JPH07260695A - スリット方向切換機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】スリット方向を容易に切り換えることのできる
スリット方向切換機構を提供する。 【構成】通過する光をスリット光に変換するためのスリ
ット３６を有するスリット板３５と、スリット３６の長
手方向に対して所定の角度をなす、スリット板３５と同
一平面内におけるスリット３６の中心線を回転軸として
スリット板３５を回転させる回転手段３７とを備え、回
転手段３７によりスリット板３５を表裏反転させて、ス
リット３６の方向を切り換える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、スリット方向を切り換
えるスリット方向切換機構に係り、特にスリット光を照
射して検査を行うパターン検査装置等に用いるに好適な
ものである。

【０００２】

【従来技術】従来のスリット方向切換機構としては、図
５に示すような機構が知られている。図５は従来のスリ
ット方向切換機構の一例を示す。なお、説明のためにＸ
Ｙ座標系を図中に示す。

【０００３】図５において、扇形（１／４円板）のスリ
ット板５１には、同形状で互いに平行なスリット５２
ａ、５２ｂが形成されている。また、スリット板５１に
は回転支持棒５３がスリット板５１に対して垂直に固定
されている。回転支持棒５３は不図示のモータ等に接続
され、紙面に対して垂直な軸Ｓを回転軸として回転す
る。

【０００４】スリット板５１が図中Ａ位置（実線で図
示）にあるとき、スリット５２ａ、５２ｂはそれぞれ、
ｙ方向と平行に位置する。そして、スリット光に変換さ
れる光は、スリット板５１がＡ位置にあるときのスリッ
ト５２ａに照射され、ｙ方向に平行なスリット光に変換
される。スリット方向を切り換える場合には、不図示の
モータ等により回転支持棒５３を矢印方向に回転させ、
図中Ａ位置（実線で図示）から図中Ｂ位置（二点鎖線で
図示）へスリット板５１を移動する。このとき、スリッ
ト５２ａ、５２ｂはそれぞれＸ方向に平行に位置する。
すなわち、スリット光に変換される光は、Ｘ方向と平行
に延びるスリット５２ｂに照射されることになり、Ｘ方
向に平行なスリット光に変換される。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上記の従来技術におい
ては、方向の異なる複数のスリットを一枚のスリット板
に形成しなければならず、スリット板が大きくなり、ス
リット板の回転させるために大きな空間が必要になって
しまうという問題点があった。本発明はこのような従来
の問題点に鑑みてなされたもので、狭い空間でもスリッ
ト方向の切り換えを容易に行うことのできるスリット方
向切換機構を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記問題点の解決の為
に、本発明のスリット方向切換機構は、通過する光をス
リット光に変換するためのスリット３６を有するスリッ
ト板３５と、前記スリットの長手方向に対して所定の角
度をなす、前記スリット板と同一平面内における前記ス
リットの中心線を回転軸として前記スリット板を回転さ
せる回転手段３７とを備え、回転手段３７により前記ス
リット板３５を表裏反転させて、前記スリットの方向を
切り換えるものである。

【０００７】

【作用】本発明においては、一方向に形成されたスリッ
トを有するスリット板を表裏反転させることによりスリ
ット方向を切り換えることができるので、大きな空間を
必要とせず、簡単な構成でスリットの方向を容易に切り
換えることができる。

【０００８】

【実施例】次に本発明の実施例を図面を参照しながら説
明する。図１は本発明のスリット方向切換機構の一実施
例の概略構成を示す斜視図である。基台３１の上面には
台形状の軸受け板３２ａ、３２ｂが対向して固定されて
いる。軸受け板３２ａ、３２ｂにはそれぞれ軸受けが設
けられ、それぞれの軸受けには回転支持棒３３ａ、３３
ｂが挿通されている。回転支持棒３３ａ、３３ｂはそれ
ぞれ図１中の一点鎖線ｓを回転軸として回転する。回転
支持棒３３ａ、３３ｂそれぞれの対向端部は、輪状のス
リット板保持部材３４に固定され、スリット板保持部材
３４を支持する。スリット板保持部材３４にはスリット
３６が形成された円形状のスリット板３５がはめ込まれ
ている。このとき、スリット板３５の同一平面内の一つ
の中心線と回転支持棒３３ａ、３３ｂの回転軸ｓとは一
致している。また、スリット板３５に形成されたスリッ
ト３６の長手方向と回転軸ｓとは、ほぼ４５°をなして
いる。

【０００９】一端にスリット板保持部材３４が固定され
た回転支持棒３３ｂの他端には駆動装置３７が接続され
ている。駆動装置３７はモータ（不図示）を備え、この
モータが回転すると回転支持棒３３ａ、３３ｂと共に、
スリット板保持部材３４およびスリット板３５が回転す
る。図２は図１のスリット方向切換機構の正面図であ
り、それぞれの部材には図１と同一符号を付して詳細な
説明は省略する。

【００１０】スリット板３５は紙面と平行に位置決めさ
れている。スリット３６の長手方向と回転支持棒３３
ａ、３３ｂの回転軸ｓとは４５度（θ１）をなしてい
る。また、光ビームは紙面に対して垂直に手前からスリ
ット３６に入射し、回転支持棒３３ａ、３３ｂの回転軸
ｓに対して４５度方向に延びるスリット光に変換され
る。スリット方向を切り換える場合には、駆動装置３７
のモータを回転させ、回転支持棒３３ａ、３３ｂを１８
０°回転させる。回転支持棒３３ａ、３３ｂが回転する
と、スリット板３５が回転し、表裏反転する。このと
き、スリット板３５に形成されたスリット３６の長手方
向と回転支持棒３３ａ、３３ｂの回転軸ｓとは、図２に
示すように、１３５度（θ２）をなす。

【００１１】この状態では、スリット３６に入射する光
ビームは、回転支持棒３３ａ、３３ｂの回転軸ｓに対し
て１３５度方向に延びるスリット光に変換される。すな
わち、スリット板３５を表裏反転させることにより、ス
リットの方向が９０°切換られたことになる。上述の実
施例においては、スリット板３５がスリット板保持部材
３４に固定されているため、スリット方向の切換角度が
９０°に固定であったが、例えば、図３に示すようにス
リット板３５を保持した輪状のスリット板保持部材３４
をベアリング等を介して、スリット板保持部材３４に比
較して径が僅かに大きい輪状の支持枠３８にはめ込んで
回転自在に支持すると共に、その支持枠３８に回転支持
棒３３ａ、３３ｂを固定すれば、スリットの長手方向と
回転軸との角度θ３を任意に設定することができ、スリ
ット方向の切換角度を任意に設定することが可能とな
る。

【００１２】次に、上述のスリット方向切換機構を、パ
ターン測定装置に適用した場合について、図４を参照し
て説明する。図４は本発明のスリット方向切換機構を用
いたパターン測定装置の概略構成を示す斜視図である。
このパターン測定装置は、マスク（レチクル）等の被測
定基板上に形成された回路パターンのエッジ位置を検出
し、そのエッジ位置からパターンの線幅等を測定するも
のである。なお、説明のためにＸＹＺ座標系を図中に示
す。

【００１３】図４において、レーザ発振器１から発生し
たレーザビームはビームエキスパンダ２によりそのビー
ム径が拡大される。ビームエキスパンダを通過したレー
ザビームは、本発明に係るスリット切換機構３のスリッ
ト３６に入射して、所定方向に延びるスリット光に変換
される。スリット切換機構３は、被測定基板６表面に照
射されるスリット光の長手方向が、Ｘ方向あるいはＹ方
向と平行になるように配設されている。スリット３６を
通過したスリット光は反射ミラー４に入射し、所定方向
に反射される。反射ミラー４で反射されたスリット光は
対物レンズ５により集光され、被測定基板６の表面に照
射される。被測定基板６は表面には回路パターンが形成
されている。また、被測定基板６は二次元方向（Ｘ方
向、Ｙ方向）に移動可能なステージ７上の所定位置に載
置されている。ステージ７の位置は干渉計８ａ、８ｂに
より検出される。

【００１４】上記ように構成されたパターン測定装置
は、被測定基板６を移動させることにより、被測定基板
６の表面をスリット光で走査し、被測定基板６表面に形
成された回路パターンのエッジ部分から散乱光を不図示
の受光素子で検出して、その散乱光が検出されたときの
ステージ７の位置に基づいてパターンの測定を行う。上
記のようなスリット光を照射して回路パターンの測定を
行うパターン位置測定装置においては、被測定基板６の
表面に形成された回路パターンに応じて、被測定基板表
面に照射されるスリット光の方向切換が行われる。すな
わち、マスク（レチクル）等の被測定基板上の、被測定
対象である回路パターンのエッジは、Ｘ方向とＹ方向と
に延びるエッジであり、Ｘ方向に延びるパターンのエッ
ジ位置はＸ方向に延びるスリット光で、Ｙ方向に延びる
パターンのエッジ位置はＹ方向に延びるスリット光でエ
ッジ位置の検出を行うため、スリット光の方向切換が行
われる。

【００１５】例えば、図４に示すような十字形の回路パ
ターンを測定するときの動作について説明する。レーザ
発振器１から出力された光ビームはビームエキスパンダ
２を介してスリット方向切換機構３のスリット３６に入
射してスリット光に変換される。スリット３６を通過し
たスリット光は反射ミラー４、対物レンズを介して被測
定基板６上に照射される。このとき、被測定基板６上に
はＹ方向と平行に延びる照射領域が形成される。ステー
ジ７の移動によりスリット光で回路パターン９が走査さ
れ、Ｙ方向と平行に形成されたパターン９のエッジ位置
が検出される。

【００１６】次にスリット切換機構のスリット板３５を
表裏反転させる。このとき、被測定基板６上には、Ｘ方
向と平行に延びる照射領域が形成される。前述と同様に
して、ステージ７の移動によりスリット光でパターン９
が走査され、Ｘ方向と平行に形成されたパターン９のエ
ッジ位置が検出される。そして、それぞれのエッジ位置
に基づいてパターン９の線幅等が演算される。

【００１７】このように、パターン測定装置に本発明の
スリット方向切換機構を用いた場合には、大きな取り付
け空間を必要としないので装置を小型化できるばかりで
なく、スリット板を表裏反転させるだけでスリット方向
を切り換えることができるので、パターン測定のスルー
プットを向上させることもできる。なお、上述の実施例
においては、円板状のスリット板を用いているが、スリ
ット板の形状はこれに限られないことはいうまでもな
い。

【００１８】

【発明の効果】以上の本発明においては、通過する光を
スリット光に変換するためのスリットを有するスリット
板を表裏反転させてスリットの方向を切り換える構成と
なっているので、スリット板にはスリットを一つ設けれ
ばよく、また、狭い空間でも容易にスリット方向の切換
を行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明のスリット方向切換機構の一実施例の
概略構成を示す斜視図である。

【図２】 図１のスリット方向切換機構の正面図であ
る。

【図３】 図１のスリット方向切換機構の変形例を説明
するための図である。

【図４】 図１のスリット方向切換機構を用いたパター
ン測定装置の概略構成を示す斜視図である。

【図５】 従来のスリット切換機構の一例を示す平面図
である。

【符号の説明】

１ レーザ発振器 ２ ビームエキスパンダ ３ スリット方向切換機構 ３４ スリット板保持部材 ３５ スリット板 ３６ スリット ３７ 駆動装置 ４ 反射ミラー ５ 対物レンズ ６ 被測定基板 ７ ステージ ８ａ、８ｂ 干渉計 ９ 回路パターン

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】通過する光をスリット光に変換するための
   スリットを有するスリット板と、 前記スリットの長手方向に対して所定の角度をなす、前
   記スリット板と同一平面内における前記スリットの中心
   線を回転軸として前記スリット板を回転させる回転手段
   と、を具備し、 前記回転手段により前記スリット板を表裏反転させて、
   前記スリットの方向を切り換えることを特徴とするスリ
   ット方向切換機構。