を吸着剤に吸着させて濃
縮する吸着塔２ａ，２ｂを設ける。酸素発生装置１４と
吸着塔２ａ，２ｂの間にキャリアガス供給ライン１５を
接続する。酸素発生装置１４で発生した排ガスとしての
窒素Ｎ2 を、キャリアガス供給ライン１５を通しキャリ
アガスとして吸着塔２ａ，２ｂに送り、オゾンＯ3 を脱
着させて処理部へ供給する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はオゾン発生器で発生した
オゾンを酸化剤等として利用するために処理部へ供給す
るオゾン発生濃縮装置に関するものである。
オゾンを酸化剤等として利用するために処理部へ供給す
るオゾン発生濃縮装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】オゾンを酸化剤として反応容器に供給し
て酸化反応を行わせる場合、従来では、図２に一例を示
す如く、オゾン発生器ａと反応容器ｂとを供給管ｃにて
直接接続し、オゾン発生器ａで発生したオゾンＯ3 を、
酸素Ｏ2 の共存下でそのまま反応容器ｂへ供給させる方
式が知られている。
て酸化反応を行わせる場合、従来では、図２に一例を示
す如く、オゾン発生器ａと反応容器ｂとを供給管ｃにて
直接接続し、オゾン発生器ａで発生したオゾンＯ3 を、
酸素Ｏ2 の共存下でそのまま反応容器ｂへ供給させる方
式が知られている。
【０００３】しかしながら、上記オゾン発生器ａとして
は、静電放電式、紫外線式、電気分解式等の様々な方式
があるものの、工業的にオゾン発生量の多い静電放電式
であっても、オゾン濃度は１０vol ％程度が限度であっ
てこのときの電力効率は極めて低く、ランニングコスト
が高くつく問題がある。
は、静電放電式、紫外線式、電気分解式等の様々な方式
があるものの、工業的にオゾン発生量の多い静電放電式
であっても、オゾン濃度は１０vol ％程度が限度であっ
てこのときの電力効率は極めて低く、ランニングコスト
が高くつく問題がある。
【０００４】そのため、図３に示す如く、酸素Ｏ2 を原
料としてオゾンＯ3 を発生させるオゾン発生器１の下流
に、シリカゲル等の吸着剤が充填してある２つの吸着塔
２ａ，２ｂを、オゾン・酸素供給管３、切換弁４、分岐
管５ａ，５ｂを介して接続し、且つ反応容器６へのオゾ
ン供給管７に、上記各吸着塔２ａ，２ｂの排出管８ａ，
８ｂを切換弁９を介して合流させて、上記切換弁４と９
の切換操作により、各吸着塔２ａ，２ｂ内に導入される
オゾンを吸着剤に吸着させて濃縮させるようにすると共
に、濃縮したオゾンを反応容器６へ交互に連続的に供給
できるようにし、更に、上記吸着塔２ａ，２ｂの排出側
に、排出された酸素Ｏ2 をオゾン発生器１の原料として
利用する循環ライン１０を、切換弁１１の操作で流路切
り換え可能に接続し、吸着塔２ａ，２ｂで除去された酸
素をオゾン発生器１へ戻すようにしたものが提案されて
いる（特公昭５３−２８３９４号、特公昭５４−１０３
５６号等）。
料としてオゾンＯ3 を発生させるオゾン発生器１の下流
に、シリカゲル等の吸着剤が充填してある２つの吸着塔
２ａ，２ｂを、オゾン・酸素供給管３、切換弁４、分岐
管５ａ，５ｂを介して接続し、且つ反応容器６へのオゾ
ン供給管７に、上記各吸着塔２ａ，２ｂの排出管８ａ，
８ｂを切換弁９を介して合流させて、上記切換弁４と９
の切換操作により、各吸着塔２ａ，２ｂ内に導入される
オゾンを吸着剤に吸着させて濃縮させるようにすると共
に、濃縮したオゾンを反応容器６へ交互に連続的に供給
できるようにし、更に、上記吸着塔２ａ，２ｂの排出側
に、排出された酸素Ｏ2 をオゾン発生器１の原料として
利用する循環ライン１０を、切換弁１１の操作で流路切
り換え可能に接続し、吸着塔２ａ，２ｂで除去された酸
素をオゾン発生器１へ戻すようにしたものが提案されて
いる（特公昭５３−２８３９４号、特公昭５４−１０３
５６号等）。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記図３に
示す装置の場合、吸着塔２ａ，２ｂで吸着剤に吸着され
たオゾンを脱着させて反応容器６へ送るためのキャリア
ガスとして、破線で示す如く、吸着塔２ａ，２ｂの排出
側からオゾン発生器１へ循環させる酸素の一部を用いる
ようにしているため、せっかく吸着塔２ａ，２ｂで濃縮
したオゾンを酸素で稀釈してしまうことになる。オゾン
は酸素共存下では寿命が短く効率利用が図れないので、
反応容器６での反応が充分に行われない虞がある。
示す装置の場合、吸着塔２ａ，２ｂで吸着剤に吸着され
たオゾンを脱着させて反応容器６へ送るためのキャリア
ガスとして、破線で示す如く、吸着塔２ａ，２ｂの排出
側からオゾン発生器１へ循環させる酸素の一部を用いる
ようにしているため、せっかく吸着塔２ａ，２ｂで濃縮
したオゾンを酸素で稀釈してしまうことになる。オゾン
は酸素共存下では寿命が短く効率利用が図れないので、
反応容器６での反応が充分に行われない虞がある。
【０００６】因に、オゾンを脱着させるキャリアガスと
して不活性ガスを用いるようにしたものもある（特願平
１−２３６９６９号）が、その場合、専用の不活性ガス
供給装置が必要となる。
して不活性ガスを用いるようにしたものもある（特願平
１−２３６９６９号）が、その場合、専用の不活性ガス
供給装置が必要となる。
【０００７】そこで、本発明は、オゾンの濃度を高める
と共にオゾンの寿命が長くなるようにして供給できるよ
うにして、オゾンを有効に酸化剤等に利用することがで
きるようなオゾン発生濃縮装置を提供しようとするもの
である。
と共にオゾンの寿命が長くなるようにして供給できるよ
うにして、オゾンを有効に酸化剤等に利用することがで
きるようなオゾン発生濃縮装置を提供しようとするもの
である。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、酸素をオゾン発生器に入れてオゾンを発
生させ、発生したオゾンを酸素と一緒に吸着塔内に入れ
てオゾンを吸着剤に吸着させて濃縮した後、上記吸着剤
に吸着させたオゾンをキャリアガスで処理部へ供給する
ようにしてあるオゾン発生濃縮装置において、上記オゾ
ン発生器に、該オゾン発生器に供給する酸素を空気から
発生させるようにした酸素発生装置を接続し、且つ該酸
素発生装置で発生した排ガスとしての窒素を上記吸着塔
へキャリアガスとして供給するためのキャリアガス供給
ラインを、上記酸素発生装置と吸着塔との間に接続して
なる構成とする。
決するために、酸素をオゾン発生器に入れてオゾンを発
生させ、発生したオゾンを酸素と一緒に吸着塔内に入れ
てオゾンを吸着剤に吸着させて濃縮した後、上記吸着剤
に吸着させたオゾンをキャリアガスで処理部へ供給する
ようにしてあるオゾン発生濃縮装置において、上記オゾ
ン発生器に、該オゾン発生器に供給する酸素を空気から
発生させるようにした酸素発生装置を接続し、且つ該酸
素発生装置で発生した排ガスとしての窒素を上記吸着塔
へキャリアガスとして供給するためのキャリアガス供給
ラインを、上記酸素発生装置と吸着塔との間に接続して
なる構成とする。
【０００９】
【作用】濃縮したオゾンを処理部へ供給する場合には、
先ず、酸素発生装置で空気から酸素が製造されてオゾン
発生器へ供給される。次に、オゾン発生器で発生させら
れたオゾンが酸素と一緒に吸着塔へ入れられ、オゾンが
吸着剤に吸着されて濃縮される。しかる後、上記酸素発
生装置で発生した排ガスとしての窒素がキャリアガス供
給ラインにより上記吸着塔へ導かれることによって、吸
着剤に吸着されているオゾンが脱着されて窒素と共に処
理部へ供給される。
先ず、酸素発生装置で空気から酸素が製造されてオゾン
発生器へ供給される。次に、オゾン発生器で発生させら
れたオゾンが酸素と一緒に吸着塔へ入れられ、オゾンが
吸着剤に吸着されて濃縮される。しかる後、上記酸素発
生装置で発生した排ガスとしての窒素がキャリアガス供
給ラインにより上記吸着塔へ導かれることによって、吸
着剤に吸着されているオゾンが脱着されて窒素と共に処
理部へ供給される。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。
する。
【００１１】図１は本発明の一実施例を示すもので、図
３に示したオゾン発生濃縮装置と同様に、オゾン発生器
１で発生させられたオゾンＯ3 を酸素Ｏ2 と一緒に切換
弁４の操作で各吸着塔２ａ，２ｂに交互に入れて吸着さ
せオゾンを濃縮させると共に、各吸着塔２ａ，２ｂから
排出された酸素Ｏ2 を循環ライン１０を通してオゾン発
生器１へ戻すようにし、更に、上記各吸着塔２ａ，２ｂ
で濃縮させたオゾンを、キャリアガスを用いて切換弁９
の操作で反応容器６に交互に供給できるようにしてある
構成において、上記オゾン発生器１へ酸素Ｏ2 を送る供
給源として、コンプレッサ１２で圧縮した空気中の窒素
Ｎ2 を吸着器１３ａ，１３ｂで吸着させることにより酸
素Ｏ2 のみを発生させるようにした圧力再生方式の酸素
発生装置１４を、上記オゾン発生器１に接続し、且つ該
酸素発生装置１４の排ガスラインを、切換弁１６を介し
分岐させて上記各吸着塔２ａ，２ｂにキャリアガス供給
ライン１５として接続し、該キャリアガス供給ライン１
５内を流れる窒素Ｎ2 を、吸着塔２ａ，２ｂで除去され
た酸素Ｏ2 をオゾン発生器１へ戻す際のキャリアガスと
すると共に吸着塔２ａ，２ｂで濃縮されたオゾンＯ3 を
反応容器６へ供給する際のキャリアガスとするようにし
た構成とする。
３に示したオゾン発生濃縮装置と同様に、オゾン発生器
１で発生させられたオゾンＯ3 を酸素Ｏ2 と一緒に切換
弁４の操作で各吸着塔２ａ，２ｂに交互に入れて吸着さ
せオゾンを濃縮させると共に、各吸着塔２ａ，２ｂから
排出された酸素Ｏ2 を循環ライン１０を通してオゾン発
生器１へ戻すようにし、更に、上記各吸着塔２ａ，２ｂ
で濃縮させたオゾンを、キャリアガスを用いて切換弁９
の操作で反応容器６に交互に供給できるようにしてある
構成において、上記オゾン発生器１へ酸素Ｏ2 を送る供
給源として、コンプレッサ１２で圧縮した空気中の窒素
Ｎ2 を吸着器１３ａ，１３ｂで吸着させることにより酸
素Ｏ2 のみを発生させるようにした圧力再生方式の酸素
発生装置１４を、上記オゾン発生器１に接続し、且つ該
酸素発生装置１４の排ガスラインを、切換弁１６を介し
分岐させて上記各吸着塔２ａ，２ｂにキャリアガス供給
ライン１５として接続し、該キャリアガス供給ライン１
５内を流れる窒素Ｎ2 を、吸着塔２ａ，２ｂで除去され
た酸素Ｏ2 をオゾン発生器１へ戻す際のキャリアガスと
すると共に吸着塔２ａ，２ｂで濃縮されたオゾンＯ3 を
反応容器６へ供給する際のキャリアガスとするようにし
た構成とする。
【００１２】なお、図１において、図３と同一部分には
同一符号が付してある。
同一符号が付してある。
【００１３】反応容器６へ濃縮されたオゾンＯ3 を供給
する場合は、先ず、酸素発生装置１４で空気から製造し
た酸素Ｏ2 をオゾン発生器１に送り、この酸素を基にオ
ゾン発生器１で発生させたオゾンと酸素を、たとえば、
オゾン・酸素供給管３、切換弁、分岐管５ａを介して一
方の吸着塔２ａに入れ、ここで吸着塔２ａを所定の温度
に冷却してオゾンを吸着剤に吸着させる。その後、酸素
発生装置１４の排ガスである窒素Ｎ2 を、上記冷却状態
の吸着塔２ａ内に、キャリアガス供給ライン１５を通し
て供給し、吸着塔２ａ内の酸素Ｏ2 を循環ライン１０を
通してオゾン発生器１へオゾンの原料として戻すように
する。
する場合は、先ず、酸素発生装置１４で空気から製造し
た酸素Ｏ2 をオゾン発生器１に送り、この酸素を基にオ
ゾン発生器１で発生させたオゾンと酸素を、たとえば、
オゾン・酸素供給管３、切換弁、分岐管５ａを介して一
方の吸着塔２ａに入れ、ここで吸着塔２ａを所定の温度
に冷却してオゾンを吸着剤に吸着させる。その後、酸素
発生装置１４の排ガスである窒素Ｎ2 を、上記冷却状態
の吸着塔２ａ内に、キャリアガス供給ライン１５を通し
て供給し、吸着塔２ａ内の酸素Ｏ2 を循環ライン１０を
通してオゾン発生器１へオゾンの原料として戻すように
する。
【００１４】上記吸着塔２ａ内の酸素が除去されると、
吸着塔２ａを室温程度に温度コントロールして、吸着剤
に吸着されているオゾンＯ3 をキャリアガス供給ライン
１５を通して送られるキャリアガスとしての窒素Ｎ2 で
脱着させて、吸着塔２ａより排出管８ａ、切換弁９、オ
ゾン供給管７を通して反応容器６へ供給させるようにす
る。なお、この際、切換弁４を操作して、オゾン・酸素
供給管３を分岐管５ｂに連通させるようにし、オゾン発
生器１で発生したオゾンを酸素と一緒に吸着塔２ｂ側へ
供給させる作業を行わせるようにし、吸着塔２ａ側のオ
ゾン供給が終了すると、吸着塔２ｂ側のオゾンの供給を
行わせるようにする。
吸着塔２ａを室温程度に温度コントロールして、吸着剤
に吸着されているオゾンＯ3 をキャリアガス供給ライン
１５を通して送られるキャリアガスとしての窒素Ｎ2 で
脱着させて、吸着塔２ａより排出管８ａ、切換弁９、オ
ゾン供給管７を通して反応容器６へ供給させるようにす
る。なお、この際、切換弁４を操作して、オゾン・酸素
供給管３を分岐管５ｂに連通させるようにし、オゾン発
生器１で発生したオゾンを酸素と一緒に吸着塔２ｂ側へ
供給させる作業を行わせるようにし、吸着塔２ａ側のオ
ゾン供給が終了すると、吸着塔２ｂ側のオゾンの供給を
行わせるようにする。
【００１５】上記において、反応容器６に供給されるオ
ゾンは、酸素発生装置１４の排ガスである窒素ガスをキ
ャリアガスとしているので、吸着塔２ａ，２ｂで数１０
vol％に濃縮された状態が酸素によって稀釈されること
はなく、したがって寿命を長くすることができ、反応容
器６では酸化剤として有効に利用できることになる。
ゾンは、酸素発生装置１４の排ガスである窒素ガスをキ
ャリアガスとしているので、吸着塔２ａ，２ｂで数１０
vol％に濃縮された状態が酸素によって稀釈されること
はなく、したがって寿命を長くすることができ、反応容
器６では酸化剤として有効に利用できることになる。
【００１６】なお、上記実施例では、２つの吸着塔を交
互に用いるようにした場合を示したが、吸着塔は任意の
数として用いることができること、その他本発明の要旨
を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論である。
互に用いるようにした場合を示したが、吸着塔は任意の
数として用いることができること、その他本発明の要旨
を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは
勿論である。
【００１７】
【発明の効果】以上述べた如く、本発明のオゾン発生濃
縮装置によれば、オゾン発生器への酸素の供給源とし
て、空気から酸素を製造するようにした酸素発生装置を
用い、且つ該酸素発生装置の排ガスである窒素ガスをキ
ャリアガスとして、吸着塔で濃縮させたオゾンを処理部
へ供給できるようにした構成としたので、濃縮オゾンを
酸素によって稀釈することがなく、これによりオゾンの
寿命を長くすることができて処理部での効率的利用を図
ることができ、又、酸素発生装置の排ガスをキャリアガ
スとして使用できるようにしたことから、ライン構成を
簡素化することができ、コスト的にも有利である、等の
優れた効果を発揮する。
縮装置によれば、オゾン発生器への酸素の供給源とし
て、空気から酸素を製造するようにした酸素発生装置を
用い、且つ該酸素発生装置の排ガスである窒素ガスをキ
ャリアガスとして、吸着塔で濃縮させたオゾンを処理部
へ供給できるようにした構成としたので、濃縮オゾンを
酸素によって稀釈することがなく、これによりオゾンの
寿命を長くすることができて処理部での効率的利用を図
ることができ、又、酸素発生装置の排ガスをキャリアガ
スとして使用できるようにしたことから、ライン構成を
簡素化することができ、コスト的にも有利である、等の
優れた効果を発揮する。
【図１】本発明のオゾン発生濃縮装置の一実施例の概略
図である。
図である。
【図２】従来のオゾン発生方式の一例を示す概略図であ
る。
る。
【図３】従来のオゾン発生濃縮装置の一例を示す概略図
である。
である。
１ オゾン発生器 ２ａ，２ｂ 吸着塔 ６ 反応容器（処理部） １４ 酸素発生装置 １５ キャリアガス供給ライン Ｏ2 酸素 Ｏ3 オゾン Ｎ2 窒素
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 綾部 統夫 東京都江東区豊洲三丁目１番15号 石川島 播磨重工業株式会社技術研究所内
Claims (1)
- 【請求項１】 酸素をオゾン発生器に入れてオゾンを発
生させ、発生したオゾンを酸素と一緒に吸着塔内に入れ
てオゾンを吸着剤に吸着させて濃縮した後、上記吸着剤
に吸着させたオゾンをキャリアガスで処理部へ供給する
ようにしてあるオゾン発生濃縮装置において、上記オゾ
ン発生器に、該オゾン発生器に供給する酸素を空気から
発生させるようにした酸素発生装置を接続し、且つ該酸
素発生装置で発生した排ガスとしての窒素を上記吸着塔
へキャリアガスとして供給するためのキャリアガス供給
ラインを、上記酸素発生装置と吸着塔との間に接続して
なることを特徴とするオゾン発生濃縮装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5313959A JPH07144903A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | オゾン発生濃縮装置 |
| CA002136265A CA2136265C (en) | 1993-11-22 | 1994-11-21 | Apparatus for generating and condensing ozone |
| US08/343,223 US5520887A (en) | 1993-11-22 | 1994-11-22 | Apparatus for generating and condensing ozone |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5313959A JPH07144903A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | オゾン発生濃縮装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07144903A true JPH07144903A (ja) | 1995-06-06 |
Family
ID=18047552
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5313959A Pending JPH07144903A (ja) | 1993-11-22 | 1993-11-22 | オゾン発生濃縮装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07144903A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004122105A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Yaskawa Electric Corp | オゾン処理装置 |
| JP2008208026A (ja) * | 2008-05-20 | 2008-09-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高濃度オゾンガスの製造方法とその装置 |
| JP2014235110A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 株式会社堀場製作所 | 模擬ガス供給装置 |
| JPWO2024252626A1 (ja) * | 2023-06-08 | 2024-12-12 | ||
| JP2025095533A (ja) * | 2023-12-14 | 2025-06-26 | 株式会社環境開発技研 | 塗装廃液処理装置 |
-
1993
- 1993-11-22 JP JP5313959A patent/JPH07144903A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004122105A (ja) * | 2002-07-31 | 2004-04-22 | Yaskawa Electric Corp | オゾン処理装置 |
| JP2008208026A (ja) * | 2008-05-20 | 2008-09-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高濃度オゾンガスの製造方法とその装置 |
| JP2014235110A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 株式会社堀場製作所 | 模擬ガス供給装置 |
| JPWO2024252626A1 (ja) * | 2023-06-08 | 2024-12-12 | ||
| WO2024252626A1 (ja) * | 2023-06-08 | 2024-12-12 | 三菱電機株式会社 | オゾン供給システムおよびオゾン供給方法 |
| JP2025095533A (ja) * | 2023-12-14 | 2025-06-26 | 株式会社環境開発技研 | 塗装廃液処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2562326B2 (ja) | 空気から高濃度酸素を取得する方法 | |
| JP3309197B2 (ja) | 濃縮酸素の回収方法 | |
| US5507957A (en) | Treating materials with ozone | |
| FI91240C (fi) | Menetelmä hapen ja/tai otsonin valmistamiseksi | |
| JPH07144903A (ja) | オゾン発生濃縮装置 | |
| JPH04206161A (ja) | 燃料電池用メタノール改質ガスの供給方法 | |
| JP3766983B2 (ja) | オゾン発生濃縮装置 | |
| JP2002273161A (ja) | 窒素酸化物分解方法および装置 | |
| WO2019234882A1 (ja) | オゾン供給装置およびオゾン供給方法 | |
| JP3769742B2 (ja) | オゾン発生装置の制御方法 | |
| JPS5910925B2 (ja) | 酸素リサイクルオゾン発生装置 | |
| JP3694343B2 (ja) | 低濃度酸素用ｐｓａ | |
| JP2007000733A5 (ja) | ||
| JPS62226802A (ja) | オゾン発生装置 | |
| JP4215966B2 (ja) | 高濃度オゾンガスの製造方法とその装置 | |
| JP2005313095A (ja) | 排ガスを有効利用する水処理方法 | |
| JP3273353B2 (ja) | 硫酸プラント排ガスの乾式脱硫方法 | |
| JPH04164803A (ja) | ＮＯｘ含有ガスからの有価物回収方法 | |
| JP3830872B2 (ja) | 混合ガス分離装置 | |
| JPH09328302A (ja) | 高濃度オゾンの供給方法及び装置 | |
| JPH1067501A (ja) | 低酸素濃度オゾンの供給方法 | |
| JP4126766B2 (ja) | オゾン吸脱着装置 | |
| JP2001180915A (ja) | オゾン発生設備及びその運転方法 | |
| JP2001172004A (ja) | オゾン供給装置及び方法 | |
| JPH0938451A (ja) | 溶剤回収処理方法 |