JPH07282419A - 薄膜磁気ヘッド - Google Patents
薄膜磁気ヘッドInfo
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- JPH07282419A JPH07282419A JP6093727A JP9372794A JPH07282419A JP H07282419 A JPH07282419 A JP H07282419A JP 6093727 A JP6093727 A JP 6093727A JP 9372794 A JP9372794 A JP 9372794A JP H07282419 A JPH07282419 A JP H07282419A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 22
- 229910000889 permalloy Inorganic materials 0.000 abstract description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 abstract description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3109—Details
- G11B5/313—Disposition of layers
- G11B5/3143—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding
- G11B5/3146—Disposition of layers including additional layers for improving the electromagnetic transducing properties of the basic structure, e.g. for flux coupling, guiding or shielding magnetic layers
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜磁気ヘッドにおいて、磁気回路の磁気抵
抗を小さくし、しかも製造を容易にした。 【構成】 下部磁極層２の上に、ギャップ層３、コイル
層４、絶縁層５、上部磁極層６が形成されて、ギャップ
層３の端部位置に磁気ギャップ７が形成されている磁気
記録用の薄膜磁気ヘッドにおいて、上部磁極層６が磁気
ギャップ側とは反対側の位置で幅方向全体が下部磁極層
２に磁気的に接合されていることを特徴とする。
抗を小さくし、しかも製造を容易にした。 【構成】 下部磁極層２の上に、ギャップ層３、コイル
層４、絶縁層５、上部磁極層６が形成されて、ギャップ
層３の端部位置に磁気ギャップ７が形成されている磁気
記録用の薄膜磁気ヘッドにおいて、上部磁極層６が磁気
ギャップ側とは反対側の位置で幅方向全体が下部磁極層
２に磁気的に接合されていることを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気コア、磁気ギャッ
プ、コイル等を薄膜技術で作成するようにした磁気記録
用の薄膜磁気ヘッドに関し、特に磁気コアの磁気抵抗を
小さくしたものである。
プ、コイル等を薄膜技術で作成するようにした磁気記録
用の薄膜磁気ヘッドに関し、特に磁気コアの磁気抵抗を
小さくしたものである。
【０００２】
【従来の技術】磁気記録再生装置では、磁気ヘッドを一
体に組込んだスライダーがロードアーム先端のジンバル
に固定され、磁気ディスクの回転に伴い、スライダーに
空気流の揚力が作用して微小間隔でスライダーを浮上さ
せ、磁気ヘッドが磁気ディスクに対向する部所の磁気ギ
ャップを介して、磁気ディスクに対し情報の読み書きを
できるようにしている。浮上式磁気ヘッドは、スライダ
ーに磁気ヘッドが一体に組込まれて形成され、磁気ヘッ
ドには、コアにコイルを巻いた形式のものと、磁気コ
ア、磁気ギャップ、コイル等を薄膜技術で作成した薄膜
磁気ヘッドとが知られている。
体に組込んだスライダーがロードアーム先端のジンバル
に固定され、磁気ディスクの回転に伴い、スライダーに
空気流の揚力が作用して微小間隔でスライダーを浮上さ
せ、磁気ヘッドが磁気ディスクに対向する部所の磁気ギ
ャップを介して、磁気ディスクに対し情報の読み書きを
できるようにしている。浮上式磁気ヘッドは、スライダ
ーに磁気ヘッドが一体に組込まれて形成され、磁気ヘッ
ドには、コアにコイルを巻いた形式のものと、磁気コ
ア、磁気ギャップ、コイル等を薄膜技術で作成した薄膜
磁気ヘッドとが知られている。
【０００３】薄膜磁気ヘッドは、図４に示すように、セ
ラミックウエハー１１の上にパーマロイからなる下部磁
極層１２、磁気ギャップ層１３、渦巻き状の銅製のコイ
ル層１４、絶縁層１５、パーマロイ製の上部磁極層１６
が順に積層され、ギャップ層１３の端部に磁気ギャップ
１７を有するように作成されている。また下部磁極層１
２と上部磁極層１６と磁気ギャップ１７との間に磁気回
路を形成するために、上部磁極層１６の磁気ギャップと
は反対側の部分が下部磁極層１２に磁気的に接合されて
いる。この接合のためには、図５に示すように下部磁極
層１２の上のギャップ層１３と絶縁層１５の前記接合相
当部分に穴１８をあけ、その穴１８をあけた後に上部磁
極層１６を形成することにより穴を埋め、上部磁極層１
６を穴の部分を介して下部磁極層１２に接合させてい
る。なお、図４のＡ−Ａ線断面図は図６のようになり、
上部磁極層１６の幅Ｗに対して、穴相当部分では、上底
幅Ｗ1 より下底幅Ｗ2 が小さいいわゆる逆台形状に形成
され、上部磁極層１６の作成時に穴１８の側面に磁極層
を積層させて上部磁極層１６を下部磁極層１２に接続さ
せている。
ラミックウエハー１１の上にパーマロイからなる下部磁
極層１２、磁気ギャップ層１３、渦巻き状の銅製のコイ
ル層１４、絶縁層１５、パーマロイ製の上部磁極層１６
が順に積層され、ギャップ層１３の端部に磁気ギャップ
１７を有するように作成されている。また下部磁極層１
２と上部磁極層１６と磁気ギャップ１７との間に磁気回
路を形成するために、上部磁極層１６の磁気ギャップと
は反対側の部分が下部磁極層１２に磁気的に接合されて
いる。この接合のためには、図５に示すように下部磁極
層１２の上のギャップ層１３と絶縁層１５の前記接合相
当部分に穴１８をあけ、その穴１８をあけた後に上部磁
極層１６を形成することにより穴を埋め、上部磁極層１
６を穴の部分を介して下部磁極層１２に接合させてい
る。なお、図４のＡ−Ａ線断面図は図６のようになり、
上部磁極層１６の幅Ｗに対して、穴相当部分では、上底
幅Ｗ1 より下底幅Ｗ2 が小さいいわゆる逆台形状に形成
され、上部磁極層１６の作成時に穴１８の側面に磁極層
を積層させて上部磁極層１６を下部磁極層１２に接続さ
せている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】最近では磁気記録の高
密度化に伴って磁気ヘッドが小型化され、それにともな
い磁気回路を形成する磁極層も当然小さくなってきてい
る。このためギャップ層や絶縁層に穴をあけて、その部
分の大きさで上部磁極層と下部磁極層とを磁気的に接合
しても、接合面積の低下により磁気抵抗が大きいという
問題があった。また、上部磁極層を下部磁極層に接続す
るための前記穴は逆台形状に形成されているが、穴の側
面に磁極層が積層されにくく、ひどい時は繋がらず、磁
極層が切れてしまうということが起こり、ますます磁気
抵抗を増加させてしまう。上底幅Ｗ1 より下底幅Ｗ2 が
小さいほど、穴の側面に磁極層を付け易い。しかし、上
部磁極層の幅ＷよりＷ1 を小さくする構造であったた
め、磁気ヘッドの小型化に伴うＷの狭小化によりＷ2 が
ますます小さくなり、磁気抵抗の増加をもたらす結果に
なっている。本発明は、上記問題を解決して、磁気回路
の磁気抵抗が小さく、しかも製造の容易な薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
密度化に伴って磁気ヘッドが小型化され、それにともな
い磁気回路を形成する磁極層も当然小さくなってきてい
る。このためギャップ層や絶縁層に穴をあけて、その部
分の大きさで上部磁極層と下部磁極層とを磁気的に接合
しても、接合面積の低下により磁気抵抗が大きいという
問題があった。また、上部磁極層を下部磁極層に接続す
るための前記穴は逆台形状に形成されているが、穴の側
面に磁極層が積層されにくく、ひどい時は繋がらず、磁
極層が切れてしまうということが起こり、ますます磁気
抵抗を増加させてしまう。上底幅Ｗ1 より下底幅Ｗ2 が
小さいほど、穴の側面に磁極層を付け易い。しかし、上
部磁極層の幅ＷよりＷ1 を小さくする構造であったた
め、磁気ヘッドの小型化に伴うＷの狭小化によりＷ2 が
ますます小さくなり、磁気抵抗の増加をもたらす結果に
なっている。本発明は、上記問題を解決して、磁気回路
の磁気抵抗が小さく、しかも製造の容易な薄膜磁気ヘッ
ドを提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、下部磁極層の
上にギャップ層、コイル層、絶縁層、上部磁極層が形成
されて、ギャップ層の端部位置に磁気ギャップが形成さ
れている磁気記録用の薄膜磁気ヘッドにおいて、上部磁
極層が磁気ギャップ側とは反対側の位置で、幅方向全体
が下部磁極層に磁気的に接合されていることを特徴とす
る。また上部磁極層は、磁気ギャップ部分が幅狭に形成
され、絶縁層を覆う部分が幅広の略長方形に形成され、
下部磁極層への接続部分が絶縁層を覆う部分より幅広に
形成されていることを特徴とする。
上にギャップ層、コイル層、絶縁層、上部磁極層が形成
されて、ギャップ層の端部位置に磁気ギャップが形成さ
れている磁気記録用の薄膜磁気ヘッドにおいて、上部磁
極層が磁気ギャップ側とは反対側の位置で、幅方向全体
が下部磁極層に磁気的に接合されていることを特徴とす
る。また上部磁極層は、磁気ギャップ部分が幅狭に形成
され、絶縁層を覆う部分が幅広の略長方形に形成され、
下部磁極層への接続部分が絶縁層を覆う部分より幅広に
形成されていることを特徴とする。
【０００６】
【作用】本発明の薄膜磁気ヘッドでは、上部磁極層の磁
気ギャップとは反対側の部分の全幅を下部磁極層に接続
させるので、上部磁極層と下部磁極層との接続部分の磁
気抵抗を小さくでき、しかもその接続部分の磁極層の付
着が容易である。また上部磁極層は、それが絶縁層を覆
う部分とほぼ同一幅あるいは幅広に下部磁極層に接続さ
れるので、磁気ヘッドが小型に形成されても磁気抵抗を
小さく抑えることができる。
気ギャップとは反対側の部分の全幅を下部磁極層に接続
させるので、上部磁極層と下部磁極層との接続部分の磁
気抵抗を小さくでき、しかもその接続部分の磁極層の付
着が容易である。また上部磁極層は、それが絶縁層を覆
う部分とほぼ同一幅あるいは幅広に下部磁極層に接続さ
れるので、磁気ヘッドが小型に形成されても磁気抵抗を
小さく抑えることができる。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図１〜３により説明する。
本発明の磁気ヘッドは、セラミックスウエハー１の上
に、順にパーマロイからなる下部磁極層２、レジスト有
機物（耐熱性）などからなるギャップ層３、銅からなる
渦巻き状のコイル層４、セラミックからなる絶縁層５、
パーマロイからなる上部磁極層６がスパッタやメッキの
薄膜技術により積層され、ギャップ層３の端部に磁気ギ
ャップ７が形成されている。上部磁極層６は、磁気ギャ
ップ７とは反対側の端部の幅全体が下部磁極層２に磁気
的に接合され、上部磁極層６と下部磁極層２とで磁気ギ
ャップ７を有する磁気回路が形成されている。なお通常
は、下部磁極層２の厚さは約３μｍ、ギャップ層３は約
０．５μｍ、コイル層４は約３μｍ、絶縁層５は上部磁
極層と下部磁極層の間で約９μｍ、上部磁極層６は約３
μｍの厚さに成膜されている。
本発明の磁気ヘッドは、セラミックスウエハー１の上
に、順にパーマロイからなる下部磁極層２、レジスト有
機物（耐熱性）などからなるギャップ層３、銅からなる
渦巻き状のコイル層４、セラミックからなる絶縁層５、
パーマロイからなる上部磁極層６がスパッタやメッキの
薄膜技術により積層され、ギャップ層３の端部に磁気ギ
ャップ７が形成されている。上部磁極層６は、磁気ギャ
ップ７とは反対側の端部の幅全体が下部磁極層２に磁気
的に接合され、上部磁極層６と下部磁極層２とで磁気ギ
ャップ７を有する磁気回路が形成されている。なお通常
は、下部磁極層２の厚さは約３μｍ、ギャップ層３は約
０．５μｍ、コイル層４は約３μｍ、絶縁層５は上部磁
極層と下部磁極層の間で約９μｍ、上部磁極層６は約３
μｍの厚さに成膜されている。
【０００８】上部磁極層６の断面は略コ字形に形成さ
れ、上部磁極層６が下部磁極層２に磁気的に接合される
部分、すなわち上部磁極層６の磁気ギャップ７とは逆側
部分の幅全体が下部磁極層２に接合され、磁気抵抗が小
さくなるようにしている。また上部磁極層６は、磁気ギ
ャップ部分が幅狭に形成され、絶縁層５を覆う部分９が
図３（ａ）、（ｂ）に示すように幅広の略長方形に形成
され、下部磁極層２への接続部分が絶縁層を覆う部分と
ほぼ同一幅に形成されている。なお、上部磁極層６と下
部磁極層２の接合部８は、図３（ｃ）のように接合部８
の面積を上部磁極層６が絶縁層５を覆う部分９よりも幅
広の大面積に形成して、磁気抵抗をより小さくするよう
にしてもよい。上記のように構成された、薄膜磁気ヘッ
ドは、スライダーに一体に組込まれ、磁気ギャップ７が
回転する磁気ディスクに微少間隔で対面されることによ
り、磁気ギャップと磁気ディスクとの間で情報を書き込
みあるいは読み取りすることができる。
れ、上部磁極層６が下部磁極層２に磁気的に接合される
部分、すなわち上部磁極層６の磁気ギャップ７とは逆側
部分の幅全体が下部磁極層２に接合され、磁気抵抗が小
さくなるようにしている。また上部磁極層６は、磁気ギ
ャップ部分が幅狭に形成され、絶縁層５を覆う部分９が
図３（ａ）、（ｂ）に示すように幅広の略長方形に形成
され、下部磁極層２への接続部分が絶縁層を覆う部分と
ほぼ同一幅に形成されている。なお、上部磁極層６と下
部磁極層２の接合部８は、図３（ｃ）のように接合部８
の面積を上部磁極層６が絶縁層５を覆う部分９よりも幅
広の大面積に形成して、磁気抵抗をより小さくするよう
にしてもよい。上記のように構成された、薄膜磁気ヘッ
ドは、スライダーに一体に組込まれ、磁気ギャップ７が
回転する磁気ディスクに微少間隔で対面されることによ
り、磁気ギャップと磁気ディスクとの間で情報を書き込
みあるいは読み取りすることができる。
【０００９】
【発明の効果】本発明の薄膜磁気ヘッドの上部磁極層
は、絶縁層を覆う部分とほぼ同一幅で下部磁極層に接合
させるので、上部磁極層の幅より小さい幅で下部磁極層
に接合する従来のような薄膜磁気ヘッドに比べ、磁気ヘ
ッドが小型になっても磁気回路の磁気抵抗を小さくする
ことができ、さらに上部磁極層の接続部分を磁気抵抗が
小さい状態に容易に積層することができる。また上部磁
極層の下部磁極層への接続部分を、上部磁極層が絶縁層
を覆う部分より幅広に形成することにより、磁気回路の
磁気抵抗をより小さく抑えることができる。
は、絶縁層を覆う部分とほぼ同一幅で下部磁極層に接合
させるので、上部磁極層の幅より小さい幅で下部磁極層
に接合する従来のような薄膜磁気ヘッドに比べ、磁気ヘ
ッドが小型になっても磁気回路の磁気抵抗を小さくする
ことができ、さらに上部磁極層の接続部分を磁気抵抗が
小さい状態に容易に積層することができる。また上部磁
極層の下部磁極層への接続部分を、上部磁極層が絶縁層
を覆う部分より幅広に形成することにより、磁気回路の
磁気抵抗をより小さく抑えることができる。
【図１】本発明の薄膜磁気ヘッドの一部破断面斜視図で
ある。
ある。
【図２】薄膜磁気ヘッドの平面図である。
【図３】薄膜磁気ヘッドの下部磁極層と上部磁極層との
接合部の平面図である。
接合部の平面図である。
【図４】従来の薄膜磁気ヘッドの一部破断面斜視図であ
る。
る。
【図５】従来の薄膜磁気ヘッドの下部磁極層と上部磁極
層との接合部の平面図である。
層との接合部の平面図である。
【図６】図４のＡ−Ａ線断面図と、上部磁極層の平面図
である。
である。
２ 下部磁極層 ５ 絶縁層 ６ 上部磁極層 ７ 磁気ギャップ ８ 接合部
Claims (2)
- 【請求項１】 下部磁極層の上にギャップ層、コイル
層、絶縁層、上部磁極層が形成されて、ギャップ層の端
部位置に磁気ギャップが形成されている磁気記録用の薄
膜磁気ヘッドにおいて、上部磁極層が磁気ギャップ側と
は反対側の位置で、幅方向全体が下部磁極層に磁気的に
接合されていることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。 - 【請求項２】 上部磁極層は、磁気ギャップ部分が幅狭
に形成され、絶縁層を覆う部分が幅広の略長方形に形成
され、下部磁極層への接続部分が絶縁層を覆う部分より
幅広に形成されていることを特徴とする請求項１の薄膜
磁気ヘッド。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6093727A JP2955182B2 (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 薄膜磁気ヘッド |
| US08/418,110 US5581429A (en) | 1994-04-07 | 1995-04-06 | Thin-film magnetic head having improved magnetic pole structure |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6093727A JP2955182B2 (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 薄膜磁気ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07282419A true JPH07282419A (ja) | 1995-10-27 |
| JP2955182B2 JP2955182B2 (ja) | 1999-10-04 |
Family
ID=14090454
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6093727A Expired - Fee Related JP2955182B2 (ja) | 1994-04-07 | 1994-04-07 | 薄膜磁気ヘッド |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5581429A (ja) |
| JP (1) | JP2955182B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7259939B2 (en) | 2003-06-04 | 2007-08-21 | Alps Electric Co., Ltd. | Thin-film magnetic head including a toroidal coil layer and connecting layer formed between a first and second magnetic cores disposed at a back side of the toroidal coil layer |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6333830B2 (en) * | 1998-11-09 | 2001-12-25 | Read-Rite Corporation | Low resistance coil structure for high speed writer |
| US6417998B1 (en) | 1999-03-23 | 2002-07-09 | Read-Rite Corporation | Ultra small advanced write transducer and method for making same |
| US7298587B2 (en) | 2002-08-05 | 2007-11-20 | Seagate Technology Llc | Rounded top pole |
| US7684150B2 (en) * | 2003-07-09 | 2010-03-23 | Seagate Technology Llc | Recording head for reducing side track erasure |
| US8144425B2 (en) * | 2003-12-15 | 2012-03-27 | Seagate Technology Llc | Magnetic recording head with compact yoke |
| CN108092513B (zh) | 2017-12-26 | 2020-03-06 | 矽力杰半导体技术(杭州)有限公司 | 直流-直流转换器 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0346109A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-27 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| JPH04111212A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Hitachi Ltd | 薄膜磁気ヘッド |
| JPH05101332A (ja) * | 1991-10-07 | 1993-04-23 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 薄膜磁気ヘツド |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5329090A (en) * | 1976-08-31 | 1978-03-17 | Oki Electric Ind Co Ltd | Semiconductor photo coupler |
| US5253134A (en) * | 1990-05-09 | 1993-10-12 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Thin-film magnetic head |
| US5270893A (en) * | 1990-10-29 | 1993-12-14 | Sony Corporation | Specific core structure in a magneto-resistance head |
| US5264981A (en) * | 1991-08-14 | 1993-11-23 | International Business Machines Corporation | Multilayered ferromagnetic film and magnetic head employing the same |
-
1994
- 1994-04-07 JP JP6093727A patent/JP2955182B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1995
- 1995-04-06 US US08/418,110 patent/US5581429A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (3)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5581429A (en) | 1996-12-03 |
| JP2955182B2 (ja) | 1999-10-04 |
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