JPH07282764A - 電子顕微鏡用画像処理装置及び電子顕微鏡制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンピュータの操作に特に熟練していなくと
も容易に装置の操作を行うことができるマン・マシン・
インタフェイスを備えた電子顕微鏡装置や画像処理装置
等の制御装置を提供する。 【構成】 画像処理の単位処理関数を記憶した関数ファ
イル３２から複数の単位処理関数を選択し、１つのファ
イルに所定の順序で記述した後、マクロ名を付けてマク
ロ名ファイル３３に登録しておく。画像処理装置３７に
よる画像処理実行時、所望のマクロ名を指定することに
より、そのマクロファイルに記述された単位処理関数を
順次実行して、一連の画像処理を自動的に行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、汎用パソコンやワーク
ステーション等のコンピュターを使った制御装置、特に
電子顕微鏡やその画像処理装置のように一連の操作や処
理を必要とされる装置の制御装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、装置の制御の流れや操作内容
は、ユーザーの要望を設計に取り入れて設定される。し
かし、電子顕微鏡のような装置は試料の種類も多く、観
察方法や得られた画像の分析処理方法もユーザーによっ
てまちまちである。そのうえ画像処理の内容は、ユーザ
ーの主観的なイメージによって決まることが多く、画像
をどの様に処理したらどの様な結果が得られるかと言っ
た装置使用上のノウハウは個々のユーザーがそれぞれ独
自に持っていることが多い。そのためにメーカーは、一
般的なコンピュター処理方法を採用して装置の処理機能
の汎用化を図ってきた。その結果、必ずしもユーザーに
とって使い易い装置にはなっていなかった。

【０００３】従来の装置操作方法の一例は、図８に示す
ような制御コンピュターのコンソールＣＲＴ画面１に表
示されたウィンドウのメニュー２から、実行したい項目
を逐次マウス等で指示選択しながら操作処理を進めて行
くものである。例えば、画像処理３をマウスで選択し
て、さらに表示された画像処理メニュー４の中から「単
位関数Ａ」５をマウスで選んで実行する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記した従来のメニュ
ー方式やコマンド方式による条件設定方法は、操作が比
較的単純で選択項目の少ない場合には有効である。しか
し、操作内容が複雑になったり操作ステップ数が多くな
ると、ウィンドウやメニューの数が増大し、また階層も
深くなって次から次へと異なるウィンドウを開けてその
メニューを見ながらマウス操作をしなければならなくな
る。そのため、ウィンドウに表示された細かなメニュー
やアイコンをコンソールＣＲＴの画面上をあちこちに動
き回る小さなマウスカーソルを使って選択したり指示し
たりする操作は、コンピュータの操作に熟練していない
一般の操作者には煩雑で錯綜したものとなってしまう。
そして、この条件設定がうまくできなければ、装置の機
能性能を十分に発揮することができない。

【０００５】このように、汎用化したコンピュータ制御
装置を有する電子顕微鏡の操作や電顕像の画像処理装置
の操作は、コンピュターの立ち上げ設定に始まり装置の
細かい操作までをキーボードやマウス等の入出力手段と
コンソールＣＲＴ等の表示手段とを使ってメニューやコ
マンドによって次々に指示実行しなければならず、操作
が煩雑で使い勝手が悪いという問題があった。これは、
電顕像の画像処理装置だけの問題ではなく、望遠鏡を通
して高感度撮像装置で撮影した宇宙の画像、気象衛星や
資源探査衛星で撮影した地球の画像、あるいはＸ線ＣＴ
画像やＮＭＲの画像等を処理する他の画像処理装置にお
いても同様の問題があった。

【０００６】一方、汎用パソコン等を使用して装置制御
を行う方向にある技術動向の中で、ウィンドウやアイコ
ンの操作を避けて通ることはできない状況にもあり、装
置の使い勝手をよくするためには電子顕微鏡や画像処理
装置を操作するオペレータにコンピュターをほとんど意
識させない様に装置を構成する必要がある。本発明は、
コンピュータの操作に特に熟練していなくとも容易に装
置の操作を行うことができるマン・マシン・インタフェ
イスを備えた電子顕微鏡装置や画像処理装置等の制御装
置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明においては、従来
の操作卓や操作ツマミに相当する機能をメニューに付加
するのみでなく、一連の複数操作の組合せを一個のファ
イル名やマクロ名で装置に組み込み、登録し再現実行で
きる機能を装置に備えた。具体的には、従来のウィンド
ウの一連のメニュー指示によって、処理シーケンスや複
数の操作手順を一個のファイル名やマクロ名で登録し、
そのファイル名やマクロ名を指示することで一連の操作
処理を登録した順序通りに実行できる機能を備えた。

【０００８】電子顕微鏡の画像処理装置には画像を処理
する基本的な関数が多数用意されている。本発明では、
この多数の単位基本関数プログラムあるいはユーザーが
開発した処理プログラムをユーザーが希望する順序に並
べ、実行できる様な処理プログラムを装置に備える。一
連の操作を１つのファイル名又はマクロ名で登録するプ
ログラム、及びその登録されたファイル名又はマクロ名
を指定することによってそこに記述された一連の操作を
順次実行するプログラムとしては既存の任意のプログラ
ムを利用することができる。

【０００９】本発明による電子顕微鏡用画像処理装置
は、電子顕微鏡像を撮像して画像データを出力する撮像
手段と、画像データを処理する画像処理手段と、画像処
理手段を制御する制御手段と、制御手段に接続された入
出力手段と、画像処理の単位処理関数を複数記憶した第
１の記憶手段と、複数の単位処理関数を順序づけて１つ
の名称で登録する登録手段と、順序づけた複数の単位処
理関数とその名称とを関連づけて記憶する第２の記憶手
段と、登録された名称を指定することによりその名称に
関連づけて記憶された複数の単位処理関数を順次実行す
る手段とを備えることを特徴とする。

【００１０】登録手段は同一の単位処理関数による処理
を複数回繰り返すループ処理を定義登録する機能を備え
るのが好ましい。また、登録手段は単位処理関数のリス
トを表示する手段と、表示されたリストから前記入出力
手段によって１つの単位処理関数を選択する手段と、選
択された単位処理関数を順序づけて設定する手段とを備
えることができる。

【００１１】また、本発明による画像処理装置は、画像
データを処理する画像処理手段と、画像処理手段を制御
する制御手段と、制御手段に接続された入出力手段と、
画像処理の単位処理関数を複数記憶した第１の記憶手段
と、複数の単位処理関数を順序づけて１つの名称で登録
する登録手段と、順序づけた複数の単位処理関数とその
名称とを関連づけて記憶する第２の記憶手段と、登録さ
れた名称を指定することによりその名称に関連づけて記
憶された複数の単位処理関数を順次実行する手段とを備
えることを特徴とする。

【００１２】また、本発明による電子顕微鏡制御装置
は、電子顕微鏡と、電子顕微鏡の操作を制御する制御手
段と、制御手段に接続された入出力手段と、電子顕微鏡
の単位操作データを複数記憶した第１の記憶手段と、複
数の単位操作を順序づけて１つの名称で登録する登録手
段と、順序づけた複数の単位操作とその名称とを関連づ
けて記憶する第２の記憶手段と、登録された名称を指定
することによりその名称に関連づけて記憶された複数の
単位操作を順次実行する手段とを備えることを特徴とす
る。

【００１３】さらに本発明による制御装置は、装置の操
作を制御する制御手段と、制御手段に接続された入出力
手段と、装置の単位操作データを複数記憶した第１の記
憶手段と、複数の単位操作を順序づけて１つの名称で登
録する登録手段と、順序づけた複数の単位操作とその名
称とを関連づけて記憶する第２の記憶手段と、登録され
た名称を指定することによりその名称に関連づけて記憶
された複数の単位操作を順次実行する手段とを備えるこ
とを特徴とする。

【００１４】

【作用】本発明によれば、従来のようにウィンドウのメ
ニューを一項目ずつ指示していく代わりに、組み合わせ
た一個の操作処理を一個のファイル名やマクロ名等で定
義登録して、マウス等で指示することによって操作処理
の簡略化が図れる。また、マクロ命令の組合せをさらに
別のマクロ命令として定義しておけば、一連の決まった
手順の操作を極めて簡単に実行することができる。

【００１５】すなわち、従来はコンピュターの専門家に
近い操作能力を持たないと、装置の機能を充分に発揮す
ることができず、装置操作そのものに困難が有ったもの
が、容易に操作できる装置になるとともに、ユーザーが
自分固有の操作手順を登録実行できる装置にもなる。従
って、装置使用ノウハウをユーザーが装置に容易に組み
込むことが可能になり、電子顕微鏡の画像等に含まれる
隠れた情報を上手く引き出せ、装置の機能をいかんなく
発揮することができる手段をユーザーに提供できる。

【００１６】

【実施例】以下、本発明の実施例について説明する。 〔実施例１〕図１は、本発明による画像処理装置の一実
施例を示す概念図である。コンピュータ３１は内部にＣ
ＰＵを備えると共に、プログラム等を記憶したＲＯＭ、
ＲＡＭや磁気ディスク等の外部メモリ、及びコンソール
ＣＲＴ１、キーボード３５、マウス３６等の入出力装置
を備える。

【００１７】コンピュータ３１は、後述するように、メ
モリの関数ライブラリに登録してある関数ファイル３２
をオペレータの指示によってミクロファイルリストとし
て順次表示する機能、表示された関数の中からオペレー
タが選択した関数を指定した順序で組み合わせて一連の
処理を実行する処理機能を備える。また、複数の関数の
組み合わせをその処理を参照したり実行するのに便利な
マクロ名を付けてマクロ名ファイル３３としてメモリに
登録する機能、及びマクロ名を指定することによってそ
のマクロ名で登録した処理内容を実行できる機能を備え
る。

【００１８】電子顕微鏡４０の画像データは、オペレー
タの指示によって、ＴＶカメラ３９及びカメラコントロ
ーラ３８を用いて画像処理装置３７に取り込まれる。そ
して、登録済みのマクロ名をオペレータが実行指定すれ
ば、画像処理装置３７に取り込まれた電子顕微鏡の画像
データに対して予め登録した一連の処理を実行すること
ができる。この電顕像の処理はリアルタイムで実行され
る場合もあるし、オンライン又はオフラインで行われる
こともある。

【００１９】次に、図２〜図４により、本実施例の画像
処理装置の操作方法について説明する。図２は、操作手
順をマクロ名で設定登録する方法の一例を示す。まず、
メニュー２から処理テーブルの設定６を選択すると、コ
ンソールＣＲＴの画面１に空白の処理テーブル７とミク
ロファイルリスト８が表示される。ミクロファイルリス
ト８は、単位関数等の単位プログラム名とその単位プロ
グラムの処理内容の説明からなる。このミクロファイル
リストを見ると、例えば「単位関数Ａ」というミクロ名
の単位プログラムは、画像に対してハイパスフィルター
処理を行うプログラムであり、「単位関数Ｂ」というミ
クロ名の単位プログラムは像回転処理を行うプログラム
であることが分かる。また、「終了」と名付けられたミ
クロファイルは、処理を終了させるための単位プログラ
ムである。

【００２０】オペレータは、このミクロファイルリスト
８の中から処理実行したいミクロ名を選び、画面左側の
空白の処理テーブル７に順次設定し登録する。例えば、
「単位関数Ａ〜Ｃ」というミクロ名のファイルをそのま
まＡ、Ｂ、Ｃの順序で実行処理したい場合には、最初に
「単位関数Ａ」というミクロ名１０を処理テーブル７の
１番目に設定し、次に「単位関数Ｂ」というミクロ名１
１を設定し、最後に「単位関数Ｃ」というミクロ名１２
を設定する。処理テーブル７へのミクロ名の設定は、例
えば、マウスカーソルを所望のミクロ名に合わせて右ク
リックし、次に処理テーブルの所定の位置にマウスカー
ソルを移動して左クリックする等適宜の方法により行わ
れる。

【００２１】操作処理内容であるミクロ名９を処理順序
に従って設定し終わると、処理テーブル７に終了命令の
図形スイッチ１３を設定し、その処理テーブル７に適宜
のマクロ名１４（図の例では、「関数処理１」）をキー
ボード３５から入力し、登録命令の図形スイッチ１５に
マウスカーソルを合わせクリックすることによりマクロ
名ファイル３３に登録する。この「関数処理１」という
マクロ名１４は、マクロ名フィル３３に登録された多量
のマクロファイルリストの中から図２の処理テーブルに
示した内容のマクロファイルをアクセスするための識別
記号となる。

【００２２】図３は、本実施例の画像処理装置によって
画像処理の実行を指示する例を示す。まず、ユーザーは
メニュー２からマクロ命令の実行１６を選択する。コン
ピュタープログラムは、図２のようにして登録されたマ
クロ名１４をマクロ名ファイル３３から呼び出してコン
ソールＣＲＴの画面１にマクロファイルリスト１７とし
て表示する。オペレータは、表示されたマクロファイル
リスト１７から所望のマクロ名をマウスカーソルで指定
し、実行命令の図形スイッチ１８をクリックして処理の
実行を指示する。例えば、マクロファイルリスト１７の
中から「関数処理１」というマクロ名１９を指定すれ
ば、図２で登録した「単位関数Ａ〜Ｃ」迄を実行処理し
て終了する。

【００２３】この場合、図２で登録したマクロ名を指定
して実行処理しても、例えば図２に示したミクロ名の単
位関数を分割して複数のマクロ名で登録し、図３に示す
マクロ命令の実行画面でその複数のマクロ名を順番に実
行指示しても同様の結果が得られる。コンソールＣＲＴ
１、もしくは専用のＣＲＴモニターには、常に画像処理
前後の電顕像２０ａ，２０ｂを表示して、画像処理の結
果をオペレータが識別できる様にする。

【００２４】ミクロ名で示される実行単位プログラム
は、ライブラリとして予め登録されている関数ファイル
３２の他にユーザーが独自のものを定義して登録するこ
ともできる。ミクロ名（単位プログラム）の登録方法の
一例を図４に示す。メニュー２からミクロ名の登録２１
を選択し、単位関数や処理単位プログラムを一個のミク
ロ名として登録する。例えば、ユーザー作成のプログラ
ムや、メーカー作成の画像処理の単位関数の処理プログ
ラム２２を「単位関数Ａ」というミクロ名２３で定義入
力し、同時にコメント欄２４に処理内容を、例えば、ハ
イパスフィルターと入力し、登録命令の図形スイッチ２
５をマウスでクリックして登録する。その他の各種処理
プログラムにも同様にミクロ名を付けて関数ファイル３
２に登録することができる。図２に示したミクロファイ
ルリスト８は、その登録済の関数ファイル３２のリスト
である。

【００２５】〔実施例２〕本発明の制御方法を、電顕像
の画像処理制御に応用した例を図５及び図６に示す。電
顕像の状態は、しばしば（イ）ＴＶカメラに部分的なス
ポット状の欠陥が有ったり、（ロ）ハレーションが有っ
たり、（ハ）像がドリフトしていたり、（ニ）極めて暗
い像であったりして、必ずしも満足できるものとは言え
ない。本実施例は、この様な条件における電顕像を、装
置欠陥が見えなく、明るく鮮明で、原画に忠実な電顕像
に画像処理し、また、モニターには常時電顕像と電顕像
中央部のライン上の明るさ分布を表すヒストグラムを同
時表示して画像の画質判断ができるようにするものであ
る。

【００２６】上記条件で電顕像の画像処理を実行する関
数の種類と順序、組合せ法等は種々有るが、最も一般的
な関数で処理する例で説明する。処理の内容には単位関
数でなくマクロ命令として扱うべき項目も有るが、一般
的な処理である関数は単位関数として説明する。本実施
例の画像処理は次の（イ）〜（ホ）の処理からなる。
（イ）電顕像から１ピクセル単位の欠陥を除く収縮処理
（侵食ともイロージョンとも言われ、像の中の黒点を除
去する処理）と膨張処理（拡張ともダイレーションとも
言われ、白点を除去する処理）を実行する。（ロ）比較
的周波数の低いハレーションを除くためにハイパスフィ
ルター処理を実行する。（ハ）パターンマッチング手法
（限定した着目する部位の画像をある特定な画像とを比
較する。ここでは処理開始時の画像とそれ以降の画像を
比較してマッチングをとる）を使って像移動ドリフトの
方向と位置データを求め、ドリフト補正を実行する。
（二）電顕像が暗いことから指定回数の積算処理を実行
する。指定回数の処理が未終了なら処理の途中に戻り、
また、指定回数の処理を終了したら、（ホ）積算電顕像
とヒストグラムとをモニター表示し最初に戻る。これら
の処理を停止命令が来るまで続けて実行する。

【００２７】図５に、この処理のフローチャートを示
す。まず初期操作として、繰り返し回数のカウンターと
積算画像データを格納するエリアをクリアする（ステッ
プ６１）。その後、ＴＶカメラを起動し（ステップ６
２）、画像処理装置に画像データを収集する（ステップ
６３）。この画像データからＴＶカメラの欠陥に起因す
る黒点及び白点の補正をし（ステップ６４）、さらに画
像とハレーションの周波数成分の違いを利用してハレー
ション補正を実行する（ステップ６５）。また、パター
ンマチッングによって画像のドリフト方向と移動量を求
め位置補正して（ステップ６６）、画像データエリアに
積算する（ステップ６７）。繰り返しカンターのチェッ
クをして（ステップ６８）、指定回数の処理が終了した
か否か判定し（ステップ６９）、未終了ならばステップ
６２に戻ってＴＶカメラの起動から再開し、終了ならば
積算画像の中央部のヒストグラムを求めて画像合成し
（ステップ７０）、モニターに画像表示（ステップ７
１）して最初からまた処理を開始する。

【００２８】従来の画像処理方法は、少なくともこのフ
ローチャートの各スッテプ毎に実行を指示して、繰り返
し処理していた。しかし、本実施例によると、この処理
を次に説明する手法で登録しておけば、実行指示の一命
令だけで即一連の処理を実行することができる。図６
に、図５の処理を実行するマクロ名の処理内容や手順を
登録する方法の一例を示す。図２で説明したように、メ
ニュー６で表示される処理テーブル７はマクロ名の実行
テーブルとなるもので、処理テーブルの番号０１から始
めて逐次ミクロファイルリスト８からミクロ名９を選択
設定し、最後にその処理テーブル７にマクロ名を付けて
登録する。もちろんここでは、処理テーブル７に設定さ
れた順で実行処理される。

【００２９】図５の流れに沿って説明すれば、まずミク
ロファイルリスト８のミクロ名の中からカウンターとデ
ータエリアの初期化を実行するファイルのミクロ名を選
択し処理テーブル７に設定する。すなわち、ミクロファ
イルリスト８から０１の「カウンタクリア」を選択し、
処理テーブル７の０１項に設定する。またミクロファイ
ルリスト８から０２の「データエリアのクリア」を選択
し処理テーブル７の０２項に設定する。

【００３０】続いて処理テーブル７の各項の空欄にミク
ロファイルリスト８から処理に必要なミクロ名を逐次選
択し設定する。ここで、処理テーブル７の１１項に設定
したミクロ名「カウンター操作」は、繰り返し積算回数
と処理シーケンスの飛び先を規定する項で、ミクロファ
イル８から０４項を選択し設定する時に、繰り返し積算
回数Ｎとシーケンスの飛び先（この例では「０３」）を
キーボードからの数字入力によって指定する。また処理
テーブルの１５項に設定したミクロ名「ジャンプ」はシ
ーケンスの飛び先を指定するものであり、飛び先（この
例では「０１」）は同様にキーボードで設定する。全て
のミクロ名の設定が終了すると、図形スイッチ１５をマ
ウスでクリックして、処理テーブル７に設定した処理内
容を適宜のマクロ名（この例では「像の鮮明化」）で登
録する。

【００３１】この様に、ミクロ名で定義された処理関数
を組み合わせて処理テーブル７に登録するようにすれ
ば、上記した例ではＴＶカメラ等のハードに多少欠陥が
有っても良好な電顕像が得られるし、また、ユーザーに
も簡単にシーケンスや処理関数の組合せが可能になる。
この一連の処理を実行する処理プログラムが装置組み込
みになっている場合には、ユーザーに処理の一部を変更
したり、カットしたりする必要が生じたとしても、それ
をユーザーサイドで簡単に実行することはできない。し
かし、本発明の画像処理装置のように、ユーザーが所望
の処理シーケンスを登録し実行する機能が装置に組み込
まれていると、ユーザーは自分の満足のいくように処理
に変更を加えることが何時でも簡単にできるようにな
り、画像処理のノウハウを蓄積しながら常に最新最適と
考える画像処理を実行することができるようになる。

【００３２】なお、本実施例では説明の簡単のためミク
ロファイルリスト８のミクロ名を一連のリスト構造にし
て表示したが、実際には装置制御関数（命令）や画像処
理関数（命令）、シーケンス制御関数（命令）の様に機
能ごとにミクロファイルリストを別にするのが便利であ
る。

【００３３】〔実施例３〕図７は、本発明による電子顕
微鏡装置本体の制御装置の実施例の概念図である。コン
ピュータ３１は内部にＣＰＵを備えると共に、プログラ
ム等を記憶したＲＯＭ、ＲＡＭや磁気ディスク等の外部
メモリ、及びコンソールＣＲＴ１、キーボード３５、マ
ウス３６等の入出力装置を備え、オペレータの指示で電
子顕微鏡４０の操作を実行する。本実施例の制御装置
は、図１の関数ファイル３２に相当する実行処理ファイ
ル４７、及び図１のマクロ名ファイル３３に相当する装
置操作ファイル４８を有する。

【００３４】実行処理ファイル４７には、例えば、倍率
とそれを実現するためのレンズ電流等の装置データを記
述した複数のファイル、電子ビーム電流とそれを実現す
るための装置データを記述した複数のファイル、フォー
カス条件とそれを実現するための装置データを記述した
複数のファイル、試料ホルダーの番号とその試料ホルダ
ーに特有のデータ、例えば試料の中心座標やヒーターの
電流／温度特性等を記述した複数のファイル等が収納さ
れている。実行処理ファイルの内容は、図２のミクロフ
ァイルリスト８と同様に、実行処理名とその処理内容を
対応させた形でリスト表示することができるようになっ
ている。

【００３５】電子顕微鏡４０の条件設定や操作は一般に
は複雑であるが、決まった試料を観察するルーチンワー
クでは操作法や設定条件がいつも同じであることが多
い。そこで、前述の画像処理の場合と同様に電子顕微鏡
の操作順や一連の操作内容をファイルに設定し、マクロ
命令として装置操作ファイル４８に登録しておくと、マ
クロ名を指定するだけで繰り返し処理を容易に実行する
ことができる。装置操作ファイル４８への操作内容の登
録は、図２に示すのと同様に、ＣＲＴ１の画面に空白の
テーブルと実行処理名ファイルリストを表示し、テーブ
ル上に実行処理名操作順にを設定し、それにマクロ名を
つけて装置操作ファイル４８に登録することで行っても
よいし、電子ビーム電流、倍率、焦点位置等の操作項目
リストを表示させ、そこに所望の値や条件を入力した
り、予め表示されているものから選択して設定し、それ
にマクロ名をつけて装置操作ファイル４８に登録するよ
うにしてもよい。

【００３６】マクロ名による電子顕微鏡の操作は、図３
と同様にして、装置操作ファイルのマクロ名リストを表
示させ、その中から所望のものを選択することで行われ
る。この時、コンピュータ３１は、選択された装置操作
ファイル４８に記述された各種処理項目の内容を実現す
る装置データを作成し、制御コンピュータ４１に転送
し、制御コンピュータ４１が電子顕微鏡の各種電源や機
構系のドライバー等を制御する。このようにして、高圧
電源４２を規定の電圧に設定したり、電子光学系電源４
３や試料ホルダー制御部４４の状態を規定の倍率や試料
ホルダーに応じた焦点位置に制御したり、写真撮影制御
部４５の露光時間を試料によって規定の時間に設定した
り、真空排気制御部４６による真空度の管理をしたりす
る操作を適宜のマクロ名で登録しておき、その後はマク
ロ名を指定するだけで所望の装置操作を行うことができ
る。本明細書では電子顕微鏡装置及びその画像処理装置
を例にとって説明したが、本発明による制御装置はその
他の各種測定装置や処理装置にも適用できる。

【００３７】

【発明の効果】本発明によると、複雑で煩雑で多量なマ
ウス等の入力指示操作を、最小一個のマウス等の操作で
実行処理することが可能になり、非熟練者でも装置を容
易に操作できるようになる。また、ユーザー専用の操作
手順が最小限の操作で実行可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による画像処理装置の一実施例を示す概
念図。

【図２】操作手順をマクロ名で設定登録する方法の一例
を示す図。

【図３】登録済マクロ命令の実行法を説明する図。

【図４】単位処理プログラムのミクロ名の登録法を説明
する図。

【図５】画像処理とシーケンス処理の流れを示すフロー
チャート。

【図６】図５の処理を実行するマクロ名ファイルの登録
を説明する図。

【図７】電子顕微鏡装置本体の制御装置の実施例の概念
図。

【図８】従来の装置処理操作法を説明する図。

【符号の説明】

１…コンソールＣＲＴ、２…メニュー、７…処理テーブ
ル、８…ミクロファイルリスト、１５…登録命令の図形
スイッチ、１７…マクロファイルリスト、１８…実行命
令の図形スイッチ、１９…マクロ名、２０ａ，２０ｂ…
画像処理前後の電子顕微鏡の画像、２２…単位関数の処
理プログラム、２３…ミクロ名、２５…ミクロ名の登録
命令図形スイッチ、３１…コンピュータ、３２…関数フ
ァイル、３３…マクロ名ファイル、３５…キーボード、
３６…マウス、３７…画像処理装置、３８…カメラコン
トローラ、３９…ＴＶカメラ、４０…電子顕微鏡、４１
…制御コンピュータ、４２…高圧電源、４３…電子光学
系電源、４４…試料ホルダー制御部、４５…写真撮影制
御部、４６…真空排気制御部、４８…装置操作ファイル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 明珍 健一 茨城県勝田市市毛882番地 株式会社日立 製作所計測機事業部内 (72)発明者 飯島 千之 茨城県勝田市堀口字長久保832番地２ 日 立計測エンジニアリング株式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 電子顕微鏡像を撮像して画像データを出
   力する撮像手段と、画像データを処理する画像処理手段
   と、前記画像処理手段を制御する制御手段と、前記制御
   手段に接続された入出力手段と、画像処理の単位処理関
   数を複数記憶した第１の記憶手段と、複数の単位処理関
   数を順序づけて１つの名称で登録する登録手段と、前記
   順序づけた複数の単位処理関数とその名称とを関連づけ
   て記憶する第２の記憶手段と、前記登録された名称を指
   定することにより該名称に関連づけて記憶された複数の
   単位処理関数を順次実行する手段とを備えることを特徴
   とする電子顕微鏡用画像処理装置。
2. 【請求項２】 前記登録手段は同一の単位処理関数によ
   る処理を複数回繰り返すループ処理を定義登録する機能
   を備えることを特徴とする請求項１記載の電子顕微鏡用
   画像処理装置。
3. 【請求項３】 前記登録手段は、単位処理関数のリスト
   を表示する手段と、表示されたリストから前記入出力手
   段によって１つの単位処理関数を選択する手段と、選択
   された単位処理関数を順序づけて設定する手段とを備え
   ることを特徴とする請求項１又は２記載の電子顕微鏡用
   画像処理装置。
4. 【請求項４】 画像データを処理する画像処理手段と、
   前記画像処理手段を制御する制御手段と、前記制御手段
   に接続された入出力手段と、画像処理の単位処理関数を
   複数記憶した第１の記憶手段と、複数の単位処理関数を
   順序づけて１つの名称で登録する登録手段と、前記順序
   づけた複数の単位処理関数とその名称とを関連づけて記
   憶する第２の記憶手段と、前記登録された名称を指定す
   ることにより該名称に関連づけて記憶された複数の単位
   処理関数を順次実行する手段とを備えることを特徴とす
   る画像処理装置。
5. 【請求項５】 前記登録手段は、同一の単位処理関数に
   よる処理を複数回繰り返すループ処理を定義登録する機
   能を備えることを特徴とする請求項４記載の画像処理装
   置。
6. 【請求項６】 前記登録手段は、単位処理関数のリスト
   を表示する手段と、表示されたリストから前記入出力手
   段によって１つの単位処理関数を選択する手段と、選択
   された単位処理関数を順序づけて設定する手段とを備え
   ることを特徴とする請求項４又は５記載の画像処理装
   置。
7. 【請求項７】 電子顕微鏡と、電子顕微鏡の操作を制御
   する制御手段と、前記制御手段に接続された入出力手段
   と、電子顕微鏡の単位操作データを複数記憶した第１の
   記憶手段と、複数の単位操作を順序づけて１つの名称で
   登録する登録手段と、前記順序づけた複数の単位操作と
   その名称とを関連づけて記憶する第２の記憶手段と、前
   記登録された名称を指定することにより該名称に関連づ
   けて記憶された複数の単位操作を順次実行する手段とを
   備えることを特徴とする電子顕微鏡制御装置。
8. 【請求項８】 前記登録手段は、単位操作のリストを表
   示する手段と、表示されたリストから前記入出力手段に
   よって１つの単位操作を選択する手段と、選択された単
   位操作を順序づけて設定する手段とを備えることを特徴
   とする請求項７記載の電子顕微鏡制御装置。
9. 【請求項９】 制御対象となる装置と、前記装置の操作
   を制御する制御手段と、前記制御手段に接続された入出
   力手段と、前記装置の単位操作データを複数記憶した第
   １の記憶手段と、複数の単位操作を順序づけて１つの名
   称で登録する登録手段と、前記順序づけた複数の単位操
   作とその名称とを関連づけて記憶する第２の記憶手段
   と、前記登録された名称を指定することにより該名称に
   関連づけて記憶された複数の単位操作を順次実行する手
   段とを備えることを特徴とする制御装置。