JPH0731121B2 - 監視検査装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は監視検査装置に関する。

（従来の技術） 一般に液晶画面（LCD）の電気的、物理的特性を検査す
る検査装置として、第６図（ａ）に示すように、LCD
（１）に設けられた電極（２）に接触するプローブ端子
電極（３）との位置確認のために監視するため顕微鏡
（４）が使用されている。この顕微鏡（４）の使用方法
は、LCD（１）の電極（２）がプローブ端子電極（３）
と電気的に接触する位置の上側に顕微鏡（４）が配置さ
れるように回転ポール（５）を設けている。すなわち、
この回転ポール（５）はアーム（６）が突出し、このア
ーム（６）に顕微鏡（４）の対物レンズがLCD（１）面
と対面する如く配置するように設けられている。このよ
うに構成された顕微鏡（４）でプローブ端子電極の位置
確認を行う場合、LCD（１）のように大きい基板の検査
では顕微鏡（４）の視野範囲では無理があり、作業能率
の低下等の問題があった。

上記顕微鏡（４）の回転ポール（５）を用いて回転させ
て検査する技術としては、特開昭61−168236号公報等に
よって開示された技術がある。

そこで、上記の問題点を解決し、移動範囲を広くした視
野を得るために、第５図（ｂ）に示すように支持面
（７）と平行に設けられたヘッドプレート（８）にＸ−
Ｙステージ（９）を設け、このＸ−Ｙステージ（９）の
移動体（10）に顕微鏡（４）を固定支持して、LCD
（１）を監視するものが一般に用いられるようになっ
た。

（発明が解決しようとする問題点） しかしながら、従来のように垂直又は傾斜された支持面
（７）と平行に設けられたヘッドプレート（８）にＸ−
Ｙステージ（９）を設け、このＸ−Ｙステージ（９）に
顕微鏡（４）を固定支持して、上記支持面と平行方向に
自由に移動する構造では、上記ヘッドプレート（８）が
垂直又は傾斜された支持面（７）と平行に対面する如く
設けられており、このヘッドプレート（８）面に沿って
設けられたＸ−Ｙステージ（９）も水平面に対して垂直
又傾斜状態で移動されるようになっている。よって、顕
微鏡（４）の自重が垂直面又は傾斜面に沿って垂下され
るように作用している。従って顕微鏡（４）を上昇方向
に押圧移動力を顕微鏡（４）自重より多く加えなければ
自由に移動させることができないという問題点があっ
た。

また、同様に顕微鏡（４）を所望位置に停止させておく
ことができないという問題点もあった。

そこで、本発明の目的とするところは上述した従来の問
題点を解決し、少量の押圧移動可能で所定位置に自由に
停止可能な監視検査装置を提供することにある。

〔発明の構成〕

（問題点を解決するための手段） 本発明は垂直又は傾斜された支持面に設けられた顕微鏡
をＸ−Ｙステージに固定支持し、被検査体を監視検査す
る装置において、 上記顕微鏡の自重とバランスして吊下げ状態に上記顕微
鏡を設けたことを特徴としている。

（作用） 本発明では、Ｘ−Ｙステージに固定支持された顕微鏡の
自重とバランスして吊下げ状態に構成したので、垂直又
は傾斜した面に沿って上昇移動するに際し、上記顕微鏡
の下方向に生じる自重と、バランスする如く制御して上
方向に引き上げる引張力と略等しく均合わせているの
で、上記顕微鏡に少量の押圧移動力を加えるだけで自由
に所望の監視位置に移動し、または停止させる作用があ
る。

（実 施 例） 以下、本発明装置液晶テレビ用液晶に適用した一実施例
を図面を参照して説明する。上記説明を従来例と同一部
分については同一符号で説明する。

監視検査装置は、第１図に示すように大別すると、被検
査体である液晶画面（以下、LCD）の電極と電圧供給端
子であるプローブ端子電極とを接触させ、LCD（１）に
電圧を印加させる電圧供給部（11）と、このLCD（１）
に電圧を印加させて、表示させて、LCD（１）の画素を
検査し、または、プローブ端子電極（３）がLCD（１）
の電極（２）に正確に接触しているか否かを監視する検
査部（12）と、LCD（１）を収納部より取出し、検査部
（12）に搬送する搬送部（13）と、データの入力等を行
うための操作部（14）及び操作部（14）からの入力デー
タやこれら検査部（12）、搬送部（13）からの各種信号
に基づき検査部（12）及び搬送部（13）を駆動制御する
制御部（15）とから構成されている。

上記検査部（12）は、LCDを吸着固定して移動面（7a）
に対して平面方向に自在に移動される支持体（17）と、
この支持体（17）の支持面（７）と平行に設けられたカ
ードホルダ（3a）を固定するヘッドプレート（８）と、
このヘッドプレート（８）に監視手段の顕微鏡（４）と
LCD（１）の面に沿って移動させるＸ−Ｙステージ
（９）とから構成され、上記顕微鏡（４）がLCD（１）
の所望位置までＸ−Ｙステージ（９）を介して移動さ
れ、LCD（１）の所望位置で停止されて、LCD（１）の電
極（２）とヘッドプレート（８）に設けられたカードホ
ルタ（3a）のプローブ端子電極（３）との位置合わせを
監視されるように構成されている。

上記支持体（17）は、この支持体（17）の支持面（７）
と平行に設けられた移動面（7a）に対してＸ軸方向、Ｙ
軸方向、移動面（7a）に対して直交に直交方向に（Ｚ軸
という）及び周方向（θ方向）に回転する駆動部を有
し、支持面（７）がＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸及びθ方向に駆動
自在に設けられている。これらの駆動は、制御部（15）
で制御されるように構成されている。

上記ヘッドプレート（８）は、支持面（７）と平行に設
けられており、さらにLCD（１）の電極（２）に電気的
に接触されるプローブ端子電極（３）がカードホルタ
（3a）に設けられて、ヘッドプレート（８）に固定支持
されている構成になっている。

従って、上記支持体（17）と上記ヘッドプレート（８）
との構成の関連は、上記支持体（17）の支持面（７）に
吸着固定されたLCD（１）の電極（２）がヘッドプレー
ト（８）側のカードホルタ（3a）に設けられたプローブ
端子電極（３）とに電気的に接触されるので、電圧供給
部（11）と導通されているプローブ端子電極（２）から
LCD（１）の電極（２）に電圧が印加されて、LCD（１）
面に表示されるように構成されている。

上記Ｘ−Ｙステージ（９）は、上記プローブ端子電極
（２）とLCD（１）の電極（２）との位置合わせの監視
と、表示状態の監視とを行う顕微鏡を移動させるよう
に、第２図で示すように構成されている。

上記Ｘ−Ｙステージ（９）の構成及び作用について説明
すると、このＸ−Ｙステージ（９）は顕微鏡（４）をＸ
軸方向に移動させてLCD（１）のＸ軸方向を監視するよ
うに設けられたＸ軸移動部（20）と、同様にして顕微鏡
（４）をＹ軸方向に移動させてLCD（１）のＹ軸方向を
監視するように設けられたＹ軸移動部（21）とから成
り、ヘッドプレート（８）の表面に上記Ｘ軸移動部（2
0）が固定支持されたのち、このＸ軸移動部（20）の移
動体（18a）にＹ軸移動部（21）が固定支持され、さら
にこのＹ軸移動部（21）の移動体（18）に顕微鏡が固定
支持されるように構成されている。

上記Ｘ軸移動部（20）の構成は、互に平行に並設された
ガイド部材（19）の両端部を支持台（22）で固定支持さ
れている。このガイド部材（19）に移動体（18a）が摺
動するように摺設されている。同様にしてＹ軸移動部
（21）の構成は互に平行に並設されたガイド部材（19
a）の両端部を支持台（22）で固定支持されている。こ
のガイド部材（19a）に移動体（18）が摺動するように
摺設されている。従って、垂直又は傾斜された上記Ｘ−
Ｙステージ（９）は、Ｘ方向に顕微鏡（４）を移動させ
る際に少量の押圧移動力を加えることにより移動、停止
が自在である反面、Ｙ方向に顕微鏡（４）を移動させる
際には、顕微鏡（４）を全自重または全自動xcos傾斜角
の自重が加わっているために多量の押上圧移動力を上昇
方向に加える必要がある。

この上昇方向に引上げる力が発生するバランス制御の軽
減手段（23）を、第３図に示すように上記Ｙ軸移動部
（21）に構成されている。

上記軽減手段（23）例えば巻込形のバネ構造部材（24）
の構成及び作用について説明すると、上記バネ構造部材
（24）は、Ｙ軸移動部（21）のガイド部材（19a）の支
持台（22）にケース（25）を固定支持し、このケース
（25）の中央にバネ部材（24）のバネ（26）を巻戻す構
造のピン部材（27）が設けられている。

上記バネ（26）例えばW15mm×t0.3mm×L600mm板状ハガ
ネ鋼帯の取付端部（28）はピン部材（27）に巻戻す如く
設けられている。

上記バネ（26）の先端部（29）は顕微鏡（４）の摺動方
向に沿って顕微鏡（４）を引上げる方向に設けられてい
る。上記バネ（26）の巻戻す引上げ力は、Ｘ−Ｙステー
ジ（９）が垂直に設けられている場合には、顕微鏡
（４）及び取付アーム（17）の自重と等しい引上げ力を
有するバネ（26）を使用することにより均合う。以上が
バネ構造部材（24）を用いて顕微鏡（４）を引上げた構
造のものである。

上記バネ構造部材（24）の軽減手段（23）の他の実施例
を、第４図で示すように、上記Ｙ軸移動部（21）に構成
されている。

上記軽減手段（23）例えばバランス構造（30）の構成及
び作用について説明すると、上記バランス構造（30）は
Ｙ軸移動部（21）の支持台（22）の上側面に顕微鏡
（４）を固定した移動体（18）が移動する方向に沿う如
く設けた突出部材（31）にプーリー（32）を軸着し、こ
の移動体（18）が垂直またはは傾斜方向に沿って上昇さ
せる際に、顕微鏡（４）を固定支持した移動体（18）か
ら張架した線材（または紐）（33）で移動体（18）を持
上げるように設けられている。

そして、軸着されたプーリ（32）に線材（33）が巻着く
ように配置してさらに、その先端が基に戻るように配置
して、この線材（33）の先端を顕微鏡（４）等の自重と
等しい「おもり」（34）に結び付け、顕微鏡（４）等を
垂直または傾斜方向に上昇するように均合っているよう
に構成されている。すなわち、顕微鏡の重さと等しいお
もりで均合わせ構造にしている。

従って、顕微鏡（４）等の自重と「おもり」（34）の荷
重が均合っているので、顕微鏡（４）は少量の押圧移動
力で所望の位置に移動し、停止させることができる作用
がある。

次に動作について説明する。

監視検査装置は、LCD（１）を収納した収納庫から、被
検査体のLCD（１）を枚葉式に取出して支持台（11）に
搬送し、この支持台（11）の支持面（７）に吸着固定し
たLCD（１）の電極（２）にカードホルタ（3a）のプロ
ーブ端子電極（３）を接触させて、プローブ端子電極
（３）からの電圧印加により、LCD（１）の画素の物理
的表示等を監視して検査するものである。

上記監視する検査において、上記LCD（１）の電極
（２）にすべてのプローブ端子電極（３）がすべて規則
正しく適正な位置に接触しているかを監視するために顕
微鏡（４）を移動させながら監視するための動作は、先
ずLCD（１）の画面の大きい場合には、顕微鏡（４）の
視野内に入らないので、所定の位置まで、顕微鏡（４）
が移動するように、この顕微鏡（10）に少量の押圧移動
力を加える。したがって、LCD（１）の端部から順番に
移動し、例えばLCD（１）の右側から左側に向けて順次
移動させてＸ軸用のガイド部材（19）に沿って摺動し、
LCD（１）のＸ軸すべての端部電極（２）を監視する。
同様にして、例えばLCD（１）の右側の下側から上側に
沿って、順次移動させてＹ軸用のガイド部材（19a）に
沿って摺動し、LCD（１）のＹ軸のすべての端部電極
（２）を監視する。

このようにLCD（１）の四方向の端部に顕微鏡（４）を
移動して、所望位置に停止して監視検査を行うことが可
能となる。

ここで、バランス構造（30）での、「おもり」は上側の
み結び付ける構造であるが、第５図に示すように、Ｙ軸
移動部（21）と、平行にプーリー（35）を回転自在に設
け、このプーリー（35）間に線材（33）を張架し、この
線材（33）に移動体（18）を固定支持すると同様に、上
記プーリー間の向側に顕微鏡等の自重と等しい「おも
り」（34）を固定支持されるような構成にしてもよい。

また、Ｘ−Ｙステージ（９）においても、Ｙ軸移動部
（21）をヘッドプレート（８）に固定し、さらにこのＹ
軸用の移動体（18）にＸ軸移動部（20）の主ガイド部材
（36）を摺動結合し、この主ガイド部材（36）に顕微鏡
（４）を固定移動体（18）にＸ軸移動部（20）の主ガイ
ド部材（36）を従ガイド部材（37）と平行に設けて摺動
結合し、さらに、これらの主ガイド部材（36）と従ガイ
ド部材（37）とを平行に構成されるように顕微鏡（４）
の取付台（38）が設けられている。顕微鏡（４）をＸ軸
方向に移動させる場合は上記主ガイド部材（36）を従ガ
イド部材（37）がＹ軸方向に移動する移動体（18）に設
けられた摺動穴に沿ってＸ軸方向に移動されるように構
成してもよい。

〔発明の効果〕

本発明によれば、顕微鏡の自重とバランスさせて顕微鏡
を吊下げ設定したので、垂直又は傾斜した被検査体を吸
着固定する支持面と平行方向に移動するように固定支持
された顕微鏡は、上記被検査体の所望位置に軽い操作で
容易に移動し停止することが可能となった。これにより
被検査体の所望位置での監視作業能率の向上を図ること
ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明監視検査装置の一実施例を説明するた
めの説明図。第２図は第１図の顕微鏡を固定支持したＸ
−Ｙステージを説明するための説明図。第３図は第１図
のバランス制御の軽減手段のバネ部材を説明するための
説明図。第４図は第１図の他の軽減手段のバランス構造
を説明するための説明図。第５図は第１図の別の軽減手
段のバランス構造を説明するための説明図。第６図は従
来の監視検査装置の顕微鏡位置部を説明する説明図であ
る。 １……LCD、２……電極 ７……支持面、８……ヘッドプレート ９……Ｘ−Ｙステージ、20……Ｘ軸移動部 21……Ｙ軸移動部、23……軽減手段 24……軽減部材、31……突出部

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】垂直又は傾斜された支持面に設けられた顕
   微鏡をＸ−Ｙステージに固定支持し、被検査体を検査す
   る装置において、 上記顕微鏡の自重とバランスさせて吊下げ状態に上記顕
   微鏡を設けたことを特徴とする監視検査装置。